位置保持装置
【課題】本発明は、位置が決まったワークの位置を保持できる位置保持装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る位置保持装置は、ワークを支持する支持部材と、所定の位置に固定された固定部材と、前記支持部材及び前記固定部材の中の一方に固定される第一電磁クラッチと、前記支持部材及び前記固定部材の中の他方に固定され且つ前記第一電磁クラッチに対向される吸着部材と、を備え、前記第一電磁クラッチに通電して前記吸着部材を吸着することによって、前記支持部材が前記固定部材に固定される。
【解決手段】本発明に係る位置保持装置は、ワークを支持する支持部材と、所定の位置に固定された固定部材と、前記支持部材及び前記固定部材の中の一方に固定される第一電磁クラッチと、前記支持部材及び前記固定部材の中の他方に固定され且つ前記第一電磁クラッチに対向される吸着部材と、を備え、前記第一電磁クラッチに通電して前記吸着部材を吸着することによって、前記支持部材が前記固定部材に固定される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置保持装置に関するものである。
【０００２】
液晶表示装置又はタッチパネルの製造過程において、一般的に真空貼合設備を使用して、２枚のガラス板を貼り合せる。真空貼合設備において、通常画像生成システム及びＸ−Ｙ−θの方位における自動位置校正システムを採用して、貼り合せられる２枚のガラス板の位置を精確に校正する。前記校正過程において、Ｘ軸及びＹ軸に沿ってガラス板を移動するだけでなく、θ角方向に沿ってガラス板を転動することにより、前記２枚のガラス板の位置を精確に合わせる。
【０００３】
しかし、従来の真空貼合設備は、後続の作業において、位置を合わせたワークを保持することができず、依然に画像生成システム及びＸ−Ｙ−θの方位における自動位置校正システムを通してワークの位置を決めるので、後続の作業が不便である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
以上の問題点に鑑みて、本発明は、位置が決まったワークの位置を保持できる位置保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記問題を解決するために、本発明に係る位置保持装置は、ワークを支持する支持部材と、所定の位置に固定された固定部材と、前記支持部材及び前記固定部材の中の一方に固定される第一電磁クラッチと、前記支持部材及び前記固定部材の中の他方に固定され且つ前記第一電磁クラッチに対向される吸着部材と、を備え、前記第一電磁クラッチに通電して前記吸着部材を吸着することによって、前記支持部材が前記固定部材に固定される。
【発明の効果】
【０００６】
本発明に係る位置保持装置において、固定部材、第一電磁クラッチ及び吸着部材を設置して、支持部材の位置を校正してから、前記第一電磁クラッチに通電して前記吸着部材を吸着することによって、前記支持部材を、位置が固定されている固定部材に固定し、従って前記支持部材の位置が固定されて、後続の作業が便利になる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の第一実施形態に係る位置保持装置の斜視図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る位置保持装置の分解図である。
【図３】図１に示した位置保持装置のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図４】図３に示した位置保持装置の他の状態を示す図である。
【図５】図１に示した位置保持装置が真空貼合設備に採用される時の断面図である。
【図６】本発明の第二実施形態に係る位置保持装置の構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面に基づいて、本発明に係る位置保持装置について詳細に説明する。
【０００９】
図１及び２を参照すると、本発明の第一実施形態に係る位置保持装置１００は、固定部材１０と、ガイド部材２０と、支持部材３０と、連結部材４０と、第一電磁クラッチ５０と、吸着部材６０と、フレキシブルチューブ７０と、接続部材８０と、第二電磁クラッチ９０と、を備える。
【００１０】
図１乃至図３を参照すると、前記固定部材１０は、固定孔１２及びガイド孔１４が開設されている略板状体である。前記固定孔１２は、前記固定部材１０の一端に位置する。前記固定部材１０は、前記固定孔１２を通して固定物体（例えば、前記位置保持装置１００を採用する真空貼合設備のホルダー）に固定されて、位置が固定される。前記ガイド孔１４は、前記固定部材１０を貫通する階段式孔である。本実施形態において、前記ガイド孔１４の数量は、４つである。各ガイド孔１４の大径部（図示せず）の内側には、ワッシャー１６が設置されている。前記ワッシャー１６には、錐状の貫通孔１６２が開設されている。
【００１１】
前記ガイド部材２０は、円台状のヘッド部２２及び円柱状の軸部２４を備える。前記ヘッド部２２の大径側には、端面２２１を有し、前記端面２２１には、ねじ孔２２３が開設されている。前記軸部２４は、前記ヘッド部２２の小径側に固定されている。前記ヘッド部２２の面取り角度と前記錐状の貫通孔１６２の面取り角度とは、基本的に同じである。本実施形態において、前記ガイド部材２０の数量は、４つである。
【００１２】
前記支持部材３０は、略矩形の板状体であり、且つ支持面３１と、前記支持面３１に開設され且つ前記４つのガイド孔１４にそれぞれ対応した４つのねじ孔３２と、を含む。前記支持面３１には、ワーク又は治具の固定に用いられる複数の装着孔３４がさらに開設されている。
【００１３】
前記連結部材４０は、略柱状体であり、且つ第一連結端４１及び前記第一連結端４１と一定の間隔を有する第二連結端４３を含む。前記第一連結端４１は、前記固定部材１０に固定され、前記第二連結端４３は、前記第一電磁クラッチ５０に固定される。
【００１４】
前記吸着部材６０は、リング状体である。前記吸着部材６０は、鉄系磁性材料からなるか、又は電磁石である。前記吸着部材６０は、前記第一電磁クラッチ５０によって吸着される。
【００１５】
前記フレキシブルチューブ７０は、管体７２と、前記管体７２の両端に位置する接続端７４と、シールリング７６と、を含む。前記シールリング７６は、前記接続端７４の前記管体７２から離れている側に設置される。本実施形態において、前記フレキシブルチューブ７０の数量は、４つである。前記４つのフレキシブルチューブ７０の一端は、皆前記固定部材１０の前記ワッシャー１６から離れている片側に、それぞれ前記４つのガイド孔１４に向かい合うように固定され、前記４つのフレキシブルチューブ７０の他端は、前記接続部材８０に固定される。前記管体７２は、ステンレス材料からなる。
【００１６】
前記接続部材８０は、複数のねじ孔８２が開設されている矩形の板状体である。
【００１７】
前記第二電磁クラッチ９０は、前記接続部材８０を位置校正システム（図示せず）に接続させる。
【００１８】
以下、前記位置保持装置１００の組立てについて説明する。
【００１９】
まず、前記連結部材４０の第一連結端４１を前記固定部材１０の前記ワッシャー１６から離れている片側に固定し、前記連結部材４０の第二連結端４２を前記第一電磁クラッチ５０に固定する。
【００２０】
次に、前記固定部材１０の前記第一電磁クラッチ５０が位置している片側に、前記４つのフレキシブルチューブ７０の１つの接続端をそれぞれ前記４つのガイド孔１４に向い合うように固定する。この時、前記フレキシブルチューブ７０の接続端７４と前記固定部材１０との間に前記シールリング７６が位置しているので、前記フレキシブルチューブ７０の接続端７４と前記固定部材１０との間は、優れた気密性を有する。
【００２１】
次に、ねじ（図示せず）と前記ねじ孔８２とを螺合して前記吸着部材６０を前記接続部材８０に固定してから、前記接続部材８０の前記吸着部材６０が固定されている片側に前記４つのフレキシブルチューブ７０の他の接続端をそれぞれ固定する。
【００２２】
次に、前記接続部材８０の他の片側に第二電磁クラッチ９０を固定する。
【００２３】
次に、前記４つのガイド部材２０の軸部２４を前記ワッシャー１６の錐状の貫通孔１６２に貫通させて、前記４つのガイド部材２０の軸部２４の先端が前記接続部材８０に当接してから、ねじで前記ガイド部材２０の軸部２４の先端を前記接続部材８０に固定する。この時、前記円台状のヘッド部２２は、前記ワッシャー１６の錐状の貫通孔１６２の内に収容される。
【００２４】
最後に、ねじ（図示せず）と前記ねじ孔２２３及び前記ねじ孔３２とを螺合して前記支持部材３０を前記ガイド部材２０に固定する。この時、前記支持部材３０は、前記ガイド部材２０の端面２２１に当接される。
【００２５】
図１、図３及び図４を参照すると、前記位置保持装置を使用する時、前記支持部材３０の支持面３１がＺ軸に垂直となるように前記固定部材１０を固定してから、前記支持部材３０の支持面３１にワーク（図示せず）を固定する。次に、前記第二電磁クラッチ９０を駆動して前記接続部材８０を位置校正システム（図示せず）に接続する。前記位置校正システムは、前記接続部材８０を介して前記支持部材３０のＸ−Ｙ−θの方位における位置校正を行う。前記支持部材３０の微調整による校正によって、前記支持部材３０に固定されているワークの位置が確定する。この時、前記第一電磁クラッチ５０を駆動して、前記接続部材８０が前記位置校正システムを介してＺ軸に沿って前記固定部材１０側へ移動されるようにする。前記接続部材８０の移動において、前記接続部材８０が前記接続部材８０に固定されている吸着部材６０に吸着固定されるまで移動して、前記接続部材８０を前記固定部材１０に固定する。この時、前記ガイド部材２０を介して前記接続部材８０に固定されている前記支持部材３０の位置は改変されない。最後に、前記第二電磁クラッチ９０の電流を切断して、前記接続部材８０を前記位置校正システムから脱離させる。これによって、前記ワークのＸ−Ｙ−θの方位における位置が固定される。
【００２６】
図５を参照すると、前記位置保持装置１００を真空貼合設備（図示せず）に採用する時、前記真空貼合設備の真空密閉カバー２００を、前記位置保持装置１００の支持部材３０をカバーするように前記固定部材１０に設置して、前記支持部材３０に固定されているワークが真空環境に位置するようにする。前記フレキシブルチューブの両端は、それぞれ前記固定部材１０及び前記接続部材８０に緊密に接続されて、外部のガスが前記ガイド孔１４から前記真空密閉カバー２００の内部に進入することを防止する。
【００２７】
前記固定部材１０、前記第一電磁クラッチ５０及び前記吸着部材６０を通して、位置校正された前記支持部材３０を、位置固定されている前記固定部材１０に固定することによって、前記支持部材３０の位置を固定するので、後続の加工が便利になる。前記第二電磁クラッチ９０、前記接続部材８０及び前記ガイド部材２０を通して、前記支持部材３０を前記位置校正システムに接続及び固定する。前記フレキシブルチューブ７０を通して、前記位置保持装置１００を真空貼合設備に採用することができる。
【００２８】
また、前記位置保持装置１００が非真空環境で使用される場合、前記フレキシブルチューブ７０を省略してもよい。
【００２９】
また、グリッパ（Ｇｒｉｐｐｅｒ）のような他の方式で前記接続部材８０を前記位置校正システムに接続する場合、前記第二電磁クラッチ９０を省略してもよい。
【００３０】
また、前記連結部材４０を省略してもよい。この時、前記第一電磁クラッチ５０を前記固定部材１０に直接固定し、且つフレキシブルチューブ７０及び前記ガイド部材２０の長さを調節して、前記第一電磁クラッチ５０と前記吸着部材６０との間の間隔を適合させるようにすればよい。
【００３１】
図６を参照すると、本発明の第二実施形態に係る位置保持装置３００は、固定部材３０１と、前記固定部材３０１と間隔を有する支持部材３０３と、前記固定部材３０１の前記支持部材３０３に対向する側に固定されている第一電磁クラッチ３０５と、前記支持部材３０３の前記固定部材３０１に対向する側に固定されている吸着部材３０６と、を備える。前記吸着部材３０６の前記固定部材３０１に対向する一端と、前記第一電磁クラッチ３０５の前記支持部材３０３に対向する一端とは、互いに当接される。前記位置保持装置３００を使用する時、位置校正システム（図示せず）を前記支持部材３０３に直接接続させて、前記支持部材３０３に対して位置校正を行ってから、前記第一電磁クラッチ３０５に通電して、前記支持部材３０３を前記固定部材３０１に固定する。又は、まず前記第一電磁クラッチ３０５に小さい電流を通電して前記第一電磁クラッチ３０５と前記吸着部材３０６との間に小さい吸着力が発生した状態で前記支持部材３０３の位置を微調整してから、前記第一電磁クラッチ５０に比較的大きい電流を通電して前記第一電磁クラッチ３０５と前記吸着部材３０６との間に比較的大きい吸着力が発生させて、前記支持部材３０３を前記固定部材３０１に固定する。
【００３２】
また、前記第一電磁クラッチ３０５を前記支持部材３０３に固定し、前記吸着部材３０６を前記固定部材３０１に固定することができる。
【００３３】
以上、本発明の好適な実施例について詳細に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変形又は修正が可能であり、該変形又は修正も又、本発明の特許請求の範囲内に含まれるものであることは、いうまでもない。
【符号の説明】
【００３４】
１００，３００ 位置保持装置
１０，３０１ 固定部材
１２ 固定孔
１４ ガイド孔
１６ ワッシャー
１６２ 錐状の貫通孔
２０ ガイド部材
２２ ヘッド部
２２１ 端面
２２３，３２，８２ ねじ孔
２４ 軸部
３０，３０３ 支持部材
３１ 支持面
３４ 装着孔
４０ 連結部材
４１ 第一連結端
４３ 第二連結端
５０，３０５ 第一電磁クラッチ
６０，３０６ 吸着部材
７０ フレキシブルチューブ
７２ 管体
７４ 接続端
７６ シールリング
８０ 接続部材
９０ 第二電磁クラッチ
２００ 真空密閉カバー
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置保持装置に関するものである。
【０００２】
液晶表示装置又はタッチパネルの製造過程において、一般的に真空貼合設備を使用して、２枚のガラス板を貼り合せる。真空貼合設備において、通常画像生成システム及びＸ−Ｙ−θの方位における自動位置校正システムを採用して、貼り合せられる２枚のガラス板の位置を精確に校正する。前記校正過程において、Ｘ軸及びＹ軸に沿ってガラス板を移動するだけでなく、θ角方向に沿ってガラス板を転動することにより、前記２枚のガラス板の位置を精確に合わせる。
【０００３】
しかし、従来の真空貼合設備は、後続の作業において、位置を合わせたワークを保持することができず、依然に画像生成システム及びＸ−Ｙ−θの方位における自動位置校正システムを通してワークの位置を決めるので、後続の作業が不便である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
以上の問題点に鑑みて、本発明は、位置が決まったワークの位置を保持できる位置保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記問題を解決するために、本発明に係る位置保持装置は、ワークを支持する支持部材と、所定の位置に固定された固定部材と、前記支持部材及び前記固定部材の中の一方に固定される第一電磁クラッチと、前記支持部材及び前記固定部材の中の他方に固定され且つ前記第一電磁クラッチに対向される吸着部材と、を備え、前記第一電磁クラッチに通電して前記吸着部材を吸着することによって、前記支持部材が前記固定部材に固定される。
【発明の効果】
【０００６】
本発明に係る位置保持装置において、固定部材、第一電磁クラッチ及び吸着部材を設置して、支持部材の位置を校正してから、前記第一電磁クラッチに通電して前記吸着部材を吸着することによって、前記支持部材を、位置が固定されている固定部材に固定し、従って前記支持部材の位置が固定されて、後続の作業が便利になる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の第一実施形態に係る位置保持装置の斜視図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る位置保持装置の分解図である。
【図３】図１に示した位置保持装置のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図４】図３に示した位置保持装置の他の状態を示す図である。
【図５】図１に示した位置保持装置が真空貼合設備に採用される時の断面図である。
【図６】本発明の第二実施形態に係る位置保持装置の構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面に基づいて、本発明に係る位置保持装置について詳細に説明する。
【０００９】
図１及び２を参照すると、本発明の第一実施形態に係る位置保持装置１００は、固定部材１０と、ガイド部材２０と、支持部材３０と、連結部材４０と、第一電磁クラッチ５０と、吸着部材６０と、フレキシブルチューブ７０と、接続部材８０と、第二電磁クラッチ９０と、を備える。
【００１０】
図１乃至図３を参照すると、前記固定部材１０は、固定孔１２及びガイド孔１４が開設されている略板状体である。前記固定孔１２は、前記固定部材１０の一端に位置する。前記固定部材１０は、前記固定孔１２を通して固定物体（例えば、前記位置保持装置１００を採用する真空貼合設備のホルダー）に固定されて、位置が固定される。前記ガイド孔１４は、前記固定部材１０を貫通する階段式孔である。本実施形態において、前記ガイド孔１４の数量は、４つである。各ガイド孔１４の大径部（図示せず）の内側には、ワッシャー１６が設置されている。前記ワッシャー１６には、錐状の貫通孔１６２が開設されている。
【００１１】
前記ガイド部材２０は、円台状のヘッド部２２及び円柱状の軸部２４を備える。前記ヘッド部２２の大径側には、端面２２１を有し、前記端面２２１には、ねじ孔２２３が開設されている。前記軸部２４は、前記ヘッド部２２の小径側に固定されている。前記ヘッド部２２の面取り角度と前記錐状の貫通孔１６２の面取り角度とは、基本的に同じである。本実施形態において、前記ガイド部材２０の数量は、４つである。
【００１２】
前記支持部材３０は、略矩形の板状体であり、且つ支持面３１と、前記支持面３１に開設され且つ前記４つのガイド孔１４にそれぞれ対応した４つのねじ孔３２と、を含む。前記支持面３１には、ワーク又は治具の固定に用いられる複数の装着孔３４がさらに開設されている。
【００１３】
前記連結部材４０は、略柱状体であり、且つ第一連結端４１及び前記第一連結端４１と一定の間隔を有する第二連結端４３を含む。前記第一連結端４１は、前記固定部材１０に固定され、前記第二連結端４３は、前記第一電磁クラッチ５０に固定される。
【００１４】
前記吸着部材６０は、リング状体である。前記吸着部材６０は、鉄系磁性材料からなるか、又は電磁石である。前記吸着部材６０は、前記第一電磁クラッチ５０によって吸着される。
【００１５】
前記フレキシブルチューブ７０は、管体７２と、前記管体７２の両端に位置する接続端７４と、シールリング７６と、を含む。前記シールリング７６は、前記接続端７４の前記管体７２から離れている側に設置される。本実施形態において、前記フレキシブルチューブ７０の数量は、４つである。前記４つのフレキシブルチューブ７０の一端は、皆前記固定部材１０の前記ワッシャー１６から離れている片側に、それぞれ前記４つのガイド孔１４に向かい合うように固定され、前記４つのフレキシブルチューブ７０の他端は、前記接続部材８０に固定される。前記管体７２は、ステンレス材料からなる。
【００１６】
前記接続部材８０は、複数のねじ孔８２が開設されている矩形の板状体である。
【００１７】
前記第二電磁クラッチ９０は、前記接続部材８０を位置校正システム（図示せず）に接続させる。
【００１８】
以下、前記位置保持装置１００の組立てについて説明する。
【００１９】
まず、前記連結部材４０の第一連結端４１を前記固定部材１０の前記ワッシャー１６から離れている片側に固定し、前記連結部材４０の第二連結端４２を前記第一電磁クラッチ５０に固定する。
【００２０】
次に、前記固定部材１０の前記第一電磁クラッチ５０が位置している片側に、前記４つのフレキシブルチューブ７０の１つの接続端をそれぞれ前記４つのガイド孔１４に向い合うように固定する。この時、前記フレキシブルチューブ７０の接続端７４と前記固定部材１０との間に前記シールリング７６が位置しているので、前記フレキシブルチューブ７０の接続端７４と前記固定部材１０との間は、優れた気密性を有する。
【００２１】
次に、ねじ（図示せず）と前記ねじ孔８２とを螺合して前記吸着部材６０を前記接続部材８０に固定してから、前記接続部材８０の前記吸着部材６０が固定されている片側に前記４つのフレキシブルチューブ７０の他の接続端をそれぞれ固定する。
【００２２】
次に、前記接続部材８０の他の片側に第二電磁クラッチ９０を固定する。
【００２３】
次に、前記４つのガイド部材２０の軸部２４を前記ワッシャー１６の錐状の貫通孔１６２に貫通させて、前記４つのガイド部材２０の軸部２４の先端が前記接続部材８０に当接してから、ねじで前記ガイド部材２０の軸部２４の先端を前記接続部材８０に固定する。この時、前記円台状のヘッド部２２は、前記ワッシャー１６の錐状の貫通孔１６２の内に収容される。
【００２４】
最後に、ねじ（図示せず）と前記ねじ孔２２３及び前記ねじ孔３２とを螺合して前記支持部材３０を前記ガイド部材２０に固定する。この時、前記支持部材３０は、前記ガイド部材２０の端面２２１に当接される。
【００２５】
図１、図３及び図４を参照すると、前記位置保持装置を使用する時、前記支持部材３０の支持面３１がＺ軸に垂直となるように前記固定部材１０を固定してから、前記支持部材３０の支持面３１にワーク（図示せず）を固定する。次に、前記第二電磁クラッチ９０を駆動して前記接続部材８０を位置校正システム（図示せず）に接続する。前記位置校正システムは、前記接続部材８０を介して前記支持部材３０のＸ−Ｙ−θの方位における位置校正を行う。前記支持部材３０の微調整による校正によって、前記支持部材３０に固定されているワークの位置が確定する。この時、前記第一電磁クラッチ５０を駆動して、前記接続部材８０が前記位置校正システムを介してＺ軸に沿って前記固定部材１０側へ移動されるようにする。前記接続部材８０の移動において、前記接続部材８０が前記接続部材８０に固定されている吸着部材６０に吸着固定されるまで移動して、前記接続部材８０を前記固定部材１０に固定する。この時、前記ガイド部材２０を介して前記接続部材８０に固定されている前記支持部材３０の位置は改変されない。最後に、前記第二電磁クラッチ９０の電流を切断して、前記接続部材８０を前記位置校正システムから脱離させる。これによって、前記ワークのＸ−Ｙ−θの方位における位置が固定される。
【００２６】
図５を参照すると、前記位置保持装置１００を真空貼合設備（図示せず）に採用する時、前記真空貼合設備の真空密閉カバー２００を、前記位置保持装置１００の支持部材３０をカバーするように前記固定部材１０に設置して、前記支持部材３０に固定されているワークが真空環境に位置するようにする。前記フレキシブルチューブの両端は、それぞれ前記固定部材１０及び前記接続部材８０に緊密に接続されて、外部のガスが前記ガイド孔１４から前記真空密閉カバー２００の内部に進入することを防止する。
【００２７】
前記固定部材１０、前記第一電磁クラッチ５０及び前記吸着部材６０を通して、位置校正された前記支持部材３０を、位置固定されている前記固定部材１０に固定することによって、前記支持部材３０の位置を固定するので、後続の加工が便利になる。前記第二電磁クラッチ９０、前記接続部材８０及び前記ガイド部材２０を通して、前記支持部材３０を前記位置校正システムに接続及び固定する。前記フレキシブルチューブ７０を通して、前記位置保持装置１００を真空貼合設備に採用することができる。
【００２８】
また、前記位置保持装置１００が非真空環境で使用される場合、前記フレキシブルチューブ７０を省略してもよい。
【００２９】
また、グリッパ（Ｇｒｉｐｐｅｒ）のような他の方式で前記接続部材８０を前記位置校正システムに接続する場合、前記第二電磁クラッチ９０を省略してもよい。
【００３０】
また、前記連結部材４０を省略してもよい。この時、前記第一電磁クラッチ５０を前記固定部材１０に直接固定し、且つフレキシブルチューブ７０及び前記ガイド部材２０の長さを調節して、前記第一電磁クラッチ５０と前記吸着部材６０との間の間隔を適合させるようにすればよい。
【００３１】
図６を参照すると、本発明の第二実施形態に係る位置保持装置３００は、固定部材３０１と、前記固定部材３０１と間隔を有する支持部材３０３と、前記固定部材３０１の前記支持部材３０３に対向する側に固定されている第一電磁クラッチ３０５と、前記支持部材３０３の前記固定部材３０１に対向する側に固定されている吸着部材３０６と、を備える。前記吸着部材３０６の前記固定部材３０１に対向する一端と、前記第一電磁クラッチ３０５の前記支持部材３０３に対向する一端とは、互いに当接される。前記位置保持装置３００を使用する時、位置校正システム（図示せず）を前記支持部材３０３に直接接続させて、前記支持部材３０３に対して位置校正を行ってから、前記第一電磁クラッチ３０５に通電して、前記支持部材３０３を前記固定部材３０１に固定する。又は、まず前記第一電磁クラッチ３０５に小さい電流を通電して前記第一電磁クラッチ３０５と前記吸着部材３０６との間に小さい吸着力が発生した状態で前記支持部材３０３の位置を微調整してから、前記第一電磁クラッチ５０に比較的大きい電流を通電して前記第一電磁クラッチ３０５と前記吸着部材３０６との間に比較的大きい吸着力が発生させて、前記支持部材３０３を前記固定部材３０１に固定する。
【００３２】
また、前記第一電磁クラッチ３０５を前記支持部材３０３に固定し、前記吸着部材３０６を前記固定部材３０１に固定することができる。
【００３３】
以上、本発明の好適な実施例について詳細に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変形又は修正が可能であり、該変形又は修正も又、本発明の特許請求の範囲内に含まれるものであることは、いうまでもない。
【符号の説明】
【００３４】
１００，３００ 位置保持装置
１０，３０１ 固定部材
１２ 固定孔
１４ ガイド孔
１６ ワッシャー
１６２ 錐状の貫通孔
２０ ガイド部材
２２ ヘッド部
２２１ 端面
２２３，３２，８２ ねじ孔
２４ 軸部
３０，３０３ 支持部材
３１ 支持面
３４ 装着孔
４０ 連結部材
４１ 第一連結端
４３ 第二連結端
５０，３０５ 第一電磁クラッチ
６０，３０６ 吸着部材
７０ フレキシブルチューブ
７２ 管体
７４ 接続端
７６ シールリング
８０ 接続部材
９０ 第二電磁クラッチ
２００ 真空密閉カバー
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを支持する支持部材と、
所定の位置に固定された固定部材と、
前記支持部材及び前記固定部材の中の一方に固定される第一電磁クラッチと、
前記支持部材及び前記固定部材の中の他方に固定され且つ前記第一電磁クラッチに対向される吸着部材と、
を備え、
前記第一電磁クラッチに通電して前記吸着部材を吸着することによって、前記支持部材が前記固定部材に固定されることを特徴とする位置保持装置。
【請求項２】
位置保持装置は、接続部材及びガイド部材をさらに備え、
前記固定部材には、ガイド孔が開設され、
前記ガイド部材の一端は、前記支持部材に固定され、前記ガイド部材の他端は、前記ガイド孔を貫いて前記接続部材に固定され、
前記第一電磁クラッチは、前記固定部材の前記接続部材に対向する片側に固定され、
前記吸着部材は、前記第一電磁クラッチに対向するように前記接続部材に固定されることを特徴とする請求項１に記載の位置保持装置。
【請求項３】
位置保持装置は、前記固定部材のガイド孔に収容されるワッシャーをさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の位置保持装置。
【請求項４】
前記ワッシャーには、前記ガイド部材が貫通するための円錘状の貫通孔が開設され、
前記ガイド部材は、ヘッド部及び前記ヘッド部に固定されている軸部を備え、前記ヘッド部は、円錐台状であり、且つ前記ヘッド部材の面取り角度と前記円錐状の貫通孔の面取り角度とが同じであることを特徴とする請求項３に記載の位置保持装置。
【請求項５】
前記位置保持装置は、前記固定部材と前記第一電磁クラッチとの間に設置される連結部材をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の位置保持装置。
【請求項６】
前記位置保持装置は、両端がそれぞれ前記固定部材及び前記接続部材に固定されるフレキシブルチューブをさらに備え、前記フレキシブルチューブは、前記ガイド部材の軸部を囲んで設けられることを特徴とする請求項２に記載の位置保持装置。
【請求項７】
前記フレキシブルチューブは、管体と、前記管体の両端に位置し且つ前記固定部材及び接続部材にそれぞれに固定される２つの接続端と、を含むことを特徴とする請求項６に記載の位置保持装置。
【請求項８】
前記フレキシブルチューブの接続端と前記固定部材及び前記連結部材との間には、全てシールリングが設置されていることを特徴とする請求項７に記載の位置保持装置。
【請求項９】
前記位置保持装置は、前記接続部材の前記吸着部材から離れている側に固定される第二電磁クラッチをさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の位置保持装置。
【請求項１】
ワークを支持する支持部材と、
所定の位置に固定された固定部材と、
前記支持部材及び前記固定部材の中の一方に固定される第一電磁クラッチと、
前記支持部材及び前記固定部材の中の他方に固定され且つ前記第一電磁クラッチに対向される吸着部材と、
を備え、
前記第一電磁クラッチに通電して前記吸着部材を吸着することによって、前記支持部材が前記固定部材に固定されることを特徴とする位置保持装置。
【請求項２】
位置保持装置は、接続部材及びガイド部材をさらに備え、
前記固定部材には、ガイド孔が開設され、
前記ガイド部材の一端は、前記支持部材に固定され、前記ガイド部材の他端は、前記ガイド孔を貫いて前記接続部材に固定され、
前記第一電磁クラッチは、前記固定部材の前記接続部材に対向する片側に固定され、
前記吸着部材は、前記第一電磁クラッチに対向するように前記接続部材に固定されることを特徴とする請求項１に記載の位置保持装置。
【請求項３】
位置保持装置は、前記固定部材のガイド孔に収容されるワッシャーをさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の位置保持装置。
【請求項４】
前記ワッシャーには、前記ガイド部材が貫通するための円錘状の貫通孔が開設され、
前記ガイド部材は、ヘッド部及び前記ヘッド部に固定されている軸部を備え、前記ヘッド部は、円錐台状であり、且つ前記ヘッド部材の面取り角度と前記円錐状の貫通孔の面取り角度とが同じであることを特徴とする請求項３に記載の位置保持装置。
【請求項５】
前記位置保持装置は、前記固定部材と前記第一電磁クラッチとの間に設置される連結部材をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の位置保持装置。
【請求項６】
前記位置保持装置は、両端がそれぞれ前記固定部材及び前記接続部材に固定されるフレキシブルチューブをさらに備え、前記フレキシブルチューブは、前記ガイド部材の軸部を囲んで設けられることを特徴とする請求項２に記載の位置保持装置。
【請求項７】
前記フレキシブルチューブは、管体と、前記管体の両端に位置し且つ前記固定部材及び接続部材にそれぞれに固定される２つの接続端と、を含むことを特徴とする請求項６に記載の位置保持装置。
【請求項８】
前記フレキシブルチューブの接続端と前記固定部材及び前記連結部材との間には、全てシールリングが設置されていることを特徴とする請求項７に記載の位置保持装置。
【請求項９】
前記位置保持装置は、前記接続部材の前記吸着部材から離れている側に固定される第二電磁クラッチをさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の位置保持装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１１−２４９７７３（Ｐ２０１１−２４９７７３Ａ）
【公開日】平成２３年１２月８日（２０１１．１２．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−８８９９３（Ｐ２０１１−８８９９３）
【出願日】平成２３年４月１３日（２０１１．４．１３）
【出願人】（５０３０２３０６９）鴻富錦精密工業（深▲セン▼）有限公司 (399)
【出願人】（５０００８０５４６）鴻海精密工業股▲ふん▼有限公司 (1,018)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１２月８日（２０１１．１２．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年４月１３日（２０１１．４．１３）
【出願人】（５０３０２３０６９）鴻富錦精密工業（深▲セン▼）有限公司 (399)
【出願人】（５０００８０５４６）鴻海精密工業股▲ふん▼有限公司 (1,018)
【Ｆターム（参考）】
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