加圧振動及び噴射造粒による超微粒子
【課題】 １）加圧振動噴射造粒装置で、無粉砕で球状及び鱗片状の超微粒子を得ることができ、２）篩別工程無しに、シャープな球形粒度分布を有する球状超微粒子を得ることができ、３）極めて真円に近似し、粒子径が目的用途により１００ｎｍ〜５００００ｎｍの大きさの球状超微粒子を得ることができ、４）しかも低コストでの工業的生産を可能にする方法を提供する。
【解決手段】 加圧振動噴射造粒装置で、無粉砕で、真円度が０．９〜１．０で粒径が０．０１μｍ〜１０μｍの形態を有することを特徴とする球状超微粒子を提供する。該球状超微粒子は、特殊な貫通孔と貫通孔密度を有する基盤をノズルに用いることにより製造できる。この基盤ノズルには、貫通孔の穴径が０．０５μｍ〜５０μｍで、貫通孔のアスペクト比（穴径と貫通孔の長さの比）が、５〜２００で有し、貫通孔の密度が１００〜７０００個／ｃｍ２の貫通孔密度を有する基盤をノズルに用いる。
【解決手段】 加圧振動噴射造粒装置で、無粉砕で、真円度が０．９〜１．０で粒径が０．０１μｍ〜１０μｍの形態を有することを特徴とする球状超微粒子を提供する。該球状超微粒子は、特殊な貫通孔と貫通孔密度を有する基盤をノズルに用いることにより製造できる。この基盤ノズルには、貫通孔の穴径が０．０５μｍ〜５０μｍで、貫通孔のアスペクト比（穴径と貫通孔の長さの比）が、５〜２００で有し、貫通孔の密度が１００〜７０００個／ｃｍ２の貫通孔密度を有する基盤をノズルに用いる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ニッケル水素電池（Ｎｉ-ｍＨ）のような電池、セラミックコンデンサや電気二重層キャパシタのような電子部品用、医薬用、触媒用等の球状単体金属、球状活性炭、球状多孔質シリカ、プリンター用球状各種トナー等のような球状超微粒子原料を無粉砕で調製可能な微粒子の形状とその製法に関し、又、本発明の応用展開として、無粉砕で薄状、鱗片状の超微粒子の提供も可能にするものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の技術は、球状粒子を形成する原料の融点により製法が異なっている。半田等の金属球状粉末や多孔質シリカゲルの球状粒子は、半田では、２８０℃〜３３０℃の温度で、シリカゲルではアルカリリッチの低軟化点ガラスを７００℃〜９００℃の温度で、耐熱性のスプレーノズルを用いて、雰囲気制御を行い噴霧方式で生産されている。
【０００３】
また、フェノール樹脂の球状粒子は、カネボウ（株）製のベルパールＳや群栄化学工業（株）製のマリリンＨＦ−０５０Ｗが市販されている。これらの製法は、レゾール樹脂とホルマリンのようなアルデヒドを乳化重合する工程で高速回転させ微粒化重合している。しかし、特開２００３−２０３８２９号公報には、これらの粒状粒子の大きさは、３０μｍ〜５００μｍの大きな粒子のため３〜８μｍの実用粒径まで再粉砕してから、電子部品材料に用いられる。また、特開平１１−１３１４では、フェノール樹脂にセルロース誘導体と溶媒を混合させ、相互に層分離させ、フェノール樹脂を硬化させ、その後、溶媒、セルロースを除去する方法が提案されている。この方法は、工程が複雑で、かつ、樹脂の微粒化工程が記載されず、何故、微粒化粒子の形成が可能になるかが明確でない。
このように粒子径が９μｍ以下の超微粒子を無粉砕で、製造する方法は、現在迄に提案及び実用化されていないのが現状である。
【０００４】
現在、市販の活性炭を例に挙げると平均粒径が５〜１０μm粒子で粉砕分級コストは３０％で、３〜５μｍの粒子サイズでは粉砕分級価格が活性炭価格の５０％を占めている。また、活性炭は、非常に活性を有するため粉砕分級工程で雰囲気中のガス成分を吸着したり、表面酸化を受け不活性に成る場合が少なくない。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２０３８２９
【特許文献２】特開平１１−１３１４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
単体金属、合金、ガラス及び有機化合物のような融点を有する物質をその融点以上の温度で、スプレーノズルで微粒化する従来の方法は、物質の物性にも依存するが、通常、量産に成功している粒子径は数ｍｍのものが大部分で、１００μｍ〜５００μｍの粒子径は、実験室レベルが現状である。従って、１０μｍ以下の粒子を無粉砕で量産する方法は未開発であった。また、高温スプレーノズル方法は、ノズルの磨耗と腐食が激しく、製造した粒子径が大きく、粒度分布の分布幅が大きく、設定範囲内の粒度分布を有する粒子を製造することは、篩別機を使用しても、極めて困難であった。特に、１００〜１０００ｎｍオーダーの球状粉粒体は、工業的粉砕機、篩別機ともに未開発の状態である。
また、上記の従来例で、第２、第３物質を用いて、乳化重合時に高速回転し、微粒化粒子を得る方法も工程が複雑で、不純物の除去が困難で、また、粉砕工程を経ないと微粒化は、困難であった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、これらの従来の課題を解決し、以下の特性改善を目標とする。１）無粉砕で球状及び鱗片状の超微粒子を得る。２）篩別工程無しに、シャープな球形粒度分布を有する球状超微粒子を得る。３）極めて真円に近似した球状超微粒子を得る。粒子径が目的用途により、１００ｎｍ〜５００００ｎｍ、４）低コストでの工業的生産を可能にする。
【０００８】
尚、本発明の超微粒子の真円度とは、電子顕微鏡画像上の粒子の投影断面積に等しい円の周長を粒子の投影輪郭長で除した値として定義される。また、真円度の精度上、１００〜１５０個の粒子の計測の平均値を示すものである。
【０００９】
本発明の課題解決の手段として、特殊な貫通孔と貫通孔密度を有する基盤をノズルに用いることを特徴としている。この基盤ノズルは、貫通孔の穴径が０．０５μｍ〜５０μｍで、貫通孔のアスペクト比（穴径と貫通孔の長さの比）が、５〜２００で有し、貫通孔の密度が１００〜７０００個／ｃｍ2の貫通孔密度を有する基盤をノズルに用いる。
【００１０】
本発明では、この多数の貫通孔を有する基盤ノズルを圧電素子やモーター駆動により周期的に微振動させ、粉末原料からなる液状のスラリー状物質を多数の貫通孔を有するノズル開孔部で、定量的に、周期的にスラリーを切断し、球状の液滴とし、その後、乾燥、還元、酸化、熱処理、炭化、活性炭化等の工程を経る製造方法により、無粉砕で、目的の球状超微粒子を得ることができる。
【００１１】
なお、特に、本発明は、単位時間当たりの量産性を高め、品質の向上を図るため加圧下で振動を行い高粘度原料を高速度で噴射造粒を可能にする方法を提案するものである。さらに、本発明は、その工程中、必要に応じて、噴射造粒部に、外部電源を用いてコロナ放電により、印荷（直接または誘導荷電）させ、ノズルから噴出された霧化粒子には、荷電され、粒子相互が再結合しないように構成するのもその特徴の一つである。
【００１２】
すなわち、本発明は、加圧振動及び噴射造粒による超微粒子であって、請求項１の発明は、加圧と振動エネルギーにより、メタルメッシュを介して、噴射造粒したことを特徴としている。
【００１３】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の超微粒子において、無粉砕で、真円度が０．９〜１．０で粒径が０．０１μｍ〜１０μｍの形態を有することを特徴としている。
【００１４】
また、請求項３の発明は、請求項１又は２に記載の超微粒子において、液状の粉末原料を５μｍ以下の多数の貫通孔を有する基盤ノズルを通過させ、液状球形微粒子を経て、無粉砕で、真円度が０．９〜１．０で粒径が０．０１μｍ〜１０μｍの形態を有することを特徴としている。
【００１５】
また、請求項４の発明は、請求項１乃至３のうち、いずれかに記載の超微粒子において、多数の貫通孔を有する基盤ノズルで、貫通孔の穴径が０．０５μｍ〜５０μｍで、貫通孔のアスペクト比が５〜２００で、貫通孔の孔密度が１００〜１７０００個／ｃｍ2の開孔密度を有する基盤をノズルに用いることを特徴としている。
【００１６】
また、請求項５の発明は、請求項１乃至４のうち、いずれかに記載の超微粒子において、多数の貫通孔を有する基盤の材質がニッケル、ニッケル基合金、チタン、タンタルのような弁作用金属及びその合金及び白金族、白金族基合金及び炭素材料で構成することを特徴としている。
【００１７】
また、請求項６の発明は、請求項１乃至５のうち、いずれかに記載の超微粒子において、多数の貫通孔を有する基盤を超音波振動子や圧電素子の動力による定速度振動により、圧送される液状物を均一液状粒子に分断し、液状球状粒子を形成することを特徴としている。
【００１８】
また、請求項７の発明は、請求項１乃至６のうち、いずれかに記載の超微粒子において、定速度振動の効率化を図るため弾性体を介して、多孔体からなるノズルを接合することを特徴としている。
【００１９】
また、請求項８の発明は、請求項１乃至７のうち、いずれかに記載の超微粒子において、前記の弾性体が、金属製ダイヤフラムであることを特徴としている。
【００２０】
また、請求項９の発明は、請求項１乃至８のうち、いずれかに記載の超微粒子において、球状超微粒子が有機物、無機物、セラミックスからなるスラリー状の液状物として、貫通孔を通過させ、その後、所定の粒子に加工することを特徴としている。
【００２１】
また、請求項１０の発明は、請求項１乃至９のうち、いずれかに記載の超微粒子において、上記の無機物、有機物からなる球状の超微粒子を中間体として、炭化、賦活、酸化、還元、脱アルカリ工程などの継続工程を経て、炭素、活性炭、シリカ、ニッケル、白金族のような単体金属の球状超微粒子を形成することを特徴としている。
【００２２】
また、請求項１１の発明は、請求項１乃至１０のうち、いずれかに記載の超微粒子において、有機物が熱硬化性樹脂で、フェノール樹脂、フリフラール樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、エポキシ樹脂、アルキド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂、キシレン樹脂、ウレタン樹脂、アンスラセンピッチ、石油、石炭タールのうち、少なくとも一種であることを特徴としている。
【００２３】
また、請求項１２の発明は、請求項１乃至１１のうち、いずれかに記載の超微粒子において、無機物が水ガラス、粘土、セラミックス質スラリーであることを特徴としている。
【００２４】
また、請求項１３の発明は、請求項９乃至１２のうち、いずれかに記載の超微粒子において、前記のセラミックス質スラリーが、アルミナ、シリカ、コージェライト、ムライト、ジルコニア、シャモット、チタン酸バリウム、ゼオライトのうち、少なくとも一種類を含有することを特徴としている。
【００２５】
また、請求項１４の発明は、請求項９乃至１３のうち、いずれかに記載の超微粒子において、前記のセラミックス質スラリーの粘度が霧化噴出部で、１５０〜３０００ｃｐであることを特徴としている。
【００２６】
また、請求項１５の発明は、請求項１乃至１４のうち、いずれかに記載の超微粒子において、前記貫通孔を有するノズルと大地間に外部電源を用いて印荷させ、ノズルから噴出される霧化粒子にコロナ放電による手段で荷電させ、霧化粒子が交互に再結合することを防止することを特徴としている。
【００２７】
また、請求項１６の発明は、請求項１乃至１５のうち、いずれかに記載の任意の形状を有する超微粒子であって、前記荷電された液状の微粒子が落下し、反応液と反応する溶液に界面活性剤を添加させ、球状粒子を任意の鱗片状、卵形状、球状のように粒子形状を変形させたことを特徴としている。
【００２８】
また、請求項１７の発明は、請求項１乃至１６のうち、いずれかに記載の任意の形状を有する超微粒子であって、貫通孔を有するノズル部を目的用途に応じて、不活性、還元、酸化雰囲気とし、微粒化後に直接、雰囲気制御を行うことを特徴としている。
【発明の効果】
【００２９】
本発明は、本文明細書に記載のように、高粘度原料溶液を用いて、加圧振動及び噴射造粒する製造することより、５０μｍ以下の超微粒子を無粉砕で高効率に工業的に生産可能な方法を提供し、なおかつ、目的用途により、真円度が低い粒子（ディンプル、表面凹凸、突起等）が求められたり、鱗片状の形状が求められる工業的用途にも柔軟に対応可能な工業的生産方法を提供するものである。さらに、本発明が開示する製造方法は、低コストでの工業生産が可能で、来るべき次世代のナノテク時代に最適の材料生産技術を提供可能な工業的価値、極めて大なるものである。
【００３０】
本発明の効果を更に高めるためにメッシュノズル部を弾性体を介して、貯液槽と接合させる。弾性体は、金属性箔体からなるダイヤフラムや耐熱耐薬品性の合成ゴム等で構成するのが好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
本発明で使用する多数の貫通孔を有するノズルの製法は、基本的には電鋳法で生産される。貫通孔の穴径は、０．０５μｍ〜５０μｍが好ましい。０．０５μｍ以下は、量産性が悪く、５μｍ以上では、強度が必要になる。アスペクト比は、５〜２００が好ましい。
アスペクト比が５以下では、真円度が低下する。アスペクト比が２００以上は、ノズルの加工が困難でコスト高となる。工業的量産を配慮するとアスペクト比は、５〜２００が好ましい。また、ノズルの穴密度は、量産効果を勘案すると１００〜７０００個／ｃｍ2が好ましい。
【００３２】
ノズルの基盤の材質は、ニッケル、ニッケル基合金、チタン、タンタルのような弁作用金属及びその合金及び白金族、白金族基合金、炭素材料、ＳｉＣ等で構成することが好ましい。量産性とコストを考慮するとニッケル、ニッケル基合金、チタン、タンタルのような弁作用金属及びその合金及び白金族、白金族基合金、炭素材料等が経済的である。
【００３３】
本発明が応用可能な材料は、有機物、無機物、セラミックス及びこれらのスラリー状の液状物が本発明の原料材料である。これらの諸材料を多数の貫通孔を有するノズルを通過させ、その後、所定の粒子に無粉砕で加工する。
【００３４】
本発明では、これらのスラリー状の液状物をチタン酸バリウムやＰＺＴ等を使用した超音波振動子やモーター駆動で、定速度で、加圧下で圧送されたスラリー状液状物を一定間隔で切断し、超微粒子を形成させる。この工程の高効率化を図る目的で、すなわち、定速度振動の効率化を図るため、弾性体を介して、多孔体からなるノズルを接合することを特徴としている。この弾性体として、金属から成るダイヤフラムを用いることが好ましい。
【００３５】
本発明で、上記のノズルは、外部電源で、４００〜５０００Ｖの電圧でコロナ放電により印荷され、ノズルから定量的に切断された球状粒子は、荷電されているために相互に再結合することなく次の工程である乾燥、焼成、還元、炭化、賦活等の工程に進行する。
【００３６】
本発明で使用する熱硬化性樹脂は、フェノール樹脂、フリフラール樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、エポキシ樹脂、アルキド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂、キシレン樹脂、ウレタン樹脂等の単体または複合化された樹脂を使用する。超微粒子状の炭素を必要とする場合には、フェノール樹脂、フリフラール樹脂等の炭化収率の高いものを選択する。また、抵抗の低い炭素系超微粒子が必要な場合は、石油系タール、石炭系タール、ナフタレンピッチ、アンスラセンピツチを原料に用いる。
【００３７】
これらの液状スラリーの粘度は、１５０〜３０００ｃｐが好ましいが、量産性を勘案すると１５０〜１０００ｃｐが大量生産に適合している。
【００３８】
本発明の主な目的は、球状超微粒子であるが、本発明で、霧化球状粒子を反応させる液層に界面活性剤を添加させる濃度により、球状〜卵状〜鱗片状に任意に形状を変化させることが可能である。この場合の界面活性剤は、非イオン及び両イオン界面活性剤、フッ素系界面活性剤を用いる。
【実施例】
【００３９】
以下、本発明の実施の形態を下記の工程構成図により詳述する。
【００４０】
（実施例１ 本発明の主要工程図）
図１は本発明の加圧振動噴射造粒装置の概念図である。貯液タンク１は、加圧原料導入口２から加圧原料溶液（原料液Ａ）が加圧原料貯液槽３に貯液される。この加圧原料溶液は貯液タンク３に接合された弾性体ダイヤフラム４を通過して、貫通孔メッシュ６で、圧電振動体７の振動エネルギーにより、球状微粒化粒子１０となる。なお、弾性体４は、弾性体接合部５にて、貯液タンク１に固定されている。
【００４１】
圧電振動部７は、電源８から原料溶液の濃度、粘度に応じて、数１００ＫＨｚの電圧が供給される。霧化粒子荷電部９（図２）で、コロナ放電により帯電粒子１１となり、霧化粒子１０が相互に凝集しないように帯電させる。
【００４２】
霧化粒子荷電部９を通過した帯電霧化粒子１１は、反応槽１２に導入され、反応溶液（Ｂ）は反応溶液導入口１３から反応槽１２に導入され、サイクロン式反応槽１４で反応し、反応貯液槽１５に貯液される。この反応液は、パイプ１６と、移送ポンプ１７及び移送パイプ１８で、次の工程に移送される。
【００４３】
反応槽１４はサイクロンの形状でなくても良いがこのような形状は、微粒子の均一化に効果的であつた。その理由は、原料液Ａの微粒子と反応液Ｂとの薄層の膜反応が均一反応を容易にさせるものと考えられる。図１には示されていないが、この後の工程は、先願の工程図のように固体と液体を分離し、固体球状粒子は、濾過工程、乾燥工程を経て、目的の球状超微粒子を得る。
【００４４】
（実施例２）
本発明の荷電部（図１における荷電部９）を図２で荷電方法（絶縁槽の概念図）を詳細に説明する。絶縁体で構成された帯電層２１には電源２２から供給された高圧電源を帯電槽２１に部分埋設された対極２３と、絶縁シールド２４ａで周囲と絶縁され、且つ霧化粒子２５の中央部に設置されたコロナ放電先端部電極２４との間でコロナ放電を行い、霧化粒子２５をマイナスに帯電させる。電源は、原料の種類と粘度により変化するが、通常数１００ＫＶの荷電でコロナ放電を行うのが本発明では安全で、効果的である。
【００４５】
（実施例３）
本発明の主要部のその他の概念図を図３に示す。圧送された原料溶液を、弾性体３５を介して接合された貫通孔を有するメッシュ３４を圧電素子３６の動力で加圧下で振動を与え、霧化し、微粒化を行う。圧電素子３６として、例えば、圧電セラミックス素子を使用することができる。この微粒子に電極２３及び２４によりコロナ放電により霧化粒子２５に帯電させる。尚、電極２３及び２４は、絶縁シールド２３ａ、２４ａで周囲に対してそれぞれ絶縁状態が保たれている。電極２４の先端部は、針状であることが好ましく、針状電極は、コロナ放電を効率的に行い霧化粒子２５の凝集を防止させる。尚、弾性体３５として、有機溶媒耐性を有するゴム及び／或いは金属から構成されるダイヤフラムを使用することができる。
【００４６】
（実施例４）
実施例４では、図１及び図２で示した加圧振動噴射造粒装置を用いて、フェノール樹脂の球状粒子とカーボントナーの球状粒子を製造した。
【００４７】
表１のＮｏ．１〜Ｎｏ．４は、フェノール樹脂原料のレゾール樹脂（Ａ液）の粘度を６０〜５００ｃｐに変化させ、加圧振動噴射造粒による製造試験を行った。ノズルの条件は、５μｍの貫通孔で、穴密度が６０００個/ｃｍ2で、ホルマリン（Ｂ液）で反応させた。常圧（１ｋｇ/ｃｍ2）の条件では、生産量が０〜１５ｇ／１５ｍｉｎであつたが、圧力を２〜５ｋｇ/ｃｍ2に変化させるとほぼ、圧力に比例して、フェノールの球状粒子が３０〜５５０ｇ/１５ｍｉｎの生産量が得られた。得られた球状粒子は、真円度も優れたものであつた。
【００４８】
【表１】
【００４９】
表１のＮｏ．５〜Ｎｏ．８は、黒色のカーボントナーの製造を行った。前記のフェノールの球状粒子を６５０℃で焼成し、炭化収率５０％で、カーボントナー原料を得て、公知のワックス、接着剤、分散剤、溶剤を用いて、トナー原料スラリーを作成し、ノズル条件として、７μｍの貫通孔で、穴密度５０００個/ｃｍ2で製造を行った。粘度は、３００〜１５００ｃｐに変化させ、スラリーの圧力は、１〜５ｋｇ/ｃｍ2の条件で製造した。その結果、常圧では粘度が高く、殆ど、製造出来なかったが、圧力を２〜５ｋｇに昇圧することにより、圧力とスラリー粘度に比例して、１３〜３６５ｇ/１５ｍｉｎの球状トナーを無粉砕で、無分級で得られた。
【００５０】
（実施例５ 銀の球状超微粒子の製造）
原料液Ａとして１５重量％濃度の硝酸銀アンモニア溶液を用い、反応溶液Ｂとして濃度７．５ｇ／ｌが溶液グリオキザール液を用いて、図１の加圧振動噴射造粒装置により、銀の球状超微粒子を製造した。得られた銀粒子は、平均粒径が５０μｍ以下であり、真円度も優れたものであった。
【００５１】
本発明は、本文明細書に記載のように加圧振動噴射造粒装置を用いて、５０μ以下の超微粒子を無粉砕、無分級で高効率に工業的に生産可能な方法を提供し、なおかつ、目的用途により、真円度が低い粒子が求められたり、鱗片状の形状が求められる工業的用途にも柔軟に対応可能な工業的生産方法を提供するものである。さらに、本発明方法は、低コストでの工業生産が可能で、極めて優れた省エネルギー化、炭酸ガスの削減を可能で、来るべき次世代のナノテク時代に最適に材料生産技術を提供可能な工業的価値、極めて大なるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の加圧振動噴射造粒装置の概念図
【図２】本発明のコロナ帯電装置の構成図
【図３】本発明の加圧振動噴射造粒装置の第２の概念図
【符号の説明】
【００５３】
１ 貯液タンク
２ 加圧原料（Ａ液）導入口
３ 加圧原料液タンク
４ 弾性体
５ 弾性体接合部
６ 貫通孔を有する本発明の金属メッシュ
７ 圧電振動体
８ 電源
９ 霧化粒子荷電部
１０ 霧化粒子
１１ 帯電粒子
１２ 反応槽
１３ 反応溶液導入口
１４ サイクロン式反応槽
１５ 反応貯液槽
１６ パイプ
１７ 移送ポンプ
１８ 移送パイプ
２１ 帯電槽
２２ 電源部
２３ 電極２４の対電極（正極）
２３ａ 絶縁シールド
２４ コロナ放電電極（負極）
２４ａ 絶縁シールド
２５ 霧化粒子
３４ 金属メッシュ
３５ 弾性体
３６ 圧電素子
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ニッケル水素電池（Ｎｉ-ｍＨ）のような電池、セラミックコンデンサや電気二重層キャパシタのような電子部品用、医薬用、触媒用等の球状単体金属、球状活性炭、球状多孔質シリカ、プリンター用球状各種トナー等のような球状超微粒子原料を無粉砕で調製可能な微粒子の形状とその製法に関し、又、本発明の応用展開として、無粉砕で薄状、鱗片状の超微粒子の提供も可能にするものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の技術は、球状粒子を形成する原料の融点により製法が異なっている。半田等の金属球状粉末や多孔質シリカゲルの球状粒子は、半田では、２８０℃〜３３０℃の温度で、シリカゲルではアルカリリッチの低軟化点ガラスを７００℃〜９００℃の温度で、耐熱性のスプレーノズルを用いて、雰囲気制御を行い噴霧方式で生産されている。
【０００３】
また、フェノール樹脂の球状粒子は、カネボウ（株）製のベルパールＳや群栄化学工業（株）製のマリリンＨＦ−０５０Ｗが市販されている。これらの製法は、レゾール樹脂とホルマリンのようなアルデヒドを乳化重合する工程で高速回転させ微粒化重合している。しかし、特開２００３−２０３８２９号公報には、これらの粒状粒子の大きさは、３０μｍ〜５００μｍの大きな粒子のため３〜８μｍの実用粒径まで再粉砕してから、電子部品材料に用いられる。また、特開平１１−１３１４では、フェノール樹脂にセルロース誘導体と溶媒を混合させ、相互に層分離させ、フェノール樹脂を硬化させ、その後、溶媒、セルロースを除去する方法が提案されている。この方法は、工程が複雑で、かつ、樹脂の微粒化工程が記載されず、何故、微粒化粒子の形成が可能になるかが明確でない。
このように粒子径が９μｍ以下の超微粒子を無粉砕で、製造する方法は、現在迄に提案及び実用化されていないのが現状である。
【０００４】
現在、市販の活性炭を例に挙げると平均粒径が５〜１０μm粒子で粉砕分級コストは３０％で、３〜５μｍの粒子サイズでは粉砕分級価格が活性炭価格の５０％を占めている。また、活性炭は、非常に活性を有するため粉砕分級工程で雰囲気中のガス成分を吸着したり、表面酸化を受け不活性に成る場合が少なくない。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２０３８２９
【特許文献２】特開平１１−１３１４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
単体金属、合金、ガラス及び有機化合物のような融点を有する物質をその融点以上の温度で、スプレーノズルで微粒化する従来の方法は、物質の物性にも依存するが、通常、量産に成功している粒子径は数ｍｍのものが大部分で、１００μｍ〜５００μｍの粒子径は、実験室レベルが現状である。従って、１０μｍ以下の粒子を無粉砕で量産する方法は未開発であった。また、高温スプレーノズル方法は、ノズルの磨耗と腐食が激しく、製造した粒子径が大きく、粒度分布の分布幅が大きく、設定範囲内の粒度分布を有する粒子を製造することは、篩別機を使用しても、極めて困難であった。特に、１００〜１０００ｎｍオーダーの球状粉粒体は、工業的粉砕機、篩別機ともに未開発の状態である。
また、上記の従来例で、第２、第３物質を用いて、乳化重合時に高速回転し、微粒化粒子を得る方法も工程が複雑で、不純物の除去が困難で、また、粉砕工程を経ないと微粒化は、困難であった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、これらの従来の課題を解決し、以下の特性改善を目標とする。１）無粉砕で球状及び鱗片状の超微粒子を得る。２）篩別工程無しに、シャープな球形粒度分布を有する球状超微粒子を得る。３）極めて真円に近似した球状超微粒子を得る。粒子径が目的用途により、１００ｎｍ〜５００００ｎｍ、４）低コストでの工業的生産を可能にする。
【０００８】
尚、本発明の超微粒子の真円度とは、電子顕微鏡画像上の粒子の投影断面積に等しい円の周長を粒子の投影輪郭長で除した値として定義される。また、真円度の精度上、１００〜１５０個の粒子の計測の平均値を示すものである。
【０００９】
本発明の課題解決の手段として、特殊な貫通孔と貫通孔密度を有する基盤をノズルに用いることを特徴としている。この基盤ノズルは、貫通孔の穴径が０．０５μｍ〜５０μｍで、貫通孔のアスペクト比（穴径と貫通孔の長さの比）が、５〜２００で有し、貫通孔の密度が１００〜７０００個／ｃｍ2の貫通孔密度を有する基盤をノズルに用いる。
【００１０】
本発明では、この多数の貫通孔を有する基盤ノズルを圧電素子やモーター駆動により周期的に微振動させ、粉末原料からなる液状のスラリー状物質を多数の貫通孔を有するノズル開孔部で、定量的に、周期的にスラリーを切断し、球状の液滴とし、その後、乾燥、還元、酸化、熱処理、炭化、活性炭化等の工程を経る製造方法により、無粉砕で、目的の球状超微粒子を得ることができる。
【００１１】
なお、特に、本発明は、単位時間当たりの量産性を高め、品質の向上を図るため加圧下で振動を行い高粘度原料を高速度で噴射造粒を可能にする方法を提案するものである。さらに、本発明は、その工程中、必要に応じて、噴射造粒部に、外部電源を用いてコロナ放電により、印荷（直接または誘導荷電）させ、ノズルから噴出された霧化粒子には、荷電され、粒子相互が再結合しないように構成するのもその特徴の一つである。
【００１２】
すなわち、本発明は、加圧振動及び噴射造粒による超微粒子であって、請求項１の発明は、加圧と振動エネルギーにより、メタルメッシュを介して、噴射造粒したことを特徴としている。
【００１３】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の超微粒子において、無粉砕で、真円度が０．９〜１．０で粒径が０．０１μｍ〜１０μｍの形態を有することを特徴としている。
【００１４】
また、請求項３の発明は、請求項１又は２に記載の超微粒子において、液状の粉末原料を５μｍ以下の多数の貫通孔を有する基盤ノズルを通過させ、液状球形微粒子を経て、無粉砕で、真円度が０．９〜１．０で粒径が０．０１μｍ〜１０μｍの形態を有することを特徴としている。
【００１５】
また、請求項４の発明は、請求項１乃至３のうち、いずれかに記載の超微粒子において、多数の貫通孔を有する基盤ノズルで、貫通孔の穴径が０．０５μｍ〜５０μｍで、貫通孔のアスペクト比が５〜２００で、貫通孔の孔密度が１００〜１７０００個／ｃｍ2の開孔密度を有する基盤をノズルに用いることを特徴としている。
【００１６】
また、請求項５の発明は、請求項１乃至４のうち、いずれかに記載の超微粒子において、多数の貫通孔を有する基盤の材質がニッケル、ニッケル基合金、チタン、タンタルのような弁作用金属及びその合金及び白金族、白金族基合金及び炭素材料で構成することを特徴としている。
【００１７】
また、請求項６の発明は、請求項１乃至５のうち、いずれかに記載の超微粒子において、多数の貫通孔を有する基盤を超音波振動子や圧電素子の動力による定速度振動により、圧送される液状物を均一液状粒子に分断し、液状球状粒子を形成することを特徴としている。
【００１８】
また、請求項７の発明は、請求項１乃至６のうち、いずれかに記載の超微粒子において、定速度振動の効率化を図るため弾性体を介して、多孔体からなるノズルを接合することを特徴としている。
【００１９】
また、請求項８の発明は、請求項１乃至７のうち、いずれかに記載の超微粒子において、前記の弾性体が、金属製ダイヤフラムであることを特徴としている。
【００２０】
また、請求項９の発明は、請求項１乃至８のうち、いずれかに記載の超微粒子において、球状超微粒子が有機物、無機物、セラミックスからなるスラリー状の液状物として、貫通孔を通過させ、その後、所定の粒子に加工することを特徴としている。
【００２１】
また、請求項１０の発明は、請求項１乃至９のうち、いずれかに記載の超微粒子において、上記の無機物、有機物からなる球状の超微粒子を中間体として、炭化、賦活、酸化、還元、脱アルカリ工程などの継続工程を経て、炭素、活性炭、シリカ、ニッケル、白金族のような単体金属の球状超微粒子を形成することを特徴としている。
【００２２】
また、請求項１１の発明は、請求項１乃至１０のうち、いずれかに記載の超微粒子において、有機物が熱硬化性樹脂で、フェノール樹脂、フリフラール樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、エポキシ樹脂、アルキド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂、キシレン樹脂、ウレタン樹脂、アンスラセンピッチ、石油、石炭タールのうち、少なくとも一種であることを特徴としている。
【００２３】
また、請求項１２の発明は、請求項１乃至１１のうち、いずれかに記載の超微粒子において、無機物が水ガラス、粘土、セラミックス質スラリーであることを特徴としている。
【００２４】
また、請求項１３の発明は、請求項９乃至１２のうち、いずれかに記載の超微粒子において、前記のセラミックス質スラリーが、アルミナ、シリカ、コージェライト、ムライト、ジルコニア、シャモット、チタン酸バリウム、ゼオライトのうち、少なくとも一種類を含有することを特徴としている。
【００２５】
また、請求項１４の発明は、請求項９乃至１３のうち、いずれかに記載の超微粒子において、前記のセラミックス質スラリーの粘度が霧化噴出部で、１５０〜３０００ｃｐであることを特徴としている。
【００２６】
また、請求項１５の発明は、請求項１乃至１４のうち、いずれかに記載の超微粒子において、前記貫通孔を有するノズルと大地間に外部電源を用いて印荷させ、ノズルから噴出される霧化粒子にコロナ放電による手段で荷電させ、霧化粒子が交互に再結合することを防止することを特徴としている。
【００２７】
また、請求項１６の発明は、請求項１乃至１５のうち、いずれかに記載の任意の形状を有する超微粒子であって、前記荷電された液状の微粒子が落下し、反応液と反応する溶液に界面活性剤を添加させ、球状粒子を任意の鱗片状、卵形状、球状のように粒子形状を変形させたことを特徴としている。
【００２８】
また、請求項１７の発明は、請求項１乃至１６のうち、いずれかに記載の任意の形状を有する超微粒子であって、貫通孔を有するノズル部を目的用途に応じて、不活性、還元、酸化雰囲気とし、微粒化後に直接、雰囲気制御を行うことを特徴としている。
【発明の効果】
【００２９】
本発明は、本文明細書に記載のように、高粘度原料溶液を用いて、加圧振動及び噴射造粒する製造することより、５０μｍ以下の超微粒子を無粉砕で高効率に工業的に生産可能な方法を提供し、なおかつ、目的用途により、真円度が低い粒子（ディンプル、表面凹凸、突起等）が求められたり、鱗片状の形状が求められる工業的用途にも柔軟に対応可能な工業的生産方法を提供するものである。さらに、本発明が開示する製造方法は、低コストでの工業生産が可能で、来るべき次世代のナノテク時代に最適の材料生産技術を提供可能な工業的価値、極めて大なるものである。
【００３０】
本発明の効果を更に高めるためにメッシュノズル部を弾性体を介して、貯液槽と接合させる。弾性体は、金属性箔体からなるダイヤフラムや耐熱耐薬品性の合成ゴム等で構成するのが好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
本発明で使用する多数の貫通孔を有するノズルの製法は、基本的には電鋳法で生産される。貫通孔の穴径は、０．０５μｍ〜５０μｍが好ましい。０．０５μｍ以下は、量産性が悪く、５μｍ以上では、強度が必要になる。アスペクト比は、５〜２００が好ましい。
アスペクト比が５以下では、真円度が低下する。アスペクト比が２００以上は、ノズルの加工が困難でコスト高となる。工業的量産を配慮するとアスペクト比は、５〜２００が好ましい。また、ノズルの穴密度は、量産効果を勘案すると１００〜７０００個／ｃｍ2が好ましい。
【００３２】
ノズルの基盤の材質は、ニッケル、ニッケル基合金、チタン、タンタルのような弁作用金属及びその合金及び白金族、白金族基合金、炭素材料、ＳｉＣ等で構成することが好ましい。量産性とコストを考慮するとニッケル、ニッケル基合金、チタン、タンタルのような弁作用金属及びその合金及び白金族、白金族基合金、炭素材料等が経済的である。
【００３３】
本発明が応用可能な材料は、有機物、無機物、セラミックス及びこれらのスラリー状の液状物が本発明の原料材料である。これらの諸材料を多数の貫通孔を有するノズルを通過させ、その後、所定の粒子に無粉砕で加工する。
【００３４】
本発明では、これらのスラリー状の液状物をチタン酸バリウムやＰＺＴ等を使用した超音波振動子やモーター駆動で、定速度で、加圧下で圧送されたスラリー状液状物を一定間隔で切断し、超微粒子を形成させる。この工程の高効率化を図る目的で、すなわち、定速度振動の効率化を図るため、弾性体を介して、多孔体からなるノズルを接合することを特徴としている。この弾性体として、金属から成るダイヤフラムを用いることが好ましい。
【００３５】
本発明で、上記のノズルは、外部電源で、４００〜５０００Ｖの電圧でコロナ放電により印荷され、ノズルから定量的に切断された球状粒子は、荷電されているために相互に再結合することなく次の工程である乾燥、焼成、還元、炭化、賦活等の工程に進行する。
【００３６】
本発明で使用する熱硬化性樹脂は、フェノール樹脂、フリフラール樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、エポキシ樹脂、アルキド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂、キシレン樹脂、ウレタン樹脂等の単体または複合化された樹脂を使用する。超微粒子状の炭素を必要とする場合には、フェノール樹脂、フリフラール樹脂等の炭化収率の高いものを選択する。また、抵抗の低い炭素系超微粒子が必要な場合は、石油系タール、石炭系タール、ナフタレンピッチ、アンスラセンピツチを原料に用いる。
【００３７】
これらの液状スラリーの粘度は、１５０〜３０００ｃｐが好ましいが、量産性を勘案すると１５０〜１０００ｃｐが大量生産に適合している。
【００３８】
本発明の主な目的は、球状超微粒子であるが、本発明で、霧化球状粒子を反応させる液層に界面活性剤を添加させる濃度により、球状〜卵状〜鱗片状に任意に形状を変化させることが可能である。この場合の界面活性剤は、非イオン及び両イオン界面活性剤、フッ素系界面活性剤を用いる。
【実施例】
【００３９】
以下、本発明の実施の形態を下記の工程構成図により詳述する。
【００４０】
（実施例１ 本発明の主要工程図）
図１は本発明の加圧振動噴射造粒装置の概念図である。貯液タンク１は、加圧原料導入口２から加圧原料溶液（原料液Ａ）が加圧原料貯液槽３に貯液される。この加圧原料溶液は貯液タンク３に接合された弾性体ダイヤフラム４を通過して、貫通孔メッシュ６で、圧電振動体７の振動エネルギーにより、球状微粒化粒子１０となる。なお、弾性体４は、弾性体接合部５にて、貯液タンク１に固定されている。
【００４１】
圧電振動部７は、電源８から原料溶液の濃度、粘度に応じて、数１００ＫＨｚの電圧が供給される。霧化粒子荷電部９（図２）で、コロナ放電により帯電粒子１１となり、霧化粒子１０が相互に凝集しないように帯電させる。
【００４２】
霧化粒子荷電部９を通過した帯電霧化粒子１１は、反応槽１２に導入され、反応溶液（Ｂ）は反応溶液導入口１３から反応槽１２に導入され、サイクロン式反応槽１４で反応し、反応貯液槽１５に貯液される。この反応液は、パイプ１６と、移送ポンプ１７及び移送パイプ１８で、次の工程に移送される。
【００４３】
反応槽１４はサイクロンの形状でなくても良いがこのような形状は、微粒子の均一化に効果的であつた。その理由は、原料液Ａの微粒子と反応液Ｂとの薄層の膜反応が均一反応を容易にさせるものと考えられる。図１には示されていないが、この後の工程は、先願の工程図のように固体と液体を分離し、固体球状粒子は、濾過工程、乾燥工程を経て、目的の球状超微粒子を得る。
【００４４】
（実施例２）
本発明の荷電部（図１における荷電部９）を図２で荷電方法（絶縁槽の概念図）を詳細に説明する。絶縁体で構成された帯電層２１には電源２２から供給された高圧電源を帯電槽２１に部分埋設された対極２３と、絶縁シールド２４ａで周囲と絶縁され、且つ霧化粒子２５の中央部に設置されたコロナ放電先端部電極２４との間でコロナ放電を行い、霧化粒子２５をマイナスに帯電させる。電源は、原料の種類と粘度により変化するが、通常数１００ＫＶの荷電でコロナ放電を行うのが本発明では安全で、効果的である。
【００４５】
（実施例３）
本発明の主要部のその他の概念図を図３に示す。圧送された原料溶液を、弾性体３５を介して接合された貫通孔を有するメッシュ３４を圧電素子３６の動力で加圧下で振動を与え、霧化し、微粒化を行う。圧電素子３６として、例えば、圧電セラミックス素子を使用することができる。この微粒子に電極２３及び２４によりコロナ放電により霧化粒子２５に帯電させる。尚、電極２３及び２４は、絶縁シールド２３ａ、２４ａで周囲に対してそれぞれ絶縁状態が保たれている。電極２４の先端部は、針状であることが好ましく、針状電極は、コロナ放電を効率的に行い霧化粒子２５の凝集を防止させる。尚、弾性体３５として、有機溶媒耐性を有するゴム及び／或いは金属から構成されるダイヤフラムを使用することができる。
【００４６】
（実施例４）
実施例４では、図１及び図２で示した加圧振動噴射造粒装置を用いて、フェノール樹脂の球状粒子とカーボントナーの球状粒子を製造した。
【００４７】
表１のＮｏ．１〜Ｎｏ．４は、フェノール樹脂原料のレゾール樹脂（Ａ液）の粘度を６０〜５００ｃｐに変化させ、加圧振動噴射造粒による製造試験を行った。ノズルの条件は、５μｍの貫通孔で、穴密度が６０００個/ｃｍ2で、ホルマリン（Ｂ液）で反応させた。常圧（１ｋｇ/ｃｍ2）の条件では、生産量が０〜１５ｇ／１５ｍｉｎであつたが、圧力を２〜５ｋｇ/ｃｍ2に変化させるとほぼ、圧力に比例して、フェノールの球状粒子が３０〜５５０ｇ/１５ｍｉｎの生産量が得られた。得られた球状粒子は、真円度も優れたものであつた。
【００４８】
【表１】
【００４９】
表１のＮｏ．５〜Ｎｏ．８は、黒色のカーボントナーの製造を行った。前記のフェノールの球状粒子を６５０℃で焼成し、炭化収率５０％で、カーボントナー原料を得て、公知のワックス、接着剤、分散剤、溶剤を用いて、トナー原料スラリーを作成し、ノズル条件として、７μｍの貫通孔で、穴密度５０００個/ｃｍ2で製造を行った。粘度は、３００〜１５００ｃｐに変化させ、スラリーの圧力は、１〜５ｋｇ/ｃｍ2の条件で製造した。その結果、常圧では粘度が高く、殆ど、製造出来なかったが、圧力を２〜５ｋｇに昇圧することにより、圧力とスラリー粘度に比例して、１３〜３６５ｇ/１５ｍｉｎの球状トナーを無粉砕で、無分級で得られた。
【００５０】
（実施例５ 銀の球状超微粒子の製造）
原料液Ａとして１５重量％濃度の硝酸銀アンモニア溶液を用い、反応溶液Ｂとして濃度７．５ｇ／ｌが溶液グリオキザール液を用いて、図１の加圧振動噴射造粒装置により、銀の球状超微粒子を製造した。得られた銀粒子は、平均粒径が５０μｍ以下であり、真円度も優れたものであった。
【００５１】
本発明は、本文明細書に記載のように加圧振動噴射造粒装置を用いて、５０μ以下の超微粒子を無粉砕、無分級で高効率に工業的に生産可能な方法を提供し、なおかつ、目的用途により、真円度が低い粒子が求められたり、鱗片状の形状が求められる工業的用途にも柔軟に対応可能な工業的生産方法を提供するものである。さらに、本発明方法は、低コストでの工業生産が可能で、極めて優れた省エネルギー化、炭酸ガスの削減を可能で、来るべき次世代のナノテク時代に最適に材料生産技術を提供可能な工業的価値、極めて大なるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の加圧振動噴射造粒装置の概念図
【図２】本発明のコロナ帯電装置の構成図
【図３】本発明の加圧振動噴射造粒装置の第２の概念図
【符号の説明】
【００５３】
１ 貯液タンク
２ 加圧原料（Ａ液）導入口
３ 加圧原料液タンク
４ 弾性体
５ 弾性体接合部
６ 貫通孔を有する本発明の金属メッシュ
７ 圧電振動体
８ 電源
９ 霧化粒子荷電部
１０ 霧化粒子
１１ 帯電粒子
１２ 反応槽
１３ 反応溶液導入口
１４ サイクロン式反応槽
１５ 反応貯液槽
１６ パイプ
１７ 移送ポンプ
１８ 移送パイプ
２１ 帯電槽
２２ 電源部
２３ 電極２４の対電極（正極）
２３ａ 絶縁シールド
２４ コロナ放電電極（負極）
２４ａ 絶縁シールド
２５ 霧化粒子
３４ 金属メッシュ
３５ 弾性体
３６ 圧電素子
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧と振動エネルギーにより、メタルメッシュを介して、噴射造粒したことを特徴とする超微粒子。
【請求項２】
無粉砕で、真円度が０．９〜１．０で粒径が０．０１μｍ〜１０μｍの形態を有することを特徴とする請求項１記載の超微粒子。
【請求項３】
液状の粉末原料を５μｍ以下の多数の貫通孔を有する基盤ノズルを通過させ、液状球形微粒子を経て、無粉砕で、真円度が０．９〜１．０で粒径が０．０１μｍ〜１０μｍの形態を有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の超微粒子。
【請求項４】
多数の貫通孔を有する基盤ノズルで、貫通孔の穴径が０．０５μｍ〜５０μｍで、貫通孔のアスペクト比が５〜２００で、貫通孔の孔密度が１００〜１７０００個／ｃｍ2の開孔密度を有する基盤をノズルに用いることを特徴とする、請求項１乃至３のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項５】
多数の貫通孔を有する基盤の材質がニッケル、ニッケル基合金、チタン、タンタルのような弁作用金属及びその合金及び白金族、白金族基合金及び炭素材料で構成することを特徴とする、請求項１乃至４のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項６】
多数の貫通孔を有する基盤を超音波振動子や圧電素子の動力による定速度振動により、圧送される液状物を均一液状粒子に分断し、液状球状粒子を形成することを特徴とする、請求項１乃至５のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項７】
定速度振動の効率化を図るため弾性体を介して、多孔体からなるノズルを接合することを特徴とする、請求項１乃至６のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項８】
前記の弾性体が、金属製ダイヤフラムであることを特徴とする、請求項１乃至７のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項９】
球状超微粒子が有機物、無機物、セラミックスからなるスラリー状の液状物として、貫通孔を通過させ、その後、所定の粒子に加工することを特徴とする請求項１乃至８のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項１０】
上記の無機物、有機物からなる球状の超微粒子を中間体として、炭化、賦活、酸化、還元、脱アルカリ工程などの継続工程を経て、炭素、活性炭、シリカ、ニッケル、白金族のような単体金属の球状超微粒子を形成することを特徴とする、請求項１乃至９のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項１１】
有機物が熱硬化性樹脂で、フェノール樹脂、フリフラール樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、エポキシ樹脂、アルキド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂、キシレン樹脂、ウレタン樹脂、アンスラセンピッチ、石油、石炭タールのうち、少なくとも一種であることを特徴とする、請求項１乃至１０のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項１２】
無機物が水ガラス、粘土、セラミックス質スラリーであることを特徴とする、請求項１乃至１１のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項１３】
前記のセラミックス質スラリーが、アルミナ、シリカ、コージェライト、ムライト、ジルコニア、シャモット、チタン酸バリウム、ゼオライトのうち、少なくとも一種類を含有することを特徴とする、請求項９乃至１２のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項１４】
前記のセラミックス質スラリーの粘度が霧化噴出部で、１５０〜３０００ｃｐであることを特徴とする、請求項９乃至１３のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項１５】
前記貫通孔を有するノズルと大地間に外部電源を用いて印荷させ、ノズルから噴出される霧化粒子にコロナ放電による手段で荷電させ、霧化粒子が交互に再結合することを防止することを特徴とする、請求項１乃至１４のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項１６】
前記荷電された液状の微粒子が落下し、反応液と反応する溶液に界面活性剤を添加させ、球状粒子を任意の鱗片状、卵形状、球状のように粒子形状を変形させることを特徴とする、請求項１乃至１５のうち、いずれかに記載の任意の形状を有する超微粒子。
【請求項１７】
貫通孔を有するノズル部を目的用途に応じて、不活性、還元、酸化雰囲気とし、微粒化後に直接、雰囲気制御を行うことを特徴とする、請求項１乃至１６のうち、いずれかに記載の任意の形状を有する超微粒子。
【請求項１】
加圧と振動エネルギーにより、メタルメッシュを介して、噴射造粒したことを特徴とする超微粒子。
【請求項２】
無粉砕で、真円度が０．９〜１．０で粒径が０．０１μｍ〜１０μｍの形態を有することを特徴とする請求項１記載の超微粒子。
【請求項３】
液状の粉末原料を５μｍ以下の多数の貫通孔を有する基盤ノズルを通過させ、液状球形微粒子を経て、無粉砕で、真円度が０．９〜１．０で粒径が０．０１μｍ〜１０μｍの形態を有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の超微粒子。
【請求項４】
多数の貫通孔を有する基盤ノズルで、貫通孔の穴径が０．０５μｍ〜５０μｍで、貫通孔のアスペクト比が５〜２００で、貫通孔の孔密度が１００〜１７０００個／ｃｍ2の開孔密度を有する基盤をノズルに用いることを特徴とする、請求項１乃至３のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項５】
多数の貫通孔を有する基盤の材質がニッケル、ニッケル基合金、チタン、タンタルのような弁作用金属及びその合金及び白金族、白金族基合金及び炭素材料で構成することを特徴とする、請求項１乃至４のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項６】
多数の貫通孔を有する基盤を超音波振動子や圧電素子の動力による定速度振動により、圧送される液状物を均一液状粒子に分断し、液状球状粒子を形成することを特徴とする、請求項１乃至５のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項７】
定速度振動の効率化を図るため弾性体を介して、多孔体からなるノズルを接合することを特徴とする、請求項１乃至６のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項８】
前記の弾性体が、金属製ダイヤフラムであることを特徴とする、請求項１乃至７のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項９】
球状超微粒子が有機物、無機物、セラミックスからなるスラリー状の液状物として、貫通孔を通過させ、その後、所定の粒子に加工することを特徴とする請求項１乃至８のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項１０】
上記の無機物、有機物からなる球状の超微粒子を中間体として、炭化、賦活、酸化、還元、脱アルカリ工程などの継続工程を経て、炭素、活性炭、シリカ、ニッケル、白金族のような単体金属の球状超微粒子を形成することを特徴とする、請求項１乃至９のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項１１】
有機物が熱硬化性樹脂で、フェノール樹脂、フリフラール樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、エポキシ樹脂、アルキド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂、キシレン樹脂、ウレタン樹脂、アンスラセンピッチ、石油、石炭タールのうち、少なくとも一種であることを特徴とする、請求項１乃至１０のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項１２】
無機物が水ガラス、粘土、セラミックス質スラリーであることを特徴とする、請求項１乃至１１のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項１３】
前記のセラミックス質スラリーが、アルミナ、シリカ、コージェライト、ムライト、ジルコニア、シャモット、チタン酸バリウム、ゼオライトのうち、少なくとも一種類を含有することを特徴とする、請求項９乃至１２のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項１４】
前記のセラミックス質スラリーの粘度が霧化噴出部で、１５０〜３０００ｃｐであることを特徴とする、請求項９乃至１３のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項１５】
前記貫通孔を有するノズルと大地間に外部電源を用いて印荷させ、ノズルから噴出される霧化粒子にコロナ放電による手段で荷電させ、霧化粒子が交互に再結合することを防止することを特徴とする、請求項１乃至１４のうち、いずれかに記載の超微粒子。
【請求項１６】
前記荷電された液状の微粒子が落下し、反応液と反応する溶液に界面活性剤を添加させ、球状粒子を任意の鱗片状、卵形状、球状のように粒子形状を変形させることを特徴とする、請求項１乃至１５のうち、いずれかに記載の任意の形状を有する超微粒子。
【請求項１７】
貫通孔を有するノズル部を目的用途に応じて、不活性、還元、酸化雰囲気とし、微粒化後に直接、雰囲気制御を行うことを特徴とする、請求項１乃至１６のうち、いずれかに記載の任意の形状を有する超微粒子。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２００６−７７２５２（Ｐ２００６−７７２５２Ａ）
【公開日】平成１８年３月２３日（２００６．３．２３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−２６３０６９（Ｐ２００５−２６３０６９）
【出願日】平成１７年９月９日（２００５．９．９）
【分割の表示】特願２００４−２６１７５６（Ｐ２００４−２６１７５６）の分割
【原出願日】平成１６年９月９日（２００４．９．９）
【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第１項適用申請有り ２００４年８月１０日 吉田隆発行の「未来材料 ２００４年８月号」に発表
【出願人】（３９６０２６７１０）株式会社オプトニクス精密 (34)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年３月２３日（２００６．３．２３）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年９月９日（２００５．９．９）
【分割の表示】特願２００４−２６１７５６（Ｐ２００４−２６１７５６）の分割
【原出願日】平成１６年９月９日（２００４．９．９）
【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第１項適用申請有り ２００４年８月１０日 吉田隆発行の「未来材料 ２００４年８月号」に発表
【出願人】（３９６０２６７１０）株式会社オプトニクス精密 (34)
【Ｆターム（参考）】
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