説明

固体撮像装置、その駆動方法及びカメラ

【課題】1パケットを構成する水平画素数が小さくても同色転送が可能な固体撮像装置を提供する。
【解決手段】複数の光電変換部と、複数の垂直転送部2と、転送制御部6と、水平転送部3(第1水平転送部4、第2水平転送部5)とを備え、複数の垂直転送部2のそれぞれは、光電変換部の各列に対応して設けられ、動画モード(画素加算モード)においては、同色の信号電荷が、水平転送部3による1水平転送期間あたりの転送行数nと同じ行数分、垂直方向に連続させるように、垂直ブランキング期間内に、垂直転送部2内で、光電変換部から読み出された信号電荷の加算及び並び替えを行い、転送制御部6は、第1水平転送部4及び第2水平転送部5のそれぞれが、同色の信号電荷を転送するように、垂直転送部2から第1水平転送部4及び第2水平転送部5へ信号電荷を転送する。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は固体撮像装置、その駆動方法及びカメラに関し、特にデジタルスチルカメラ等のデジタルカメラ向けCCD(Charge Coupled Device)固体撮像装置において、水平転送時の混色を抑制し、低消費電力化を実現する構造と駆動方法に関する。
【背景技術】
【0002】
デジタルスチルカメラ等のデジタルカメラ用の固体撮像装置として、CCD固体撮像装置を用いたカメラでは、近年12M以上の画素数を持つCCD固体撮像装置が主流である。水平転送部を構成する水平転送電極は微細化され、更に水平方向の画素数は4000画素以上に達しているため、一般的に用いられてきた垂直転送部の1列に対して、水平転送部の1パケットが構成される2相駆動では、取り扱い電荷量を確保するために水平転送部の幅も大きくなり、更には電極間容量が飛躍的に増大し、消費電力の増大が課題となっている。
【0003】
そのため、現在では、水平転送部の転送パケット数を従来のように垂直転送部の列数と同じにせず、例えば1/3にし、垂直転送部から水平転送部への転送、及び水平転送部から出力部への転送動作を3回に分け、1行の信号電荷を分割してインターレース(水平インターレース)で出力する方式が提案されている(例えば、特許文献1参照)。これによれば、水平転送部を構成する電極の数を減らすことが可能であり、電極間容量が減少し、電極の水平方向の電極長を大きくできるため、水平転送部の幅を狭くでき、低消費電力化を実現できる。但し、このような構造をもつ固体撮像装置では、水平転送部のパケット数が垂直転送部の列数よりも少ないため、垂直転送部から水平転送部への信号電荷の転送を選択的に制御する転送制御部が必要である。具体的には、最初の転送動作を行っている間、転送制御部において信号電荷を保持しておく機能が必要となる(例えば、特許文献1参照)。ここで、「パケット」とは、信号電荷を水平転送又は垂直転送する際の転送単位である。
【0004】
また、現在では受光部の信号を静止画(スチル)として取り出す撮像モード(以下、「通常モード」、あるいは、「静止画」モードという。)に加え、液晶モニター表示や動画記録のための動画モードが用いられる。動画モードでは、一般に複数の画素から得られる信号電荷を撮像装置内で加算する、あるいは選択的に画素から読み出す信号電荷を間引く、もしくはドレインに排出することで、出力信号数を減らし、高フレームレートの動画を実現する。動画モードでは、静止画で出力される画素数が例えば12M等の大容量画素数であるのに対して、30フレーム/秒のVGA出力(640×480)やHDフォーマットに対応した720p出力(1280×720)、フルHDの1080p出力(1920×1080)が実現されている。通常モードでは、2〜5フレーム/秒のフレームレートであるのに対し、動画モードでは、30フレーム/秒〜60フレーム/秒の画像出力が要求されるため、静止画で出力される画素数に比べ、画像を1/10近くに圧縮する必要があり、加算される信号電荷も多くなる。
【0005】
また、近年、動画記録においてはフルHDの1080p出力(例えば30fpsや60i)出力が主流になりつつあり、これを実現するためには、1個の水平CCDからの出力では水平転送周波数が80MHz以上となるため、転送周波数を低減するために2並列水平転送部(並列転送可能な2つの水平転送部)を有するCCD固体撮像装置が検討されている(例えば、特許文献2参照)。
【0006】
1920×1080の30fps出力を行うには、2並列水平転送部を有する場合、HD放送向けCCD固体撮像装置では水平転送周波数が37.125MHzであるが、デジタルスチルカメラでは、HD用イメージセンサーのアスペクト16:9に対して、アスペクトが4:3もしくは3:2であるため、垂直方向に並ぶ転送行数が多くなることから、水平転送部を2並列としても水平転送周波数が50MHz近くとなっており、水平転送効率が悪化する場合がある。
【0007】
また、2並列水平転送部を有するCCD固体撮像装置では、従来一般的に用いられてきた2相駆動と異なり、水平を4相駆動とすることで、単位面積あたりの取り扱い電荷量を増やすことが可能となるため、水平転送部の幅を短くでき、水平転送部間の転送に有利であることも報告されている。
【0008】
ところで、デジタルスチルカメラ用固体撮像装置では、カラーフィルタの配列として、一般にベイヤー配列が用いられ、隣接する同色間で信号電荷が加算されるが、固体撮像装置内での信号電荷の加算については、垂直方向は垂直転送部内あるいは水平転送部で加算、水平方向は水平転送部内で加算される。垂直方向の画素加算については、光電変換部から垂直転送部への読み出しを行う垂直転送電極を複数設け、駆動タイミングを工夫することで、垂直転送部内で可能であるが、水平方向の画素加算については、垂直転送部から水平転送部の間に、信号電荷の転送を選択的に制御する転送制御部が必要である。動画モードの1例として、垂直3画素で、かつ、水平3画素の信号電荷を加算した9画素加算は、高画質の動画を実現できるものとして有用である。一方、垂直2画素で、かつ、水平2画素の信号電荷を加算した4画素加算は、9画素加算に比べて加算する画素数が少ないものの、高フレームレートに適しているという利点があり、高速連写に有用である。よって、用途に合わせて、複数の加算モードを実現できることが望まれている。
【0009】
以上述べたように、現在のデジタルカメラ用の固体撮像装置では、低消費電力化と、画素加算を利用した高フレームレートの動画を実現するための並列出力が必須となっていることがわかる。
【0010】
図17に特許文献2に記載されている従来の固体撮像装置の構成を示す。図17において、CCD固体撮像装置100は、撮像部110、電荷制御部120、垂直出力ゲート部(VOG部)130、第1水平CCD(水平転送部)140、第2水平CCD(水平転送部)150、は水平水平(HH)転送部160、バリア部161を備える。電荷制御部120はストレージゲート(S1、S2)とホールドゲート(H1、H2)により構成される。第1水平CCD140と第2水平CCD150は2相で駆動される。なお、以降の図においても同様であるが、G、R、Bはカラーフィルタのグリーン、レッド、ブルー、あるいは、前記フィルタを介して得られたグリーン、レッド、ブルーの信号電荷を示す。
【0011】
以上のように構成された従来のCCD固体撮像装置100についてその動作を説明する。
【0012】
図18に通常モード(静止画モード)での動作を示す。特許文献2の例では、GR行のR列のみ、4列に1つずつ、電荷制御部120と垂直出力ゲート部130により転送を制御して第1水平CCD140に転送し、2並列出力の場合は、更に転送パルスHHGφによりHH転送部160を通して第2水平CCD150まで、先の信号電荷Rを転送する。その後、残りの4列に1つのR列信号を第1水平CCD140に転送し、水平転送によって出力する。同行の残りの信号電荷Gも同様に2回のシーケンスに分けて垂直転送及び水平転送をし、2回の水平転送で1行を出力する。次行のGB行も同様である。つまり、水平2:1インターレースを行う。これは、1パケットを構成する水平画素数が4であるためで、2つの水平転送部を有していても、水平のパケット数は、列数の1/2になっているためである。なお、本例では、2相駆動であるため、各水平転送電極の水平方向の電極長は画素ピッチの2倍となる。ここで、「画素ピッチ」とは、撮像部を構成する画素(光電変換部)の水平方向(又は、垂直方向)における並びにおける隣接する画素間の距離である。
【0013】
図19に水平2画素加算時の加算動作の模式図を、図20に水平2画素加算時の信号電荷の転送を示す。なお、「水平n画素加算」とは、水平方向に、同色のn個の画素ごとに、それらのn個の画素分の信号電荷を加算して一つの信号電荷にまとめることをいう。また、「垂直n画素加算」とは、垂直方向に、同色のn個の画素ごとに、それらのn個の画素分の信号電荷を加算して一つの信号電荷にまとめることをいう。
【0014】
水平2画素加算の場合は、最初に信号電荷Rの全てを第1水平CCD140に転送する。前述したように水平転送部は1パケットを4画素ピッチ(4列)で構成するため、列数の1/2を占める信号電荷Rを水平方向に2画素加算すると、パケット数と信号数が一致する。隣接する信号電荷R同士が電荷制御部120と垂直出力ゲート部130の転送制御によって、第1水平CCD140内で加算される。これをそのまま、転送パルスHHGφによるHH転送制御によりHH転送部160を通して、第2水平CCD150に転送する。残る信号電荷Gについても同様に第1水平CCD140に加算し、転送する。この2画素加算時の特徴としては、同色の信号電荷が水平転送部毎に出力される、すなわち、同色転送される点である。ここで、「同色の信号電荷」とは、同色の画素に対応する信号電荷の意味である。また、「同色転送」とは、一つの水平転送部(複数の水平転送部を備える場合には、それぞれの水平転送部)が一回の水平転送で転送する全ての信号電荷が同色の信号電荷となるような水平転送をいう。水平転送部の転送動作については、同色転送することが、混色を防止するために有効である。ベイヤー配列においては、1行あたり2色の色フィルタが存在するため、通常転送では混色が発生しやすい。そのため同色転送するには、水平転送部を複数として色を分離するか、水平をインターレースすることで色を分離することで、可能となる。
【0015】
特許文献2の例では、通常モード時に二つの水平転送部から同じ色の信号電荷を出力していたが、電荷制御部120の構成次第では、通常モード時に一つの水平転送部に対して一つの色を割り当てることも可能である。同じ色の信号電荷が複数の水平転送部に分かれて転送される場合、ゲインやリニアリティー、オフセットといった補正が生じ、扱いにくくなる。但し、信号電荷Gに関しては、信号電荷R横の信号電荷Grと信号電荷B横の信号電荷Gbとを並列出力しない場合でも、補正のために別色扱いしているDSP(Digital Signal Processor)も多く、複数の転送部に分かれて転送されても大きな問題にはならない。
【0016】
動画でベイヤー配列の信号電荷を順に転送する場合、信号電荷の配列が2行単位であり、かつ、1行には2色の信号電荷があるため、水平転送部が2以上の場合は、水平転送部並列数をch、1水平転送期間あたりの転送行数をnとすると、水平転送部並列数ch=2、4で、水平転送部並列数ch/1水平転送期間あたりの転送行数n=2の場合に、同じ色の信号電荷が複数の水平転送部に分かれることがなく色分離が可能であり、かつ、画素の行をまたぐことがなく同色転送が可能である。ここで、「水平転送部並列数」とは、同時(並列)に水平転送を行うことができる水平転送部の数である。また、「1水平転送期間あたりの転送行数」とは、個々の水平転送部が1回の水平転送で転送できる画素の行数である。
【0017】
たとえば、水平転送部並列数ch=2だと1水平転送期間あたりの転送行数n=1、水平転送部並列数ch=4だと1水平転送期間あたりの転送行数n=2とすることで、同じ色の信号電荷が複数の水平転送部に分かれることがなく、かつ、画素の行をまたぐことがなく同色転送をすることができる。水平転送部並列数ch=4で1水平転送期間あたりの転送行数n=2行なら4色分離、水平転送部並列数ch=2で1水平転送期間あたりの転送行数n=1行なら2色分離となる。
【0018】
なお、水平転送部並列数ch=4の場合、Gr、Gbが異なる色とすればベイヤー配列の色数と同じのため、1水平転送期間あたりの転送行数n=4でも色分離が可能である。また、水平転送部並列数ch=4の場合、1水平転送期間あたりの転送行数n=1でも同色転送は可能だが、同じ色の信号電荷が複数の水平転送部に分かれてしまう。これは、水平転送部並列数ch=6、1水平転送期間あたりの転送行数n=3の場合も同様であり、同色転送が可能だが、同じ色の信号電荷が複数の水平転送部に分かれるため、前述したようにゲインやリニアリティー、オフセットといった補正が生じ、扱いにくくなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0019】
【特許文献1】特開2006−310655号公報
【特許文献2】特開2008−244886号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0020】
しかしながら、上記従来の構成では、画素ピッチが大きくなった場合に、同色転送をしようとすると、水平転送部を構成する水平転送電極の水平方向の電極長が長くなるため、転送効率が悪化する、及び、水平駆動電圧が上昇するといった欠点を有する。
【0021】
例えば、水平転送部の並列数が2であれば、ベイヤー配列では1行の色数が2であるため、1水平転送期間あたりの転送行数nが1であれば、水平転送部毎に転送する色数を1とできるため、同色転送が可能となる。ここで、水平転送部において1パケットを構成する水平画素数をHとすると、つまり、1パケットを構成する水平画素数H=水平画素数/水平転送パケット数とすると、空パケットが生じない効率のよい転送の場合は、1水平転送期間あたりの転送行数n×水平画素数/水平加算数=水平転送パケット数×水平転送部並列数であるから、この関係を利用して、上記水平画素数Hの式の右辺を書き直すと、
1パケットを構成する水平画素数H=水平加算数×水平転送部並列数/n (1)
となる。ここで、「1パケットを構成する水平画素数H」とは、1個のパケットに格納され得る信号電荷の最大の個数(画素を単位とする個数)である。また、単に「水平画素数」と記載された場合の「水平画素数」とは、一行を構成する画素の総数である。また、「水平転送パケット数」とは、各水平転送部が1回の水平転送で転送するパケットの総数である。また、「水平加算数」とは、各水平転送部が水平方向に加算する信号電荷の数(画素を単位とする数)である。
【0022】
よって、たとえば、1水平転送期間あたりの転送行数n=1とすれば、水平加算数が2の場合は1パケットを構成する水平画素数H=4、水平加算数が3の場合は1パケットを構成する水平画素数H=6となる。
【0023】
なお、上記(1)式を変形すると、
1水平転送期間あたりの転送行数n=水平加算数×水平転送部並列数/H (2)
であるため、通常モード(水平加算なし、つまり、水平加算数が1)は、1パケットを構成する水平画素数H=4の場合は1水平転送期間あたりの転送行数n=1/2となり、1パケットを構成する水平画素数H=6の場合は1水平転送期間あたりの転送行数n=1/3となる。このように1水平転送期間あたりの転送行数nが1/L(Lは2以上の整数)である場合は、水平L:1インターレースにて水平方向での同色転送が可能である。
【0024】
しかしながら、水平方向における画素ピッチに対する水平転送電極長の比(水平電極長比)をαとすると、つまり、水平電極長比α=水平転送電極長/画素ピッチとすると、
水平電極長比α=H/駆動相数 (3)
である。ここで、「水平転送電極長」とは、水平転送電極の水平方向における長さである。「駆動相数」とは、水平転送部(あるいは、垂直転送部)を構成する各電極に印加する駆動信号の相数である。
【0025】
例えば、水平転送部を4相で駆動する場合は、水平2画素加算の場合には、1パケットを構成する水平画素数H=4であるから、水平電極長比α=4/4=1、すなわち、水平電極長は画素ピッチと同じ長さとなり、水平加算数が3の場合には、1パケットを構成する水平画素数H=6となり水平電極長比α=6/4=1.5、すなわち、水平電極長は画素ピッチの1.5倍となる。コンパクトデジタルカメラでは、1/2.3型が主流であり、セルサイズも1.3〜1.4umであるため、水平駆動電圧は大きく上昇しないが、フォーサーズ型やAPS−Cサイズでは画素ピッチが4〜5um台であることを考えると、水平電極長は極めて長くなる。また、並列数が1の場合は、水平インターレースをすれば同色転送が可能であるが、フルHDの動画を実現するには水平転送周波数が80MHz以上となり、水平の低電圧駆動が困難であるという欠点を有する。また、特許文献2では、単一の加算モードと加算なしモードでは同色転送が可能であるが、複数の加算モードでの同色転送は実現できていない。
【0026】
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、1パケットを構成する水平画素数が小さくても同色転送が可能な固体撮像装置等を提供することを第一の目的とする。これにより、低消費電力で、かつ、水平転送時の混色が回避された高画質な固体撮像装置等を提供することを目的とする。
【0027】
また、本発明は、通常(静止画;画素加算なし)モードと複数の水平加算モードの両方において同色転送が可能な固体撮像装置等を提供することを第二の目的とする。これにより、静止画モード及び複数の動画モードにおいて、低消費電力で、かつ、水平転送時の混色が回避された高画質な固体撮像装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0028】
この目的を達成するために本発明の固体撮像装置の一形態は、2次元状に配列され、入射光を複数の色のそれぞれに対応する信号電荷に変換する複数の光電変換部と、前記光電変換部の各列に対応して設けられ、前記光電変換部から読み出された信号電荷を垂直方向へ転送する垂直転送部と、前記垂直転送部から受け取った信号電荷を水平方向に転送する複数の水平転送部と、前記垂直転送部から前記複数の水平転送部への前記信号電荷の転送を制御する転送制御部とを備え、前記各垂直転送部は、同色の信号電荷が、前記複数の水平転送部による1水平転送期間あたりの転送行数nと同じ行数分、垂直方向に連続させるように、垂直ブランキング期間内に、前記垂直転送部内で、前記光電変換部から読み出された信号電荷の加算及び並び替えを行い、前記転送制御部は、前記複数の水平転送部のそれぞれが、同色の信号電荷を転送するように、前記垂直転送部から前記複数の水平転送部へ前記信号電荷を転送し、前記複数の水平転送部のそれぞれは、1水平転送期間あたり、n行分の同色の信号電荷を転送する。
【0029】
これにより、例えば、2つの水平転送部が設けられ、水平1パケットを構成する水平画素数Hを2とし、1水平転送期間の転送行数をnとした場合に、n=水平加算数×水平転送部並列数/Hとし、垂直方向の信号電荷を、同色がn(2以上)行連続するように垂直ブランキング期間内に加算と並び替えを行い、水平転送部に転送されるn行内の色数を2とすることで、1パケットを構成する水平画素数Hが小さい場合に水平転送部のパケット数が増大しても、同色の信号を2つの水平転送部に振り分け、同色転送が可能になる。よって、上記第一の目的が達成され、水平転送部の低電圧駆動が実現されるとともに、水平転送時の混色が抑制される。
【0030】
このとき、前記各垂直転送部は、前記光電変換部のそれぞれから信号電荷を読み出すための複数の読み出し電極を有し、垂直方向に加算数m(mは2以上の整数)で同色の信号電荷を加算する駆動モードを有し、前記垂直転送部を構成する読み出し電極の並びにおける繰り返し単位は、m×n×2であるとしてもよい。より具体的には、前記各垂直転送部は、前記光電変換部のそれぞれから信号電荷を読み出すための複数の読み出し電極を有し、垂直方向の加算数m(mは2以上の整数)が異なる複数の駆動モードで、垂直方向に同色の信号電荷を加算し、前記垂直転送部を構成する読み出し電極の並びにおける繰り返し単位は、m×n×2の最小公倍数であるとするのが好ましい。さらに特定的には、前記異なる加算数mは、2と3であり、前記水平転送部は、前記加算数mが2である場合には、水平方向に信号電荷を加算数2で加算し、前記加算数mが3である場合には、水平方向に信号電荷を加算数3で加算するのが好ましい。
【0031】
これにより、垂直転送部、転送制御部及び水平転送部を構成する電極数を大幅に削減しながら、例えば、加算なし、4画素加算、及び、9画素加算で、同色の水平転送が低電圧駆動で可能となるため、低消費電力で、かつ、混色を抑制できる固体撮像装置が実現される。
【0032】
また、前記各垂直転送部は、垂直方向に信号電荷を加算しない場合、及び、垂直方向の加算数が2の場合は、垂直インターレースにて、垂直方向に、1フィールドごとに同色のみ転送し、垂直方向の加算数が3、かつ、水平方向の加算数が3の場合にのみ、同色の信号電荷を、前記転送行数nと同じ行数分、垂直方向に連続させるように、垂直ブランキング期間内に、前記垂直転送部内で、前記光電変換部から読み出された信号電荷の加算及び並び替えを行ってもよい。これにより、例えば、4画素加算時に、メカシャッターを用いて垂直2:1インターレースし、転送制御部で信号電荷を垂直2画素加算することで、電極の本数を低減し、4画素加算の静止画と9画素加算の動画において、同色の水平転送が低電圧駆動で可能となるため、低消費電力で、かつ、混色を抑制できる固体撮像装置が実現される。
【0033】
ここで、水平転送部としては、2つの水平転送部から構成されたり、4相の信号で駆動され、かつ、2つの水平転送部から構成されたりするのが好ましい。
【0034】
更に、前記複数の水平転送部のそれぞれは、複数の相数の駆動信号に基づいて、水平画素数Hに対応する信号電荷を格納し得るパケットの単位で、水平方向に、所定の水平加算数で信号電荷を加算して転送する水平加算モードを有し、前記相数が変化する駆動信号に基づいて、1パケットを構成する前記水平画素数Hを変化させることにより、異なる水平加算数に対応した複数の水平加算モードで前記転送を行ってもよい。これにより、水平転送部の駆動相数を水平加算画素数に応じて可変することで、水平転送部にて1パケットを構成する水平画素数Hを水平転送部並列数×水平加算数/n、n=1となるように変化させ、垂直方向の信号の並び替えを行わずに同色転送を実現する、あるいは、n=2以上である場合でも水平加算数の増大によってnが増加することを抑制し同色をn行連続させるのに必要な読み出し電極数の増大を抑制することができる。よって、通常(静止画)モードと複数の水平加算モードの両方において同色転送が可能となり、上記第二の目的が達成される。
【0035】
より具体的には、前記複数の水平転送部による1水平転送期間あたりの転送行数nは、前記複数の水平加算モードで一定であり、前記複数の水平転送部のそれぞれは、当該複数の水平転送部を構成する水平転送部の数を水平転送部並列数とすると、前記相数が変化する駆動信号に基づいて、1パケットを構成する前記水平画素数Hを、前記水平加算数×前記水平転送部並列数/n(ただし、前記水平転送部並列数は2又は4、前記水平転送部並列数/nは整数、かつ、前記水平加算数は2以上の整数)で表わされる複数の値のいずれかになるように変化させるとしたり、
前記複数の水平転送部のそれぞれは、水平転送電極の並びから構成され、前記複数の水平転送部のそれぞれを構成する水平転送電極の並びにおける繰り返し単位は、複数の水平加算モードにおける1パケットを構成する前記水平画素数Hの最小公倍数であるとしたり、
前記1水平転送期間あたりの転送行数nは、前記複数の水平加算モードで一定であり、前記水平転送部並列数/nは、2であるとしたり、
前記複数の水平転送部は、2つの並列に配置された水平転送部から構成され、前記複数の水平転送部のそれぞれは、水平方向の6画素ごとに12本の水平転送電極が並べられた構成を単位とする繰り返しで構成され、前記複数の水平転送部は、画素加算なし、及び、垂直方向と水平方向にそれぞれ2画素加算する時は、4相の駆動信号に基づいて前記転送をし、垂直方向と水平方向にそれぞれ3画素加算する時は、6相の駆動信号に基づいて前記転送をし、信号電荷を水平方向に加算する時は、1水平転送期間の転送行数nを2で加算したりするのが好ましい。
【0036】
また、前記転送制御部は、前記複数の水平転送部が水平方向に3画素加算する時には、同色の2列の信号電荷を、前記転送制御部から前記複数の水平転送部のそれぞれに同じタイミングで転送し、当該3画素加算の転送制御を行う電極が水平方向に6列を単位として繰り返された電極の並びを備え、前記転送制御部の電極の並びにおける前記単位を構成する6列の電極のうち、連続する4列の電極は、同じ信号で駆動され、残る2列の電極は、前記4列と異なる信号で駆動されてもよい。これにより、例えば、水平3画素加算時は、1水平転送期間あたりの転送行数n=2であるので、あと1行分の信号電荷を転送及び加算する必要がなく、加算後でも、より重心位置のずれがなく、モアレが少ない高画質な9画素加算が実現される。
【0037】
また、さらに、ベイヤー配列で配置されたカラーフィルタを備えるとしてもよい。
【0038】
なお、本発明は、固体撮像装置として実現できるだけでなく、上記固体撮像装置を備えるデジタルカメラ等のカメラとして実現したり、固体撮像装置の駆動方法として実現したりしてもよい。
【0039】
そのような固体撮像装置の駆動方法の一形態は、固体撮像装置の駆動方法であって、前記固体撮像装置は、2次元状に配列され、入射光を複数の色に対応する信号電荷に変換する複数の光電変換部と、前記光電変換部の各列に対応して設けられ、前記光電変換部から読み出された信号電荷を垂直方向へ転送する垂直転送部と、前記垂直転送部から受け取った信号電荷を水平方向に転送する複数の水平転送部と、前記垂直転送部から前記水平転送部への前記信号電荷の転送を制御する転送制御部とを備え、前記駆動方法は、同色の信号電荷が、前記複数の水平転送部による1水平転送期間あたりの転送行数nと同じ行数分、垂直方向に連続させるように、垂直ブランキング期間内に、前記垂直転送部内で、前記光電変換部から読み出された信号電荷の加算及び並び替えを行うように、前記垂直転送部を駆動するステップと、前記複数の水平転送部のそれぞれが、同色の信号電荷を転送するように、前記転送制御部に対して、前記垂直転送部から前記複数の水平転送部へ前記信号電荷を転送させるステップと、前記複数の水平転送部のそれぞれが、1水平転送期間あたり、n行分の同色の信号電荷を転送するように、前記複数の水平転送部のそれぞれを駆動するステップとを含む。これにより、水平転送部の低電圧駆動と水平転送時の混色が抑制される。
【発明の効果】
【0040】
本発明の固体撮像装置、その駆動方法等によれば、1パケットを構成する水平画素数Hが小さくても同色転送が可能な固体撮像装置が実現され、水平転送時の混色が抑制されるとともに、低消費電力の固体撮像装置等が実現される。
【0041】
また、駆動相数の変化に応じて1パケットを構成する水平画素数を変化させることにより、異なる水平加算数に対応した複数の水平加算モードで水平加算が可能となり、これにより、通常モード(加算なしモード)及び複数の画素加算モードにおいて低電圧駆動にて同色転送が実現でき、水平転送時の混色が抑制され、その結果、低消費電力で高画質の固体撮像装置等が実現される。
【図面の簡単な説明】
【0042】
【図1】本発明の実施の形態1における固体撮像装置の概略構成を示した図
【図2】本発明の実施の形態1における転送制御部と水平転送部の詳細な構成を示す図
【図3】本発明の実施の形態1における水平2画素加算時の垂直転送部内での加算信号の形成手順を示す図
【図4】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の垂直転送部内での加算信号の形成手順を示す図
【図5A】本発明の実施の形態1における通常モード(加算なし)時の時刻t1での転送動作を示す図
【図5B】本発明の実施の形態1における通常モード(加算なし)時の時刻t2での転送動作を示す図
【図5C】本発明の実施の形態1における通常モード(加算なし)時の時刻t3での転送動作を示す図
【図5D】本発明の実施の形態1における通常モード(加算なし)時の時刻t4での転送動作を示す図
【図6】本発明の実施の形態1における水平ブランキング期間の信号電荷の転送タイミング
【図7A】本発明の実施の形態1における水平2画素加算時の時刻t1での転送動作を示す図
【図7B】本発明の実施の形態1における水平2画素加算時の時刻t2での転送動作を示す図
【図7C】本発明の実施の形態1における水平2画素加算時の時刻t3での転送動作を示す図
【図7D】本発明の実施の形態1における水平2画素加算時の時刻t4での転送動作を示す図
【図7E】本発明の実施の形態1における水平2画素加算時の時刻t5での転送動作を示す図
【図7F】本発明の実施の形態1における水平2画素加算時の時刻t6での転送動作を示す図
【図7G】本発明の実施の形態1における水平2画素加算時の時刻t7での転送動作を示す図
【図7H】本発明の実施の形態1における水平2画素加算時の時刻t8での転送動作を示す図
【図7I】本発明の実施の形態1における水平2画素加算時の時刻t9での転送動作を示す図
【図7J】本発明の実施の形態1における水平2画素加算時の時刻t10での転送動作を示す図
【図7K】本発明の実施の形態1における水平2画素加算時の時刻t11での転送動作を示す図
【図7L】本発明の実施の形態1における水平2画素加算時の時刻t12での転送動作を示す図
【図7M】本発明の実施の形態1における水平2画素加算時の時刻t13での転送動作を示す図
【図7N】本発明の実施の形態1における水平2画素加算時の時刻t14での転送動作を示す図
【図7O】本発明の実施の形態1における水平2画素加算時の時刻t15での転送動作を示す図
【図8A】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t1での転送動作を示す図
【図8B】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t2での転送動作を示す図
【図8C】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t3での転送動作を示す図
【図8D】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t4での転送動作を示す図
【図8E】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t5での転送動作を示す図
【図8F】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t6での転送動作を示す図
【図8G】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t7での転送動作を示す図
【図8H】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t8での転送動作を示す図
【図8I】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t9での転送動作を示す図
【図8J】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t10での転送動作を示す図
【図8K】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t11での転送動作を示す図
【図8L】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t12での転送動作を示す図
【図8M】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t13での転送動作を示す図
【図8N】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t14での転送動作を示す図
【図8O】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t15での転送動作を示す図
【図8P】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t16での転送動作を示す図
【図8Q】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t17での転送動作を示す図
【図8R】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t18での転送動作を示す図
【図8S】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t19での転送動作を示す図
【図8T】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t20での転送動作を示す図
【図8U】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t21での転送動作を示す図
【図8V】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t22での転送動作を示す図
【図8W】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t23での転送動作を示す図
【図8X】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t24での転送動作を示す図
【図8Y】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t25での転送動作を示す図
【図8Z】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t26での転送動作を示す図
【図8AA】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t27での転送動作を示す図
【図8BB】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t28での転送動作を示す図
【図8CC】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t29での転送動作を示す図
【図8DD】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t30での転送動作を示す図
【図8EE】本発明の実施の形態1における水平3画素加算時の時刻t31での転送動作を示す図
【図9】本発明の実施の形態2における水平転送部の構成を示す図(α=0.5)
【図10】本発明の実施の形態2における水平転送部の構成を示す図(α=1.0)
【図11】本発明の実施の形態3における転送制御部と水平転送部の構成を示す図
【図12】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の垂直転送部内での加算信号の形成手順を示す図
【図13A】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t1での転送動作を示す図
【図13B】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t2での転送動作を示す図
【図13C】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t3での転送動作を示す図
【図13D】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t4での転送動作を示す図
【図13E】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t5での転送動作を示す図
【図13F】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t6での転送動作を示す図
【図13G】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t7での転送動作を示す図
【図13H】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t8での転送動作を示す図
【図13I】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t9での転送動作を示す図
【図13J】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t10での転送動作を示す図
【図13K】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t11での転送動作を示す図
【図13L】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t12での転送動作を示す図
【図13M】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t13での転送動作を示す図
【図13N】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t14での転送動作を示す図
【図13O】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t15での転送動作を示す図
【図13P】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t16での転送動作を示す図
【図13Q】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t17での転送動作を示す図
【図13R】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t18での転送動作を示す図
【図13S】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t19での転送動作を示す図
【図13T】本発明の実施の形態3における水平3画素加算時の時刻t20での転送動作を示す図
【図14】本発明の実施の形態4における4画素加算時の垂直転送部の1列の転送及び加算動作を示す図
【図15】本発明に係る固体撮像装置を備えるカメラの構成を示すブロック図
【図16】本発明に係る固体撮像装置を備えるカメラの外観図
【図17】従来のCCD固体撮像装置の構成を示す図
【図18】従来のCCD固体撮像装置の通常モード(加算なし)時の信号電荷の転送を示す図
【図19】従来のCCD固体撮像装置の水平2画素加算時の信号電荷の転送を示す模式図
【図20】従来のCCD固体撮像装置の水平2画素加算時の信号電荷の転送を示す図
【発明を実施するための形態】
【0043】
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、手順、動作タイミングなどは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。本発明は、特許請求の範囲だけによって限定される。よって、以下の実施の形態における構成要素及び手順のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素及び手順については、本発明の課題を達成するのに必ずしも必要ではないが、より好ましい形態を構成するものとして説明される。
【0044】
(実施の形態1)
まず、本発明の実施の形態1における固体撮像装置及びその駆動方法を説明する。
【0045】
図1は本発明の実施の形態1における固体撮像装置の概略構成を示した図である。図1において、固体撮像装置は、CCD固体撮像装置であり、複数の光電変換部1、複数の垂直転送部2、水平転送部3(第1水平転送部4、第2水平転送部5)、転送制御部6、第1の出力部7、第2の出力部8を備える。水平転送部3は第1水平転送部4と第2水平転送部5からなる。
【0046】
複数の光電変換部1は、撮像部を構成し、2次元状に配列される。個々の光電変換部1は、個々の画素に対応し、入射光を複数の色(ここでは、赤、緑、青)のいずれかに対応する信号電荷に変換する。
【0047】
複数の垂直転送部2のそれぞれは、光電変換部1の各列に対応して設けられ、光電変換部1のそれぞれから信号電荷を読み出すための複数の読み出し電極18を含む垂直転送電極を有し、光電変換部1から読み出した信号電荷を垂直方向へ転送する垂直CCDである。各垂直転送部2は、動画モード(画素加算モード)においては、同色の信号電荷が、水平転送部3による1水平転送期間あたりの転送行数nと同じ行数分、垂直方向に連続させるように、垂直ブランキング期間内に、垂直転送部2内で、光電変換部1から読み出された信号電荷の加算及び並び替えを行う。
【0048】
転送制御部6は、垂直転送部2から水平転送部3への信号電荷の転送を制御する。この転送制御部6は、第1水平転送部4及び第2水平転送部5のそれぞれが、同色の信号電荷を転送するように、垂直転送部2から第1水平転送部4及び第2水平転送部5へ信号電荷を転送する。
【0049】
水平転送部3は、垂直転送部2から受け取った信号電荷を水平方向に転送する水平CCDであり、主に、2つの水平転送部(第1水平転送部4と第2水平転送部5)から構成される。第1水平転送部4及び第2水平転送部5のそれぞれは、動画モード(画素加算モード)においては、1水平転送期間あたり、n行分の同色の信号電荷を転送する。
【0050】
第1の出力部7は、第1水平転送部4から転送されてきた信号電荷を電圧に変換して出力するアンプである。
【0051】
第2の出力部8は、第2水平転送部5から転送されてきた信号電荷を電圧に変換して出力するアンプである。
【0052】
なお、図示されていないが、垂直転送部2、転送制御部6、及び、水平転送部3に対して、それぞれの動作を制御する駆動信号を出力する駆動回路(垂直駆動回路、水平駆動回路等)が設けられている。よって、垂直転送部2、転送制御部6、及び、水平転送部3は、駆動回路からの駆動信号に従って、後述する転送、並び替え、保持、及び、加算等の動作を行う。
【0053】
この固体撮像装置において、信号の流れは、次の通りになる。つまり、入射光は光電変換部1にて信号電荷に変換され、読み出し電極18により垂直転送部2内部に読み出される。その後、信号電荷は垂直転送部2から転送制御部6に転送され、駆動モードに応じて転送制御部6は信号電荷の保持あるいは水平転送部3への転送を選択的に行う。第1水平転送部4と第2水平転送部5へ転送された信号電荷は、水平転送された後、それぞれ第1の出力部7と第2の出力部8より出力される。
【0054】
図2は本実施の形態における転送制御部6と水平転送部3の詳細な構成を示す図である。図2に示されるように、転送制御部6は、信号電荷蓄積電極(ST)9、転送阻止電極(HL)10、及び、垂直最終電極(VL)11から構成される。また、水平転送部3は、水平転送電極(H1a、H1b、H2〜H4)12(第1の水平転送電極(H1a)13、及び、第2の水平転送電極(H1b)14を含む)、振り分け転送部(HT)15、振り分け転送電極(HHT)16、チャネルストップ領域(CS)17から構成される。
【0055】
図2では、垂直転送部2として、垂直転送部2を2列束ねた構成が示されている。ここでは、水平3画素加算時及び水平2画素加算時における2列分の垂直転送部2における信号電荷の並びが示されている。このように2列束ねられた領域ごとに、転送制御部6には、1つの垂直最終電極11が配置されている。水平転送部3は、水平方向の1画素ピッチに2つの水平転送電極(H1a、H1b、H2〜H4)12を有し、4相で駆動される。第1水平転送部4と第2水平転送部5との間で信号電荷の転送を行うために、第1の水平転送電極(H1a)13、第2の水平転送電極(H1b)14、振り分け転送電極(HHT)16が配置され、それぞれH1a、H1b、HHTの電極名が付与されている。その他の水平転送電極12はH2〜4の電極名が付与されている。なお、振り分け転送電極(HHT)16は、全ての振り分け転送部(HT)15の電極と電気的に接続されている。
【0056】
転送制御部6は、信号電荷蓄積電極9と転送阻止電極10と垂直最終電極11とからなり、それぞれ、ST1〜7、HL1〜7、及び、VLの電極名が付与されている。信号電荷蓄積電極(ST)9は、上段の信号電荷蓄積電極ST1〜4と、下段の信号電荷蓄積電極ST5〜7とから構成され、信号電荷を保持(蓄積)するための電極である。転送阻止電極(HL)10は、上段の転送阻止電極HL1〜4と、下段の転送阻止電極HL5〜7とから構成され、垂直転送部2から水平転送部3への信号電荷の転送を阻止するための電極である。垂直最終電極11は、2列の垂直転送部2ごとに設けられ、転送制御部6を通過してきた信号電荷を、第1の水平転送電極(H1a)13に転送する、又は、第1の水平転送電極(H1a)13及び振り分け転送部(HT)15を介して第2の水平転送電極(H1b)14に転送するための電極である。
【0057】
この固体撮像装置は、ベイヤー配列で配置されたカラーフィルタを備える。本実施の形態の固体撮像装置は、水平2画素加算及び水平3画素加算の両方の水平加算モードを選択的に行う機能を有しており、転送制御部6の上段に位置する信号電荷蓄積電極ST1〜4及び転送阻止電極HL1〜4で色分離と水平2画素加算の転送制御を行い、下段に位置する転送制御部6の信号電荷蓄積電極ST5〜7及び転送阻止電極HL5〜7で水平3画素加算の転送制御を行う。本実施の形態における固体撮像装置は、水平2画素加算時は、垂直も2画素加算するので、合計で4画素加算を行い、水平3画素加算時は、垂直も3画素加算するので、合計で9画素加算を行う。
【0058】
また、図2では示していないが、垂直転送部2は、1画素あたり複数の垂直転送電極を有する。それらの複数の垂直転送電極のうち1つの垂直転送電極が、光電変換部1から垂直転送部2内部への信号電荷を読み出すための読み出し電極18である。例えば、1画素あたり2つの垂直転送電極を有する場合は、垂直転送部2は、垂直2画素加算時は4相駆動で、3画素加算は6相駆動で、垂直方向に信号電荷を転送する。また、垂直転送部2は、加算なしの通常モードでは、6:1の垂直インターレースの駆動を行い、1信号電荷に対して12相駆動として、転送制御部6に信号電荷を転送する。この通常モードでは、読み出し電極18以外の垂直転送電極は6本必要である。
【0059】
本実施の形態における固体撮像装置では、水平電極長比αを0.5とし、水平転送部3を4相で駆動するため、従来例に比べ、水平転送電極12の長さが短く、水平駆動電圧を低減できる。このとき、上記(3)式より、4相駆動で1パケットを構成する水平画素数Hは2となる。上記(2)式より、水平3画素加算時で1水平転送期間あたりの転送行数n=3、水平2画素加算時で1水平転送期間あたりの転送行数n=2、加算なしで1水平転送期間あたりの転送行数n=1となる。従来例では1水平転送期間あたりの転送行数n=2と3の場合では同色転送が困難であるが、本実施の形態における固体撮像装置では、そのような同色転送が可能である。
【0060】
本実施の形態における垂直転送部内の信号電荷の並びを図2に示す。水平2画素加算時、及び、水平3画素加算時で、同色の信号電荷が連続する行数が異なる。なお、加算なしの通常モードでは、垂直インターレースを行わずに全画素独立読み出しが可能な固体撮像装置の場合でも、1水平転送期間あたりの転送行数n=1であるので加算時のように同色を連続させなくても水平転送部3での同色転送が可能であり、また垂直インターレースをする固体撮像装置においては、例えば6:1インターレースであれば、列あたりの垂直方向は全て同色の信号電荷となるので同様に問題ない。
【0061】
本実施の形態の第1の特徴は、図2に示すように、垂直方向の信号電荷の並びを、同色が垂直方向にn行連続するように、配置することにある。つまり、各垂直転送部2は、同色の信号電荷が、水平転送部3による1水平転送期間あたりの転送行数nと同じ行数分、垂直方向に連続させるように、垂直ブランキング期間内に、垂直転送部2内で、信号電荷の加算及び並び替えを行う。例えば、水平3画素加算の場合は、1水平転送期間あたりの転送行数n=3であるから、図2のように3行同色が連続し、水平2画素加算の場合は、1水平転送期間あたりの転送行数n=2であるから2行同色が連続する。これにより1水平転送期間あたりの転送行数nが1を超えていても、色数は2のままとなり、水平転送部3、すなわち第1水平転送部4と第2水平転送部5で色を分離することができ、同色転送が可能になる。
【0062】
以上のように構成された本実施の形態の固体撮像装置について、以下その動作を説明する。
【0063】
図3、図4に、それぞれ、水平2画素加算、水平3画素加算時の垂直転送部2内での加算信号の形成手順を示す。図3、図4には、読み出し電極18が示されている。例として、G、R列を抜き出しており、G、gはグリーン、R、rはレッドの信号電荷を示し、GG、GGGは、それぞれ、G(グリーン)が2画素加算された状態、3画素加算された状態を示す。g、R、rについても同様である。水平2画素加算時は、垂直方向も2画素加算され、合計で4画素加算される場合を示し、水平3画素加算時は、垂直も3画素加算され、合計で9画素加算される場合を示している。図3、図4において、簡単のため、読み出し電極18以外の垂直転送電極については、その図示を省略している。図3では垂直方向2画素で1パケット、図4では3画素で1パケットとしており、例えば、1画素あたり垂直転送電極が2であれば、図3では4相駆動、図4では6相駆動となる。図4に示すように、3行同色の垂直3画素加算された信号電荷を形成するには、18画素単位で読み出し電極(V1〜V18)18を形成する必要があり、また、図3に示すように、2行同色の垂直2画素加算された信号電荷の並びを形成するには、8画素単位で読み出し電極(V1〜V8)18を形成する。
【0064】
本実施の形態の第2の特徴は、垂直転送部2の読み出し電極18を、垂直方向の加算数(垂直加算数)m×1水平転送期間あたりの転送行数n×2の最小公倍数とすることである。つまり、各垂直転送部2は、垂直加算数m(mは2以上の整数)で同色の信号電荷を加算する駆動モードを有し、一つの加算数mについては、垂直転送部2を構成する読み出し電極18の並びにおける繰り返し単位は、m×n×2となる。本実施の形態では、各垂直転送部2は、垂直加算数m(mは2以上の整数)が異なる複数の駆動モードで、垂直方向に同色の信号電荷を加算するので、垂直転送部2を構成する読み出し電極18の並びにおける繰り返し単位は、m×n×2の最小公倍数となっている。
【0065】
具体的には、図3に示すように、垂直加算数mが2の場合は、1水平転送期間あたりの転送行数n=2のため、読み出し電極18は8画素単位、図4に示すように、垂直加算数が3の場合は、1水平転送期間あたりの転送行数n=3のため、読み出し電極18は18画素単位となる。そのため、本実施の形態では、読み出し電極18の数(繰り返し単位)を8と18の最小公倍数である72本とすることで、2画素加算、3画素加算の両方で水平方向での同色転送を可能とする。
【0066】
図5A〜図5Dに本実施の形態における通常モード(加算なし)時の時刻t1〜t4での転送動作を示す。図5A〜図5Dでは簡単のため信号電荷蓄積電極9、転送阻止電極10の電極番号のみ記載しており、それらの電極名(ST、HL)については区別して記載していない。転送制御部6にて、信号電荷の転送を阻止し、保持する場合には、信号電荷蓄積電極9にミドルレベル(例えば0V)、転送阻止電極10にローレベル(例えば−6V)を印加する。水平転送部3への転送制御は、転送制御部6の上段の電極1〜4(信号電荷蓄積電極ST1〜4、転送阻止電極HL1〜4)で行い、信号電荷蓄積電極STと転送阻止電極HLが1、2と3、4を同じタイミングで転送動作し、2色を分離し転送する。転送制御部6の下段にある電極5〜7(信号電荷蓄積電極ST5〜7、転送阻止電極HL5〜7)は、それぞれ同じタイミングで転送動作する。図5A〜図5Dにおいては、転送制御部6の電圧印加状態の図示は省略し、第1水平転送部4、第2水平転送部5、及び、振り分け転送部15においてのみ、電圧の印加状態を示しており、太枠で囲まれた電極にハイレベルが印加されている。なお、図5A〜図5Dでは、代表的な時刻における第1水平転送部4、第2水平転送部5、及び、振り分け転送部15での電圧印加状態を示す図である。よって、図6を用いて後述するように、これらの図に示されていないタイミングでは、図示されていない電圧印加状態も存在し得る。
【0067】
この通常モード(加算なし)における各時刻t1〜t4での転送動作は以下の通りである。
【0068】
まず、図5A、図5Bに示されるように、時刻t1〜t2において、第1の水平転送電極(H1a)13、振り分け転送電極(HHT)16(つまり、振り分け転送部15の電極HT)、及び、第2の水平転送電極(H1b)14をハイレベルにすることで、一つの行における信号電荷Gが第2水平転送部5に転送される。
【0069】
次に、図5Cに示されるように、時刻t3において、第2水平転送部5における水平転送電極(H4)12及び第2の水平転送電極(H1b)14をハイレベルにしたまま、振り分け転送電極(HHT)16(つまり、振り分け転送部15の電極HT)をローレベルにし、第1水平転送部4における水平転送電極(H4)12及び第1の水平転送電極(H1a)13をハイレベルにすることで、上記信号電荷Gと同じ行における信号電荷Rが第1水平転送部4に転送される。
【0070】
最後に、図5Dに示されるように、時刻t4において、第1水平転送部4と第2水平転送部5のそれぞれにおいて、4相駆動により、水平転送が行われる。
【0071】
図6に、図5に示される転送動作の詳細なタイミング、つまり、水平ブランキング期間での信号電荷の転送タイミングを示す。この図6を用いて、第1水平転送部4と第2水平転送部5との間の転送に関し説明する。第1水平転送部4では、第1の水平転送電極(H1a)13で、垂直最終電極(VL)11から転送される信号電荷を受けるため、水平ブランキング期間においては、まず、第1の水平転送電極(H1a)13をハイレベルにし、また垂直最終電極(VL)11がミドルレベルになる。このとき、信号電荷が撮像部(垂直転送部2)側から垂直最終電極(VL)11下に転送される時点より前に振り分け転送電極(HHT)16(つまり、全ての振り分け転送部15の電極)にハイレベル、また第2の水平転送電極(H1b)14にもハイレベルを印加しておくことが望ましい。これにより、垂直最終電極(VL)11がミドルレベルになった時点で、第2の水平転送電極(H1b)14まで信号電荷の転送経路が出来る(図5A(時刻t1))。後は、垂直最終電極(VL)11、第1の水平転送電極(H1a)13、振り分け転送電極(HHT)16を順にローレベルとすることで、ハイレベルのまま印加されている第2の水平転送電極(H1b)14下に信号電荷が転送される。これにより垂直最終電極(VL)11から第2水平転送部(H1b)5への転送動作が完了する(図5B(時刻t2))。なお、振り分け転送電極(HHT)16には、これ以降の水平転送期間もローレベルを維持し、第2水平転送部5に転送された信号電荷と、次に垂直最終電極(VL)11から第1水平転送部4に転送される信号電荷が混合するのを防止する。再び信号電荷を受ける第1の水平転送電極(H1a)13にハイレベルを印加した後で、垂直最終電極(VL)11にミドルレベルを印加し、その後ローレベルに遷移させることで、垂直最終電極(VL)11から第1水平転送部4への信号電荷の転送動作を完了させ(図5C(時刻t3))、この後で水平転送を実施する(図5D(時刻t4))。
【0072】
図7A〜図7Oに、本実施の形態における固体撮像装置による水平2画素加算時の時刻t1〜t15での転送動作を示す。図7A(t1)の上部における実線の矢印で示された列の信号電荷G(ここでは、垂直2画素加算された信号電荷G)が水平方向に加算され、同様に、点線で示された矢印の列の信号電荷R(ここでは、垂直2画素加算された信号電荷R)が水平方向に加算される。図7A〜図7Oでも、簡単のため、信号電荷蓄積電極9、転送阻止電極10の電極番号のみ記載しており、それらの電極名(ST、HL)については区別して記載していない。信号電荷の転送制御は、通常モードと同様に、転送制御部6の上段1〜4(信号電荷蓄積電極ST1〜4、転送阻止電極HL1〜4)で行う。転送制御部6の下段にある5〜7(信号電荷蓄積電極ST5〜7、転送阻止電極HL5〜7)は、それぞれ同じタイミングで転送動作する。図7A〜図7Oにおいても、転送制御部6の電圧印加状態の図示は省略し、第1水平転送部4、第2水平転送部5、及び、振り分け転送部15においてのみ、電圧の印加状態を示しており、太枠で囲まれた電極にハイレベルが印加されている。また、各図において、動作を示す実線と点線の矢印が混在している場合は、実線の動作を先に行い、点線の動作を実線の動作の後で行うことを示している。
【0073】
この水平2画素加算モードにおける各時刻t1〜t15での転送動作は以下の通りである。
【0074】
まず、図7A、図7Bに示されるように、時刻t1〜t2において、第1の水平転送電極(H1a)13、振り分け転送電極(HHT)16(つまり、振り分け転送部15の電極HT)、及び、第2の水平転送電極(H1b)14をハイレベルにし、転送の対象となる画素(1行目の第1の信号電荷G)に対応する電極(垂直最終電極11等)に対して図6に示されるタイミングで駆動する。これにより、1行目の第1の信号電荷Gが第2水平転送部5に転送される。
【0075】
次に、図7Cに示されるように、時刻t3において、振り分け転送電極(HHT)16(つまり、振り分け転送部15の電極HT)をローレベルにした状態で、第1水平転送部4と第2水平転送部5のそれぞれにおいて、4相駆動により、2画素分の水平転送が行われる。
【0076】
次に、図7Dに示されるように、時刻t4において、第1の水平転送電極(H1a)13、振り分け転送電極(HHT)16(つまり、振り分け転送部15の電極HT)、及び、第2の水平転送電極(H1b)14をハイレベルにし、転送の対象となる画素(1行目の第2の信号電荷G)に対応する電極(垂直最終電極11等)に対して図6に示されるタイミングで駆動する。これにより、1行目の第2の信号電荷Gが第2水平転送部5に転送され、その結果、第2水平転送部5において、1行目の第1の信号電荷Gと第2の信号電荷Gとの加算が行われる。
【0077】
次に、図7Eに示されるように、時刻t5において、第2水平転送部5における水平転送電極(H4)12及び第2の水平転送電極(H1b)14をハイレベルにしたまま、振り分け転送電極(HHT)16(つまり、振り分け転送部15の電極HT)をローレベルにし、第1水平転送部4における水平転送電極(H4)12及び第1の水平転送電極(H1a)13をハイレベルにし、転送の対象となる画素(1行目の第1の信号電荷R)に対応する電極(垂直最終電極11等)に対して図6に示されるタイミングで駆動する。これにより、1行目の第1の信号電荷Rが第1水平転送部4に転送される。その後、第1水平転送部4と第2水平転送部5のそれぞれにおいて、4相駆動により、2画素分の水平転送が行われる。
【0078】
次に、図7Fに示されるように、時刻t6において、第1水平転送部4における水平転送電極(H4)12及び第1の水平転送電極(H1a)13と第2水平転送部5における水平転送電極(H4)12及び第2の水平転送電極(H1b)14とをハイレベルに維持し、振り分け転送電極(HHT)16(つまり、振り分け転送部15の電極HT)をローレベルに維持したまま、転送の対象となる画素(1行目の第2の信号電荷R)に対応する電極(垂直最終電極11等)に対して図6に示されるタイミングで駆動する。これにより、1行目の第2の信号電荷Rが第1水平転送部4に転送され、その結果、第1水平転送部4において、1行目の第1の信号電荷Rと第2の信号電荷Rとの加算が行われる。この時点で、垂直2画素加算された1行目の水平2画素加算が完了する。
【0079】
次に、図7Gに示されるように、時刻t7において、第1水平転送部4と第2水平転送部5のそれぞれにおいて、4相駆動により、1画素分の水平転送が行われる。
【0080】
次に、図7Hに示されるように、時刻t8において、既に加算された信号電荷GG及び信号電荷RRを保持したまま(水平転送電極(H3)12をハイレベルにしたまま)、第1の水平転送電極(H1a)13、振り分け転送電極(HHT)16(つまり、振り分け転送部15の電極HT)、及び、第2の水平転送電極(H1b)14をハイレベルにし、転送の対象となる画素(2行目の第1の信号電荷G)に対応する電極(垂直最終電極11等)に対して図6に示されるタイミングで駆動する。これにより、2行目の第1の信号電荷Gが第2水平転送部5に転送される。
【0081】
次に、図7Iに示されるように、時刻t9において、振り分け転送電極(HHT)16(つまり、振り分け転送部15の電極HT)をローレベルにし、第1水平転送部4と第2水平転送部5のそれぞれにおいて、連続する3つの水平転送電極(H1a、H2及びH3、並びに、H1b、H2及びH3)をハイレベルにする。
【0082】
次に、図7Jに示されるように、時刻t10において、振り分け転送電極(HHT)16(つまり、振り分け転送部15の電極HT)をローレベルにしたまま、第1水平転送部4と第2水平転送部5のそれぞれにおいて、4相駆動により、1画素分の水平転送が行われる。
【0083】
次に、図7Kに示されるように、時刻t11において、振り分け転送電極(HHT)16(つまり、振り分け転送部15の電極HT)をローレベルにしたまま、第1水平転送部4と第2水平転送部5のそれぞれにおいて、1つの水平転送電極(H3)だけをハイレベルにする。
【0084】
次に、図7Lに示されるように、時刻t12において、既に加算された信号電荷GG、信号電荷RR及び信号電荷Gを保持したまま(水平転送電極(H3)12をハイレベルにしたまま)、第1の水平転送電極(H1a)13、振り分け転送電極(HHT)16(つまり、振り分け転送部15の電極HT)、及び、第2の水平転送電極(H1b)14をハイレベルにし、転送の対象となる画素(2行目の第2の信号電荷G)に対応する電極(垂直最終電極11等)に対して図6に示されるタイミングで駆動する。これにより、2行目の第2の信号電荷Gが第2水平転送部5に転送される。
【0085】
次に、図7Mに示されるように、時刻t13において、振り分け転送電極(HHT)16(つまり、振り分け転送部15の電極HT)をローレベルにし、第1水平転送部4と第2水平転送部5のそれぞれにおいて、連続する3つの水平転送電極(H1a、H2及びH3、並びに、H1b、H2及びH3)をハイレベルにする。これにより、第2水平転送部5において、2行目の第1の信号電荷Gと第2の信号電荷Gとの加算が行われる。
【0086】
次に、図7Nに示されるように、時刻t14において、第2水平転送部5における水平転送電極(H4)12及び第2の水平転送電極(H1b)14をハイレベルにしたまま、振り分け転送電極(HHT)16(つまり、振り分け転送部15の電極HT)をローレベルにし、第1水平転送部4における水平転送電極(H4)12及び第1の水平転送電極(H1a)13をハイレベルにし、転送の対象となる画素(2行目の第1の信号電荷R)に対応する電極(垂直最終電極11等)に対して図6に示されるタイミングで駆動する。これにより、2行目の第1の信号電荷Rが第1水平転送部4に転送される。その後、第1水平転送部4と第2水平転送部5のそれぞれにおいて、4相駆動により、2画素分の水平転送が行われる。
【0087】
最後に、図7Oに示されるように、時刻t15において、第1水平転送部4における水平転送電極(H4)12及び第1の水平転送電極(H1a)13と第2水平転送部5における水平転送電極(H4)12及び第2の水平転送電極(H1b)14とをハイレベルに維持し、振り分け転送電極(HHT)16(つまり、振り分け転送部15の電極HT)をローレベルに維持したまま、転送の対象となる画素(2行目の第2の信号電荷R)に対応する電極(垂直最終電極11等)に対して図6に示されるタイミングで駆動する。これにより、2行目の第2の信号電荷Rが第1水平転送部4に転送され、その結果、第1水平転送部4において、2行目の第1の信号電荷Rと第2の信号電荷Rとの加算が行われる。この時点で、垂直2画素加算された2行目の水平2画素加算が完了する。
【0088】
本例では、図7H(t8)、図7L(t12)に示すように、2行目の信号電荷Gを第2水平転送部5へ転送する際には、第2水平転送部5における水平転送電極(H3)12下に1行目の信号電荷RR及びGGを蓄積している。これは、本例では振り分け転送電極16(HHT)が1つ(1種類設けられている場合)の例を示しており、この場合、もし、2行目の信号電荷G(第1の信号電荷G、第2の信号電荷G)を第2水平転送部5へ転送する際に、既に転送されている1行目の信号電荷RR及びGGをそれぞれ第1の水平転送電極(H1a)及び第2の水平転送電極(H1b)で蓄積していると、これらの信号電荷(1行目の信号電荷と2行目の信号電荷と)が混ざってしまうためである。
【0089】
図8A〜図8EEに、本実施の形態における固体撮像装置による水平3画素加算時の時刻t1〜t31での転送動作を示す。図8A(t1)の上部における実線の矢印で示された列の信号電荷G(ここでは、垂直3画素加算された信号電荷G)が水平方向に加算され、同様に、点線で示された矢印の列の信号電荷R(ここでは、垂直3画素加算された信号電荷R)が水平方向に加算される。図8A〜図8EEにおいても、転送制御部6の電圧印加状態の図示は省略し、第1水平転送部4、第2水平転送部5、及び、振り分け転送部15においてのみ、電圧の印加状態を示しており、太枠で囲まれた電極にハイレベルが印加されている。また、動作を示す実線と点線の矢印が混在している場合は、実線の動作を先に行い、点線の動作を実線の動作の後で行うことを示している。水平転送部3への転送制御は、上段1〜4での色分離と、下段5〜7での転送制御を組み合わせて行う。
【0090】
この水平3画素加算モードにおける各時刻t1〜t31での転送動作は以下の通りである。ここでは、図7に示された水平2画素加算モードとの相違点を中心に説明する。
【0091】
まず、図8Bに示されるように、時刻t2において、転送制御部6の上段で信号電荷Gのみを分離し、転送制御部6の下段に転送する。
【0092】
次に、図8C〜図8Eに示されるように、時刻t3〜t5において、転送制御部6の下段では、信号電荷蓄積電極ST及び転送阻止電極HLの組が5、6、7の順で信号電荷G列を第2水平転送部5に転送し、信号電荷Gを水平方向に3画素加算する。
【0093】
その後に、図8F〜図8Hに示されるように、時刻t6〜t8において、転送制御部6の上段に残った信号電荷R列を転送制御部6の下段に転送し、信号電荷蓄積電極ST及び転送阻止電極HLの組が7、5、6の順で信号電荷R列を第1水平転送部4に転送することで、信号電荷Rを水平方向に3画素加算する。これにより、垂直3画素加算された1行目の水平3画素加算が完了する。
【0094】
水平3画素加算時は1水平転送期間あたりの転送行数n=3であるので、あと2行分の信号電荷を転送、及び、加算することにより(図8I(時刻t9)〜図8EE(時刻t31))、加算後でも重心位置のずれがなく、モアレが少ない高画質な9画素加算が実現される。
【0095】
このように、本実施の形態における固体撮像装置では、以下の駆動方法が行われる。つまり、(1)同色の信号電荷が、水平転送部3による1水平転送期間あたりの転送行数nと同じ行数分、垂直方向に連続させるように、垂直ブランキング期間内に、垂直転送部2内で、信号電荷の加算及び並び替えるように、垂直転送部2を駆動するステップと、(2)第1水平転送部4及び第2水平転送部5のそれぞれが同色の信号電荷を転送するように、転送制御部6に対して、垂直転送部2から第1水平転送部4及び第2水平転送部5へ信号電荷を転送させるステップと、(3)第1水平転送部4及び第2水平転送部5のそれぞれが、1水平転送期間あたり、n行分の同色の信号電荷を転送するように、第1水平転送部4及び第2水平転送部5を駆動するステップとを含む駆動方法が行われる。
【0096】
以上のように、本実施の形態における固体撮像装置及びその駆動方法によれば、垂直転送部2内で、加算対象の信号電荷を水平加算数によって同色を複数行連続して垂直方向に配置できるため、水平転送部の電極長を短くしパケット数が増えた場合でも、加算なし、4画素加算、及び、9画素加算のいずれでも、同色の水平転送が低電圧駆動で可能となるため、低消費電力で、かつ、混色を抑制できる固体撮像装置が実現される。
【0097】
(実施の形態2)
次に、本発明の実施の形態2における固体撮像装置及びその駆動方法を説明する。
【0098】
図9は本発明の実施の形態2における固体撮像装置が備える水平転送部3の構成を示す図である。ここでは、水平電極長比αは0.5であり、24本の水平転送電極12を1単位として構成された水平転送部3が示されている。図9の(a)は、水平画素のピッチに対応する構成を示す図であり、図9の(b)〜(e)は、1パケットを構成する水平画素数H、及び、水平転送の駆動相数の各種組み合わせにおける動作を説明する図である。図9の(b)〜(e)における点線枠のそれぞれは、1個のパケットの大きさを示している。
【0099】
本実施の形態の特徴は、実施の形態1と異なり、水平転送の駆動相数を加算数によって切り替えることである。これにより、1パケットを構成する水平画素数Hを切り替え、水平転送部3のパケット数を可変する。前述したように、1水平転送期間あたりの転送行数n=1であれば色数が2に対して水平転送部3が2並列、すなわち第1水平転送部4と第2水平転送部5から構成されている場合、同色転送が可能である。本実施の形態は、1水平転送期間あたりの転送行数nを異なる加算モードで一定(例えば2並列の水平転送部を有していれば1水平転送期間あたりの転送行数n=1)となるように、水平の相数を切り替え、1パケットを構成する画素数Hを可変する。具体的には、上記(1)式より、1パケットを構成する水平画素数H=水平加算数×並列数/nであるから、1水平転送期間あたりの転送行数n=1とすると、通常モード(水平加算なし)で1パケットを構成する水平画素数H=2、水平2画素加算では1パケットを構成する水平画素数H=4、水平3画素加算では1パケットを構成する水平画素数H=6となる。水平電極長比αが0.5の場合は、上記(3)式より、それぞれの加算モード(通常モード、水平2画素加算モード、水平3画素加算モード)に対して、図9の(b)、(d)、(e)に示すように、それぞれ、4相、8相、12相駆動とする。
【0100】
ここで、加算なし、2画素加算、3画素加算の3つのモードで同色転送するためには、4、8、12の最小公倍数である24本の水平転送電極12を1単位として水平転送部3を構成する。加算なし、2画素加算の場合は、4、8の最小公倍数で8本、加算なし、3画素加算の場合は、12本となる。つまり、水平転送部3(第1水平転送部4、第2水平転送部5)のそれぞれを構成する水平転送電極の並びにおける繰り返し単位は、複数の水平加算モードにおける1パケットを構成する水平画素数Hの最小公倍数になっている。
【0101】
また、図9の(c)のように、1パケットを構成する水平画素数H=3とし、6相駆動とする場合は、水平3画素加算の場合に、上記(2)式より1水平転送期間あたりの転送行数n=2となり、実施の形態1で示した4相の場合(1パケットを構成する水平画素数H=2、1水平転送期間あたりの転送行数n=3)と異なり、1水平転送期間あたりの転送行数nの数が減り、水平2画素加算(4相、1パケットを構成する水平画素数H=2)の場合の1水平転送期間あたりの転送行数n(=2)と等しくできる。これについての詳細は実施の形態3で述べる。
【0102】
なお、画素ピッチによっては、水平電極長比αが1の場合は、水平電極長が長くなるが、図10に示すように、1パケットを構成する水平画素数Hが2、3、4、6に対して、それぞれ、駆動相数が2相、3相、4相、6相となる。図10は、図9に対応する図であり、ここでは、水平電極長比αが1の場合における水平転送部3の構成を示している。図10の(a)は、水平画素のピッチに対応する構成を示す図であり、図10の(b)〜(e)は、1パケットを構成する水平画素数H、及び、水平転送の駆動相数の各種組み合わせにおける動作を説明する図である。図10の(b)〜(e)における点線枠のそれぞれは、1個のパケットの大きさを示している。
【0103】
ここで、2相駆動では、単位面積あたりの取り扱い電荷量が少ないため、第1水平転送部4では、その幅が広くなり、第1水平転送部4から第2水平転送部5への転送電界が低下するため、水平駆動電圧を高く設定する必要がある。そのため、加算なしのモード時では、1水平転送期間あたりの転送行数n=1/2として水平1行を2回に分けて転送し、1パケットを構成する水平画素数H=4で、4相駆動とした方が水平転送部3を低電圧で駆動できるので望ましい。水平3画素加算の場合は、1パケットを構成する水平画素数H=6が必要であり、また、水平2画素加算の場合は、1パケットを構成する水平画素数H=4が必要であるため、それらの最小公倍数である12本の水平転送電極12を1単位として水平転送部3を構成することで、水平加算なし、水平2画素加算及び水平3画素加算の全てのモードにおいて同色転送を実現できる。
【0104】
このように、本実施の形態では、水平転送部3は、複数の相数の駆動信号に基づいて、水平画素数Hに対応する信号電荷を格納し得るパケットの単位で、水平方向に、所定の水平加算数で信号電荷を加算して転送する水平加算モードを有し、相数が変化する駆動信号に基づいて、1パケットを構成する水平画素数Hを変化させることにより、異なる水平加算数に対応した複数の水平加算モードで信号電荷の転送を行う。より詳しくは、水平転送部3による1水平転送期間あたりの転送行数nは、複数の水平加算モードで一定であり、水平転送部3は、水平転送部3を構成する水平転送部の数を水平転送部並列数とすると、相数が変化する駆動信号に基づいて、1パケットを構成する水平画素数Hを、水平加算数×水平転送部並列数/n(ただし、水平転送部並列数は2又は4、水平転送部並列数/nは整数、かつ、水平加算数は2以上の整数)で表わされる複数の値のいずれかになるように変化させる。水平転送部並列数/nは、例えば、2である。
【0105】
具体的には、水平転送部3は、2つの並列に配置された水平転送部(第1水平転送部4、第2水平転送部5)から構成される。そして、第1水平転送部4及び第2水平転送部5のそれぞれは、水平方向の6画素ごとに12本の水平転送電極が並べられた構成を単位とする繰り返しで構成される。さらに、第1水平転送部4及び第2水平転送部5は、画素加算なし、及び、垂直方向と水平方向にそれぞれ2画素加算する時は、4相の駆動信号に基づいて水平転送をし、垂直方向と水平方向にそれぞれ3画素加算する時は、6相の駆動信号に基づいて水平転送をし、信号電荷を水平方向に加算する時は、1水平転送期間の転送行数nを2で加算する。
【0106】
以上のように、本実施の形態における固体撮像装置及びその駆動方法によれば、垂直方向に同色の信号の並べ替えを行うことなく、すなわち読み出し電極数の数を増やすことなく、加算なしモード、及び、複数の加算モード(水平2画素加算、水平3画素加算)において同色転送が実現される。
【0107】
(実施の形態3)
次に、本発明の実施の形態3における固体撮像装置及びその駆動方法を説明する。
【0108】
図11は本発明の実施の形態3における固体撮像装置が備える転送制御部6と水平転送部3の詳細な構成を示す図である。図11において、図2と同一の符号は同じ構成要素を表す。水平転送部3は1画素ピッチに2つの水平転送電極12を有する。つまり、水平転送部3を構成する第1水平転送部4と第2水平転送部5では、水平転送電極12を1単位とする複数の水平転送電極で構成される。第1水平転送部4と第2水平転送部5との間で信号電荷の転送を行うために、第1の水平転送電極(H1a、H5a、H9a)13、第2の水平転送電極(H1b、H5b、H9b)14、振り分け転送電極(HHT)16が配置される。ここでは、実施の形態1と異なり、第1の水平転送電極13が3つに増え、それぞれH1a、H5a、H9a、第2の水平転送電極14も3つに増え、それぞれH1b、H5b、H9bの電極名が付与されている。その他の水平転送電極12はH2〜12の電極名が付与されている。転送制御部6では、実施の形態1に比べ、下段の信号電荷蓄積電極(ST)9と転送阻止電極(HL)10がそれぞれ2種類(信号電荷蓄積電極ST5、6と転送阻止電極HL5、6)に低減されている。また、水平3画素加算時の転送行数としては、同色の信号電荷が水平2画素加算と同様に、2行連続している。
【0109】
以上のように構成された本実施の形態における固体撮像装置について、以下その動作を説明する。
【0110】
本実施の形態の特徴は、実施の形態1の特徴である加算数毎に同色の信号電荷を垂直方向に連続させる点は同じであるが、加えて、実施の形態2で説明したように水平転送の相数を加算モードによって可変する。具体的には、図11に示すように、水平転送電極12を12本単位で構成し、水平2画素加算時は、4相駆動とし、図9の(b)に示すようにパケットを構成し、一方、水平3画素加算時は、6相駆動とし、図9の(c)に示すようにパケットを構成する。これにより、実施の形態1では水平3画素加算時は1パケットを構成する水平画素数H=2、1水平転送期間あたりの転送行数nが3であったものが、本実施の形態では、1パケットを構成する水平画素数H=3となるため、上記(2)式により1水平転送期間あたりの転送行数n=2とできる。従って、垂直転送部2の信号の並びも図11に示すように、水平2画素加算時は実施の形態1(図2)と変わらないが、水平3画素加算時は実施の形態1と異なり、1水平転送期間あたりの転送行数nが2になったことで、同色の信号が3行連続から2行連続で、水平転送部3の同色転送が可能になる。
【0111】
図12は本実施の形態における水平3画素加算時の垂直転送部内での加算信号の形成手順を示す図である。例としてG、R列を抜き出しており、G、gはグリーン、R、rはレッドの信号電荷を示し、GG、GGGは、それぞれ、G(グリーン)が2画素加算された状態、3画素加算された状態を示す。g、R、rについても同様である。図12では垂直方向3画素で1パケットとしており、例えば、1画素あたり垂直転送電極が2であれば6相駆動となる。図12に示すように垂直転送部2の読み出し電極18の繰り返し単位は、実施の形態1の18に対して、本実施の形態では、12に低減できる。
【0112】
転送動作については、加算なし時と水平2画素加算時では、水平転送部3を4相で駆動するため、実施の形態1と同じであるため、その説明を省略する。図13A〜図13Tは本実施の形態における水平3画素加算時の時刻t1〜t20での転送動作を示す図である。図13A(t1)における実線の矢印で示された列、点線で示された矢印の列の信号が水平方向に加算される。図13A〜図13Tにおいても、転送制御部6の電圧印加状態の図示は省略し、第1水平転送部4、第2水平転送部5、及び、振り分け転送部15においてのみ、電圧の印加状態を示しており、太枠で囲まれた電極にハイレベルが印加されている。図13A〜図13Tでは簡単のため信号電荷蓄積電極9、転送阻止電極10の電極番号のみ記載しており、それらの電極名(ST、HL)については区別して記載していない。また、動作を示す実線と点線の矢印が混在している場合は、実線の動作を先に行い、点線の動作を実線の動作の後で行うことを示している。
【0113】
この水平3画素加算モードにおける各時刻t1〜t20での転送動作は以下の通りである。ここでは、実施の形態1における水平3画素加算モードとの相違点を中心に説明する。
【0114】
まず図13Bに示されるように、時刻t2において、転送制御部6の上段で信号電荷Gのみを分離し、転送制御部6の下段に転送する。
【0115】
その後、図13Cに示されるように、時刻t3において、信号電荷G(第1の信号電荷G、第2の信号電荷G)を2列同時に第2水平転送部5へ転送し、そのあと、図13Eに示されるように、時刻t5において、第3の信号電荷Gを1列転送し、図13Fに示されるように、時刻t6において、3つの第1〜第3の信号電荷Gを水平3画素加算する。
【0116】
その後、図13Gに示されるように、時刻t7において、転送制御部6の上段に残った信号電荷R列を下段に移動し、図13Hに示されるように、時刻t8において、第1の信号電荷Rの1列(信号電荷蓄積電極ST6、転送阻止電極HL6の列)を第1水平転送部4へ転送し、更に、図13Jに示されるように、時刻t10で、信号電荷R(第2の信号電荷R、第3の信号電荷R)を2列同時に転送し、図13Kに示されるように、時刻t1において、3つの第1〜第3の信号電荷Rを水平3画素加算する。この時点で、垂直3画素加算された1行目の水平3画素加算が完了する。
【0117】
以下、同様にして、2行目について、3つの第1〜第3の信号電荷Gを水平3画素加算した後に(図13L(時刻t12)〜図13Q(時刻t17))、3つの第1〜第3の信号電荷Rを水平3画素加算する(図13R(時刻t18)〜図13T(時刻t20))。これにより、垂直3画素加算された2行目の水平3画素加算が完了する。
【0118】
このように、本実施の形態では、転送制御部6は、水平転送部3(第1水平転送部4、第2水平転送部5)が水平方向に3画素加算する時には、同色の2列の信号電荷を、転送制御部6から第1水平転送部4及び第2水平転送部5のそれぞれに同じタイミングで転送し、当該3画素加算の転送制御を行う電極が水平方向に6列を単位として繰り返された電極の並びを備え、転送制御部6の電極の並びにおける単位を構成する6列の電極のうち、連続する4列の電極は、同じ信号で駆動され、残る2列の電極は、それらの4列と異なる信号で駆動される。これは、図13A〜図13Tで示したように、水平を12本単位で構成することで、水平転送部3にて連続する5電極の水平転送電極12を同時にハイレベルに出来るためである。実施の形態1と異なり、2列の同色画素(2つの信号電荷)を同時に第1水平転送部4、第2水平転送部5に転送することが可能となるため、信号電荷蓄積電極9と転送阻止電極10を各1本減らすことができ、更には転送と加算のステップ数も少なくでき、その結果、水平ブランキング期間を短くできる利点もある。
【0119】
本実施の形態では、読み出し電極18の繰り返し単位が、4画素加算と両立させる場合には、8と12の最小公倍数である24となり、実施の形態1の72本に対して、本実施の形態では、48(=72−24)本削減できる。水平転送部3の電極数は、4相と6相の切り替えのため、12本となり8本増え、第2の水平転送電極14がH5b、H9bと2つ増えるが、転送制御部6の電極数が2本減るため、転送制御部6、水平転送部3の電極数は8本増となり、トータルとしては、48−8=40本削減できる。
【0120】
また、実施の形態2では、特に相数が多くなりすぎた場合に、位相調整が困難になる場合があるが、本実施の形態では、これに対しても最大で6相となるため、位相調整について、大きく改善できる。
【0121】
以上のように、本実施の形態における固体撮像装置及びその駆動方法によれば、電極数を大幅に削減しながら、加算なし、4画素加算、9画素加算で、同色の水平転送が低電圧駆動で可能となるため、低消費電力で、かつ、混色を抑制できる固体撮像装置が実現される。
【0122】
(実施の形態4)
次に、本発明の実施の形態4における固体撮像装置及びその駆動方法を説明する。
【0123】
図14は、本発明の実施の形態4における4画素加算時の垂直転送部2の1列の転送、及び、加算の動作を示す図である。転送制御部6、水平転送部3の構成は、図2と同じである。
【0124】
以上のように構成された本実施の形態における固体撮像装置について、以下その動作を説明する。
【0125】
本実施の形態の特徴は、4画素加算時に垂直転送を2:1インターレースし、転送制御部6で信号電荷の加算を行うことである。図14(a)は、光電変換部1から垂直転送部2への信号電荷の読み出し前の状態を示す。
【0126】
まず、図14(b)に示されるように、垂直転送部2に同色の信号電荷(ここでは、信号電荷G)を読み出す。その後、図14(c)に示すように、垂直方向に4相駆動で転送し、図14(d)及び(e)のとおり、転送制御部6の信号電荷蓄積電極9で2画素分の信号電荷Gを加算する。
【0127】
本実施の形態では、垂直インターレース動作を行うため、撮像に際してはメカシャッターを使用する。実施の形態1、実施の形態2、実施の形態3では、すべてプログレッシブ読み出しで4画素加算及び9画素加算での水平方向での同色転送を実現可能であるが、これらの実施の形態では、電極本数が同色転送しない場合に比べ増える。ここで、4画素加算は、静止画の高感度撮像や連写で用いられることが多いため、必ずしもプログレッシブ読み出しが必須ではない場合もある。また、垂直インターレースは垂直も同色転送できるため実用性が高く、メリットが大きい。
【0128】
本実施の形態では、水平3画素加算時は、実施の形態1と同じであるため、垂直転送部2については読み出し電極18は18本必要であり、転送制御部6から水平転送部3への転送動作は図8A〜図8EEと同じである。4画素加算の場合の水平2画素加算時は、垂直を2:1インターレースし垂直方向に同色を連続させ、図14で示したように垂直の2画素加算を転送制御部6にて行う。読み出し電極18は18本であり、2の倍数であるため、読み出し電極18を増やす必要はない。水平2画素加算動作については、実施の形態1で図7A〜図7Oに示したものと同じである。水平転送部3は水平電極長比α=0.5で、かつ、4相駆動であるため、1パケットを構成する水平画素数H=2であり、かつ、1水平転送期間あたりの転送行数n=2となるが、垂直をインターレースすることで、垂直同色転送しているため、色数は2色で実施の形態1と同じであり、2並列出力であれば水平方向での同色転送可能である。加算なし動作、水平3画素加算は実施の形態1と同様であり、水平転送部3を4相駆動で統一できるため、水平の電極本数も実施の形態3に比べ抑制できる。
【0129】
このように、本実施の形態では、各垂直転送部2は、垂直方向に信号電荷を加算しない場合、及び、垂直方向の加算数が2の場合は、垂直インターレースにて、垂直方向に、1フィールドごとに同色のみ転送し、垂直方向の加算数が3、かつ、水平方向の加算数が3の場合にのみ、同色の信号電荷を、転送行数nと同じ行数分、垂直方向に連続させるように、垂直ブランキング期間内に、垂直転送部2内で、信号電荷の加算及び並び替えを行う。
【0130】
なお、垂直転送部2にて垂直2画素加算を行う場合は、垂直転送部2が8相駆動となり、読み出し電極が4画素単位の繰り返しとなるため、読み出し電極18が18と4の最小公倍数で36本に増え、また、垂直転送部2を12相で構成している場合は、8と12の最小公倍数の24相で構成する必要が生じるため、読み出し電極18以外の垂直転送電極も6本から12本に増え、合計24本増加するため、電極数の観点からは、垂直転送部2にて垂直2画素加算を行うメリットがなくなる。
【0131】
なお、実施の形態1にて、4画素加算時に垂直インターレースする場合を示したが、実施の形態3の図11の構成においても、4画素加算時に垂直インターレースすることで、大きく電極数を減らすことが可能である。実施の形態3においては、読み出し電極18は、垂直3画素で、かつ、水平3画素加算時に同色転送を行うために、12本であったが、これも2の倍数であるため、読み出し電極18以外の垂直転送電極が実施の形態1と同様に6本あれば、読み出し電極18を増やすことなく図14に示した4相駆動が可能である。転送制御部6から水平転送部3の転送動作については、図5A〜図5D、図7A〜図7O、図13A〜図13Tと同じであるので、その説明を省略する。4画素加算用の読み出し電極18が必要なくなるため、実施の形態3の24本から12本に削減できる。水平転送電極12が15本で水平4相駆動のみの5本に比べて、10本多いが、転送制御部6が2本少ないため、8本多くなるものの、読み出し電極18が12本で、水平転送部3を4相のみで駆動する場合の18本に比べて、6本少ないため、トータルとしては2本の差となり、水平転送部3を4相、6相駆動する場合でも4相駆動のみで駆動する場合と、ほぼ同等の電極数にすることが可能である。
【0132】
以上のように、本実施の形態における固体撮像装置及びその駆動方法によれば、4画素加算時に、メカシャッターを用いて垂直2:1インターレースし、転送制御部で信号電荷を垂直2画素加算することで、電極の本数を低減し、4画素加算の静止画と9画素加算の動画において、同色の水平転送が低電圧駆動で可能となるため、低消費電力で、かつ、混色を抑制できる固体撮像装置が実現される。
【0133】
以上、本発明に係る固体撮像装置及びその駆動方法について、実施の形態1〜4に基づいて説明したが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではない。本発明の主旨を逸脱しない範囲で、実施の形態1〜4における任意の構成要素を組み合わせて実現される別の形態や、実施の形態1〜4に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例や、本発明に係る固体撮像装置を内蔵した各種機器も本発明に含まれる。
【0134】
たとえば、図15に示されるように、本発明に係る固体撮像装置52が内蔵されたカメラ50も本発明に含まれる。このカメラ50は、図15に示されるように、レンズ51と、本発明に係る固体撮像装置52と、駆動回路53と、信号処理部54と、外部インターフェイス部55とを備える。レンズ51を通過した光は、固体撮像装置52に入射する。信号処理部54は、駆動回路53を介して固体撮像装置52を駆動するとともに、固体撮像装置52からの出力信号を取り込む。その出力信号は、信号処理部54が有するDSP等でホワイトバランス等の各種信号処理が施され、外部インターフェイス部55を介して外部に出力される。ここで、駆動回路53は、固体撮像装置52が備える垂直転送部(読み出し電極含む)、転送制御部(信号電荷蓄積電極、転送阻止電極、垂直最終電極)、及び、水平転送部(第1水平転送部、第2水平転送部、振り分け転送電極)に駆動信号を出力することで、それぞれの動作(読み出し、転送、保持等)を制御する。このようなカメラ50は、通常モード(加算なしモード)及び複数の画素加算モードにおいて低電圧駆動にて同色転送を行うことができ、低消費電力で高品質な静止画モード及び動画モードで動作し、例えば、図16に示されるデジタルスチルカメラ50aやビデオカメラ50bとして実現される。
【産業上の利用可能性】
【0135】
本発明の固体撮像装置は、同色の信号電荷の転送を、画素ピッチに対して短い水平転送電極長を持つ複数の水平転送部を用いて行うため、低消費電力で、かつ、高速転送時に混色のない異なる加算動画モードを備えた固体撮像装置を実現でき、特にデジタルスチルカメラ用の固体撮像装置として有用である。
【符号の説明】
【0136】
1 光電変換部
2 垂直転送部
3 水平転送部
4 第1水平転送部
5 第2水平転送部
6 転送制御部
7 第1の出力部
8 第2の出力部
9 信号電荷蓄積電極
10 転送阻止電極
11 垂直最終電極
12 水平転送電極
13 第1の水平転送電極
14 第2の水平転送電極
15 振り分け転送部
16 振り分け転送電極
17 チャネルストップ領域
18 読み出し電極
50 カメラ
50a デジタルスチルカメラ
50b ビデオカメラ
51 レンズ
52 固体撮像装置
53 駆動回路
54 信号処理部
55 外部インターフェイス部
100 CCD固体撮像装置
110 撮像部
120 電荷制御部
130 垂直出力ゲート部(VOG部)
140 第1水平CCD(水平転送部)
150 第2水平CCD(水平転送部)
160 水平水平(HH)転送部
161 バリア部

【特許請求の範囲】
【請求項1】
2次元状に配列され、入射光を複数の色のそれぞれに対応する信号電荷に変換する複数の光電変換部と、
前記光電変換部の各列に対応して設けられ、前記光電変換部から読み出された信号電荷を垂直方向へ転送する垂直転送部と、
前記垂直転送部から受け取った信号電荷を水平方向に転送する複数の水平転送部と、
前記垂直転送部から前記複数の水平転送部への前記信号電荷の転送を制御する転送制御部とを備え、
前記各垂直転送部は、同色の信号電荷が、前記複数の水平転送部による1水平転送期間あたりの転送行数nと同じ行数分、垂直方向に連続させるように、垂直ブランキング期間内に、前記垂直転送部内で、前記光電変換部から読み出された信号電荷の加算及び並び替えを行い、
前記転送制御部は、前記複数の水平転送部のそれぞれが、同色の信号電荷を転送するように、前記垂直転送部から前記複数の水平転送部へ前記信号電荷を転送し、
前記複数の水平転送部のそれぞれは、1水平転送期間あたり、n行分の同色の信号電荷を転送する
固体撮像装置。
【請求項2】
前記各垂直転送部は、前記光電変換部のそれぞれから信号電荷を読み出すための複数の読み出し電極を有し、垂直方向に加算数m(mは2以上の整数)で同色の信号電荷を加算する駆動モードを有し、
前記垂直転送部を構成する読み出し電極の並びにおける繰り返し単位は、m×n×2である
請求項1に記載の固体撮像装置。
【請求項3】
前記各垂直転送部は、前記光電変換部のそれぞれから信号電荷を読み出すための複数の読み出し電極を有し、垂直方向の加算数m(mは2以上の整数)が異なる複数の駆動モードで、垂直方向に同色の信号電荷を加算し、
前記垂直転送部を構成する読み出し電極の並びにおける繰り返し単位は、m×n×2の最小公倍数である
請求項1に記載の固体撮像装置。
【請求項4】
前記異なる加算数mは、2と3であり、
前記水平転送部は、前記加算数mが2である場合には、水平方向に信号電荷を加算数2で加算し、前記加算数mが3である場合には、水平方向に信号電荷を加算数3で加算する
請求項3に記載の固体撮像装置。
【請求項5】
前記各垂直転送部は、垂直方向に信号電荷を加算しない場合、及び、垂直方向の加算数が2の場合は、垂直インターレースにて、垂直方向に、1フィールドごとに同色のみ転送し、垂直方向の加算数が3、かつ、水平方向の加算数が3の場合にのみ、同色の信号電荷を、前記転送行数nと同じ行数分、垂直方向に連続させるように、垂直ブランキング期間内に、前記垂直転送部内で、前記光電変換部から読み出された信号電荷の加算及び並び替えを行う
請求項1又は2に記載の固体撮像装置。
【請求項6】
前記複数の水平転送部は、2つの水平転送部から構成される
請求項1から5のいずれか一項に記載の固体撮像装置。
【請求項7】
前記複数の水平転送部は、4相の信号で駆動され、かつ、2つの水平転送部から構成される
請求項1から5のいずれか一項に記載の固体撮像装置。
【請求項8】
前記複数の水平転送部のそれぞれは、複数の相数の駆動信号に基づいて、水平画素数Hに対応する信号電荷を格納し得るパケットの単位で、水平方向に、所定の水平加算数で信号電荷を加算して転送する水平加算モードを有し、前記相数が変化する駆動信号に基づいて、1パケットを構成する前記水平画素数Hを変化させることにより、異なる水平加算数に対応した複数の水平加算モードで前記転送を行う
請求項1に記載の固体撮像装置。
【請求項9】
前記複数の水平転送部による1水平転送期間あたりの転送行数nは、前記複数の水平加算モードで一定であり、
前記複数の水平転送部のそれぞれは、当該複数の水平転送部を構成する水平転送部の数を水平転送部並列数とすると、前記相数が変化する駆動信号に基づいて、1パケットを構成する前記水平画素数Hを、前記水平加算数×前記水平転送部並列数/n(ただし、前記水平転送部並列数は2又は4、前記水平転送部並列数/nは整数、かつ、前記水平加算数は2以上の整数)で表わされる複数の値のいずれかになるように変化させる
請求項8に記載の固体撮像装置。
【請求項10】
前記複数の水平転送部のそれぞれは、水平転送電極の並びから構成され、
前記複数の水平転送部のそれぞれを構成する水平転送電極の並びにおける繰り返し単位は、複数の水平加算モードにおける1パケットを構成する前記水平画素数Hの最小公倍数である
請求項9に記載の固体撮像装置。
【請求項11】
前記1水平転送期間あたりの転送行数nは、前記複数の水平加算モードで一定であり、
前記水平転送部並列数/nは、2である
請求項9又は10に記載の固体撮像装置。
【請求項12】
前記複数の水平転送部は、2つの並列に配置された水平転送部から構成され、
前記複数の水平転送部のそれぞれは、水平方向の6画素ごとに12本の水平転送電極が並べられた構成を単位とする繰り返しで構成され、
前記複数の水平転送部は、画素加算なし、及び、垂直方向と水平方向にそれぞれ2画素加算する時は、4相の駆動信号に基づいて前記転送をし、垂直方向と水平方向にそれぞれ3画素加算する時は、6相の駆動信号に基づいて前記転送をし、信号電荷を水平方向に加算する時は、1水平転送期間の転送行数nを2で加算する
請求項1から11のいずれか一項に記載の固体撮像装置。
【請求項13】
前記転送制御部は、前記複数の水平転送部が水平方向に3画素加算する時には、同色の2列の信号電荷を、前記転送制御部から前記複数の水平転送部のそれぞれに同じタイミングで転送し、当該3画素加算の転送制御を行う電極が水平方向に6列を単位として繰り返された電極の並びを備え、
前記転送制御部の電極の並びにおける前記単位を構成する6列の電極のうち、連続する4列の電極は、同じ信号で駆動され、残る2列の電極は、前記4列と異なる信号で駆動される
請求項1から12のいずれか一項に記載の固体撮像装置。
【請求項14】
さらに、ベイヤー配列で配置されたカラーフィルタを備える
請求項1から13のいずれか一項に記載の固体撮像装置。
【請求項15】
請求項1から14のいずれか一項に記載の固体撮像装置を備えるカメラ。
【請求項16】
固体撮像装置の駆動方法であって、
前記固体撮像装置は、
2次元状に配列され、入射光を複数の色に対応する信号電荷に変換する複数の光電変換部と、
前記光電変換部の各列に対応して設けられ、前記光電変換部から読み出された信号電荷を垂直方向へ転送する垂直転送部と、
前記垂直転送部から受け取った信号電荷を水平方向に転送する複数の水平転送部と、
前記垂直転送部から前記水平転送部への前記信号電荷の転送を制御する転送制御部とを備え、
前記駆動方法は、
同色の信号電荷が、前記複数の水平転送部による1水平転送期間あたりの転送行数nと同じ行数分、垂直方向に連続させるように、垂直ブランキング期間内に、前記垂直転送部内で、前記光電変換部から読み出された信号電荷の加算及び並び替えを行うように、前記垂直転送部を駆動するステップと、
前記複数の水平転送部のそれぞれが、同色の信号電荷を転送するように、前記転送制御部に対して、前記垂直転送部から前記複数の水平転送部へ前記信号電荷を転送させるステップと、
前記複数の水平転送部のそれぞれが、1水平転送期間あたり、n行分の同色の信号電荷を転送するように、前記複数の水平転送部のそれぞれを駆動するステップと
を含む固体撮像装置の駆動方法。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5A】
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【図5B】
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【図5C】
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【図5D】
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【図6】
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【図7A】
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【図7B】
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【図7C】
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【図7D】
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【図7E】
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【図7F】
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【図7G】
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【図7H】
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【図7I】
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【図7J】
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【図7K】
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【図7L】
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【図7M】
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【図7N】
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【図7O】
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【図8A】
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【図8B】
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【図8C】
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【図8D】
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【図8E】
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【図8F】
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【図8G】
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【図8H】
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【図8I】
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【図8J】
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【図8K】
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【図8L】
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【図8M】
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【図8N】
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【図8O】
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【図8P】
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【図8Q】
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【図8R】
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【図8S】
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【図8T】
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【図8U】
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【図8V】
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【図8W】
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【図8X】
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【図8Y】
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【図8Z】
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【図8AA】
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【図8BB】
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【図8CC】
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【図8DD】
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【図8EE】
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【図9】
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【図10】
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【図11】
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【図12】
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【図13A】
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【図13B】
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【図13C】
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【図13D】
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【図13E】
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【図13F】
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【図13G】
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【図13H】
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【図13I】
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【図13J】
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【図13K】
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【図13L】
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【図13M】
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【図13N】
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【図13O】
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【図13P】
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【図13Q】
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【図13R】
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【図13S】
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【図13T】
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【図14】
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【図15】
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【図16】
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【図17】
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【図18】
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【図19】
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【図20】
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【公開番号】特開2013−38474(P2013−38474A)
【公開日】平成25年2月21日(2013.2.21)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2011−170573(P2011−170573)
【出願日】平成23年8月3日(2011.8.3)
【出願人】(000005821)パナソニック株式会社 (73,050)
【Fターム(参考)】