ウェーハ用ホルダ
【課題】大きな機械的剛性を保持しながら軽量化、低コスト化、作業性の向上を図り、大口径ウェーハ用としても好適に用いられる。
【解決手段】第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１からなる第１嵌合部１２を有する第１フレーム体６と、外周接着剤充填部１９を形成した第２外周嵌合部１４と内周接着剤充填部２０を形成した第２内周嵌合部１５からなる第２嵌合部１６を有する第２フレーム体７を備え、第１嵌合部１２内に第２嵌合部１６を嵌合して外周接着剤充填部１９と内周接着剤充填部２０内に充填した接着剤１７が硬化して第１フレーム体６と第２フレーム体７を一体化して内部空間部８を有するリング状のフレーム体３を構成する。
【解決手段】第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１からなる第１嵌合部１２を有する第１フレーム体６と、外周接着剤充填部１９を形成した第２外周嵌合部１４と内周接着剤充填部２０を形成した第２内周嵌合部１５からなる第２嵌合部１６を有する第２フレーム体７を備え、第１嵌合部１２内に第２嵌合部１６を嵌合して外周接着剤充填部１９と内周接着剤充填部２０内に充填した接着剤１７が硬化して第１フレーム体６と第２フレーム体７を一体化して内部空間部８を有するリング状のフレーム体３を構成する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程に用いられて半導体ウェーハやガラス基板ウェーハ等（以下、ウェーハと総称する。）を保持するウェーハ用ホルダ（以下、ホルダと略称する。）に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程等においては、ウェーハ製造元から供給されたウェーハを１枚ずつ保持して各工程間の搬送或いは保管等を行う際に保持治具としてホルダ（テープフレーム）が用いられる（例えば、特許文献１を参照）。ホルダは、主面上に多数の集積回路形成を行い、導通試験やバックグラインド処理を施したウェーハを保持し、検査工程やチップ形成のためのダイシング工程における保持治具としても用いられる。
ホルダは、金属材料によりリング状に形成されたフレーム体と、このフレーム体の開口部を閉塞して着脱自在に貼り付けられる樹脂フィルムとから構成され、樹脂フィルム上にウェーハを載置して周囲をフレーム体により保護する。ホルダについては、半導体技術に関するスタンダード・仕様・ガイドラインについて日欧米を中心として規格化が図られたＳＥＭＩ規格にも「テープフレーム」として規格化が図られており、このＳＥＭＩ規格に適合する仕様により製造される。ホルダは、例えばフレーム幅１／３位置において３０Ｎの負荷を作用させてもフレーム体に変形等が生じない機械的剛性を有すること等の仕様が規定される。
なお、ホルダについては、軽量化を図るために補強用添加剤を含有させた合成樹脂材により成形したものも提案されている（例えば、特許文献２を参照）。合成樹脂製ホルダについても、上述したＳＥＭＩ規格に適合する仕様を以って製造される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−６５１２９公報
【特許文献２】特開２００１−７０５６公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ホルダは、上述した所定の規格仕様を満たすために、フレーム体が一般にある程度の厚み寸法、例えば１．５ｍｍ厚のステンレス板や鋼板等の金属板を素材として形成される。ホルダは、ウェーハの大口径化に伴ってフレーム体も大型となり、所定の規格仕様を満たす機械的剛性を得るために板厚の大きな金属素材を用いてフレーム体製作が行われる。ホルダは、このために材料費コストがアップするとともに、重量も大きくなるといった問題があった。
ところで、ホルダは、特許文献１にも記載されるようにそれぞれにウェーハを収納した状態で整列収納構造を有する収納容器内に多数個が収納され、運搬やセット等の作業が行われる。収納容器は、全体として大きな重量となるために、その取り扱いに際して作業者に大きな負担を負わせるとともに、各ホルダを取り出してダイシングマシーンにセットする等の作業性を低下させるといった問題があった。
【０００５】
特許文献１には、上下一対のリング状金属薄板と、これら金属薄板により挟持されて接着剤により固定された中空金属球、発泡金属、メッシュメタル、或いはエキスパンドメタルのいずれかからなるコア材とから構成されるウェーハ用フレーム体が記載されている。ウェーハ用フレーム体は、金属薄板と軽量コア体の積層体により構成することで、軽量化とともにねじれや曲げ等に対する強度向上が図られる。かかるウェーハ用フレーム体は、大径のウェーハ用として大型に形成されても軽量化を図って所定の規格仕様を満たすことが可能である。
上述した特許文献１に記載のウェーハ用フレーム体においては、上下一対のリング状金属薄板間に全周に亘ってコア体を均一な状態で配置するとともにこれらを均一に接合する作業が極めて面倒で効率が悪いために、材料コストを低減しても全体のコスト低減を図ることが困難である。ウェーハ用フレーム体は、例えば使用後に洗浄処理を施した場合にコア体間に洗浄水が浸入して乾きが悪く、また残留した洗浄水により金属薄板に錆が発生しやすく、さらに内部に埃等を溜めて保持したウェーハに付着させる等の問題がある。
【０００６】
上述した特許文献２に記載の合成樹脂製ウェーハ用フレーム体は、金属製ウェーハ用フレーム体と比較してある程度の軽量化が図られるが、大径のウェーハ用として大型に形成される場合には所定の機械的強度を付与するために全体の厚みが大きくなる。合成樹脂製ウェーハ用フレーム体は、厚みが大きくなるにしたがって部分的な成形歪みが生じ易くなり、ウェーハを安定した状態で保持することが困難となる。
したがって、本発明は、ウェーハを確実に保護する充分な機械的剛性を保持しながら軽量化や低コスト化或いは作業性の向上を図り、大口径ウェーハ用としても好適に用いることが可能なウェーハ用ホルダを提供することを目的に提案されたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した目的を達成する本発明にかかるウェーハ用ホルダは、第１フレーム体と、第２フレーム体と、ウェーハ保持体とから構成される。ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体が、例えばステンレス薄板やメッキ処理を施した薄鋼板等の金属薄板を素材とし、第１主面部の外周縁に沿って全周に亘り立ち上がる一体の環状立壁として形成された第１外周嵌合部と、内周縁に沿って全周に亘り第１外周嵌合部と相対向して立ち上がる一体の環状立壁として形成された第１内周嵌合部とからなる第１嵌合部を有し、全体が中央開口部を有するリング状のチャンネル体として形成される。ウェーハ用ホルダは、第２フレーム体が、例えばステンレス薄板やメッキ処理を施した薄鋼板等の金属薄板或いは導電材を含有した合成樹脂材を素材とし、第２主面部の外周縁に沿って全周に亘り立ち上がり第１外周嵌合部の内径よりもやや小径とされた一体の環状立壁として形成された第２外周嵌合部と、内周縁に沿って全周に亘り第２外周嵌合部と相対向して立ち上がり第１内周嵌合部の内径よりもやや大径とされた一体の環状立壁として形成された第２内周嵌合部とからなる第２嵌合部を有し、第２外周嵌合部の第１外周嵌合部との対向部位及び第２内周嵌合部の第１内周嵌合部との対向部位にそれぞれ周方向に並んで多数個の外周接着剤充填部及び内周接着剤充填部が形成され、全体が中央開口部を有するリング状のチャンネル体として形成される。ウェーハ用ホルダは、ウェーハ保持体が、例えば表面に粘着剤を塗布した導電性樹脂フィルムを素材とし、第１フレーム体の第１主面部とほぼ同径にダイシング用ホルダとして用いられる場合に、樹脂フィルムが用いられて第１フレーム体の第１主面部とほぼ同径に形成される。
【０００８】
ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体に対して第２フレーム体が、第１外周嵌合部の内側面に沿って第２外周嵌合部の外側面を嵌合するとともに第１内周嵌合部の内側面に沿って第２内周嵌合部の外側面を嵌合して、第１嵌合部内に第２嵌合部を嵌合する組み合わせが行われる。ウェーハ用ホルダは、例えば第１フレーム体の第２フレーム体側の第２内周嵌合部と相対する部位に予め接着剤が塗布される。ウェーハ用ホルダは、第１嵌合部内に第２嵌合部を嵌合することにより、接着剤が相対する嵌合面間に拡がるとともに外周接着剤充填部及び内周接着剤充填部内に充填される。ウェーハ用ホルダは、接着剤が硬化することにより第１フレーム体と第２フレーム体が強固に一体化され、内部に全周に亘って空間部を有する全体がリング状のフレーム体を構成する。ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体の底面に中央開口部を閉塞するようにしてウェーハ保持体の外周部位を貼り付けて、リング状のフレーム体により外周を取り囲んだウェーハ収納空間部を構成する。ウェーハ用ホルダは、ウェーハ収納空間部内にウェーハを収納してウェーハ保持体により保持し、運搬・搬送等の取り扱いが行われるようにし、またウェーハ収納空間部内に収納した状態でウェーハを所定の大きさに裁断するダイシング工程が施されるようにする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のように構成された本発明にかかるウェーハ用ホルダは、中央開口部を有するリング状のチャンネル体からなる第１フレーム体と第２フレーム体が第１嵌合部内に第２嵌合部を嵌合して一体化することにより内部空間部を有して軽量化とともにコスト低減を図ったリング状のフレーム体を構成する。ウェーハ用ホルダは、相対する部位に予め塗布した接着剤がそれぞれの相対する嵌合面間に拡がるとともに外周接着剤充填部及び内周接着剤充填部内にも充填されて硬化することにより、第１フレーム体と第２フレーム体が全周に亘って強固に一体化されウェーハを確実に保持する大きな機械的剛性を有する。ウェーハ用ホルダによれば、大口径ウェーハ用にも好適に用いられ、作業性の向上を図って半導体の生産効率を向上させる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態として示すウェーハ用ホルダの平面図である。
【図２】同ウェーハ用ホルダの要部断面図である。
【図３】同ウェーハ用ホルダの組立操作を説明する要部分解斜視図である。
【図４】第２の実施の形態として示すフレーム体の組立操作を説明する要部分解斜視図である。
【図５】第３の実施の形態として示すフレーム体の組立操作を説明する要部分解斜視図である。
【図６】同フレーム体の要部分解断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態として示すウェーハ用ホルダ（以下、ホルダと略称する。）１について図面を参照して詳細に説明する。ホルダ１は、主面上に多数の集積回路形成を行ったウェーハ２を保持し、検査工程やチップ形成のためのダイシング工程等を施すために用いるＳＥＭＩ規格に適合する仕様を有するダイシング用ホルダである。なお、ホルダ１は、半導体製造工程において、１枚のウェーハ２を保持し、単独或いは収納容器内に収納されて各工程間の搬送或いは保管等を行う際の保持治具としても用いられる。
ホルダ１は、図１に示すようにウェーハ２の外径よりも大径の中央開口部４を有するリング状のフレーム体３と、このフレーム体３に対して中央開口部４を閉塞して着脱されるウェーハ保持体、すなわちダイシングフィルム５とから構成される。ホルダ１は、ダイシングフィルム５により底面側を閉塞された中央開口部４が、フレーム体３により周囲を囲まれたウェーハ収納空間部を構成する。ホルダ１は、ウェーハ２を、中央開口部４内においてダイシングフィルム５上に保持するとともにフレーム体３により外周部を取り囲んで保護する。なお、ホルダ１は、ダイシング用ホルダであることから、ウェーハ保持体として詳細を後述するダイシングフィルム５が着脱されるが、他の用途に用いるホルダである場合には所定のウェーハ保持体が着脱される。
【００１２】
ホルダ１は、例えば直径３００ｍｍのウェーハ２の保持用として用いられ、ウェーハ２を中央開口部４内に収納してダイシングフィルム５上に保持する。ホルダ１は、中央開口部４の内径、すなわちフレーム体３の口径が３５０ｍｍであり、フレーム体３の外径が４００ｍｍに形成される。したがって、ホルダ１は、フレーム体３が、全周に亘って５０ｍｍ／２、すなわち２５ｍｍ幅のリング体として形成される。ホルダ１は、ダイシングフィルム５が、例えば厚みが約０．３ｍｍ程度のポリプロピレン或いはＰＥＴのフィルム材を基材としてその表面に例えばアクリル系粘着接着剤が塗布される。
ダイシング用ホルダであるホルダ１には、ＳＥＭＩ規格に適合する仕様として、図１に示すように収納容器内に位置決め収納するためにフレーム体３の外周部に互いに９０°の間隔を以って３箇所に直線部位からなる係合部１Ａ、１Ｂ、１Ｃが形成される。ホルダ１には、中央の係合部１Ｂと対向する外周部側に位置して中心軸を挟む対称位置に、ダイシングマシーン側の位置決めピンが相対係合する一対の位置決め用凹部（ノッチ）１Ｄ、１Ｅが形成されている。
ホルダ１は、フレーム体３が、共同して中央開口部４を構成する第１中央開口部６Ａ、第２中央開口部７Ａを有する詳細を後述するリング状の第１フレーム体（下フレーム体）６と第２フレーム体（上フレーム体）７を一体に組み合わせて構成される。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、それぞれ後述するようにチャンネル形状のリング状部材からなる。フレーム体３は、第１フレーム体６が第２フレーム体７よりもやや大径に形成され、相対する開口部を突き合わせるように組み合わされることにより密閉された環状空間部からなる内部空間部８を構成して一体化される。フレーム体３は、底面部にダイシングフィルム５を貼り付けるとともに内部空間部８内に補強用かつ高さ調整用のリング状コア体１８を結合してホルダ１を構成する。
【００１３】
フレーム体３は、後述するように第１フレーム体６と第２フレーム体７が、例えばステンレス薄板や無電解ニッケルメッキ処理等を施した薄鋼板等の約０．２ｍｍ厚の金属薄板を素材として形成される。フレーム体３は、かかる金属薄板を素材として内部空間部８を有する中空部材として構成されることにより、重さが約１２０ｇである。したがって、フレーム体３は、厚みが１．５ｍｍの金属板を素材として形成した重さが約３００ｇの従来品と比較して大幅な軽量化が図られる。フレーム体３は、素材コストが低減されるとともにプレス金型或いは工程も簡易化されて製作されることにより、コスト低減が図られる。フレーム体３は、後述する構造から従来品と同等の機械的剛性を有する。
フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、それぞれ同一素材の金属薄板に対して、リング状の中間体を形成する外形抜きプレス加工と、中間体に対してその外内周縁に沿って立壁部を一体に立ち上がり形成する絞り加工を施して形成される。なお、フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７の製作工程が、かかる工程に限定されないことは勿論である。
【００１４】
すなわち、第１フレーム体６は、素材に対してフレーム体３の幅寸法よりもやや大きな幅寸法を有するリング状の中間体を形成する外形抜き加工や、この中間体の外周縁及び内周縁に沿って全周に亘り立壁部位を一体に立ち上がり形成する絞り加工を施してチャンネル形状のリング状部材として形成される。第１フレーム体６は、図２及び図３に示すようにリング状の第１主面部９の外周縁に沿って第１外周嵌合部１０を一体に立設するとともに、内周縁に沿って第１内周嵌合部１１を一体に立設する。第１フレーム体６は、これら同心円状の第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１が第１嵌合部１２を構成する。
第１フレーム体６は、第１外周嵌合部１０が、第１主面部９の外周縁に沿って全周に亘って立ち上がる一体の環状立壁からなり、例えば立ち上がり寸法が約１．５ｍｍに形成される。なお、第１フレーム体６は、第１外周嵌合部１０が、上述した係合部１Ａ、１Ｂ、１Ｃの対応部位を直線状の立壁として形成されるとともに位置決め用凹部１Ｄ、１Ｅの対応部位を内周側に凹む立壁として形成される。
第１フレーム体６は、第１内周嵌合部１１が、第１主面部９の内周縁に沿って全周に亘って立ち上がり第１外周嵌合部１０と全周に亘って対向することにより同心円をなす一体の環状立壁からなる。第１フレーム体６は、第１内周嵌合部１１も、第１外周嵌合部１０と同等の立ち上がり寸法を有し、例えば約１．５ｍｍに形成される。第１フレーム体６は、このように第１主面部９の外内周縁に沿って相対する第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１を一体に立ち上がり形成することにより、上述したように断面が上向きコ字状を呈するチャンネル形状のリング状部材として形成される。
【００１５】
第２フレーム体７も、素材に対して第１フレーム体６の中間体よりも板厚分小さな外形寸法を有するリング状の中間体を形成する外形抜き加工を施し、この中間体の外周縁及び内周縁に沿って立壁部を一体に立ち上がり形成する絞り加工を施してチャンネル形状のリング状部材として形成される。第２フレーム体７も、図２及び図３に示すように第２主面部１３の外周縁に沿った第２外周嵌合部１４と内周縁に沿った第２内周嵌合部１５を一体に形成してなる。第２フレーム体７は、これら同心円状の第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５により第２嵌合部１６を構成する。
第２フレーム体７も、第２外周嵌合部１４が、第２主面部１３の外周縁に沿って全周に亘って立ち上がる一体の環状立壁からなる。第２フレーム体７は、第２外周嵌合部１４が、外周面の外径を第１フレーム体６側の第１外周嵌合部１０の内周面の外径とほぼ等しくなるように全体がやや小径に形成される。第２フレーム体７は、後述するように第１フレーム体６に対して第２外周嵌合部１４を第１主面部９の内面に突き合わせて組み付けられるとともに接着剤１７により接合されて密閉された内部空間部８を構成することから、この第２外周嵌合部１４が立ち上がり寸法を例えば約１．３ｍｍに形成される。なお、第２フレーム体７も、第１フレーム体６側と同様に係合部１Ａ、１Ｂ、１Ｃの対応部位を直線状の立壁として形成するとともに位置決め用凹部１Ｄ、１Ｅの対応部位を内周側に凹む立壁として形成する。
【００１６】
第２フレーム体７も、第２内周嵌合部１５が、第２主面部１３の内周縁に沿って全周に亘って立ち上がり、第２外周嵌合部１４と全周に亘って対向することにより同心円をなす一体の環状立壁として形成される。第２フレーム体７は、第２内周嵌合部１５が、外周面の外径を第１フレーム体６側の第１内周嵌合部１１の内周面の外径とほぼ等しくなるようにして形成される。第２フレーム体７も、第２内周嵌合部１５が立ち上がり寸法を例えば約１．３ｍｍに形成される。第２フレーム体７も、このように第２主面部１３の外内周縁に沿って相対する第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５を一体に立ち上がり形成することにより、上述したように断面が下向きコ字状を呈するチャンネル形状のリング状部材として形成される。
第２フレーム体７には、図２及び図３に示すように、第２嵌合部１６を構成する第２外周嵌合部１４に接着剤１７が流れ込む多数個の外周接着剤充填部１９が形成されるとともに、第２内周嵌合部１５にも多数個の内周接着剤充填部２０が形成される。第２フレーム体７は、上述したように第２嵌合部１６が第１フレーム体６の第１嵌合部１２内に嵌合され、第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５の先端部が第１主面部９の内面９Ａにそれぞれ突き当てられる。
【００１７】
外周接着剤充填部１９は、第２外周嵌合部１４の先端縁に、周方向に所定の間隔を以って並んで形成された多数個の切欠き部により構成される。外周接着剤充填部１９は、それぞれが周方向に所定の切り欠き幅を有するとともに、所定の高さを以って第２外周嵌合部１４に切り欠き形成される。外周接着剤充填部１９は、切り欠き寸法や個数が、接着剤１７の種類や粘度等の条件に応じて適宜設定されて第２外周嵌合部１４に形成される。
内周接着剤充填部２０も、第２内周嵌合部１５の先端縁に、周方向に所定の間隔を以って並んで形成された多数個の切欠き部により構成される。内周接着剤充填部２０も、それぞれが周方向に所定の切り欠き幅を有するとともに、所定の高さを以って第２内周嵌合部１５に切り欠き形成される。内周接着剤充填部２０も、切り欠き寸法や個数が、接着剤１７の種類や粘度等の条件に応じて適宜設定されて第２内周嵌合部１５に形成される。
【００１８】
第２フレーム体７は、上述したように金属薄板素材からリング状の中間体を形成する外形抜き加工とこの中間体に第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５を形成する絞り加工を施して製作される。第２フレーム体７は、外形抜き加工を施す際に外周縁と内周縁を櫛歯状に打ち抜き、外周縁と内周縁に沿って絞り加工を施すことにより第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５の先端部にそれぞれ外周接着剤充填部１９と内周接着剤充填部２０を形成する。
外周接着剤充填部１９及び内周接着剤充填部２０は、第２フレーム体７を金属薄板素材に対して外形抜き加工と絞り加工を施して製作することから、高さ方向の内壁部位を直角のコーナ部として形成した場合に応力が集中してクラック等が発生する虞がある。したがって、外周接着剤充填部１９及び内周接着剤充填部２０は、コーナ部における応力集中を緩和するために、図３に示すようにそれぞれが高さ方向の内壁を円弧状に形成される。
【００１９】
フレーム体３は、上述した第１フレーム体６に対して第２フレーム体７が、図３矢印で示すように第１嵌合部１２に第２嵌合部１６を全周に亘って嵌合することにより組み合わされる。フレーム体３は、第１フレーム体６に対して第２フレーム体７が、図２に示すように第１フレーム体６側の第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａに沿って第２フレーム体７側の第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａが嵌合される。フレーム体３は、第１フレーム体６側の第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａに沿って第２フレーム体７側の第２内周嵌合部１５の外側面１５Ａが嵌合される。フレーム体３は、これにより第１フレーム体６の第１中央開口部６Ａと第２フレーム体７の第２中央開口部７Ａが共同して中央開口部４を構成し、全体がリング状となる。
フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が第１嵌合部１２と第２嵌合部１６を組み合わせた状態で、図２に示すように第２フレーム体７側の第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５がそれぞれの先端部を第１フレーム体６側の第１主面部９の内面９Ａに突き合わされる。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、第１フレーム体６の第１外周嵌合部１０及び第１内周嵌合部１１の先端部と、第２フレーム体７側の第２主面部１３がほぼ同一面を構成して組み合わされる。
【００２０】
フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、図２に示すように外周部において嵌合された第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａと第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａとの間に充填した接着剤１７により結合される。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、内周部において嵌合された第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａと第２内周嵌合部１５の外側面１５Ａとの間に充填した接着剤１７により一体に結合される。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、突き合わされた第１主面部９の内面９Ａと第２外周嵌合部１４及び第２内周嵌合部１５の先端部との間に充填した接着剤１７により一体に結合される。
フレーム体３は、図３に示すように第１フレーム体６に予め接着剤１７が塗布された状態で第２フレーム体７の組み合わせが行われる。接着剤１７には、例えばアクリル系接着剤やエポキシ系接着剤等の、比較的粘度の大きい室温硬化型或いは加熱硬化型接着剤の金属用接着剤が用いられる。接着剤１７は、同図に示すように第１フレーム体６の第１主面部９の内面９Ａと第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａ及び第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａにそれぞれ跨るようにして塗布される。
フレーム体３は、上述したように第１フレーム体６と第２フレーム体７が、第１嵌合部１２内に第２嵌合部１６を嵌合することにより内部空間部８を構成して一体化される。フレーム体３は、第１フレーム体６に対して第２フレーム体７が、第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａに沿って第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａが嵌合され、第１主面部９の内面９Ａに第２外周嵌合部１４の先端部が突き当てられる。フレーム体３は、第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａに沿って第２内周嵌合部１５の外側面１５Ａが嵌合され、第１主面部９の内面９Ａに第２内周嵌合部１５の先端部が突き当てられる。
【００２１】
第１フレーム体６に予め塗布された接着剤１７は、図２に示すように相対嵌合される第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａと第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａとの間及び第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａと第２内周嵌合部１５の外側面１５Ａとの間にそれぞれ拡がる。接着剤１７は、外周接着剤充填部１９と内周接着剤充填部２０内に充填されて、第２外周嵌合部１４及び第２内周嵌合部１５の内面側にも回り込む。
接着剤１７は、接合対象物に対して接触面積や充填量が多くなるにしたがい、接合対象物間に大きな接合強度を生じさせる。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、上述した外周接着剤充填部１９と内周接着剤充填部２０の構成により内外周において多くの接触面積と充填量を以って接着剤１７により接合されることにより強固に一体化される。フレーム体３は、第２外周嵌合部１４及び第２内周嵌合部１５の内面側に回り込んだ接着剤１７が硬化することにより、一種の楔作用を奏して第１フレーム体６と第２フレーム体７をより強固に一体化する。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、略密閉空間部を構成する内部空間部８内において接合されることから、接着剤１７が流れ出してウェーハ２を汚損させる等の不都合が生じることは無い。
【００２２】
フレーム体３は、上述したように第１フレーム体６と第２フレーム体７が、内部空間部８を構成して一体化される。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７の上述した組み合わせ構造により、第１フレーム体６側の第１外周嵌合部１０及び第１内周嵌合部１１の高さ寸法１．５ｍｍが全体の厚み寸法となる。フレーム体３は、図２に示すように結合された第１フレーム体６側の第１外周嵌合部１０と第２フレーム体７側の第２外周嵌合部１４が共同して、厚みが０．４ｍｍの外周壁部を構成する。フレーム体３は、結合された第１フレーム体６側の第１内周嵌合部１１と第２フレーム体７側の第２内周嵌合部１５が共同して、厚みが０．４ｍｍの内周壁部を構成する。
フレーム体３は、第１フレーム体６側の第１主面部９を底面部とし、第２フレーム体７側の第２主面部１３を天井部として、内部に内部空間部８を構成してなる。フレーム体３は、全体の幅が２５ｍｍ、高さが１．５ｍｍであり、平坦性を有して変形や歪み等の発生を防止した機械的剛性の大きなフレーム体を構成する。フレーム体３は、中空構造であり厚み寸法の小さな金属板を素材として形成することにより、軽量化が図られる。
フレーム体３には、図１乃至図３に示すように、内部空間部８内に第１フレーム体６の第１主面部９と第２フレーム体７の第２主面部１３の対向間隔を保持するリング状のコア体１８が設けられる。フレーム体３は、上述した第１フレーム体６と第２フレーム体７の組み合わせ構造により充分な機械的剛性を有しているが、コア体１８を設けることにより補強されてさらに機械的剛性の向上が図られる。フレーム体３は、例えば３０Ｎの偏倚荷重を１分間に亘って負荷しても変形や歪み発生が生じることはなく、ＳＥＭＩ規格に適合する仕様を有してウェーハ２を確実に保持する軽量のホルダ１を構成する。
【００２３】
コア体１８は、素材として例えば亜鉛メッキを施した薄厚鋼板が用いられ、この素材に外形抜きプレス加工を施して、横長矩形の断面形状を有して第２フレーム体７の第２外周嵌合部１４よりも小径でありかつ第２内周嵌合部１５よりも大径のリング体として形成される。コア体１８は、後述するように内部空間部８内において第１フレーム体６と第２フレーム体７とに結合されるが、内部空間部８のほぼ中央部に配置される外径であることが好ましい。
コア体１８は、厚み寸法が内部空間部８の高さ寸法（１．１ｍｍ）よりもやや薄厚の１ｍｍであり、幅寸法が約３ｍｍに形成される。コア体１８は、かかる寸法値に限定されないことは勿論であるが、大きな幅寸法とした場合にフレーム体３の重量を大きくし、また小さな幅寸法とした場合にフレーム体３の補強作用が低下する。コア体１８は、上述した厚み寸法により内部空間部８を構成する第１フレーム体６の第１主面部９と第２フレーム体７の第２主面部１３との間において約０．１ｍｍの間隙が生じるが、図２に示すようにこの間隙に接着剤１７が充填されるようにする。
【００２４】
コア体１８は、図２及び図３に示すように例えば第１フレーム体６に対して第１主面部９の内面９Ａ上に接合される。コア体１８は、第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１と同心円を構成して第１フレーム体６の第１主面部９の内面９Ａに底面を結合される。コア体１８は、第１フレーム体６に対して第２フレーム体７が組み合わされることにより、第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５と同心円を構成して第２フレーム体７の第２主面部１３の内面１３Ａに上面を結合される。コア体１８は、これにより第１フレーム体６の第１主面部９と第２フレーム体７の第２主面部１３の対向間隔を保持する。
なお、コア体１８は、底面を第１フレーム体６の第１主面部９に結合するとともに上面を第２フレーム体７の第２主面部１３に結合するようにしたが、第１フレーム体６と第２フレーム体７がしっかりと固定されることから、例えば底面のみを第１フレーム体６側と固定し第２フレーム体７の第２主面部１３を支えるようにしてもよい。コア体１８は、上述した第１フレーム体６と第２フレーム体７の組み合わせ工程に先行して、第１フレーム体６の第１主面部９に接合固定される。
【００２５】
以上のように構成されたフレーム体３には、図２に示すように第１フレーム体６の第１主面部９の底面９Ｂにダイシングフィルム５が貼り付けられホルダ１を構成する。ダイシングフィルム５は、フレーム体３の外径よりもやや小径であり、接着剤として粘着性接着剤を用いることにより外周部位を第１主面部９の底面９Ｂに対して着脱される。ダイシングフィルム５は、第１フレーム体６に貼り付けることにより、図１に示すように中央開口部４の底面部を閉塞してフレーム体３により周囲を囲まれたウェーハ収納空間部を構成する。ダイシングフィルム５は、詳細を省略するがウェーハ収納空間部の構成領域において上面にウェーハ２を保持する粘着剤が塗布される。
【００２６】
ホルダ１においては、フレーム体３が、上述したようにそれぞれ従来品よりも薄厚であり低コスト化と加工性の向上が図られる金属薄板を素材として簡易なプレス加工を施して第１フレーム体６と第２フレーム体７を形成する。ホルダ１は、フレーム体３が、第１フレーム体６と第２フレーム体７を組み合わせて内部を中空とする内部空間部８を有して構成することから軽量化が図られる。ホルダ１は、第２フレーム体７に外周接着剤充填部１９と内周接着剤充填部２０を形成した構造により、第１フレーム体６と第２フレーム体７を接着剤１７により強固に一体化する。ホルダ１は、フレーム体３の内部空間部８内に補強部材のコア体１８を設けたことによってさらに大きな機械的剛性を有する。
ホルダ１は、フレーム体３の中央開口部４により構成されるウェーハ収納空間部内にウェーハ２を収納してダイシングフィルム５上に保持する。ホルダ１は、ウェーハ２を収納保持した状態で運搬・搬送等の取り扱いを行い、ウェーハ２を所定の大きさに裁断するダイシング工程が施されるようにする。ホルダ１は、大きな機械的剛性を有するフレーム体３によりウェーハ２の周囲を取り囲んで確実に保護する。ホルダ１は、上述したように材料や工程のコスト低減が図られて廉価であり、大幅な軽量化が図られるも対曲げ特性や対捻れ特性が大きい充分な機械的剛性を有するフレーム体３を備えることにより、大口径のウェーハであっても大量かつ確実に処理することを可能とする。
【００２７】
上述したホルダ１においては、第２外周嵌合部１４の先端部に外周接着剤充填部１９を形成するとともに第２内周嵌合部１５の先端部に内周接着剤充填部２０を形成し、第１フレーム体６と第２フレーム体７が接着剤１７によって強固に一体化されるようにする。本発明は、かかる構成に限定されないことは勿論である。図４に第２の実施の形態として示したフレーム体３０も、第２フレーム体７の第２外周嵌合部１４に外周接着剤充填部を構成する多数個の外周接着剤充填部３１を形成するとともに、第２内周嵌合部１５に内周接着剤充填部を構成する多数個の内周接着剤充填部３２を形成した基本的な構成を上述したホルダ１と同様とするが、これら外周接着剤充填部３１と内周接着剤充填部３２の具体的な構造に特徴がある。フレーム体３０は、その他の構成を上述したホルダ１と同様とすることから対応する部位には同一符号を付して説明を省略する。
【００２８】
第２フレーム体７には、第２外周嵌合部１４に周方向に所定の間隔を以って周方向の長さ寸法が高さ方向の寸法よりも大きい楕円形状の貫通孔からなる外周接着剤充填部３１が形成される。第２フレーム体７には、第２内周嵌合部１５にも周方向に所定の間隔を以って周方向の長さ寸法が高さ方向の寸法よりも大きい楕円形状の貫通孔からなる内周接着剤充填部３２が形成される。
第２フレーム体７は、上述したよう素材に外形抜きプレス加工を施してリング状の中間体を形成するが、その際に後工程の絞り工程において第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５を立ち上がり形成する外周縁部と内周縁部に沿った領域にそれぞれ外周接着剤充填部３１と内周接着剤充填部３２を構成する多数個の長孔を周方向に並んで打ち抜き形成する。第２フレーム体７は、中間体に絞り加工を施して第２主面部１３の外周縁部と内周縁部に沿って立ち上がる第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５を一体に形成するが、これら第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５に外周接着剤充填部３１と内周接着剤充填部３２が開口する。
【００２９】
外周接着剤充填部３１と内周接着剤充填部３２は、それぞれ楕円形状の長孔に形成されることから、第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５を形成する絞り工程時において各孔のコーナ部における応力集中を緩和する。外周接着剤充填部３１と内周接着剤充填部３２は、第１フレーム体６側の相対する第１外周嵌合部１０及び第１内周嵌合部１１に対して大きな開口寸法を以って対向する。なお、第２フレーム体７は、第２外周嵌合部１４及び第２内周嵌合部１５に対して、外周接着剤充填部３１と内周接着剤充填部３２が高さ位置を異にして形成するようにしてもよい。
【００３０】
フレーム体３０も、第１フレーム体６に予め接着剤１７が塗布された状態で第２フレーム体７の組み合わせが行われる。第１フレーム体６には、図４に示すように第１主面部９に対して、第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１の立ち上がり部位に跨ってそれぞれ所定量の接着剤１７が予め塗布される。フレーム体３も、第１フレーム体６に対して第２フレーム体７が、第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａに沿って第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａを嵌合して、第１主面部９の内面９Ａに第２外周嵌合部１４の先端部を突き当てる。フレーム体３は、第１フレーム体６に対して第２フレーム体７が、第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａに沿って第２内周嵌合部１５の外側面１５Ａを嵌合して、第１主面部９の内面９Ａに第２内周嵌合部１５の先端部を突き当てる。
フレーム体３においても、第１フレーム体６に予め塗布された接着剤１７が、相対嵌合される第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａと第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａとの間及び第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａと第２内周嵌合部１５の外側面１５Ａとの間にそれぞれ拡がる。フレーム体３においても、接着剤１７が、第２外周嵌合部１４に形成した外周接着剤充填部３１と第２内周嵌合部１５に形成した内周接着剤充填部３２内に充填されてそれぞれの内面側へと回り込む。フレーム体３においても、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、上述した外周接着剤充填部３１と内周接着剤充填部３２を楕円形状の長孔に形成したことより、内外周において多くの接触面積と充填量を以って接着剤１７により接合される。フレーム体３においては、第１フレーム体６と第２フレーム体７がより強固に一体化される。
【００３１】
第３の実施の形態として示したホルダ１は、上述した金属薄板を素材にして形成した第１フレーム体６に対して合成樹脂素材により成形した第２フレーム体４１を組み合わせて内部空間部８を有するリング状のフレーム体４０を構成する。ホルダ１も、フレーム体４０に中央開口部４を閉塞するようにしてダイシングフィルム５を貼り付けてウェーハ収納空間部を構成してなる。第２フレーム体４１は、導電性を付与するために導電材を含有した合成樹脂材料、例えば特許文献２に記載されたＰＰＳ、ＰＡ、ＰＥＳ、ＰＥＥＫ、ＰＣ或いはＰＢＴ等の熱可塑性合成樹脂材が用いられて成形される。
【００３２】
第２フレーム体４１も、基本的な構成を上述した第２フレーム体７と同様とし、第２主面部４２の外周縁と内周縁に沿って相対向する環状立壁からなる第２外周嵌合部４３と第２内周嵌合部４４が同心円状に一体に立ち上がり形成されてなる。第２フレーム体４１には、第２主面部４２に、第２外周嵌合部４３と第２内周嵌合部４４との間に位置して全周に亘って立ち上がる同心円状の環状立壁からなる補強凸部４５が一体に形成される。第２フレーム体４１は、第２外周嵌合部４３と第２内周嵌合部４４と補強凸部４５により断面がほぼ下向き山形のリング体として形成される。
第２フレーム体４１は、合成樹脂材料により成形することから上述した金属製の第２フレーム体７と比較して材料の機械的強度特性がやや小さいことがある。したがって、第２フレーム体４１は、第２主面部４２、第２外周嵌合部４３、第２内周嵌合部４４及び補強凸部４５がそれぞれの厚み寸法を金属製の第２フレーム体７の対応する各部と比較してやや大きな所定の厚みを有して形成される。しかしながら、第２フレーム体４１は、かかる構造によっても材料特性により大きな重量となることはなく、内部空間部８を有する構造により軽量化が図られる。
【００３３】
第２フレーム体４１は、第２主面部４２が、第１フレーム体６の第１主面部９に対して第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１の厚み分小径とされた外径を有して所定の厚みを以って形成される。第２フレーム体４１は、第２外周嵌合部４３及び第２内周嵌合部４４が、それぞれ第１フレーム体６の第２外周嵌合部１０と第２内周嵌合部１１に対して第１主面部９の厚み分小さい高さ寸法を以って第２主面部４２の外周縁と内周縁に沿って立ち上がり形成される。第２フレーム体４１は、第２外周嵌合部４３と第２内周嵌合部４４が、第２嵌合部４６を構成する。
第２フレーム体４１は、補強凸部４５も、第２外周嵌合部４３及び第２内周嵌合部４４とほぼ同等の高さ寸法を以って第２主面部４２の内面に立ち上がり形成される。なお、第２フレーム体４１にも、図示を省略するが第１フレーム体６側の係合部１Ａ、１Ｂ、１Ｃの対応部位を直線状の立壁として形成するとともに位置決め用凹部１Ｄ、１Ｅの対応部位を内周側に凹む立壁として形成する。
第２フレーム体４１には、第２外周嵌合部４３の先端部に、周方向に並んで外周接着剤充填部を構成する多数個の外周接着剤充填凹部４７が形成される。第２フレーム体４１には、第２内周嵌合部４４の先端部に、周方向に並んで内周接着剤充填部を構成する多数個の内周接着剤充填凹部４８が形成される。第２フレーム体４１には、補強凸部４５の先端部に、周方向に並んで中央接着剤充填部を構成する多数個の中央接着剤充填凹部４９が形成される。
【００３４】
外周接着剤充填凹部４７は、図６に示すように第２外周嵌合部４３に、先端部と外側面４３Ａとに開口して内側面側に底壁４７Ａが残された高さ方向の凹部として形成される。外周接着剤充填凹部４７は、開口寸法や個数が、第２外周嵌合部４３の厚み寸法、接着剤１７の種類や粘度等の条件に応じて適宜設定されて第２外周嵌合部４３に形成される。第２フレーム体４１は、合成樹脂材料を素材として成形することから、金属材を素材とする上述した第２フレーム体７と比較して、かかる底付き凹部からなる外周接着剤充填凹部４７であっても簡易な工程により第２外周嵌合部４３に形成することが可能である。
内周接着剤充填凹部４８も、図６に示すように第２内周嵌合部４４に、先端部と外側面４４Ａとに開口して内側面側に底壁４８Ａが残された高さ方向の凹部として形成される。内周接着剤充填凹部４８も、開口寸法や個数が、第２内周嵌合部４４の厚み寸法、接着剤１７の種類や粘度等の条件に応じて適宜設定されて第２外周嵌合部４３に形成される。
【００３５】
中央接着剤充填凹部４９も、図６に示すように補強凸部４５の先端部に開口する厚み方向に貫通する高さ方向の開口部として形成される。中央接着剤充填凹部４９も、開口寸法や個数が、補強凸部４５の厚み寸法、接着剤１７の種類や粘度等の条件に応じて適宜設定されて補強凸部４５に形成される。
なお、外周接着剤充填凹部４７と内周接着剤充填凹部４８は、上述したように外周接着剤充填凹部４７と内周接着剤充填凹部４８を底壁付きの凹部として第２外周嵌合部４３と第２内周嵌合部４４に形成したが、かかる形状に限定されず例えば厚み方向に貫通する凹溝であってもよい。外周接着剤充填凹部４７と内周接着剤充填凹部４８及び中央接着剤充填凹部４９は、第２外周嵌合部４３と第２内周嵌合部４４及び補強凸部４５に対して互いに対向するようにして形成する必要も無い。
【００３６】
フレーム体４０も、第１フレーム体６に予め接着剤１７が塗布された状態で第２フレーム体４１の組み合わせが行われる。第１フレーム体６には、図５及び図６に示すように第１主面部９に対して、第２フレーム体４１側の第２外周嵌合部４３と第２内周嵌合部４４の先端部がそれぞれ対向する第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１の立ち上がり部位に跨がるようにしてそれぞれ所定量の接着剤１７が予め塗布される。第１フレーム体６には、第１主面部９の内面９Ａに対して、補強凸部４５の先端部が対向する部位に所定量の接着剤１７が予め塗布される。
フレーム体４０も、第１フレーム体６に対して第２フレーム体４１が、第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａに沿って第２外周嵌合部４３の外側面４３Ａを嵌合して、第１主面部９の内面９Ａに第２外周嵌合部４３の先端部を突き当てる。フレーム体４０も、第１フレーム体６に対して第２フレーム体４１が、第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａに沿って第２内周嵌合部４４の外側面４４Ａを嵌合して、第１主面部９の内面９Ａに第２内周嵌合部４４の先端部を突き当てる。フレーム体４０は、第１フレーム体６に対して第２フレーム体４１が、第１主面部９の内面９Ａに補強凸部４５の先端部を突き当てる。
【００３７】
フレーム体４０においても、上述したように第１フレーム体６に予め塗布された接着剤１７が、第２フレーム体４１の先端部を突き当てた第２外周嵌合部４３と第２内周嵌合部４４及び補強凸部４５により押し拡げられる。フレーム体４０においても、第１フレーム体６と第２フレーム体４１とに対して、相対嵌合される第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａと第２外周嵌合部４３の外側面４３Ａとの間及び第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａと第２内周嵌合部４４の外側面４４Ａとの間に拡がるとともに、補強凸部４５の先端部に沿って拡がる。
フレーム体４０においては、接着剤１７が、第２フレーム体４１に対して、第２外周嵌合部４３に形成した外周接着剤充填凹部４７と第２内周嵌合部４４に形成した内周接着剤充填凹部４８内にそれぞれ充填される。フレーム体４０においては、接着剤１７が、外周接着剤充填凹部４７と内周接着剤充填凹部４８を底壁付き凹部として形成したことによりそれぞれ内側に溢れ出ることなく、第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａと第２外周嵌合部４３の外側面４３Ａとの間及び第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａと第２内周嵌合部４４の外側面４４Ａとの間に沿って拡がる。フレーム体４０においては、第１フレーム体６と第２フレーム体４１が、内外周において多くの接触面積と充填量を以って接着剤１７により接合される。フレーム体３においては、第１フレーム体６と第２フレーム体７がより強固に一体化される。
【００３８】
フレーム体４０においては、第２フレーム体４１に補強凸部４５を一体に形成し、第１フレーム体６に第２フレーム体４１を組み合わせる際に先端部を第１フレーム体６の第１主面部９の内面９Ａに対して接着剤１７により接合されるようにする。フレーム体４０においては、補強凸部４５が、一体に化した第１外周嵌合部１０と第２外周嵌合部４３及び第１内周嵌合部１１と第２内周嵌合部４４との間において同心円を構成して第１フレーム体６の第１主面部９の内面９Ａに結合される。フレーム体４０においては、これにより第１フレーム体６と第２フレーム体４１が、機械的強度を保持されて一体化されるとともに第１主面部９と第２主面部４２の対向間隔が保持される。
なお、フレーム体４０は、上述したように第２フレーム体４１に１つの環状補強凸部４５を一体に形成したが、複数の環状補強凸部を一体に形成することも可能である。
なお、本発明は、図面を参照して説明した上述した各実施の形態に限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲及びその要旨を逸脱することなく、様々な変更、置換或いは同等に構成されることは当業者にとって明らかである。
【符号の説明】
【００３９】
１ ホルダ、２ ウェーハ、３ フレーム体、４ 中央開口部（ウェーハ収納空間部）、５ ダイシングフィルム（ウェーハ保持体）、６ 第１フレーム体、７ 第２フレーム体、８ 内部空間部、９ 第１主面部、１０ 第１外周嵌合部、１１ 第１内周嵌合部、１２ 第１嵌合部、１３ 第２主面部、１４ 第２外周嵌合部、１５ 第２内周嵌合部、１６ 第２嵌合部、１７ 接着剤、１８ コア体、１９ 外周接着剤充填部、２０ 内周接着剤充填部、３０ フレーム体、３１ 外周接着剤充填部、３２ 内周接着剤充填部、４０ フレーム体、４１ 第２フレーム体、４２ 第１主面部、４３ 第２外周嵌合部、４４ 第２内周嵌合部、４５ 補強凸部、４６ 第２嵌合部、４７ 外周接着剤充填凹部、４８ 内周接着剤充填凹部、４９ 中央接着剤充填凹部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程に用いられて半導体ウェーハやガラス基板ウェーハ等（以下、ウェーハと総称する。）を保持するウェーハ用ホルダ（以下、ホルダと略称する。）に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程等においては、ウェーハ製造元から供給されたウェーハを１枚ずつ保持して各工程間の搬送或いは保管等を行う際に保持治具としてホルダ（テープフレーム）が用いられる（例えば、特許文献１を参照）。ホルダは、主面上に多数の集積回路形成を行い、導通試験やバックグラインド処理を施したウェーハを保持し、検査工程やチップ形成のためのダイシング工程における保持治具としても用いられる。
ホルダは、金属材料によりリング状に形成されたフレーム体と、このフレーム体の開口部を閉塞して着脱自在に貼り付けられる樹脂フィルムとから構成され、樹脂フィルム上にウェーハを載置して周囲をフレーム体により保護する。ホルダについては、半導体技術に関するスタンダード・仕様・ガイドラインについて日欧米を中心として規格化が図られたＳＥＭＩ規格にも「テープフレーム」として規格化が図られており、このＳＥＭＩ規格に適合する仕様により製造される。ホルダは、例えばフレーム幅１／３位置において３０Ｎの負荷を作用させてもフレーム体に変形等が生じない機械的剛性を有すること等の仕様が規定される。
なお、ホルダについては、軽量化を図るために補強用添加剤を含有させた合成樹脂材により成形したものも提案されている（例えば、特許文献２を参照）。合成樹脂製ホルダについても、上述したＳＥＭＩ規格に適合する仕様を以って製造される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−６５１２９公報
【特許文献２】特開２００１−７０５６公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ホルダは、上述した所定の規格仕様を満たすために、フレーム体が一般にある程度の厚み寸法、例えば１．５ｍｍ厚のステンレス板や鋼板等の金属板を素材として形成される。ホルダは、ウェーハの大口径化に伴ってフレーム体も大型となり、所定の規格仕様を満たす機械的剛性を得るために板厚の大きな金属素材を用いてフレーム体製作が行われる。ホルダは、このために材料費コストがアップするとともに、重量も大きくなるといった問題があった。
ところで、ホルダは、特許文献１にも記載されるようにそれぞれにウェーハを収納した状態で整列収納構造を有する収納容器内に多数個が収納され、運搬やセット等の作業が行われる。収納容器は、全体として大きな重量となるために、その取り扱いに際して作業者に大きな負担を負わせるとともに、各ホルダを取り出してダイシングマシーンにセットする等の作業性を低下させるといった問題があった。
【０００５】
特許文献１には、上下一対のリング状金属薄板と、これら金属薄板により挟持されて接着剤により固定された中空金属球、発泡金属、メッシュメタル、或いはエキスパンドメタルのいずれかからなるコア材とから構成されるウェーハ用フレーム体が記載されている。ウェーハ用フレーム体は、金属薄板と軽量コア体の積層体により構成することで、軽量化とともにねじれや曲げ等に対する強度向上が図られる。かかるウェーハ用フレーム体は、大径のウェーハ用として大型に形成されても軽量化を図って所定の規格仕様を満たすことが可能である。
上述した特許文献１に記載のウェーハ用フレーム体においては、上下一対のリング状金属薄板間に全周に亘ってコア体を均一な状態で配置するとともにこれらを均一に接合する作業が極めて面倒で効率が悪いために、材料コストを低減しても全体のコスト低減を図ることが困難である。ウェーハ用フレーム体は、例えば使用後に洗浄処理を施した場合にコア体間に洗浄水が浸入して乾きが悪く、また残留した洗浄水により金属薄板に錆が発生しやすく、さらに内部に埃等を溜めて保持したウェーハに付着させる等の問題がある。
【０００６】
上述した特許文献２に記載の合成樹脂製ウェーハ用フレーム体は、金属製ウェーハ用フレーム体と比較してある程度の軽量化が図られるが、大径のウェーハ用として大型に形成される場合には所定の機械的強度を付与するために全体の厚みが大きくなる。合成樹脂製ウェーハ用フレーム体は、厚みが大きくなるにしたがって部分的な成形歪みが生じ易くなり、ウェーハを安定した状態で保持することが困難となる。
したがって、本発明は、ウェーハを確実に保護する充分な機械的剛性を保持しながら軽量化や低コスト化或いは作業性の向上を図り、大口径ウェーハ用としても好適に用いることが可能なウェーハ用ホルダを提供することを目的に提案されたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した目的を達成する本発明にかかるウェーハ用ホルダは、第１フレーム体と、第２フレーム体と、ウェーハ保持体とから構成される。ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体が、例えばステンレス薄板やメッキ処理を施した薄鋼板等の金属薄板を素材とし、第１主面部の外周縁に沿って全周に亘り立ち上がる一体の環状立壁として形成された第１外周嵌合部と、内周縁に沿って全周に亘り第１外周嵌合部と相対向して立ち上がる一体の環状立壁として形成された第１内周嵌合部とからなる第１嵌合部を有し、全体が中央開口部を有するリング状のチャンネル体として形成される。ウェーハ用ホルダは、第２フレーム体が、例えばステンレス薄板やメッキ処理を施した薄鋼板等の金属薄板或いは導電材を含有した合成樹脂材を素材とし、第２主面部の外周縁に沿って全周に亘り立ち上がり第１外周嵌合部の内径よりもやや小径とされた一体の環状立壁として形成された第２外周嵌合部と、内周縁に沿って全周に亘り第２外周嵌合部と相対向して立ち上がり第１内周嵌合部の内径よりもやや大径とされた一体の環状立壁として形成された第２内周嵌合部とからなる第２嵌合部を有し、第２外周嵌合部の第１外周嵌合部との対向部位及び第２内周嵌合部の第１内周嵌合部との対向部位にそれぞれ周方向に並んで多数個の外周接着剤充填部及び内周接着剤充填部が形成され、全体が中央開口部を有するリング状のチャンネル体として形成される。ウェーハ用ホルダは、ウェーハ保持体が、例えば表面に粘着剤を塗布した導電性樹脂フィルムを素材とし、第１フレーム体の第１主面部とほぼ同径にダイシング用ホルダとして用いられる場合に、樹脂フィルムが用いられて第１フレーム体の第１主面部とほぼ同径に形成される。
【０００８】
ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体に対して第２フレーム体が、第１外周嵌合部の内側面に沿って第２外周嵌合部の外側面を嵌合するとともに第１内周嵌合部の内側面に沿って第２内周嵌合部の外側面を嵌合して、第１嵌合部内に第２嵌合部を嵌合する組み合わせが行われる。ウェーハ用ホルダは、例えば第１フレーム体の第２フレーム体側の第２内周嵌合部と相対する部位に予め接着剤が塗布される。ウェーハ用ホルダは、第１嵌合部内に第２嵌合部を嵌合することにより、接着剤が相対する嵌合面間に拡がるとともに外周接着剤充填部及び内周接着剤充填部内に充填される。ウェーハ用ホルダは、接着剤が硬化することにより第１フレーム体と第２フレーム体が強固に一体化され、内部に全周に亘って空間部を有する全体がリング状のフレーム体を構成する。ウェーハ用ホルダは、第１フレーム体の底面に中央開口部を閉塞するようにしてウェーハ保持体の外周部位を貼り付けて、リング状のフレーム体により外周を取り囲んだウェーハ収納空間部を構成する。ウェーハ用ホルダは、ウェーハ収納空間部内にウェーハを収納してウェーハ保持体により保持し、運搬・搬送等の取り扱いが行われるようにし、またウェーハ収納空間部内に収納した状態でウェーハを所定の大きさに裁断するダイシング工程が施されるようにする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のように構成された本発明にかかるウェーハ用ホルダは、中央開口部を有するリング状のチャンネル体からなる第１フレーム体と第２フレーム体が第１嵌合部内に第２嵌合部を嵌合して一体化することにより内部空間部を有して軽量化とともにコスト低減を図ったリング状のフレーム体を構成する。ウェーハ用ホルダは、相対する部位に予め塗布した接着剤がそれぞれの相対する嵌合面間に拡がるとともに外周接着剤充填部及び内周接着剤充填部内にも充填されて硬化することにより、第１フレーム体と第２フレーム体が全周に亘って強固に一体化されウェーハを確実に保持する大きな機械的剛性を有する。ウェーハ用ホルダによれば、大口径ウェーハ用にも好適に用いられ、作業性の向上を図って半導体の生産効率を向上させる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態として示すウェーハ用ホルダの平面図である。
【図２】同ウェーハ用ホルダの要部断面図である。
【図３】同ウェーハ用ホルダの組立操作を説明する要部分解斜視図である。
【図４】第２の実施の形態として示すフレーム体の組立操作を説明する要部分解斜視図である。
【図５】第３の実施の形態として示すフレーム体の組立操作を説明する要部分解斜視図である。
【図６】同フレーム体の要部分解断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態として示すウェーハ用ホルダ（以下、ホルダと略称する。）１について図面を参照して詳細に説明する。ホルダ１は、主面上に多数の集積回路形成を行ったウェーハ２を保持し、検査工程やチップ形成のためのダイシング工程等を施すために用いるＳＥＭＩ規格に適合する仕様を有するダイシング用ホルダである。なお、ホルダ１は、半導体製造工程において、１枚のウェーハ２を保持し、単独或いは収納容器内に収納されて各工程間の搬送或いは保管等を行う際の保持治具としても用いられる。
ホルダ１は、図１に示すようにウェーハ２の外径よりも大径の中央開口部４を有するリング状のフレーム体３と、このフレーム体３に対して中央開口部４を閉塞して着脱されるウェーハ保持体、すなわちダイシングフィルム５とから構成される。ホルダ１は、ダイシングフィルム５により底面側を閉塞された中央開口部４が、フレーム体３により周囲を囲まれたウェーハ収納空間部を構成する。ホルダ１は、ウェーハ２を、中央開口部４内においてダイシングフィルム５上に保持するとともにフレーム体３により外周部を取り囲んで保護する。なお、ホルダ１は、ダイシング用ホルダであることから、ウェーハ保持体として詳細を後述するダイシングフィルム５が着脱されるが、他の用途に用いるホルダである場合には所定のウェーハ保持体が着脱される。
【００１２】
ホルダ１は、例えば直径３００ｍｍのウェーハ２の保持用として用いられ、ウェーハ２を中央開口部４内に収納してダイシングフィルム５上に保持する。ホルダ１は、中央開口部４の内径、すなわちフレーム体３の口径が３５０ｍｍであり、フレーム体３の外径が４００ｍｍに形成される。したがって、ホルダ１は、フレーム体３が、全周に亘って５０ｍｍ／２、すなわち２５ｍｍ幅のリング体として形成される。ホルダ１は、ダイシングフィルム５が、例えば厚みが約０．３ｍｍ程度のポリプロピレン或いはＰＥＴのフィルム材を基材としてその表面に例えばアクリル系粘着接着剤が塗布される。
ダイシング用ホルダであるホルダ１には、ＳＥＭＩ規格に適合する仕様として、図１に示すように収納容器内に位置決め収納するためにフレーム体３の外周部に互いに９０°の間隔を以って３箇所に直線部位からなる係合部１Ａ、１Ｂ、１Ｃが形成される。ホルダ１には、中央の係合部１Ｂと対向する外周部側に位置して中心軸を挟む対称位置に、ダイシングマシーン側の位置決めピンが相対係合する一対の位置決め用凹部（ノッチ）１Ｄ、１Ｅが形成されている。
ホルダ１は、フレーム体３が、共同して中央開口部４を構成する第１中央開口部６Ａ、第２中央開口部７Ａを有する詳細を後述するリング状の第１フレーム体（下フレーム体）６と第２フレーム体（上フレーム体）７を一体に組み合わせて構成される。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、それぞれ後述するようにチャンネル形状のリング状部材からなる。フレーム体３は、第１フレーム体６が第２フレーム体７よりもやや大径に形成され、相対する開口部を突き合わせるように組み合わされることにより密閉された環状空間部からなる内部空間部８を構成して一体化される。フレーム体３は、底面部にダイシングフィルム５を貼り付けるとともに内部空間部８内に補強用かつ高さ調整用のリング状コア体１８を結合してホルダ１を構成する。
【００１３】
フレーム体３は、後述するように第１フレーム体６と第２フレーム体７が、例えばステンレス薄板や無電解ニッケルメッキ処理等を施した薄鋼板等の約０．２ｍｍ厚の金属薄板を素材として形成される。フレーム体３は、かかる金属薄板を素材として内部空間部８を有する中空部材として構成されることにより、重さが約１２０ｇである。したがって、フレーム体３は、厚みが１．５ｍｍの金属板を素材として形成した重さが約３００ｇの従来品と比較して大幅な軽量化が図られる。フレーム体３は、素材コストが低減されるとともにプレス金型或いは工程も簡易化されて製作されることにより、コスト低減が図られる。フレーム体３は、後述する構造から従来品と同等の機械的剛性を有する。
フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、それぞれ同一素材の金属薄板に対して、リング状の中間体を形成する外形抜きプレス加工と、中間体に対してその外内周縁に沿って立壁部を一体に立ち上がり形成する絞り加工を施して形成される。なお、フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７の製作工程が、かかる工程に限定されないことは勿論である。
【００１４】
すなわち、第１フレーム体６は、素材に対してフレーム体３の幅寸法よりもやや大きな幅寸法を有するリング状の中間体を形成する外形抜き加工や、この中間体の外周縁及び内周縁に沿って全周に亘り立壁部位を一体に立ち上がり形成する絞り加工を施してチャンネル形状のリング状部材として形成される。第１フレーム体６は、図２及び図３に示すようにリング状の第１主面部９の外周縁に沿って第１外周嵌合部１０を一体に立設するとともに、内周縁に沿って第１内周嵌合部１１を一体に立設する。第１フレーム体６は、これら同心円状の第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１が第１嵌合部１２を構成する。
第１フレーム体６は、第１外周嵌合部１０が、第１主面部９の外周縁に沿って全周に亘って立ち上がる一体の環状立壁からなり、例えば立ち上がり寸法が約１．５ｍｍに形成される。なお、第１フレーム体６は、第１外周嵌合部１０が、上述した係合部１Ａ、１Ｂ、１Ｃの対応部位を直線状の立壁として形成されるとともに位置決め用凹部１Ｄ、１Ｅの対応部位を内周側に凹む立壁として形成される。
第１フレーム体６は、第１内周嵌合部１１が、第１主面部９の内周縁に沿って全周に亘って立ち上がり第１外周嵌合部１０と全周に亘って対向することにより同心円をなす一体の環状立壁からなる。第１フレーム体６は、第１内周嵌合部１１も、第１外周嵌合部１０と同等の立ち上がり寸法を有し、例えば約１．５ｍｍに形成される。第１フレーム体６は、このように第１主面部９の外内周縁に沿って相対する第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１を一体に立ち上がり形成することにより、上述したように断面が上向きコ字状を呈するチャンネル形状のリング状部材として形成される。
【００１５】
第２フレーム体７も、素材に対して第１フレーム体６の中間体よりも板厚分小さな外形寸法を有するリング状の中間体を形成する外形抜き加工を施し、この中間体の外周縁及び内周縁に沿って立壁部を一体に立ち上がり形成する絞り加工を施してチャンネル形状のリング状部材として形成される。第２フレーム体７も、図２及び図３に示すように第２主面部１３の外周縁に沿った第２外周嵌合部１４と内周縁に沿った第２内周嵌合部１５を一体に形成してなる。第２フレーム体７は、これら同心円状の第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５により第２嵌合部１６を構成する。
第２フレーム体７も、第２外周嵌合部１４が、第２主面部１３の外周縁に沿って全周に亘って立ち上がる一体の環状立壁からなる。第２フレーム体７は、第２外周嵌合部１４が、外周面の外径を第１フレーム体６側の第１外周嵌合部１０の内周面の外径とほぼ等しくなるように全体がやや小径に形成される。第２フレーム体７は、後述するように第１フレーム体６に対して第２外周嵌合部１４を第１主面部９の内面に突き合わせて組み付けられるとともに接着剤１７により接合されて密閉された内部空間部８を構成することから、この第２外周嵌合部１４が立ち上がり寸法を例えば約１．３ｍｍに形成される。なお、第２フレーム体７も、第１フレーム体６側と同様に係合部１Ａ、１Ｂ、１Ｃの対応部位を直線状の立壁として形成するとともに位置決め用凹部１Ｄ、１Ｅの対応部位を内周側に凹む立壁として形成する。
【００１６】
第２フレーム体７も、第２内周嵌合部１５が、第２主面部１３の内周縁に沿って全周に亘って立ち上がり、第２外周嵌合部１４と全周に亘って対向することにより同心円をなす一体の環状立壁として形成される。第２フレーム体７は、第２内周嵌合部１５が、外周面の外径を第１フレーム体６側の第１内周嵌合部１１の内周面の外径とほぼ等しくなるようにして形成される。第２フレーム体７も、第２内周嵌合部１５が立ち上がり寸法を例えば約１．３ｍｍに形成される。第２フレーム体７も、このように第２主面部１３の外内周縁に沿って相対する第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５を一体に立ち上がり形成することにより、上述したように断面が下向きコ字状を呈するチャンネル形状のリング状部材として形成される。
第２フレーム体７には、図２及び図３に示すように、第２嵌合部１６を構成する第２外周嵌合部１４に接着剤１７が流れ込む多数個の外周接着剤充填部１９が形成されるとともに、第２内周嵌合部１５にも多数個の内周接着剤充填部２０が形成される。第２フレーム体７は、上述したように第２嵌合部１６が第１フレーム体６の第１嵌合部１２内に嵌合され、第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５の先端部が第１主面部９の内面９Ａにそれぞれ突き当てられる。
【００１７】
外周接着剤充填部１９は、第２外周嵌合部１４の先端縁に、周方向に所定の間隔を以って並んで形成された多数個の切欠き部により構成される。外周接着剤充填部１９は、それぞれが周方向に所定の切り欠き幅を有するとともに、所定の高さを以って第２外周嵌合部１４に切り欠き形成される。外周接着剤充填部１９は、切り欠き寸法や個数が、接着剤１７の種類や粘度等の条件に応じて適宜設定されて第２外周嵌合部１４に形成される。
内周接着剤充填部２０も、第２内周嵌合部１５の先端縁に、周方向に所定の間隔を以って並んで形成された多数個の切欠き部により構成される。内周接着剤充填部２０も、それぞれが周方向に所定の切り欠き幅を有するとともに、所定の高さを以って第２内周嵌合部１５に切り欠き形成される。内周接着剤充填部２０も、切り欠き寸法や個数が、接着剤１７の種類や粘度等の条件に応じて適宜設定されて第２内周嵌合部１５に形成される。
【００１８】
第２フレーム体７は、上述したように金属薄板素材からリング状の中間体を形成する外形抜き加工とこの中間体に第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５を形成する絞り加工を施して製作される。第２フレーム体７は、外形抜き加工を施す際に外周縁と内周縁を櫛歯状に打ち抜き、外周縁と内周縁に沿って絞り加工を施すことにより第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５の先端部にそれぞれ外周接着剤充填部１９と内周接着剤充填部２０を形成する。
外周接着剤充填部１９及び内周接着剤充填部２０は、第２フレーム体７を金属薄板素材に対して外形抜き加工と絞り加工を施して製作することから、高さ方向の内壁部位を直角のコーナ部として形成した場合に応力が集中してクラック等が発生する虞がある。したがって、外周接着剤充填部１９及び内周接着剤充填部２０は、コーナ部における応力集中を緩和するために、図３に示すようにそれぞれが高さ方向の内壁を円弧状に形成される。
【００１９】
フレーム体３は、上述した第１フレーム体６に対して第２フレーム体７が、図３矢印で示すように第１嵌合部１２に第２嵌合部１６を全周に亘って嵌合することにより組み合わされる。フレーム体３は、第１フレーム体６に対して第２フレーム体７が、図２に示すように第１フレーム体６側の第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａに沿って第２フレーム体７側の第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａが嵌合される。フレーム体３は、第１フレーム体６側の第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａに沿って第２フレーム体７側の第２内周嵌合部１５の外側面１５Ａが嵌合される。フレーム体３は、これにより第１フレーム体６の第１中央開口部６Ａと第２フレーム体７の第２中央開口部７Ａが共同して中央開口部４を構成し、全体がリング状となる。
フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が第１嵌合部１２と第２嵌合部１６を組み合わせた状態で、図２に示すように第２フレーム体７側の第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５がそれぞれの先端部を第１フレーム体６側の第１主面部９の内面９Ａに突き合わされる。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、第１フレーム体６の第１外周嵌合部１０及び第１内周嵌合部１１の先端部と、第２フレーム体７側の第２主面部１３がほぼ同一面を構成して組み合わされる。
【００２０】
フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、図２に示すように外周部において嵌合された第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａと第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａとの間に充填した接着剤１７により結合される。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、内周部において嵌合された第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａと第２内周嵌合部１５の外側面１５Ａとの間に充填した接着剤１７により一体に結合される。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、突き合わされた第１主面部９の内面９Ａと第２外周嵌合部１４及び第２内周嵌合部１５の先端部との間に充填した接着剤１７により一体に結合される。
フレーム体３は、図３に示すように第１フレーム体６に予め接着剤１７が塗布された状態で第２フレーム体７の組み合わせが行われる。接着剤１７には、例えばアクリル系接着剤やエポキシ系接着剤等の、比較的粘度の大きい室温硬化型或いは加熱硬化型接着剤の金属用接着剤が用いられる。接着剤１７は、同図に示すように第１フレーム体６の第１主面部９の内面９Ａと第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａ及び第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａにそれぞれ跨るようにして塗布される。
フレーム体３は、上述したように第１フレーム体６と第２フレーム体７が、第１嵌合部１２内に第２嵌合部１６を嵌合することにより内部空間部８を構成して一体化される。フレーム体３は、第１フレーム体６に対して第２フレーム体７が、第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａに沿って第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａが嵌合され、第１主面部９の内面９Ａに第２外周嵌合部１４の先端部が突き当てられる。フレーム体３は、第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａに沿って第２内周嵌合部１５の外側面１５Ａが嵌合され、第１主面部９の内面９Ａに第２内周嵌合部１５の先端部が突き当てられる。
【００２１】
第１フレーム体６に予め塗布された接着剤１７は、図２に示すように相対嵌合される第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａと第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａとの間及び第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａと第２内周嵌合部１５の外側面１５Ａとの間にそれぞれ拡がる。接着剤１７は、外周接着剤充填部１９と内周接着剤充填部２０内に充填されて、第２外周嵌合部１４及び第２内周嵌合部１５の内面側にも回り込む。
接着剤１７は、接合対象物に対して接触面積や充填量が多くなるにしたがい、接合対象物間に大きな接合強度を生じさせる。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、上述した外周接着剤充填部１９と内周接着剤充填部２０の構成により内外周において多くの接触面積と充填量を以って接着剤１７により接合されることにより強固に一体化される。フレーム体３は、第２外周嵌合部１４及び第２内周嵌合部１５の内面側に回り込んだ接着剤１７が硬化することにより、一種の楔作用を奏して第１フレーム体６と第２フレーム体７をより強固に一体化する。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、略密閉空間部を構成する内部空間部８内において接合されることから、接着剤１７が流れ出してウェーハ２を汚損させる等の不都合が生じることは無い。
【００２２】
フレーム体３は、上述したように第１フレーム体６と第２フレーム体７が、内部空間部８を構成して一体化される。フレーム体３は、第１フレーム体６と第２フレーム体７の上述した組み合わせ構造により、第１フレーム体６側の第１外周嵌合部１０及び第１内周嵌合部１１の高さ寸法１．５ｍｍが全体の厚み寸法となる。フレーム体３は、図２に示すように結合された第１フレーム体６側の第１外周嵌合部１０と第２フレーム体７側の第２外周嵌合部１４が共同して、厚みが０．４ｍｍの外周壁部を構成する。フレーム体３は、結合された第１フレーム体６側の第１内周嵌合部１１と第２フレーム体７側の第２内周嵌合部１５が共同して、厚みが０．４ｍｍの内周壁部を構成する。
フレーム体３は、第１フレーム体６側の第１主面部９を底面部とし、第２フレーム体７側の第２主面部１３を天井部として、内部に内部空間部８を構成してなる。フレーム体３は、全体の幅が２５ｍｍ、高さが１．５ｍｍであり、平坦性を有して変形や歪み等の発生を防止した機械的剛性の大きなフレーム体を構成する。フレーム体３は、中空構造であり厚み寸法の小さな金属板を素材として形成することにより、軽量化が図られる。
フレーム体３には、図１乃至図３に示すように、内部空間部８内に第１フレーム体６の第１主面部９と第２フレーム体７の第２主面部１３の対向間隔を保持するリング状のコア体１８が設けられる。フレーム体３は、上述した第１フレーム体６と第２フレーム体７の組み合わせ構造により充分な機械的剛性を有しているが、コア体１８を設けることにより補強されてさらに機械的剛性の向上が図られる。フレーム体３は、例えば３０Ｎの偏倚荷重を１分間に亘って負荷しても変形や歪み発生が生じることはなく、ＳＥＭＩ規格に適合する仕様を有してウェーハ２を確実に保持する軽量のホルダ１を構成する。
【００２３】
コア体１８は、素材として例えば亜鉛メッキを施した薄厚鋼板が用いられ、この素材に外形抜きプレス加工を施して、横長矩形の断面形状を有して第２フレーム体７の第２外周嵌合部１４よりも小径でありかつ第２内周嵌合部１５よりも大径のリング体として形成される。コア体１８は、後述するように内部空間部８内において第１フレーム体６と第２フレーム体７とに結合されるが、内部空間部８のほぼ中央部に配置される外径であることが好ましい。
コア体１８は、厚み寸法が内部空間部８の高さ寸法（１．１ｍｍ）よりもやや薄厚の１ｍｍであり、幅寸法が約３ｍｍに形成される。コア体１８は、かかる寸法値に限定されないことは勿論であるが、大きな幅寸法とした場合にフレーム体３の重量を大きくし、また小さな幅寸法とした場合にフレーム体３の補強作用が低下する。コア体１８は、上述した厚み寸法により内部空間部８を構成する第１フレーム体６の第１主面部９と第２フレーム体７の第２主面部１３との間において約０．１ｍｍの間隙が生じるが、図２に示すようにこの間隙に接着剤１７が充填されるようにする。
【００２４】
コア体１８は、図２及び図３に示すように例えば第１フレーム体６に対して第１主面部９の内面９Ａ上に接合される。コア体１８は、第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１と同心円を構成して第１フレーム体６の第１主面部９の内面９Ａに底面を結合される。コア体１８は、第１フレーム体６に対して第２フレーム体７が組み合わされることにより、第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５と同心円を構成して第２フレーム体７の第２主面部１３の内面１３Ａに上面を結合される。コア体１８は、これにより第１フレーム体６の第１主面部９と第２フレーム体７の第２主面部１３の対向間隔を保持する。
なお、コア体１８は、底面を第１フレーム体６の第１主面部９に結合するとともに上面を第２フレーム体７の第２主面部１３に結合するようにしたが、第１フレーム体６と第２フレーム体７がしっかりと固定されることから、例えば底面のみを第１フレーム体６側と固定し第２フレーム体７の第２主面部１３を支えるようにしてもよい。コア体１８は、上述した第１フレーム体６と第２フレーム体７の組み合わせ工程に先行して、第１フレーム体６の第１主面部９に接合固定される。
【００２５】
以上のように構成されたフレーム体３には、図２に示すように第１フレーム体６の第１主面部９の底面９Ｂにダイシングフィルム５が貼り付けられホルダ１を構成する。ダイシングフィルム５は、フレーム体３の外径よりもやや小径であり、接着剤として粘着性接着剤を用いることにより外周部位を第１主面部９の底面９Ｂに対して着脱される。ダイシングフィルム５は、第１フレーム体６に貼り付けることにより、図１に示すように中央開口部４の底面部を閉塞してフレーム体３により周囲を囲まれたウェーハ収納空間部を構成する。ダイシングフィルム５は、詳細を省略するがウェーハ収納空間部の構成領域において上面にウェーハ２を保持する粘着剤が塗布される。
【００２６】
ホルダ１においては、フレーム体３が、上述したようにそれぞれ従来品よりも薄厚であり低コスト化と加工性の向上が図られる金属薄板を素材として簡易なプレス加工を施して第１フレーム体６と第２フレーム体７を形成する。ホルダ１は、フレーム体３が、第１フレーム体６と第２フレーム体７を組み合わせて内部を中空とする内部空間部８を有して構成することから軽量化が図られる。ホルダ１は、第２フレーム体７に外周接着剤充填部１９と内周接着剤充填部２０を形成した構造により、第１フレーム体６と第２フレーム体７を接着剤１７により強固に一体化する。ホルダ１は、フレーム体３の内部空間部８内に補強部材のコア体１８を設けたことによってさらに大きな機械的剛性を有する。
ホルダ１は、フレーム体３の中央開口部４により構成されるウェーハ収納空間部内にウェーハ２を収納してダイシングフィルム５上に保持する。ホルダ１は、ウェーハ２を収納保持した状態で運搬・搬送等の取り扱いを行い、ウェーハ２を所定の大きさに裁断するダイシング工程が施されるようにする。ホルダ１は、大きな機械的剛性を有するフレーム体３によりウェーハ２の周囲を取り囲んで確実に保護する。ホルダ１は、上述したように材料や工程のコスト低減が図られて廉価であり、大幅な軽量化が図られるも対曲げ特性や対捻れ特性が大きい充分な機械的剛性を有するフレーム体３を備えることにより、大口径のウェーハであっても大量かつ確実に処理することを可能とする。
【００２７】
上述したホルダ１においては、第２外周嵌合部１４の先端部に外周接着剤充填部１９を形成するとともに第２内周嵌合部１５の先端部に内周接着剤充填部２０を形成し、第１フレーム体６と第２フレーム体７が接着剤１７によって強固に一体化されるようにする。本発明は、かかる構成に限定されないことは勿論である。図４に第２の実施の形態として示したフレーム体３０も、第２フレーム体７の第２外周嵌合部１４に外周接着剤充填部を構成する多数個の外周接着剤充填部３１を形成するとともに、第２内周嵌合部１５に内周接着剤充填部を構成する多数個の内周接着剤充填部３２を形成した基本的な構成を上述したホルダ１と同様とするが、これら外周接着剤充填部３１と内周接着剤充填部３２の具体的な構造に特徴がある。フレーム体３０は、その他の構成を上述したホルダ１と同様とすることから対応する部位には同一符号を付して説明を省略する。
【００２８】
第２フレーム体７には、第２外周嵌合部１４に周方向に所定の間隔を以って周方向の長さ寸法が高さ方向の寸法よりも大きい楕円形状の貫通孔からなる外周接着剤充填部３１が形成される。第２フレーム体７には、第２内周嵌合部１５にも周方向に所定の間隔を以って周方向の長さ寸法が高さ方向の寸法よりも大きい楕円形状の貫通孔からなる内周接着剤充填部３２が形成される。
第２フレーム体７は、上述したよう素材に外形抜きプレス加工を施してリング状の中間体を形成するが、その際に後工程の絞り工程において第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５を立ち上がり形成する外周縁部と内周縁部に沿った領域にそれぞれ外周接着剤充填部３１と内周接着剤充填部３２を構成する多数個の長孔を周方向に並んで打ち抜き形成する。第２フレーム体７は、中間体に絞り加工を施して第２主面部１３の外周縁部と内周縁部に沿って立ち上がる第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５を一体に形成するが、これら第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５に外周接着剤充填部３１と内周接着剤充填部３２が開口する。
【００２９】
外周接着剤充填部３１と内周接着剤充填部３２は、それぞれ楕円形状の長孔に形成されることから、第２外周嵌合部１４と第２内周嵌合部１５を形成する絞り工程時において各孔のコーナ部における応力集中を緩和する。外周接着剤充填部３１と内周接着剤充填部３２は、第１フレーム体６側の相対する第１外周嵌合部１０及び第１内周嵌合部１１に対して大きな開口寸法を以って対向する。なお、第２フレーム体７は、第２外周嵌合部１４及び第２内周嵌合部１５に対して、外周接着剤充填部３１と内周接着剤充填部３２が高さ位置を異にして形成するようにしてもよい。
【００３０】
フレーム体３０も、第１フレーム体６に予め接着剤１７が塗布された状態で第２フレーム体７の組み合わせが行われる。第１フレーム体６には、図４に示すように第１主面部９に対して、第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１の立ち上がり部位に跨ってそれぞれ所定量の接着剤１７が予め塗布される。フレーム体３も、第１フレーム体６に対して第２フレーム体７が、第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａに沿って第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａを嵌合して、第１主面部９の内面９Ａに第２外周嵌合部１４の先端部を突き当てる。フレーム体３は、第１フレーム体６に対して第２フレーム体７が、第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａに沿って第２内周嵌合部１５の外側面１５Ａを嵌合して、第１主面部９の内面９Ａに第２内周嵌合部１５の先端部を突き当てる。
フレーム体３においても、第１フレーム体６に予め塗布された接着剤１７が、相対嵌合される第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａと第２外周嵌合部１４の外側面１４Ａとの間及び第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａと第２内周嵌合部１５の外側面１５Ａとの間にそれぞれ拡がる。フレーム体３においても、接着剤１７が、第２外周嵌合部１４に形成した外周接着剤充填部３１と第２内周嵌合部１５に形成した内周接着剤充填部３２内に充填されてそれぞれの内面側へと回り込む。フレーム体３においても、第１フレーム体６と第２フレーム体７が、上述した外周接着剤充填部３１と内周接着剤充填部３２を楕円形状の長孔に形成したことより、内外周において多くの接触面積と充填量を以って接着剤１７により接合される。フレーム体３においては、第１フレーム体６と第２フレーム体７がより強固に一体化される。
【００３１】
第３の実施の形態として示したホルダ１は、上述した金属薄板を素材にして形成した第１フレーム体６に対して合成樹脂素材により成形した第２フレーム体４１を組み合わせて内部空間部８を有するリング状のフレーム体４０を構成する。ホルダ１も、フレーム体４０に中央開口部４を閉塞するようにしてダイシングフィルム５を貼り付けてウェーハ収納空間部を構成してなる。第２フレーム体４１は、導電性を付与するために導電材を含有した合成樹脂材料、例えば特許文献２に記載されたＰＰＳ、ＰＡ、ＰＥＳ、ＰＥＥＫ、ＰＣ或いはＰＢＴ等の熱可塑性合成樹脂材が用いられて成形される。
【００３２】
第２フレーム体４１も、基本的な構成を上述した第２フレーム体７と同様とし、第２主面部４２の外周縁と内周縁に沿って相対向する環状立壁からなる第２外周嵌合部４３と第２内周嵌合部４４が同心円状に一体に立ち上がり形成されてなる。第２フレーム体４１には、第２主面部４２に、第２外周嵌合部４３と第２内周嵌合部４４との間に位置して全周に亘って立ち上がる同心円状の環状立壁からなる補強凸部４５が一体に形成される。第２フレーム体４１は、第２外周嵌合部４３と第２内周嵌合部４４と補強凸部４５により断面がほぼ下向き山形のリング体として形成される。
第２フレーム体４１は、合成樹脂材料により成形することから上述した金属製の第２フレーム体７と比較して材料の機械的強度特性がやや小さいことがある。したがって、第２フレーム体４１は、第２主面部４２、第２外周嵌合部４３、第２内周嵌合部４４及び補強凸部４５がそれぞれの厚み寸法を金属製の第２フレーム体７の対応する各部と比較してやや大きな所定の厚みを有して形成される。しかしながら、第２フレーム体４１は、かかる構造によっても材料特性により大きな重量となることはなく、内部空間部８を有する構造により軽量化が図られる。
【００３３】
第２フレーム体４１は、第２主面部４２が、第１フレーム体６の第１主面部９に対して第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１の厚み分小径とされた外径を有して所定の厚みを以って形成される。第２フレーム体４１は、第２外周嵌合部４３及び第２内周嵌合部４４が、それぞれ第１フレーム体６の第２外周嵌合部１０と第２内周嵌合部１１に対して第１主面部９の厚み分小さい高さ寸法を以って第２主面部４２の外周縁と内周縁に沿って立ち上がり形成される。第２フレーム体４１は、第２外周嵌合部４３と第２内周嵌合部４４が、第２嵌合部４６を構成する。
第２フレーム体４１は、補強凸部４５も、第２外周嵌合部４３及び第２内周嵌合部４４とほぼ同等の高さ寸法を以って第２主面部４２の内面に立ち上がり形成される。なお、第２フレーム体４１にも、図示を省略するが第１フレーム体６側の係合部１Ａ、１Ｂ、１Ｃの対応部位を直線状の立壁として形成するとともに位置決め用凹部１Ｄ、１Ｅの対応部位を内周側に凹む立壁として形成する。
第２フレーム体４１には、第２外周嵌合部４３の先端部に、周方向に並んで外周接着剤充填部を構成する多数個の外周接着剤充填凹部４７が形成される。第２フレーム体４１には、第２内周嵌合部４４の先端部に、周方向に並んで内周接着剤充填部を構成する多数個の内周接着剤充填凹部４８が形成される。第２フレーム体４１には、補強凸部４５の先端部に、周方向に並んで中央接着剤充填部を構成する多数個の中央接着剤充填凹部４９が形成される。
【００３４】
外周接着剤充填凹部４７は、図６に示すように第２外周嵌合部４３に、先端部と外側面４３Ａとに開口して内側面側に底壁４７Ａが残された高さ方向の凹部として形成される。外周接着剤充填凹部４７は、開口寸法や個数が、第２外周嵌合部４３の厚み寸法、接着剤１７の種類や粘度等の条件に応じて適宜設定されて第２外周嵌合部４３に形成される。第２フレーム体４１は、合成樹脂材料を素材として成形することから、金属材を素材とする上述した第２フレーム体７と比較して、かかる底付き凹部からなる外周接着剤充填凹部４７であっても簡易な工程により第２外周嵌合部４３に形成することが可能である。
内周接着剤充填凹部４８も、図６に示すように第２内周嵌合部４４に、先端部と外側面４４Ａとに開口して内側面側に底壁４８Ａが残された高さ方向の凹部として形成される。内周接着剤充填凹部４８も、開口寸法や個数が、第２内周嵌合部４４の厚み寸法、接着剤１７の種類や粘度等の条件に応じて適宜設定されて第２外周嵌合部４３に形成される。
【００３５】
中央接着剤充填凹部４９も、図６に示すように補強凸部４５の先端部に開口する厚み方向に貫通する高さ方向の開口部として形成される。中央接着剤充填凹部４９も、開口寸法や個数が、補強凸部４５の厚み寸法、接着剤１７の種類や粘度等の条件に応じて適宜設定されて補強凸部４５に形成される。
なお、外周接着剤充填凹部４７と内周接着剤充填凹部４８は、上述したように外周接着剤充填凹部４７と内周接着剤充填凹部４８を底壁付きの凹部として第２外周嵌合部４３と第２内周嵌合部４４に形成したが、かかる形状に限定されず例えば厚み方向に貫通する凹溝であってもよい。外周接着剤充填凹部４７と内周接着剤充填凹部４８及び中央接着剤充填凹部４９は、第２外周嵌合部４３と第２内周嵌合部４４及び補強凸部４５に対して互いに対向するようにして形成する必要も無い。
【００３６】
フレーム体４０も、第１フレーム体６に予め接着剤１７が塗布された状態で第２フレーム体４１の組み合わせが行われる。第１フレーム体６には、図５及び図６に示すように第１主面部９に対して、第２フレーム体４１側の第２外周嵌合部４３と第２内周嵌合部４４の先端部がそれぞれ対向する第１外周嵌合部１０と第１内周嵌合部１１の立ち上がり部位に跨がるようにしてそれぞれ所定量の接着剤１７が予め塗布される。第１フレーム体６には、第１主面部９の内面９Ａに対して、補強凸部４５の先端部が対向する部位に所定量の接着剤１７が予め塗布される。
フレーム体４０も、第１フレーム体６に対して第２フレーム体４１が、第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａに沿って第２外周嵌合部４３の外側面４３Ａを嵌合して、第１主面部９の内面９Ａに第２外周嵌合部４３の先端部を突き当てる。フレーム体４０も、第１フレーム体６に対して第２フレーム体４１が、第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａに沿って第２内周嵌合部４４の外側面４４Ａを嵌合して、第１主面部９の内面９Ａに第２内周嵌合部４４の先端部を突き当てる。フレーム体４０は、第１フレーム体６に対して第２フレーム体４１が、第１主面部９の内面９Ａに補強凸部４５の先端部を突き当てる。
【００３７】
フレーム体４０においても、上述したように第１フレーム体６に予め塗布された接着剤１７が、第２フレーム体４１の先端部を突き当てた第２外周嵌合部４３と第２内周嵌合部４４及び補強凸部４５により押し拡げられる。フレーム体４０においても、第１フレーム体６と第２フレーム体４１とに対して、相対嵌合される第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａと第２外周嵌合部４３の外側面４３Ａとの間及び第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａと第２内周嵌合部４４の外側面４４Ａとの間に拡がるとともに、補強凸部４５の先端部に沿って拡がる。
フレーム体４０においては、接着剤１７が、第２フレーム体４１に対して、第２外周嵌合部４３に形成した外周接着剤充填凹部４７と第２内周嵌合部４４に形成した内周接着剤充填凹部４８内にそれぞれ充填される。フレーム体４０においては、接着剤１７が、外周接着剤充填凹部４７と内周接着剤充填凹部４８を底壁付き凹部として形成したことによりそれぞれ内側に溢れ出ることなく、第１外周嵌合部１０の内側面１０Ａと第２外周嵌合部４３の外側面４３Ａとの間及び第１内周嵌合部１１の内側面１１Ａと第２内周嵌合部４４の外側面４４Ａとの間に沿って拡がる。フレーム体４０においては、第１フレーム体６と第２フレーム体４１が、内外周において多くの接触面積と充填量を以って接着剤１７により接合される。フレーム体３においては、第１フレーム体６と第２フレーム体７がより強固に一体化される。
【００３８】
フレーム体４０においては、第２フレーム体４１に補強凸部４５を一体に形成し、第１フレーム体６に第２フレーム体４１を組み合わせる際に先端部を第１フレーム体６の第１主面部９の内面９Ａに対して接着剤１７により接合されるようにする。フレーム体４０においては、補強凸部４５が、一体に化した第１外周嵌合部１０と第２外周嵌合部４３及び第１内周嵌合部１１と第２内周嵌合部４４との間において同心円を構成して第１フレーム体６の第１主面部９の内面９Ａに結合される。フレーム体４０においては、これにより第１フレーム体６と第２フレーム体４１が、機械的強度を保持されて一体化されるとともに第１主面部９と第２主面部４２の対向間隔が保持される。
なお、フレーム体４０は、上述したように第２フレーム体４１に１つの環状補強凸部４５を一体に形成したが、複数の環状補強凸部を一体に形成することも可能である。
なお、本発明は、図面を参照して説明した上述した各実施の形態に限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲及びその要旨を逸脱することなく、様々な変更、置換或いは同等に構成されることは当業者にとって明らかである。
【符号の説明】
【００３９】
１ ホルダ、２ ウェーハ、３ フレーム体、４ 中央開口部（ウェーハ収納空間部）、５ ダイシングフィルム（ウェーハ保持体）、６ 第１フレーム体、７ 第２フレーム体、８ 内部空間部、９ 第１主面部、１０ 第１外周嵌合部、１１ 第１内周嵌合部、１２ 第１嵌合部、１３ 第２主面部、１４ 第２外周嵌合部、１５ 第２内周嵌合部、１６ 第２嵌合部、１７ 接着剤、１８ コア体、１９ 外周接着剤充填部、２０ 内周接着剤充填部、３０ フレーム体、３１ 外周接着剤充填部、３２ 内周接着剤充填部、４０ フレーム体、４１ 第２フレーム体、４２ 第１主面部、４３ 第２外周嵌合部、４４ 第２内周嵌合部、４５ 補強凸部、４６ 第２嵌合部、４７ 外周接着剤充填凹部、４８ 内周接着剤充填凹部、４９ 中央接着剤充填凹部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面部の外周縁に沿って全周に亘り立ち上がる一体の環状立壁として形成された第１外周嵌合部と、内周縁に沿って全周に亘り前記第１外周嵌合部と相対向して立ち上がる一体の環状立壁として形成された第１内周嵌合部とからなる第１嵌合部を有し、全体が中央開口部を有するリング状のチャンネル体として形成された第１フレーム体と、
第２主面部の外周縁に沿って全周に亘り立ち上がり前記第１外周嵌合部の内径よりもやや小径とされた一体の環状立壁として形成された第２外周嵌合部と、内周縁に沿って全周に亘り前記第２外周嵌合部と相対向して立ち上がり前記第１内周嵌合部の内径よりもやや大径とされた一体の環状立壁として形成された第２内周嵌合部とからなる第２嵌合部を有し、前記第２外周嵌合部の前記第１外周嵌合部との対向部位及び前記第２内周嵌合部の前記第１内周嵌合部との対向部位にそれぞれ周方向に並んで多数個の外周接着剤充填部及び内周接着剤充填部が形成され、全体が中央開口部を有するリング状のチャンネル体として形成された第２フレーム体と、
前記第１フレーム体の前記第１主面部とほぼ同径に形成され、前記開口部を閉塞して前記第１フレーム体の前記第１主面部に貼り付けられてウェーハ収納空間部を構成するウェーハ保持体
とから構成され、
前記第１フレーム体と前記第２フレーム体が、前記第１外周嵌合部の内側面に前記第２外周嵌合部の外側面を嵌合するとともに前記第１内周嵌合部の内側面に前記第２内周嵌合部の外側面を嵌合する前記第１嵌合部内への前記第２嵌合部の嵌合を行うと、前記第１嵌合部或いは前記第２嵌合部の嵌合部位に塗布した接着剤が前記外周接着剤充填部及び前記内周接着剤充填部内に充填して硬化することにより一体化されて、内部空間部を有するリング状のフレーム体を構成することを特徴とするウェーハ用ホルダ。
【請求項２】
前記外周接着剤充填部及び前記内周接着剤充填部が、前記第１フレーム体の前記第１主面部の内面にそれぞれ突き当てられる前記第２外周嵌合部と前記第２内周嵌合部の先端縁に、周方向に並んで形成された切欠き部として、前記第２フレーム体に形成されることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項３】
前記外周接着剤充填部及び前記内周接着剤充填部が、前記第１フレーム体の前記第１外周嵌合部の内側面及び前記第１内周嵌合部の内側面にそれぞれ嵌合される前記第２外周嵌合部及び前記第２内周嵌合部にそれぞれ周方向に並んで形成された周方向を長軸とした長孔として、前記第２フレーム体に形成されることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項４】
前記第１フレーム体が、リング状の金属薄板を素材とし、外周縁と内周縁に沿って相対向する前記第１外周嵌合部と前記第１内周嵌合部を一体に立ち上がり形成した金属製のフレーム体であり、
前記第２フレーム体が、導電材を含有した合成樹脂材を素材とし、それぞれ多数個の前記外周接着剤充填部及び前記内周接着剤充填部を有して外周縁と内周縁に沿って相対向する前記第２外周嵌合部と前記第２内周嵌合部を一体に立ち上がり形成した合成樹脂製のフレーム体である
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項５】
前記外周接着剤充填部及び前記内周接着剤充填部が、前記第２外周嵌合部と前記第２内周嵌合部に、それぞれ少なくとも外側面側に開口して内側面側に底壁が残された凹部として、前記第２フレーム体に形成されることを特徴とする請求項４に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項６】
前記第２フレーム体には、前記第２主面部の内面に、前記第２外周嵌合部と前記第２内周嵌合部との間において全周に亘って立ち上がる同心円状の環状立壁からなる補強凸部が一体に形成され、
前記第１嵌合部内に前記第２嵌合部を嵌合した状態で、前記補強凸部が前記第１主面部の内面に突き当てられて前記第１主面部と前記第２主面部の対向間隔とを保持する請求項４又は請求項５のいずれか１項に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項７】
前記補強凸部には、先端縁に、周方向に並んだ切欠き部からなる中央接着剤充填部が形成されることを特徴とする請求項６に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項１】
第１主面部の外周縁に沿って全周に亘り立ち上がる一体の環状立壁として形成された第１外周嵌合部と、内周縁に沿って全周に亘り前記第１外周嵌合部と相対向して立ち上がる一体の環状立壁として形成された第１内周嵌合部とからなる第１嵌合部を有し、全体が中央開口部を有するリング状のチャンネル体として形成された第１フレーム体と、
第２主面部の外周縁に沿って全周に亘り立ち上がり前記第１外周嵌合部の内径よりもやや小径とされた一体の環状立壁として形成された第２外周嵌合部と、内周縁に沿って全周に亘り前記第２外周嵌合部と相対向して立ち上がり前記第１内周嵌合部の内径よりもやや大径とされた一体の環状立壁として形成された第２内周嵌合部とからなる第２嵌合部を有し、前記第２外周嵌合部の前記第１外周嵌合部との対向部位及び前記第２内周嵌合部の前記第１内周嵌合部との対向部位にそれぞれ周方向に並んで多数個の外周接着剤充填部及び内周接着剤充填部が形成され、全体が中央開口部を有するリング状のチャンネル体として形成された第２フレーム体と、
前記第１フレーム体の前記第１主面部とほぼ同径に形成され、前記開口部を閉塞して前記第１フレーム体の前記第１主面部に貼り付けられてウェーハ収納空間部を構成するウェーハ保持体
とから構成され、
前記第１フレーム体と前記第２フレーム体が、前記第１外周嵌合部の内側面に前記第２外周嵌合部の外側面を嵌合するとともに前記第１内周嵌合部の内側面に前記第２内周嵌合部の外側面を嵌合する前記第１嵌合部内への前記第２嵌合部の嵌合を行うと、前記第１嵌合部或いは前記第２嵌合部の嵌合部位に塗布した接着剤が前記外周接着剤充填部及び前記内周接着剤充填部内に充填して硬化することにより一体化されて、内部空間部を有するリング状のフレーム体を構成することを特徴とするウェーハ用ホルダ。
【請求項２】
前記外周接着剤充填部及び前記内周接着剤充填部が、前記第１フレーム体の前記第１主面部の内面にそれぞれ突き当てられる前記第２外周嵌合部と前記第２内周嵌合部の先端縁に、周方向に並んで形成された切欠き部として、前記第２フレーム体に形成されることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項３】
前記外周接着剤充填部及び前記内周接着剤充填部が、前記第１フレーム体の前記第１外周嵌合部の内側面及び前記第１内周嵌合部の内側面にそれぞれ嵌合される前記第２外周嵌合部及び前記第２内周嵌合部にそれぞれ周方向に並んで形成された周方向を長軸とした長孔として、前記第２フレーム体に形成されることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項４】
前記第１フレーム体が、リング状の金属薄板を素材とし、外周縁と内周縁に沿って相対向する前記第１外周嵌合部と前記第１内周嵌合部を一体に立ち上がり形成した金属製のフレーム体であり、
前記第２フレーム体が、導電材を含有した合成樹脂材を素材とし、それぞれ多数個の前記外周接着剤充填部及び前記内周接着剤充填部を有して外周縁と内周縁に沿って相対向する前記第２外周嵌合部と前記第２内周嵌合部を一体に立ち上がり形成した合成樹脂製のフレーム体である
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項５】
前記外周接着剤充填部及び前記内周接着剤充填部が、前記第２外周嵌合部と前記第２内周嵌合部に、それぞれ少なくとも外側面側に開口して内側面側に底壁が残された凹部として、前記第２フレーム体に形成されることを特徴とする請求項４に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項６】
前記第２フレーム体には、前記第２主面部の内面に、前記第２外周嵌合部と前記第２内周嵌合部との間において全周に亘って立ち上がる同心円状の環状立壁からなる補強凸部が一体に形成され、
前記第１嵌合部内に前記第２嵌合部を嵌合した状態で、前記補強凸部が前記第１主面部の内面に突き当てられて前記第１主面部と前記第２主面部の対向間隔とを保持する請求項４又は請求項５のいずれか１項に記載のウェーハ用ホルダ。
【請求項７】
前記補強凸部には、先端縁に、周方向に並んだ切欠き部からなる中央接着剤充填部が形成されることを特徴とする請求項６に記載のウェーハ用ホルダ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１１−２９４８４（Ｐ２０１１−２９４８４Ａ）
【公開日】平成２３年２月１０日（２０１１．２．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１７５２０６（Ｐ２００９−１７５２０６）
【出願日】平成２１年７月２８日（２００９．７．２８）
【出願人】（３９６０２３７１９）株式会社大川金型設計事務所 (4)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年２月１０日（２０１１．２．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年７月２８日（２００９．７．２８）
【出願人】（３９６０２３７１９）株式会社大川金型設計事務所 (4)
【Ｆターム（参考）】
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