塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体
【課題】塗布、現像装置のスループットの低下を抑えると共に、装置の設置面積を抑えることができる技術を提供すること。
【解決手段】処理ブロックは、キャリアブロック側の加熱系のブロックと、液処理系の単位ブロック群と、インターフェイスブロック側の加熱ブロックと、をキャリアブロック側からインターフェイスブロック側にこの順番で配置し、前記液処理系の単位ブロック群は、反射防止膜用の単位ブロックと、レジスト膜用の単位ブロックと、上層膜用の単位ブロックと、をこの順で上側に積層した塗布膜用の単位ブロック群と、この塗布膜用の単位ブロック群に対して互いに上下に積層された現像用の単位ブロックと、から構成され、液処理系の各単位ブロックで液処理モジュールは基板の搬送路の左右両側に配置されるように装置を構成する。
【解決手段】処理ブロックは、キャリアブロック側の加熱系のブロックと、液処理系の単位ブロック群と、インターフェイスブロック側の加熱ブロックと、をキャリアブロック側からインターフェイスブロック側にこの順番で配置し、前記液処理系の単位ブロック群は、反射防止膜用の単位ブロックと、レジスト膜用の単位ブロックと、上層膜用の単位ブロックと、をこの順で上側に積層した塗布膜用の単位ブロック群と、この塗布膜用の単位ブロック群に対して互いに上下に積層された現像用の単位ブロックと、から構成され、液処理系の各単位ブロックで液処理モジュールは基板の搬送路の左右両側に配置されるように装置を構成する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板にレジストを塗布し、現像を行う塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体製造工程の一つであるフォトレジスト工程においては、半導体ウエハ(以下、ウエハという)の表面にレジストを塗布し、このレジストを所定のパターンで露光した後に現像してレジストパターンを形成している。前記レジストパターンを形成するための塗布、現像装置には、ウエハに各種の処理を行うための処理モジュールを備えた処理ブロックが設けられている。
【0003】
処理ブロックは、例えば特許文献1に記載されるように、レジスト膜などの各種の塗布膜を形成する単位ブロック及び現像処理を行う単位ブロックを互いに積層することにより構成されている。各単位ブロックにはウエハの搬送機構が設けられ、当該搬送機構によりウエハは順番に各単位ブロックに設けられる処理モジュールに受け渡されて処理を受ける。
【0004】
ところで、ウエハに形成するパターンの微細化が進んでいることから、前記塗布、現像装置に設けられる処理モジュールは多様化している。ウエハにレジストを供給してレジスト膜を形成するレジスト膜形成モジュールやウエハに現像液を供給して現像を行う現像モジュールなどの他に、例えばレジスト膜の下層に反射防止膜を形成するモジュールや例えばウエハの上層に液浸露光用の保護膜を形成するためのモジュールなどが搭載される場合がある。このように多種のモジュールを搭載した上で、どのように塗布、現像装置の設置面積を小さくするかが検討されている。
【0005】
また、前記特許文献1の塗布、現像装置では、ウエハは順番に各層のモジュール間を搬送されるため、一つのモジュールについてウエハの処理が行えなくなると、後段のモジュールにウエハを搬送することが出来なくなり、処理効率が低下してしまうおそれがある。このように処理効率の低下を抑え、且つ設置面積を小さくすることができる塗布、現像装置が求められていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開2007−115831
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明はこのような事情の下になされたものであり、塗布、現像装置のスループットの低下を抑えると共に、装置の設置面積を抑えることができる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の塗布、現像装置は、キャリアブロックにキャリアにより搬入された基板を処理ブロックに受け渡し、この処理ブロックにてレジスト膜を含む塗布膜を形成した後、前記処理ブロックに対してキャリアブロックとは反対側に位置するインターフェイスブロックを介して露光装置に搬送し、前記インターフェイスブロックを介して戻ってきた露光後の基板を前記処理ブロックにて現像処理して前記キャリアブロックに受け渡す塗布、現像装置において、
a)前記処理ブロックは、キャリアブロック側の加熱系のブロックと、液処理系の単位ブロック群と、インターフェイスブロック側の加熱ブロックと、をキャリアブロック側からインターフェイスブロック側にこの順番で配置したことと、
b)前記液処理系の単位ブロック群は、
反射防止膜を基板に形成するための反射防止膜用の単位ブロックと、前記反射防止膜の上にレジスト膜を形成するためのレジスト膜用の単位ブロックと、レジスト膜の上に上層膜を形成するための上層膜用の単位ブロックと、をこの順で上側に積層した塗布膜用の単位ブロック群と、
この塗布膜用の単位ブロック群に対して互いに上下に積層され、露光後の基板を現像するための現像用の単位ブロックと、から構成されることと、
c)前記塗布膜用の単位ブロック群の各々は、キャリアブロック側からインターフェイスブロック側を見る方向を前方とすると、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、各塗布膜に対応する薬液を基板に供給するための液処理モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら液処理モジュールの間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
d)前記現像用の単位ブロックは、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、現像液を基板に供給するための現像モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら現像モジュール間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
e)前記キャリアブロック側の加熱系のブロックは、多数の加熱モジュールを上下に積層し、これら加熱モジュールに対して、前記レジスト膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、現像用の単位ブロックにて現像液を供給した後の基板を加熱する加熱モジュールと、を割り当てると共に、加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
f)前記インターフェイスブロック側の加熱ブロックは、多数の加熱モジュールを上下に積層し、これら加熱モジュールに対して、前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、前記上層膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、現像用の単位ブロックにて現像液を供給する前の露光後の基板を加熱する加熱モジュールと、を割り当てると共に、加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
g)前記塗布膜用の単位ブロック群の各々におけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと、
h)前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと
i)キャリアブロックに置かれたキャリアから取り出された基板を、前記反射防止膜用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージに受け渡し、また前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージから基板を受け取るための受け渡し機構と、
j)前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理し、次いでレジスト膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、続いてキャリアブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理し、その後上層膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、更にインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理するように制御信号を出力する制御部と、
を備えたことを特徴とする。
【0009】
また、本発明の塗布、現像方法は、前記塗布、現像装置を用い、
前記反射防止膜用の単位ブロックにて基板に反射防止膜形成用の薬液を塗布する工程と、
前記薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、
前記加熱処理された基板をレジスト膜用の単位ブロックに受け渡してレジスト液を塗布する工程と、
前記レジスト液が塗布された基板をキャリアブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、
前記加熱処理された基板を上層膜用の単位ブロックに受け渡して上層膜形成用の薬液を塗布する工程と、
前記薬液が塗布された基板をインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、を備えたことを特徴とする。
【0010】
前記塗布、現像装置の具体的な態様としては例えば次の通りである。
(1)インターフェイスブロック側の加熱系ブロックの上下搬送機構は、反射防止膜用の単位ブロックに対応する受け渡しステージから基板を受け取り、加熱処理後の基板をレジスト膜用の単位ブロックに対応する受け渡しステージに受け渡す上下搬送機構と、上層膜用の単位ブロックに対応する受け渡しステージから基板を受け取る上下搬送機構と、に分割されている。
(2)前記レジスト膜用の単位ブロック及び上層膜用の単位ブロックは、各々に主搬送機構が備えられる構成に代えて、主搬送機構が共通化され、
前記制御部は、上層膜を基板に形成しないときには、レジスト膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を上層膜用の単位ブロックに対応する受け渡しステージを介してインターフェイスブロック側の加熱系ブロックに受け渡して加熱処理するように制御する。
【0011】
本発明の他の塗布、現像装置は、キャリアブロックにキャリアにより搬入された基板を処理ブロックに受け渡し、この処理ブロックにてレジスト膜を含む塗布膜を形成した後、前記処理ブロックに対してキャリアブロックとは反対側に位置するインターフェイスブロックを介して露光装置に搬送し、前記インターフェイスブロックを介して戻ってきた露光後の基板を前記処理ブロックにて現像処理して前記キャリアブロックに受け渡す塗布、現像装置において、
a)前記処理ブロックは、キャリアブロック側の加熱系のブロックと、液処理系の単位ブロック群と、インターフェイスブロック側の加熱ブロックと、をキャリアブロック側からインターフェイスブロック側にこの順番で配置したことと、
b)前記液処理系の単位ブロック群は、
反射防止膜を基板に形成するための反射防止膜用の単位ブロックと、前記反射防止膜の上にレジスト膜を形成するためのレジスト膜用の単位ブロックと、をこの順で上側に積層した塗布膜用の単位ブロック群と、
この塗布膜用の単位ブロック群に対して互いに上下に積層され、露光後の基板を現像するための現像用の単位ブロックと、から構成されることと、
c)前記塗布膜用の単位ブロック群の各々は、キャリアブロック側からインターフェイスブロック側を見る方向を前方とすると、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、各塗布膜に対応する薬液を基板に供給するための液処理モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら液処理モジュールの間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
d)前記現像用の単位ブロックは、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、現像液を基板に供給するための現像モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら現像モジュール間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
e)前記キャリアブロック側の加熱系のブロックは、互いに上下に積層され、現像用の単位ブロックにて現像液を供給した後の基板を加熱する複数の加熱モジュールと、これら加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
f)前記インターフェイスブロック側の加熱系のブロックは、多数の加熱モジュールを上下に積層し、これら加熱モジュールに対して、前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、前記レジスト膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、現像用の単位ブロックにて現像液を供給する前の露光後の基板を加熱する加熱モジュールと、を割り当てると共に、加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
g)前記反射防止膜用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと、
h)前記レジスト膜用の単位ブロックにおけるインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと、
i)前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと
j)キャリアブロックに置かれたキャリアから取り出された基板を、前記反射防止膜用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージに受け渡し、また前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージから基板を受け取るための受け渡し機構と、
k)前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理し、次いでレジスト膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、続いてインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理するように制御信号を出力する制御部と、
を備えたことを特徴とする。
【0012】
本発明の他の塗布、現像方法は、前記塗布、現像装置を用い、
反射防止膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、
次いでレジスト膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、続いてインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、
を備えたことを特徴とする。
【0013】
本発明の記憶媒体は、塗布、現像装置に用いられるコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、上記の塗布、現像方法を実施するためのものであることを特徴とする。
【発明の効果】
【0014】
本発明の塗布、現像装置を構成する処理ブロックは、加熱系のブロックと、液処理系の単位ブロック群と、加熱ブロックと、をキャリアブロック側からインターフェイスブロック側にこの順番で配置し、前記液処理係の単位ブロック群は、反射防止膜用の単位ブロックと、レジスト膜用の単位ブロックと、上層膜用の単位ブロックと、をこの順で上側に積層した塗布膜用の単位ブロック群と、現像用の単位ブロックと、を積層してなり、これら各単位ブロックのモジュールは、キャリアブロックからインターフェイスブロックへ向かう搬送路の左右両側に配置されている。このように各ブロック及び各単位ブロックを設けることで、装置の設置面積を抑えることができ、また液処理系の単位ブロックで一方のモジュールが使用不可の際に他方のモジュールで処理を行うことができるので、スループットの低下を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】本発明の塗布、現像装置を構成する処理ブロックの概略側面図である。
【図2】前記塗布、現像装置の縦断側面図である。
【図3】前記塗布、現像装置の平面図である。
【図4】前記塗布、現像装置の概略側面図である。
【図5】前記塗布、現像装置に設けられるメインアームの斜視図である。
【図6】液処理モジュールの側面図である。
【図7】前記塗布、現像装置を構成するインターフェイスブロックの縦断正面図である。
【図8】ウエハの搬送経路のフロー図である。
【図9】ウエハの搬送経路のフロー図である。
【図10】処理ブロックの他の構成例を示す側面図である。
【図11】処理ブロックの他の構成例を示す側面図である。
【図12】処理ブロックのさらに他の構成例を示す側面図である。
【図13】処理ブロックの他の構成の概略を示す側面図である。
【図14】処理ブロックの他の構成の概略を示す側面図である。
【図15】処理ブロックの他の構成の概略を示す側面図である。
【図16】処理ブロックの他の構成の概略を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0016】
(第1の実施形態)
本発明に係る塗布、現像装置1について説明する。図1は、本発明の塗布、現像装置1の概略側面図を示している。この塗布、現像装置1ではキャリアブロックS1、処理ブロックS20、洗浄ブロックS5、インターフェイスブロックS6が直線状に接続されており、インターフェイスブロックS6には、液浸露光を行う露光装置S7が接続されている。処理ブロックS20は、キャリアブロックS1側から洗浄ブロックS5側に向けて配列された前方側加熱系ブロックS2と、液処理ブロックS3と、後方側加熱ブロックS4とにより構成される。
【0017】
液処理ブロックS3は、ウエハWに液処理を行う第1〜第5の液処理単位ブロックB1〜B5が上に向かって順に積層されて構成されており、各液処理単位ブロックB1〜B5は区画壁により仕切られている。液処理単位ブロックB1〜B5は夫々基板である半導体ウエハ(以下、ウエハと記載する)Wに液処理を行う液処理モジュールを備えており、液処理単位ブロックB1は反射防止膜形成モジュールBCTを、液処理単位ブロックB2はレジスト膜形成モジュールCOTを、液処理単位ブロックB3は保護膜形成モジュールTCTを、夫々備えている。液処理単位ブロックB4、B5は現像モジュールを夫々備えている。
【0018】
後方側加熱ブロックS4は、第1〜第3の加熱処理単位ブロックC1〜C3が上に向かって順に積層されて構成されており、各加熱処理単位ブロックC1〜C3は区画壁により仕切られている。加熱処理単位ブロックC1は、液処理単位ブロックB1、B2に隣接している。加熱処理単位ブロックC2は、液処理単位ブロックB3に隣接し、加熱処理単位ブロックC3は液処理単位ブロックB4、B5に夫々隣接している。加熱処理単位ブロックC1〜C3は、夫々ウエハWを加熱する加熱モジュールを備えている。
【0019】
図中の矢印は、ウエハWの搬送経路を示している。前方側加熱系ブロックS2でHMDSガスによる疎水化処理を受けたウエハWは、第1の液処理単位ブロックB1に搬送されて反射防止膜が形成され、第1の加熱処理ブロックC1で加熱処理を受けた後、第2の液処理単位ブロックB2で前記反射防止膜上にレジスト膜が形成される。レジスト膜が形成されたウエハWは、前方側加熱系ブロックS2に搬送されて加熱処理された後、第3の液処理単位ブロックB3へ搬送され、前記レジスト膜の上層に保護膜が形成される。この保護膜は撥水性であり、液浸露光時にレジスト膜や反射防止膜への液の浸透を防ぐ役割を有する。保護膜形成後のウエハWは、第2の加熱処理単位ブロックC2で加熱処理された後、洗浄ブロックS5、インターフェイスブロックS6に順に搬送されて、露光装置S7に搬入される。
【0020】
露光装置S5で露光処理を受けたウエハWは、インターフェイスブロックS6、洗浄ブロックS5に順に搬送され、その後、第3の加熱処理単位ブロックC3へ搬送されて、加熱処理を受ける。然る後、ウエハWは第4の液処理単位ブロックB4または第5の液処理単位ブロックB5へ搬送され、現像処理を受けた後、前方側加熱系ブロックS2で加熱処理を受けた後、キャリアブロックS1へ戻される。
【0021】
この塗布、現像装置1ではこのように前方側加熱処理ブロックS2と後方側加熱処理ブロックS4との間で同じ高さにある層を一方向にウエハWが搬送され、ウエハWが前方側加熱系ブロックS2、後方側加熱ブロックS4に夫々搬送されると、これら前方側加熱系ブロックS2、後方側加熱ブロックS4によりウエハWが上側の層に搬送される。このように構成することで、各ブロック間でのウエハWの受け渡し回数を抑えてスループットの向上を図ると共に後述の受け渡しモジュールの数の削減を図っている。
【0022】
続いて、前記塗布、現像装置1の平面図、縦断側面図である図2、図3を参照しながら、塗布、現像装置1の構成について詳しく説明する。前記キャリアブロックS1は、基板であるウエハWが例えば25枚密閉収納されたキャリアCを搬入出するためのブロックである。前記キャリアCを載置する載置台11と、この載置台11から見て前方の壁面に設けられる開閉部12と、開閉部12を介してキャリアCからウエハWを取り出すための受け渡し機構である受け渡しアーム13とが設けられている。
【0023】
受け渡しアーム13は、上下方向に5つのウエハ保持部14を備え、進退自在、昇降自在、鉛直軸回りに回転自在、キャリアCの配列方向に移動自在に構成されている。受け渡しアーム13は、キャリアCから5枚ずつウエハWを処理ブロックS20の受け渡しモジュールBU11に一括で受け渡す。なお、ウエハWを載置できる場所をモジュールと記載し、このモジュールのうちウエハWに対して加熱、液処理、ガス供給などの処理を行うモジュールを処理モジュールと記載する。また、処理モジュールのうち、ウエハWに薬液や洗浄液を供給するモジュールを液処理モジュールと記載する。
【0024】
続いて、前方側加熱系ブロックS2について説明する。前方側加熱系ブロックS2には複数のモジュールが積層された棚ユニットU1、U2が設けられており、棚ユニットU1、U2はキャリアブロックS1からインターフェイスブロックS6に向かう方向と直交する方向に沿って配列されている。棚ユニットU1、U2に挟まれるように、上下搬送機構である受け渡しアーム15、16、17が設けられている。図4は、各ブロックのウエハWの搬送機構の配置を示す概略図であり、この図に示すように受け渡しアーム15、16、17は上下に設けられている。
【0025】
棚ユニットU1の構成について説明すると、第1の液処理単位ブロックB1と同じ高さ位置に疎水化処理モジュールADHが複数段に設けられ、第2〜第5の液処理単位ブロックB2〜B5の高さ位置には多数の加熱モジュールが積層されて設けられている。第2及び第3の液処理単位ブロックB2、B3の高さ位置に設けられた加熱モジュールをPABとして、第4及び第5の液処理単位ブロックB4、B5の高さ位置に設けられた加熱モジュールをPOSTとして夫々示している。また、加熱モジュールPAB群と、疎水化処理モジュールADH群との間には受け渡しモジュールBU11が設けられ、加熱モジュールPAB群と、加熱モジュールPOST群との間には受け渡しモジュールBU12が設けられている。受け渡しモジュールBU11、BU12は、受け渡しアーム13がアクセスできる高さ位置に設けられている。
【0026】
各モジュールについて説明すると、前記疎水化処理モジュールADHは、ウエハWを加熱すると共にウエハWのベベル部(周端部)を含む表面に処理ガスを供給する処理モジュールであり、前記表面の疎水性を向上させ、液浸露光時に当該周端部から各膜の剥がれを抑える役割を有する。加熱モジュールPABは、レジスト膜形成後のウエハWを加熱処理し、加熱モジュールPOSTは、現像処理後のウエハWを加熱処理する。これらの加熱モジュールPAB、POST及び後述の加熱モジュールCHP、PEBは互いに同様に構成されており、ウエハWを加熱する熱板16と、冷却プレート17とを備えている。冷却プレート17は、前記熱板16と受け渡しアームまたはメインアームとの間でウエハWを搬送すると共に加熱後のウエハWを冷却する。
【0027】
前記受け渡しモジュールBU11、BU12は、夫々キャリアCからウエハWが受け渡されるモジュール、キャリアCへウエハWを戻すためのモジュールである。受け渡しモジュールBU11は、既述の受け渡しアーム13から搬送されたウエハWを一括で受け取るために、ウエハWが載置されるステージを上下方向に5つ備えている。受け渡しモジュールBU11に搬送されたウエハWは、1枚ずつ受け渡しモジュールBU11から取り出されて処理を受ける。なお、受け渡しモジュールはウエハWが載置されるステージを備えている。そして、BUと記載した受け渡しモジュールは、複数枚のウエハWを夫々載置するステージを備え、載置したウエハWを滞留させることができる。
【0028】
棚ユニットU2は棚ユニットU1と同様に構成されているが、これらの受け渡しモジュールBU11、BU12が設けられておらず、受け渡しモジュールBU12と同じ高さ位置に不図示の検査モジュールが設けられる。この検査モジュールは、例えばレジストパターンの線幅の適否、ウエハWの表面の異物の有無などを検査する。
【0029】
前記受け渡しアーム15〜17は昇降自在、鉛直軸回りに回動自在且つ進退自在に構成されている。受け渡しアーム15は、受け渡しモジュールBU11と疎水化処理モジュールADHと後述の受け渡しモジュールCPL11との間でウエハWを受け渡す。受け渡しアーム16は、加熱モジュールPAB、後述の受け渡しモジュールCPL12、13との間でウエハWを受け渡す。受け渡しアーム17は、加熱モジュールPOST、後述の受け渡しモジュールCPL15、CPL14、受け渡しモジュールBU12及び検査モジュールとの間でウエハWを受け渡す。
【0030】
続いて、液処理ブロックS3について、より詳しく説明する。液処理ブロックS3を構成する液処理単位ブロックB1〜B5は、互いに平面視同様のレイアウトで構成されている。図1ではレジスト膜用の単位ブロックである第2の液処理単位ブロックB2について示しており、以下、代表してこの第2の液処理単位ブロックB2について説明する。キャリアブロックS1側を前方側、インターフェイスブロックS6側を後方側とすると、この第2の液処理単位ブロックB2の中央には、前後方向に直線状の搬送路である搬送領域R1が形成されており、この搬送領域R1を左右から挟むようにレジスト膜形成モジュールCOT1、COT2が互いに対向して設けられている。
【0031】
前記搬送領域R1には、メインアーム(主搬送機構)A2が設けられている。図5は、メインアームA2の斜視図を示している。メインアームA2は、搬送領域R1を前後に向けて敷設されたガイドレール21と、ガイドレール21に沿って移動する水平移動台22と、水平移動台22に設けられ、鉛直軸回りに回動自在なフレーム23と、基台24と、ウエハ保持部25、26と、を備えている。基台24はフレーム23に支持され、昇降自在に構成されている。また、ウエハ保持部25、26は基台24に支持されると共に基台24を独立して進退自在に構成されている。このような構成により、メインアームA2は、第2の液処理単位ブロックB2の各モジュール間でウエハWの受け渡しを行うことができる。
【0032】
レジスト膜形成モジュールCOT1について、その縦断側面図である図6も参照しながら説明する。レジスト膜形成モジュールCOT1は筐体31を備えており、筐体31内には搬送領域R1に沿って2つのスピンチャック32が設けられている。スピンチャック32は、ウエハWの裏面中央部を吸着保持すると共に鉛直軸回りに回転自在に構成されている。図中33は処理カップであり、上側が開口している。処理カップ33は、スピンチャック32の周囲を囲み、レジストの飛散を抑える。ウエハWを処理するときには、当該処理カップ33内にウエハWが収容され、ウエハWの裏面中央部はスピンチャック32に保持される。
【0033】
また、レジスト膜形成モジュールCOT1には、各処理カップ33で共用されるノズル34が設けられている。図中35は駆動機構である。駆動機構35は、アーム36を介してノズル34を各処理カップ23の配列方向に移動させると共にアーム36を介してノズル34を昇降させる。駆動機構35により、ノズル34は各処理カップ33間を移動し、各スピンチャック32に受け渡されたウエハWの中心にレジスト液を吐出する。吐出されたレジスト液は、前記スピンチャック22により鉛直軸回りに回転するウエハWの遠心力により、ウエハWの周縁へと展伸し、レジスト膜が成膜される。なお、図示は省略しているが、レジスト膜形成モジュールCOT1は、ウエハWの周端部に溶剤を供給し、当該周端部の不要な膜を除去するノズルを備えている。レジスト膜形成モジュールCOT2は、レジスト膜形成モジュールCOT1と同様に構成されている。
【0034】
各液処理単位ブロックB1、B3〜B5について簡単に説明する。図4に示すように液処理単位ブロックB1,B3〜B5には前記メインアームA2に対応するメインアームA1,A2〜A5が夫々設けられている。各メインアームA1〜A5は、夫々独立してウエハWを搬送する。
【0035】
反射防止膜用の単位ブロックである第1の液処理単位ブロックB1には、レジスト膜形成モジュールCOT1、COT2の代わりに、これらのモジュールに対応するモジュールとして反射防止膜形成モジュールBCT1,BCT2が設けられている。上層膜用の単位ブロックである第3の液処理単位ブロックB3には、レジスト膜形成モジュールCOT1、COT2の代わりに、保護膜形成モジュールTCT1,TCT2が設けられている。現像用の単位ブロックである第4の液処理単位ブロックB4には、現像モジュールDEV1、DEV2が設けられ、現像用の単位ブロックである第5の液処理単位ブロックB5には、現像モジュールDEV3,DEV4が設けられている。これらの各液処理モジュールは、COT1、COT2と同様に搬送領域R1の左右両側に対向して配置されている。これらの液処理モジュールであるBCT、TCT、DEVは、ノズル34からウエハWに供給する薬液がレジスト液とは異なることを除いて、レジスト膜形成モジュールCOTと同様に形成されている。反射防止膜形成モジュールBCTは反射防止膜形成用の薬液を、保護膜形成モジュールTCTは保護膜形成用の薬液を、現像モジュールは現像液を夫々ノズル34からウエハWに供給する。
【0036】
液処理ブロックS3において、キャリアブロックS1側には図2及び図3に示すように、各液処理単位ブロックB1〜B5に跨って棚ユニットU3が設けられている。棚ユニットU3は多数の積層されたモジュールからなり、メインアームA1〜A5がアクセスできる高さ位置に受け渡しモジュールCPL11〜CPL15が設けられている。これら棚ユニットU3の受け渡しモジュールを介して液処理ブロックS3と、前方側加熱系ブロックS2との間でウエハWの受け渡しが行われる。なお、CPLと記載した受け渡しモジュールは、載置したウエハWを冷却する冷却ステージを備えている。後述の受け渡しモジュールTRSは、ウエハWを載置するステージを備えている。
【0037】
液処理ブロックS3において、インターフェイスブロックS6側には、図2に示すように、第1〜第5の液処理単位ブロックB1〜B5に跨る棚ユニットU4が設けられている。棚ユニットU4は、複数の積層されたモジュールからなり、第1〜第5の液処理単位ブロックB1〜B5の各高さ位置には、夫々受け渡しモジュールTRS11〜15が設けられている。これら棚ユニットU4の受け渡しモジュールTRSを介して液処理ブロックS3と、後方側加熱ブロックS4との間でウエハWの受け渡しが行われる。
【0038】
次に後方側加熱ブロックS4について説明する。後方側加熱ブロックS4を構成する第1〜第3の加熱処理単位ブロックC1〜C3は、加熱モジュールと、単位ブロック用の搬送手段であり、上下搬送機構であるメインアームD1〜D3と、ウエハWの搬送領域R2と、を備えている。第1〜第3の加熱処理単位ブロックC1〜C3は互いに略同様に構成されており、ここでは代表して図3に示した第1の加熱処理単位ブロックC1について説明する。第1の加熱処理単位ブロックC1の中央には、前記搬送領域R2が前後方向に形成されている。そして、この搬送領域R2に沿って棚ユニットU11〜U14が配列されている。棚ユニットU11,U13が搬送領域R2の左右に対向して設けられ、また、棚ユニットU12,U14が搬送領域R2の左右に対向して設けられている。
【0039】
各棚ユニットU11〜U14は、例えば5基積層された加熱モジュールを含んでいる。この加熱モジュールは既述のように反射防止膜形成後のウエハWを加熱するモジュールであり、図中CHPとして示している。また、前記搬送領域R2にはメインアームD1が設けられている。このメインアームD1は、液処理ブロックS3のメインアームAと同様に構成されており、進退自在、昇降自在、鉛直軸回りに回転自在及び前後方向に移動自在に構成されている。
【0040】
他の加熱処理単位ブロックCについて簡単に説明する。第2の加熱処理単位ブロックC2は、積層される加熱モジュールの数が異なる他は第1の加熱処理単位ブロックC1と同様に構成されている。この加熱処理単位ブロックC2に設けられる加熱モジュールCHPは、保護膜形成後のウエハWを加熱するモジュールである。第3の加熱処理単位ブロックC3においても積層される加熱モジュールの数が異なる他は第1の加熱処理単位ブロックC1と同様に構成されている。この加熱処理単位ブロックC3に設けられる加熱モジュールPEBは、露光処理後、現像前のウエハWを加熱するモジュールである。また、図4に示すように液処理単位ブロックC2、C3には、前記メインアームD1に対応するメインアームD2,D3が夫々設けられている。各メインアームD1〜D3は、夫々独立してウエハWを搬送する。
【0041】
続いて、洗浄ブロックS5について説明する。この洗浄ブロックS5は、第1〜第5の洗浄単位ブロックE1〜E5が上に向かって順に積層されて構成されている。各洗浄単位ブロックE1〜E5は、互いに区画壁により区画され、第1、第2の洗浄単位ブロックE1、E2は、前記加熱処理単位ブロックC1に隣接している。第3の洗浄単位ブロックE3は、第2加熱処理単位ブロックC2に隣接しており、第4、第5の洗浄単位ブロックE4、E5は、加熱処理単位ブロックC3、C4に夫々隣接して設けられている。
【0042】
第1〜第5の洗浄単位ブロックE1〜E5は、互いに略同様に構成されており、代表して図2に示した第2の洗浄単位ブロックE2について説明すると、第2の洗浄単位ブロックE2の中央にはウエハWの搬送領域R3が形成されている。前記搬送領域R3にはメインアームF1が設けられている。この搬送領域R3を左右から挟むように裏面洗浄モジュールBST3、BST4が互いに対向して設けられている。各裏面洗浄モジュールBSTは、反射防止膜形成モジュールBCTと同様に構成されているが、差異点として1つの処理カップ33及び1つのスピンチャック32を備えている。また、他の差異点として、ノズル34が設けられる代わりに、処理カップ33毎にウエハWの裏面及びベベル部に洗浄液を供給して洗浄を行う不図示のノズルを備えている。
【0043】
第1の洗浄単位ブロックE1は、裏面洗浄モジュールBST3、BST4に夫々相当するBST1、BST2を備えている。第3の洗浄単位ブロックE3は、裏面洗浄モジュールBST3、BST4に夫々相当するBST5、BST6を備えている。また、第1〜第3の洗浄単位ブロックE1〜E3の搬送領域R3は互いに連通し、第1〜第3の洗浄単位ブロックE1〜E3は前記メインアームF1を共有している。つまり、メインアームF1は、第1〜第3の洗浄単位ブロックE1〜E3の各高さに昇降自在に構成されている。また、メインアームF1は、ガイドレール21が設けられないことを除いてメインアームAと同様に構成されており、進退自在、鉛直軸回りに回転自在及び前後方向に移動自在に構成されている。なお、既述の受け渡しアーム15〜17もこのメインアームF1と同様に構成されている。
【0044】
第4の洗浄単位ブロックE4は、裏面洗浄モジュールBST3、BST4に代り露光後洗浄モジュールPIR1、PIR2を備えている。露光後洗浄モジュールPIR1、PIR2は、ウエハWに保護膜除去または洗浄用の処理液を供給するモジュールであり、レジスト膜形成モジュールCOTと同様に構成されているが、差異点として1つの処理カップ23及びスピンチャック22が設けられており、この処理カップ23及びスピンチャック22に対して1つのノズル24が設けられている。
【0045】
第5の洗浄単位ブロックE5は、露光後洗浄モジュールPIR1、PIR2に対応する露光後洗浄モジュールPIR3、PIR4を備えている。第4、第5の洗浄単位ブロックE4、E5は、メインアームF1に対応するメインアームF2を共有しており、メインアームF2は、これら第4、第5の洗浄単位ブロックE4、E5の各高さ位置を昇降する。
【0046】
各層の搬送領域R3のキャリアブロックS1側には、図2及び図3に示すように、第1〜第5の洗浄単位ブロックE1〜E5に跨るように棚ユニットU5が設けられている。棚ユニットU5には、メインアームF1及びメインアームD2がアクセス可能な位置に受け渡しモジュールCPL31が設けられており、メインアームF2及びメインアームD3がアクセス可能な位置に受け渡しモジュールCPL32が設けられている。また、メインアームF2及びメインアームD4がアクセス可能な位置に受け渡しモジュールCPL33が設けられている。
【0047】
次にインターフェイスブロックS6について、その縦断正面図である図7も参照しながら説明する。インターフェイスブロックS6には、複数の積層されたモジュールからなる棚ユニットU6が設けられている。棚ユニットU6において、前記メインアームF2がアクセスできる高さ位置に受け渡しモジュールTRS21が設けられ、メインアームF1がアクセスすることができる高さ位置に受け渡しモジュールTRS22が設けられている。また、棚ユニットU6には受け渡しモジュールBU41、BU42、CPL41、CPL42が設けられている。
【0048】
また、インターフェイスブロックS6には、インターフェイスアーム41、42が設けられている。インターフェイスアーム41、42は回動自在、昇降自在及び進退自在に構成されており、さらにインターフェイスアーム41は、水平方向に移動自在に構成されている。インターフェイスアーム41は露光装置S7及び受け渡しモジュールCPL41、CPL42にアクセスし、これらの間でウエハWを受け渡す。インターフェイスアーム42は、棚ユニットU6を構成する各モジュールにアクセスし、これらのモジュール間でウエハWを受け渡す。
【0049】
続いて、塗布、現像装置1に設けられた制御部51について説明する。制御部51はプログラム、メモリ、CPUなどを備えている。前記プログラムには制御部51から塗布、現像装置1の各モジュール及びウエハWの搬送手段に制御信号を送り、後述のウエハWの搬送及び処理を進行させるように命令(各ステップ)が組み込まれている。このプログラム(処理パラメータの入力操作や表示に関するプログラムも含む)は、コンピュータ記憶媒体例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ハードディスク、MO(光磁気ディスク)、メモリーカードなどの記憶媒体に格納されて制御部51にインストールされる。また、前記メモリにはキャリアCの各ウエハWのIDと、ウエハWが搬送されるモジュールとが対応付けられた搬送スケジュールが記憶されている。
【0050】
塗布、現像装置1におけるウエハWの搬送経路について、モジュール単位で図2を参照しながら詳しく説明すると、キャリアCから受け渡しアーム13により棚ユニットU1の受け渡しモジュールBU11に受け渡されたウエハWは、受け渡しアーム15→棚ユニットU1、U2の疎水化処理モジュールADHの順で搬送され、疎水化処理される。疎水化処理後、ウエハWは受け渡しアーム15→棚ユニットU3の受け渡しモジュールCPL11→第1の液処理単位ブロックB1のメインアームA1→反射防止膜形成モジュールBCT1、BCT2の順で搬送されて、当該ウエハWに反射防止膜が形成される。
【0051】
反射防止膜形成後のウエハWは、メインアームA1→棚ユニットU4の受け渡しモジュールTRS11→第1の加熱処理単位ブロックC1のメインアームD1→加熱モジュールCHP→メインアームD1→棚ユニットU4の受け渡しモジュールTRS12→第2の液処理単位ブロックB2のメインアームA2→レジスト膜形成モジュールCOT1、COT2の順に搬送され、ウエハWにレジスト膜が形成される。
【0052】
続いて、前記ウエハWは、メインアームA2→棚ユニットU3の受け渡しモジュールCPL12→受け渡しアーム16→加熱モジュールPAB→受け渡しアーム16→棚ユニットU3の受け渡しモジュールCPL13→第3の液処理単位ブロックB3のメインアームA3→保護膜形成モジュールTCT1、TCT2の順に搬送され、レジスト膜の上層に保護膜が形成される。
【0053】
次に、ウエハWはメインアームA3→棚ユニットU4の受け渡しモジュールTRS13→第2の加熱処理単位ブロックC2のメインアームD2→加熱モジュールCHP→メインアームD2→棚ユニットU5の受け渡しモジュールCPL31→第1〜第3の洗浄単位ブロックE1〜E3のメインアームF1→裏面洗浄モジュールBST1〜BST6の順で搬送されて、裏面洗浄処理を受ける。裏面洗浄処理後、ウエハWはメインアームF1→棚ユニットU6のTRS22→インターフェイスアーム42→受け渡しモジュールBU41→インターフェイスアーム42→受け渡しモジュールCPL41→インターフェイスアーム41→露光装置S7の順で搬送されて、液浸露光される。
【0054】
液浸露光後のウエハWは、インターフェイスアーム41→受け渡しモジュールCPL42→インターフェイスアーム42→受け渡しモジュールBU42→インターフェイスアーム42→受け渡しモジュールTRS21→第4〜第5の洗浄単位ブロックE4〜E5のメインアームF2→第4または第5の洗浄単位ブロックE4またはE5の露光後洗浄モジュールPIR1〜PIR4に搬送されて、保護膜の除去及び洗浄処理を受ける。
【0055】
然る後、ウエハWは、メインアームF2→棚ユニットU5の受け渡しモジュールCPL32またはCPL33→第3の加熱処理単位ブロックC3のメインアームD3→加熱モジュールPEB→メインアームD3→棚ユニットU4の受け渡しモジュールTRS14またはTRS15に搬送される。受け渡しモジュールTRS14に搬送されたウエハWは、第4の液処理単位ブロックB4のメインアームA4→現像モジュールDEV1,DEV2の順で搬送され、現像処理を受けた後、メインアームA4により棚ユニットU3の受け渡しモジュールCPL14に搬送される。受け渡しモジュールTRS15に搬送されたウエハWは、第4の液処理単位ブロックB5のメインアームA5→現像モジュールDEV3,DEV4の順で搬送され、現像処理を受けた後、メインアームA5により棚ユニットU3の受け渡しモジュールCPL15に搬送される。
【0056】
各受け渡しモジュールCPL14、CPL15に搬送されたウエハWは、受け渡しアーム17→棚ユニットU1、U2の加熱モジュールPOST→受け渡しアーム17→棚ユニットU2の検査モジュールに搬送されて検査される。検査後のウエハWは受け渡しアーム17→棚ユニットU1の受け渡しモジュールBU12→受け渡しアーム13の順で搬送され、受け渡しアーム13がウエハWをキャリアCに戻す。
【0057】
上記のようにウエハWの搬送及び処理される間に液処理ブロックS3の各層の液処理モジュールのうち一方が使用不可になった場合には、当該液処理モジュールに対向した他方の液処理モジュールへ後続のウエハWを搬送するように搬送スケジュールが変更される。図8には上記した通常の搬送時におけるウエハWの搬送経路の概略を示しており、図9には例えばレジスト膜形成モジュールCOT2及び現像モジュールDEV2が使用不可になった場合の搬送経路の概略を示している。
【0058】
図9のフローに示すように、レジスト膜形成モジュールCOT2が使用不可になった場合には、レジスト膜形成モジュールCOT2に搬入されるように設定されていたウエハWは、レジスト膜形成モジュールCOT1に搬送されて処理を受けるように搬送スケジュールが変更される。また、現像モジュールDEV1に搬入されるように設定されていたウエハWは、現像モジュールDEV1に搬送されて処理を受けるように搬送スケジュールが変更される。TCT、BCTについても、これらのモジュールが使用不可になった場合は同様に、対向する同種の液処理モジュールにウエハWが搬送される。これらの液処理モジュールが使用不可になる場合としては、例えばモジュールの故障時やメンテナンス時などがあり、故障時には制御部51が自動で上記のように搬送スケジュールの変更を行う。メンテナンス時には、ユーザがメンテナンスを行う液処理モジュールを制御部51から設定すると、当該制御部51が上記のように搬送スケジュールの変更を行う。
【0059】
この塗布、現像装置1を構成する処理ブロックS20は、前方側加熱系ブロックS2と、液処理ブロックS4と、後方側加熱ブロックS3と、をキャリアブロックS1側からインターフェイスブロックS6側にこの順番で配置し、液処理ブロックS3は、反射防止膜形成用の単位ブロックB1と、レジスト膜形成用の単位ブロックB2と、保護層膜形成用の単位ブロックB3と、現像用の単位ブロックB4、B5とを積層してなり、これら各単位ブロックB1〜B5の液処理モジュールは、キャリアブロックS1からインターフェイスブロックS6へ向かうウエハWの搬送領域R1の左右両側に配置されている。このように各ブロック及び各単位ブロックを配置することで、塗布、現像装置1の設置面積を抑えることができる。また、各第1〜第5の液処理単位ブロックB1〜B5に設けられる2つの同種の液処理モジュールのうち、一方のモジュールが使用不可の際に他方のモジュールで処理を行うことができるので、ウエハWを使用不可となったモジュールの後段へと搬送することができる。これによってスループットの低下を抑えることができる。
【0060】
また、後方側加熱ブロックS4では、第1の液処理単位ブロックB1の受け渡しモジュールTRS11から第2の液処理単位ブロックB2の受け渡しモジュールTRS12にウエハWを搬送するメインアームD1と、第3の液処理単位ブロックB3の受け渡しモジュールTRS13から洗浄ブロックS5へウエハWを搬送するメインアームD2とが夫々別体として設けられている。これによって、前記液処理単位ブロックB1、B2間と、液処理単位ブロックB3と洗浄ブロックS5との間とで速やかにウエハWを搬送することができ、スループットの向上を図ることができる。なお、この実施形態や他の実施形態で、第3の液処理単位ブロックB3でレジスト膜の上層に形成される膜は保護膜に限られず、例えばレジストの上層側に形成される反射防止膜であってもよい。
【0061】
(第2の実施形態)
続いて図10を参照しながら塗布、現像装置1の処理ブロックの第2の実施形態について、第1の実施形態との差異点を中心に説明する。図10の処理ブロックS30の第2の液処理単位ブロックB2の搬送領域R1と、第3の液処理単位ブロックB3の搬送領域R1とは仕切られておらず、互いに開放されている。そしてメインアームA2が第2の液処理単位ブロックB2と第3の液処理単位ブロックB3とで共有されており、第2の液処理単位ブロックB2と第3の液処理単位ブロックB3との間を昇降できるように構成されている。これらのような構成を除いて処理ブロックS30は、既述の処理ブロックS20と同様に構成されている。
【0062】
この塗布、現像装置1の制御部61は、制御部51との差異点としてモード選択部62を備えている。モード選択部62は、マウスやキーボードまたはタッチパネルなどにより構成されており、ユーザがウエハWの搬送モード1、搬送モード2のいずれかを選択することができる。前記搬送モード1が選択された場合では第1の実施形態と同様にウエハWが搬送され、ウエハWに反射防止膜、レジスト膜、保護膜が順に形成された後、現像処理が行われる。ただし、この塗布、現像装置1ではメインアームA3が設けられていないため、第1の実施形態においてメインアームA3により行われる搬送は、当該メインアームA3に代わりメインアームA2により行われる。
【0063】
搬送モード2が選択された場合には、レジスト膜が形成されたウエハWは保護膜が形成されずに洗浄ブロックS5へと搬送される。図10中の矢印は、この搬送モード2実行時のウエハWの流れを示しており、具体的に説明すると、ウエハWは、第1の実施形態と同様の経路でレジスト膜形成モジュールCOT1,COT2に搬送される。そして、レジスト膜形成モジュールCOT1、COT2でレジスト膜が形成された後にメインアームA2に受け渡され、メインアームA2は、当該ウエハWを第3の液処理単位ブロックB3の高さ位置に設けられた受け渡しモジュールTRS13に搬送する。受け渡しモジュールTRS13のウエハWは、第2の加熱処理単位ブロックC2のメインアームD2により、加熱モジュールCHPに搬送されて加熱処理された後、洗浄ブロックS5へ搬送される。これ以降、ウエハWは第1の実施形態と同様の搬送経路で搬送される。
【0064】
この第2の実施形態においても、第1の実施形態と同様に装置の設置面積を抑えることができると共にスループットの低下を抑えることができる。また、保護膜を形成しない場合には、ウエハWは第2の液処理単位ブロックB2から前方側加熱系ブロックS2にウエハWが戻されずに後方側加熱処理ブロックS4へと搬入されるので、スループットをより高めることができる。
【0065】
(第3の実施形態)
第3の実施形態の塗布、現像装置1に設けられる処理ブロックS40は、図11に示されるように、液処理単位ブロックB3と加熱処理単位ブロックC2とを備えていない。このような違いを除いて処理ブロックS40は第1の実施形態の処理ブロックS20と同様に構成されている。ウエハWは第1の実施形態と同様の経路で反射防止膜形成モジュール→受け渡しモジュールTRS11→加熱モジュールCHP→受け渡しモジュールTRS12の順で搬送された後、レジスト膜形成モジュールCOT1、COT2でレジスト膜が形成される。然る後、ウエハWはメインアームA2により受け渡しモジュールTRS12へ搬送され、さらに第1の加熱処理単位ブロックC1のメインアームD1に受け渡される。その後、加熱モジュールCHPに搬送されて加熱処理された後、洗浄ブロックS5へ搬送される。これ以降、ウエハWは第1の実施形態と同様の搬送経路で搬送される。処理ブロックをこのような構成としても第1の実施形態と同様の効果がある。
【0066】
図12に示す処理ブロックS50は第3の実施形態の変形例である。処理ブロックS50は、第1の実施形態と同様に第1〜第3の加熱処理単位ブロックC1〜C3を備えている。ただし、第1の実施形態とは異なり、第1の加熱処理単位ブロックC1は第1の液処理単位ブロックB1及び第2の液処理単位ブロックB2の下側に隣接し、第2の加熱処理単位ブロックC2は第2の液処理単位ブロックB2の上側に隣接している。そして、液処理ブロックS4の棚ユニットU4の受け渡しモジュールTRS12、TRS13は、第1の加熱処理単位ブロックC1の高さ位置、第2の加熱処理単位ブロックC2の高さ位置に夫々設けられている。
【0067】
処理ブロックS50において、他の実施形態と同様に反射防止膜形成後、受け渡しモジュールTRS11に搬入されたウエハWは、メインアームD1により第1の加熱処理単位ブロックC1の加熱モジュールCHPに搬入されて加熱処理された後、受け渡しモジュールTRS12に搬送される。そして、第2の液処理単位ブロックB2でレジスト膜が形成されたウエハWは、受け渡しモジュールTRS13に搬送され、第2の加熱処理単位ブロックC2のメインアームD2により、当該第2の加熱処理単位ブロックC2の加熱モジュールCHPに搬送されて加熱処理を受ける。然る後、ウエハWはメインアームD2により洗浄ブロックS5に搬送される。これ以降、ウエハWは第1の実施形態と同様の経路で搬送される。この実施形態においても第1の実施形態と同様の効果が得られる。各実施形態において液処理単位ブロックB4、B5でメインアームは共有されていてもよい。つまり、メインアームA5が設けられておらず、メインアームA4が液処理単位ブロックB4、B5間を昇降し、これらの高さ位置にある各モジュールにウエハWを受け渡すことができるようになっていてもよい。
【0068】
上記の各実施形態で現像用の単位ブロックは2層設けられているが、3層以上の複数層であってもよく、また1層のみ設けられていてもよい。なお、現像用の単位ブロックB4、B5で1つのメインアームAを共有し、当該メインアームが単位ブロックB4、B5の各モジュールにアクセスできるようにしてもよい。このようにメインアームAが共有化されていても、他の単位ブロックBの高さの2つ分の高さを有していれば、その単位ブロックBは2層であるものと見ることができる。
【0069】
次に本発明の変形例を以下に示しておく。
(1)液処理系の単位ブロック群は、反射防止膜用の単位ブロックと、レジスト膜用の単位ブロックと、上層膜用の単位ブロックと、を下からこの順に積層することに限らず、上からこの順に積層するようにしてもよい。
(2)既述の図1の実施形態は、加熱系のブロックを、液処理系の単位ブロック群のキャリアブロックS1側及びインターフェイスブロックS6側に分散させた構成であるが、図13に示すように加熱系のブロックを、液処理系の単位ブロック群のキャリアブロックS1側だけに設けてもよいし、あるいは図14に示すように液処理系の単位ブロック群のインターフェイスブロックS6側だけに設けてもよい。図13、図14に記載されている鎖線71は、ウエハWの流れを示している。
【0070】
加熱系のブロックは、前記塗布膜用の単位ブロック群の各々で形成された塗布膜を加熱処理するための複数の加熱モジュールPAB及びCHPが積層されているが、加熱系のブロックが液処理系の単位ブロック群のキャリアブロックS1側(前方側)及びインターフェイスブロックS6側(後方側)に分散されている場合には、各塗布膜を加熱処理する加熱モジュールPAB及びCHPが前方側の加熱ブロックS2及び後方側の加熱ブロックS4のいずれかに配置されることになる。
【0071】
また現像処理の前後において加熱処理するための加熱モジュールについても、複数積層して加熱系のブロックとして構成しているが、この場合、露光後現像前のウエハWに対して加熱を行うための加熱モジュールPEBと現像後のウエハWに対して加熱を行うための加熱モジュールPOSTとを、現像用の単位ブロックのインターフェイスブロックS6側に集約して設けてもよいし、あるいは現像用の単位ブロックのキャリアブロックS1側に集約して設けてもよい。
従って本発明は、これらの変形例までも含めてその特徴を表現するならば、
イ)処理ブロックは、液処理系の単位ブロック群のキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側のうちの少なくとも一方に加熱系のブロックを配置したことと、
ロ)加熱系のブロックは、互いに上下に積層した複数の加熱モジュールと、これら複数の加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
ハ)反射防止膜用の単位ブロック、レジスト膜用の単位ブロック及び上層膜用の単位ブロックごとに設けられ、各単位ブロックの主搬送機構と前記上下搬送機構との間で基板の受け渡しを行うための受け渡しステージと、
ニ)反射防止膜用の単位ブロック、レジスト膜用の単位ブロック及び上層膜用の単位ブロック間の基板の搬送は、前記ハ)に記載した受け渡しステージを介して前記上下搬送機構により行われること、
ホ)前記加熱モジュールは塗布膜用の単位ブロック群の各単位ブロックにて塗布された塗布膜を加熱処理するためのものであること、
を備えているということができる。
【0072】
なおウエハ上のレジスト膜の上に上層膜を形成しない場合には、図15のように反射防止膜用の単位ブロック及びレジスト膜用の単位ブロックからなる塗布膜用の単位ブロック群(この例では2つの単位ブロックを「群」と呼んでいる)の後方側に設けてもよいし、あるいは図16のように塗布膜用の単位ブロック群の前方側に設けてもよい。このように塗布膜用の単位ブロック群及び現像用の単位ブロックと、加熱モジュールと、を分離し、加熱モジュールを積層して加熱系のブロックとして集約すると共に加熱系のブロックを、液処理系の単位ブロック群のキャリアブロック側やインターフェイスブロック側に配置することにより、コンパクトな装置を構築することができ、特にキャリアブロック側から見た前後方向の寸法を小さくできる利点がある。また塗布膜用の単位ブロック間のウエハの搬送を加熱系のブロックの上下搬送機構を利用して行うことができるので、搬送効率がよく、また搬送系をハード面から見ても全体として無駄のない設計ができる。
【符号の説明】
【0073】
A1〜A5 メインアーム
BCT 反射防止膜形成モジュール
B1〜B5 液処理単位ブロック
COT レジスト膜形成モジュール
DEV 現像モジュール
D1〜D3 メインアーム
F1、F2 メインアーム
TCT 保護膜形成モジュール
S1 キャリアブロック
S2 前方側加熱ブロック
S3 液処理ブロック
S4 後方側加熱ブロック
S5 洗浄ブロック
S6 インターフェイスブロック
S7 露光装置
W ウエハ
1 塗布、現像装置
51 制御部
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板にレジストを塗布し、現像を行う塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体製造工程の一つであるフォトレジスト工程においては、半導体ウエハ(以下、ウエハという)の表面にレジストを塗布し、このレジストを所定のパターンで露光した後に現像してレジストパターンを形成している。前記レジストパターンを形成するための塗布、現像装置には、ウエハに各種の処理を行うための処理モジュールを備えた処理ブロックが設けられている。
【0003】
処理ブロックは、例えば特許文献1に記載されるように、レジスト膜などの各種の塗布膜を形成する単位ブロック及び現像処理を行う単位ブロックを互いに積層することにより構成されている。各単位ブロックにはウエハの搬送機構が設けられ、当該搬送機構によりウエハは順番に各単位ブロックに設けられる処理モジュールに受け渡されて処理を受ける。
【0004】
ところで、ウエハに形成するパターンの微細化が進んでいることから、前記塗布、現像装置に設けられる処理モジュールは多様化している。ウエハにレジストを供給してレジスト膜を形成するレジスト膜形成モジュールやウエハに現像液を供給して現像を行う現像モジュールなどの他に、例えばレジスト膜の下層に反射防止膜を形成するモジュールや例えばウエハの上層に液浸露光用の保護膜を形成するためのモジュールなどが搭載される場合がある。このように多種のモジュールを搭載した上で、どのように塗布、現像装置の設置面積を小さくするかが検討されている。
【0005】
また、前記特許文献1の塗布、現像装置では、ウエハは順番に各層のモジュール間を搬送されるため、一つのモジュールについてウエハの処理が行えなくなると、後段のモジュールにウエハを搬送することが出来なくなり、処理効率が低下してしまうおそれがある。このように処理効率の低下を抑え、且つ設置面積を小さくすることができる塗布、現像装置が求められていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開2007−115831
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明はこのような事情の下になされたものであり、塗布、現像装置のスループットの低下を抑えると共に、装置の設置面積を抑えることができる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の塗布、現像装置は、キャリアブロックにキャリアにより搬入された基板を処理ブロックに受け渡し、この処理ブロックにてレジスト膜を含む塗布膜を形成した後、前記処理ブロックに対してキャリアブロックとは反対側に位置するインターフェイスブロックを介して露光装置に搬送し、前記インターフェイスブロックを介して戻ってきた露光後の基板を前記処理ブロックにて現像処理して前記キャリアブロックに受け渡す塗布、現像装置において、
a)前記処理ブロックは、キャリアブロック側の加熱系のブロックと、液処理系の単位ブロック群と、インターフェイスブロック側の加熱ブロックと、をキャリアブロック側からインターフェイスブロック側にこの順番で配置したことと、
b)前記液処理系の単位ブロック群は、
反射防止膜を基板に形成するための反射防止膜用の単位ブロックと、前記反射防止膜の上にレジスト膜を形成するためのレジスト膜用の単位ブロックと、レジスト膜の上に上層膜を形成するための上層膜用の単位ブロックと、をこの順で上側に積層した塗布膜用の単位ブロック群と、
この塗布膜用の単位ブロック群に対して互いに上下に積層され、露光後の基板を現像するための現像用の単位ブロックと、から構成されることと、
c)前記塗布膜用の単位ブロック群の各々は、キャリアブロック側からインターフェイスブロック側を見る方向を前方とすると、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、各塗布膜に対応する薬液を基板に供給するための液処理モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら液処理モジュールの間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
d)前記現像用の単位ブロックは、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、現像液を基板に供給するための現像モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら現像モジュール間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
e)前記キャリアブロック側の加熱系のブロックは、多数の加熱モジュールを上下に積層し、これら加熱モジュールに対して、前記レジスト膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、現像用の単位ブロックにて現像液を供給した後の基板を加熱する加熱モジュールと、を割り当てると共に、加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
f)前記インターフェイスブロック側の加熱ブロックは、多数の加熱モジュールを上下に積層し、これら加熱モジュールに対して、前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、前記上層膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、現像用の単位ブロックにて現像液を供給する前の露光後の基板を加熱する加熱モジュールと、を割り当てると共に、加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
g)前記塗布膜用の単位ブロック群の各々におけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと、
h)前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと
i)キャリアブロックに置かれたキャリアから取り出された基板を、前記反射防止膜用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージに受け渡し、また前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージから基板を受け取るための受け渡し機構と、
j)前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理し、次いでレジスト膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、続いてキャリアブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理し、その後上層膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、更にインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理するように制御信号を出力する制御部と、
を備えたことを特徴とする。
【0009】
また、本発明の塗布、現像方法は、前記塗布、現像装置を用い、
前記反射防止膜用の単位ブロックにて基板に反射防止膜形成用の薬液を塗布する工程と、
前記薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、
前記加熱処理された基板をレジスト膜用の単位ブロックに受け渡してレジスト液を塗布する工程と、
前記レジスト液が塗布された基板をキャリアブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、
前記加熱処理された基板を上層膜用の単位ブロックに受け渡して上層膜形成用の薬液を塗布する工程と、
前記薬液が塗布された基板をインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、を備えたことを特徴とする。
【0010】
前記塗布、現像装置の具体的な態様としては例えば次の通りである。
(1)インターフェイスブロック側の加熱系ブロックの上下搬送機構は、反射防止膜用の単位ブロックに対応する受け渡しステージから基板を受け取り、加熱処理後の基板をレジスト膜用の単位ブロックに対応する受け渡しステージに受け渡す上下搬送機構と、上層膜用の単位ブロックに対応する受け渡しステージから基板を受け取る上下搬送機構と、に分割されている。
(2)前記レジスト膜用の単位ブロック及び上層膜用の単位ブロックは、各々に主搬送機構が備えられる構成に代えて、主搬送機構が共通化され、
前記制御部は、上層膜を基板に形成しないときには、レジスト膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を上層膜用の単位ブロックに対応する受け渡しステージを介してインターフェイスブロック側の加熱系ブロックに受け渡して加熱処理するように制御する。
【0011】
本発明の他の塗布、現像装置は、キャリアブロックにキャリアにより搬入された基板を処理ブロックに受け渡し、この処理ブロックにてレジスト膜を含む塗布膜を形成した後、前記処理ブロックに対してキャリアブロックとは反対側に位置するインターフェイスブロックを介して露光装置に搬送し、前記インターフェイスブロックを介して戻ってきた露光後の基板を前記処理ブロックにて現像処理して前記キャリアブロックに受け渡す塗布、現像装置において、
a)前記処理ブロックは、キャリアブロック側の加熱系のブロックと、液処理系の単位ブロック群と、インターフェイスブロック側の加熱ブロックと、をキャリアブロック側からインターフェイスブロック側にこの順番で配置したことと、
b)前記液処理系の単位ブロック群は、
反射防止膜を基板に形成するための反射防止膜用の単位ブロックと、前記反射防止膜の上にレジスト膜を形成するためのレジスト膜用の単位ブロックと、をこの順で上側に積層した塗布膜用の単位ブロック群と、
この塗布膜用の単位ブロック群に対して互いに上下に積層され、露光後の基板を現像するための現像用の単位ブロックと、から構成されることと、
c)前記塗布膜用の単位ブロック群の各々は、キャリアブロック側からインターフェイスブロック側を見る方向を前方とすると、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、各塗布膜に対応する薬液を基板に供給するための液処理モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら液処理モジュールの間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
d)前記現像用の単位ブロックは、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、現像液を基板に供給するための現像モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら現像モジュール間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
e)前記キャリアブロック側の加熱系のブロックは、互いに上下に積層され、現像用の単位ブロックにて現像液を供給した後の基板を加熱する複数の加熱モジュールと、これら加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
f)前記インターフェイスブロック側の加熱系のブロックは、多数の加熱モジュールを上下に積層し、これら加熱モジュールに対して、前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、前記レジスト膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、現像用の単位ブロックにて現像液を供給する前の露光後の基板を加熱する加熱モジュールと、を割り当てると共に、加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
g)前記反射防止膜用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと、
h)前記レジスト膜用の単位ブロックにおけるインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと、
i)前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと
j)キャリアブロックに置かれたキャリアから取り出された基板を、前記反射防止膜用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージに受け渡し、また前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージから基板を受け取るための受け渡し機構と、
k)前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理し、次いでレジスト膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、続いてインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理するように制御信号を出力する制御部と、
を備えたことを特徴とする。
【0012】
本発明の他の塗布、現像方法は、前記塗布、現像装置を用い、
反射防止膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、
次いでレジスト膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、続いてインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、
を備えたことを特徴とする。
【0013】
本発明の記憶媒体は、塗布、現像装置に用いられるコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、上記の塗布、現像方法を実施するためのものであることを特徴とする。
【発明の効果】
【0014】
本発明の塗布、現像装置を構成する処理ブロックは、加熱系のブロックと、液処理系の単位ブロック群と、加熱ブロックと、をキャリアブロック側からインターフェイスブロック側にこの順番で配置し、前記液処理係の単位ブロック群は、反射防止膜用の単位ブロックと、レジスト膜用の単位ブロックと、上層膜用の単位ブロックと、をこの順で上側に積層した塗布膜用の単位ブロック群と、現像用の単位ブロックと、を積層してなり、これら各単位ブロックのモジュールは、キャリアブロックからインターフェイスブロックへ向かう搬送路の左右両側に配置されている。このように各ブロック及び各単位ブロックを設けることで、装置の設置面積を抑えることができ、また液処理系の単位ブロックで一方のモジュールが使用不可の際に他方のモジュールで処理を行うことができるので、スループットの低下を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】本発明の塗布、現像装置を構成する処理ブロックの概略側面図である。
【図2】前記塗布、現像装置の縦断側面図である。
【図3】前記塗布、現像装置の平面図である。
【図4】前記塗布、現像装置の概略側面図である。
【図5】前記塗布、現像装置に設けられるメインアームの斜視図である。
【図6】液処理モジュールの側面図である。
【図7】前記塗布、現像装置を構成するインターフェイスブロックの縦断正面図である。
【図8】ウエハの搬送経路のフロー図である。
【図9】ウエハの搬送経路のフロー図である。
【図10】処理ブロックの他の構成例を示す側面図である。
【図11】処理ブロックの他の構成例を示す側面図である。
【図12】処理ブロックのさらに他の構成例を示す側面図である。
【図13】処理ブロックの他の構成の概略を示す側面図である。
【図14】処理ブロックの他の構成の概略を示す側面図である。
【図15】処理ブロックの他の構成の概略を示す側面図である。
【図16】処理ブロックの他の構成の概略を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0016】
(第1の実施形態)
本発明に係る塗布、現像装置1について説明する。図1は、本発明の塗布、現像装置1の概略側面図を示している。この塗布、現像装置1ではキャリアブロックS1、処理ブロックS20、洗浄ブロックS5、インターフェイスブロックS6が直線状に接続されており、インターフェイスブロックS6には、液浸露光を行う露光装置S7が接続されている。処理ブロックS20は、キャリアブロックS1側から洗浄ブロックS5側に向けて配列された前方側加熱系ブロックS2と、液処理ブロックS3と、後方側加熱ブロックS4とにより構成される。
【0017】
液処理ブロックS3は、ウエハWに液処理を行う第1〜第5の液処理単位ブロックB1〜B5が上に向かって順に積層されて構成されており、各液処理単位ブロックB1〜B5は区画壁により仕切られている。液処理単位ブロックB1〜B5は夫々基板である半導体ウエハ(以下、ウエハと記載する)Wに液処理を行う液処理モジュールを備えており、液処理単位ブロックB1は反射防止膜形成モジュールBCTを、液処理単位ブロックB2はレジスト膜形成モジュールCOTを、液処理単位ブロックB3は保護膜形成モジュールTCTを、夫々備えている。液処理単位ブロックB4、B5は現像モジュールを夫々備えている。
【0018】
後方側加熱ブロックS4は、第1〜第3の加熱処理単位ブロックC1〜C3が上に向かって順に積層されて構成されており、各加熱処理単位ブロックC1〜C3は区画壁により仕切られている。加熱処理単位ブロックC1は、液処理単位ブロックB1、B2に隣接している。加熱処理単位ブロックC2は、液処理単位ブロックB3に隣接し、加熱処理単位ブロックC3は液処理単位ブロックB4、B5に夫々隣接している。加熱処理単位ブロックC1〜C3は、夫々ウエハWを加熱する加熱モジュールを備えている。
【0019】
図中の矢印は、ウエハWの搬送経路を示している。前方側加熱系ブロックS2でHMDSガスによる疎水化処理を受けたウエハWは、第1の液処理単位ブロックB1に搬送されて反射防止膜が形成され、第1の加熱処理ブロックC1で加熱処理を受けた後、第2の液処理単位ブロックB2で前記反射防止膜上にレジスト膜が形成される。レジスト膜が形成されたウエハWは、前方側加熱系ブロックS2に搬送されて加熱処理された後、第3の液処理単位ブロックB3へ搬送され、前記レジスト膜の上層に保護膜が形成される。この保護膜は撥水性であり、液浸露光時にレジスト膜や反射防止膜への液の浸透を防ぐ役割を有する。保護膜形成後のウエハWは、第2の加熱処理単位ブロックC2で加熱処理された後、洗浄ブロックS5、インターフェイスブロックS6に順に搬送されて、露光装置S7に搬入される。
【0020】
露光装置S5で露光処理を受けたウエハWは、インターフェイスブロックS6、洗浄ブロックS5に順に搬送され、その後、第3の加熱処理単位ブロックC3へ搬送されて、加熱処理を受ける。然る後、ウエハWは第4の液処理単位ブロックB4または第5の液処理単位ブロックB5へ搬送され、現像処理を受けた後、前方側加熱系ブロックS2で加熱処理を受けた後、キャリアブロックS1へ戻される。
【0021】
この塗布、現像装置1ではこのように前方側加熱処理ブロックS2と後方側加熱処理ブロックS4との間で同じ高さにある層を一方向にウエハWが搬送され、ウエハWが前方側加熱系ブロックS2、後方側加熱ブロックS4に夫々搬送されると、これら前方側加熱系ブロックS2、後方側加熱ブロックS4によりウエハWが上側の層に搬送される。このように構成することで、各ブロック間でのウエハWの受け渡し回数を抑えてスループットの向上を図ると共に後述の受け渡しモジュールの数の削減を図っている。
【0022】
続いて、前記塗布、現像装置1の平面図、縦断側面図である図2、図3を参照しながら、塗布、現像装置1の構成について詳しく説明する。前記キャリアブロックS1は、基板であるウエハWが例えば25枚密閉収納されたキャリアCを搬入出するためのブロックである。前記キャリアCを載置する載置台11と、この載置台11から見て前方の壁面に設けられる開閉部12と、開閉部12を介してキャリアCからウエハWを取り出すための受け渡し機構である受け渡しアーム13とが設けられている。
【0023】
受け渡しアーム13は、上下方向に5つのウエハ保持部14を備え、進退自在、昇降自在、鉛直軸回りに回転自在、キャリアCの配列方向に移動自在に構成されている。受け渡しアーム13は、キャリアCから5枚ずつウエハWを処理ブロックS20の受け渡しモジュールBU11に一括で受け渡す。なお、ウエハWを載置できる場所をモジュールと記載し、このモジュールのうちウエハWに対して加熱、液処理、ガス供給などの処理を行うモジュールを処理モジュールと記載する。また、処理モジュールのうち、ウエハWに薬液や洗浄液を供給するモジュールを液処理モジュールと記載する。
【0024】
続いて、前方側加熱系ブロックS2について説明する。前方側加熱系ブロックS2には複数のモジュールが積層された棚ユニットU1、U2が設けられており、棚ユニットU1、U2はキャリアブロックS1からインターフェイスブロックS6に向かう方向と直交する方向に沿って配列されている。棚ユニットU1、U2に挟まれるように、上下搬送機構である受け渡しアーム15、16、17が設けられている。図4は、各ブロックのウエハWの搬送機構の配置を示す概略図であり、この図に示すように受け渡しアーム15、16、17は上下に設けられている。
【0025】
棚ユニットU1の構成について説明すると、第1の液処理単位ブロックB1と同じ高さ位置に疎水化処理モジュールADHが複数段に設けられ、第2〜第5の液処理単位ブロックB2〜B5の高さ位置には多数の加熱モジュールが積層されて設けられている。第2及び第3の液処理単位ブロックB2、B3の高さ位置に設けられた加熱モジュールをPABとして、第4及び第5の液処理単位ブロックB4、B5の高さ位置に設けられた加熱モジュールをPOSTとして夫々示している。また、加熱モジュールPAB群と、疎水化処理モジュールADH群との間には受け渡しモジュールBU11が設けられ、加熱モジュールPAB群と、加熱モジュールPOST群との間には受け渡しモジュールBU12が設けられている。受け渡しモジュールBU11、BU12は、受け渡しアーム13がアクセスできる高さ位置に設けられている。
【0026】
各モジュールについて説明すると、前記疎水化処理モジュールADHは、ウエハWを加熱すると共にウエハWのベベル部(周端部)を含む表面に処理ガスを供給する処理モジュールであり、前記表面の疎水性を向上させ、液浸露光時に当該周端部から各膜の剥がれを抑える役割を有する。加熱モジュールPABは、レジスト膜形成後のウエハWを加熱処理し、加熱モジュールPOSTは、現像処理後のウエハWを加熱処理する。これらの加熱モジュールPAB、POST及び後述の加熱モジュールCHP、PEBは互いに同様に構成されており、ウエハWを加熱する熱板16と、冷却プレート17とを備えている。冷却プレート17は、前記熱板16と受け渡しアームまたはメインアームとの間でウエハWを搬送すると共に加熱後のウエハWを冷却する。
【0027】
前記受け渡しモジュールBU11、BU12は、夫々キャリアCからウエハWが受け渡されるモジュール、キャリアCへウエハWを戻すためのモジュールである。受け渡しモジュールBU11は、既述の受け渡しアーム13から搬送されたウエハWを一括で受け取るために、ウエハWが載置されるステージを上下方向に5つ備えている。受け渡しモジュールBU11に搬送されたウエハWは、1枚ずつ受け渡しモジュールBU11から取り出されて処理を受ける。なお、受け渡しモジュールはウエハWが載置されるステージを備えている。そして、BUと記載した受け渡しモジュールは、複数枚のウエハWを夫々載置するステージを備え、載置したウエハWを滞留させることができる。
【0028】
棚ユニットU2は棚ユニットU1と同様に構成されているが、これらの受け渡しモジュールBU11、BU12が設けられておらず、受け渡しモジュールBU12と同じ高さ位置に不図示の検査モジュールが設けられる。この検査モジュールは、例えばレジストパターンの線幅の適否、ウエハWの表面の異物の有無などを検査する。
【0029】
前記受け渡しアーム15〜17は昇降自在、鉛直軸回りに回動自在且つ進退自在に構成されている。受け渡しアーム15は、受け渡しモジュールBU11と疎水化処理モジュールADHと後述の受け渡しモジュールCPL11との間でウエハWを受け渡す。受け渡しアーム16は、加熱モジュールPAB、後述の受け渡しモジュールCPL12、13との間でウエハWを受け渡す。受け渡しアーム17は、加熱モジュールPOST、後述の受け渡しモジュールCPL15、CPL14、受け渡しモジュールBU12及び検査モジュールとの間でウエハWを受け渡す。
【0030】
続いて、液処理ブロックS3について、より詳しく説明する。液処理ブロックS3を構成する液処理単位ブロックB1〜B5は、互いに平面視同様のレイアウトで構成されている。図1ではレジスト膜用の単位ブロックである第2の液処理単位ブロックB2について示しており、以下、代表してこの第2の液処理単位ブロックB2について説明する。キャリアブロックS1側を前方側、インターフェイスブロックS6側を後方側とすると、この第2の液処理単位ブロックB2の中央には、前後方向に直線状の搬送路である搬送領域R1が形成されており、この搬送領域R1を左右から挟むようにレジスト膜形成モジュールCOT1、COT2が互いに対向して設けられている。
【0031】
前記搬送領域R1には、メインアーム(主搬送機構)A2が設けられている。図5は、メインアームA2の斜視図を示している。メインアームA2は、搬送領域R1を前後に向けて敷設されたガイドレール21と、ガイドレール21に沿って移動する水平移動台22と、水平移動台22に設けられ、鉛直軸回りに回動自在なフレーム23と、基台24と、ウエハ保持部25、26と、を備えている。基台24はフレーム23に支持され、昇降自在に構成されている。また、ウエハ保持部25、26は基台24に支持されると共に基台24を独立して進退自在に構成されている。このような構成により、メインアームA2は、第2の液処理単位ブロックB2の各モジュール間でウエハWの受け渡しを行うことができる。
【0032】
レジスト膜形成モジュールCOT1について、その縦断側面図である図6も参照しながら説明する。レジスト膜形成モジュールCOT1は筐体31を備えており、筐体31内には搬送領域R1に沿って2つのスピンチャック32が設けられている。スピンチャック32は、ウエハWの裏面中央部を吸着保持すると共に鉛直軸回りに回転自在に構成されている。図中33は処理カップであり、上側が開口している。処理カップ33は、スピンチャック32の周囲を囲み、レジストの飛散を抑える。ウエハWを処理するときには、当該処理カップ33内にウエハWが収容され、ウエハWの裏面中央部はスピンチャック32に保持される。
【0033】
また、レジスト膜形成モジュールCOT1には、各処理カップ33で共用されるノズル34が設けられている。図中35は駆動機構である。駆動機構35は、アーム36を介してノズル34を各処理カップ23の配列方向に移動させると共にアーム36を介してノズル34を昇降させる。駆動機構35により、ノズル34は各処理カップ33間を移動し、各スピンチャック32に受け渡されたウエハWの中心にレジスト液を吐出する。吐出されたレジスト液は、前記スピンチャック22により鉛直軸回りに回転するウエハWの遠心力により、ウエハWの周縁へと展伸し、レジスト膜が成膜される。なお、図示は省略しているが、レジスト膜形成モジュールCOT1は、ウエハWの周端部に溶剤を供給し、当該周端部の不要な膜を除去するノズルを備えている。レジスト膜形成モジュールCOT2は、レジスト膜形成モジュールCOT1と同様に構成されている。
【0034】
各液処理単位ブロックB1、B3〜B5について簡単に説明する。図4に示すように液処理単位ブロックB1,B3〜B5には前記メインアームA2に対応するメインアームA1,A2〜A5が夫々設けられている。各メインアームA1〜A5は、夫々独立してウエハWを搬送する。
【0035】
反射防止膜用の単位ブロックである第1の液処理単位ブロックB1には、レジスト膜形成モジュールCOT1、COT2の代わりに、これらのモジュールに対応するモジュールとして反射防止膜形成モジュールBCT1,BCT2が設けられている。上層膜用の単位ブロックである第3の液処理単位ブロックB3には、レジスト膜形成モジュールCOT1、COT2の代わりに、保護膜形成モジュールTCT1,TCT2が設けられている。現像用の単位ブロックである第4の液処理単位ブロックB4には、現像モジュールDEV1、DEV2が設けられ、現像用の単位ブロックである第5の液処理単位ブロックB5には、現像モジュールDEV3,DEV4が設けられている。これらの各液処理モジュールは、COT1、COT2と同様に搬送領域R1の左右両側に対向して配置されている。これらの液処理モジュールであるBCT、TCT、DEVは、ノズル34からウエハWに供給する薬液がレジスト液とは異なることを除いて、レジスト膜形成モジュールCOTと同様に形成されている。反射防止膜形成モジュールBCTは反射防止膜形成用の薬液を、保護膜形成モジュールTCTは保護膜形成用の薬液を、現像モジュールは現像液を夫々ノズル34からウエハWに供給する。
【0036】
液処理ブロックS3において、キャリアブロックS1側には図2及び図3に示すように、各液処理単位ブロックB1〜B5に跨って棚ユニットU3が設けられている。棚ユニットU3は多数の積層されたモジュールからなり、メインアームA1〜A5がアクセスできる高さ位置に受け渡しモジュールCPL11〜CPL15が設けられている。これら棚ユニットU3の受け渡しモジュールを介して液処理ブロックS3と、前方側加熱系ブロックS2との間でウエハWの受け渡しが行われる。なお、CPLと記載した受け渡しモジュールは、載置したウエハWを冷却する冷却ステージを備えている。後述の受け渡しモジュールTRSは、ウエハWを載置するステージを備えている。
【0037】
液処理ブロックS3において、インターフェイスブロックS6側には、図2に示すように、第1〜第5の液処理単位ブロックB1〜B5に跨る棚ユニットU4が設けられている。棚ユニットU4は、複数の積層されたモジュールからなり、第1〜第5の液処理単位ブロックB1〜B5の各高さ位置には、夫々受け渡しモジュールTRS11〜15が設けられている。これら棚ユニットU4の受け渡しモジュールTRSを介して液処理ブロックS3と、後方側加熱ブロックS4との間でウエハWの受け渡しが行われる。
【0038】
次に後方側加熱ブロックS4について説明する。後方側加熱ブロックS4を構成する第1〜第3の加熱処理単位ブロックC1〜C3は、加熱モジュールと、単位ブロック用の搬送手段であり、上下搬送機構であるメインアームD1〜D3と、ウエハWの搬送領域R2と、を備えている。第1〜第3の加熱処理単位ブロックC1〜C3は互いに略同様に構成されており、ここでは代表して図3に示した第1の加熱処理単位ブロックC1について説明する。第1の加熱処理単位ブロックC1の中央には、前記搬送領域R2が前後方向に形成されている。そして、この搬送領域R2に沿って棚ユニットU11〜U14が配列されている。棚ユニットU11,U13が搬送領域R2の左右に対向して設けられ、また、棚ユニットU12,U14が搬送領域R2の左右に対向して設けられている。
【0039】
各棚ユニットU11〜U14は、例えば5基積層された加熱モジュールを含んでいる。この加熱モジュールは既述のように反射防止膜形成後のウエハWを加熱するモジュールであり、図中CHPとして示している。また、前記搬送領域R2にはメインアームD1が設けられている。このメインアームD1は、液処理ブロックS3のメインアームAと同様に構成されており、進退自在、昇降自在、鉛直軸回りに回転自在及び前後方向に移動自在に構成されている。
【0040】
他の加熱処理単位ブロックCについて簡単に説明する。第2の加熱処理単位ブロックC2は、積層される加熱モジュールの数が異なる他は第1の加熱処理単位ブロックC1と同様に構成されている。この加熱処理単位ブロックC2に設けられる加熱モジュールCHPは、保護膜形成後のウエハWを加熱するモジュールである。第3の加熱処理単位ブロックC3においても積層される加熱モジュールの数が異なる他は第1の加熱処理単位ブロックC1と同様に構成されている。この加熱処理単位ブロックC3に設けられる加熱モジュールPEBは、露光処理後、現像前のウエハWを加熱するモジュールである。また、図4に示すように液処理単位ブロックC2、C3には、前記メインアームD1に対応するメインアームD2,D3が夫々設けられている。各メインアームD1〜D3は、夫々独立してウエハWを搬送する。
【0041】
続いて、洗浄ブロックS5について説明する。この洗浄ブロックS5は、第1〜第5の洗浄単位ブロックE1〜E5が上に向かって順に積層されて構成されている。各洗浄単位ブロックE1〜E5は、互いに区画壁により区画され、第1、第2の洗浄単位ブロックE1、E2は、前記加熱処理単位ブロックC1に隣接している。第3の洗浄単位ブロックE3は、第2加熱処理単位ブロックC2に隣接しており、第4、第5の洗浄単位ブロックE4、E5は、加熱処理単位ブロックC3、C4に夫々隣接して設けられている。
【0042】
第1〜第5の洗浄単位ブロックE1〜E5は、互いに略同様に構成されており、代表して図2に示した第2の洗浄単位ブロックE2について説明すると、第2の洗浄単位ブロックE2の中央にはウエハWの搬送領域R3が形成されている。前記搬送領域R3にはメインアームF1が設けられている。この搬送領域R3を左右から挟むように裏面洗浄モジュールBST3、BST4が互いに対向して設けられている。各裏面洗浄モジュールBSTは、反射防止膜形成モジュールBCTと同様に構成されているが、差異点として1つの処理カップ33及び1つのスピンチャック32を備えている。また、他の差異点として、ノズル34が設けられる代わりに、処理カップ33毎にウエハWの裏面及びベベル部に洗浄液を供給して洗浄を行う不図示のノズルを備えている。
【0043】
第1の洗浄単位ブロックE1は、裏面洗浄モジュールBST3、BST4に夫々相当するBST1、BST2を備えている。第3の洗浄単位ブロックE3は、裏面洗浄モジュールBST3、BST4に夫々相当するBST5、BST6を備えている。また、第1〜第3の洗浄単位ブロックE1〜E3の搬送領域R3は互いに連通し、第1〜第3の洗浄単位ブロックE1〜E3は前記メインアームF1を共有している。つまり、メインアームF1は、第1〜第3の洗浄単位ブロックE1〜E3の各高さに昇降自在に構成されている。また、メインアームF1は、ガイドレール21が設けられないことを除いてメインアームAと同様に構成されており、進退自在、鉛直軸回りに回転自在及び前後方向に移動自在に構成されている。なお、既述の受け渡しアーム15〜17もこのメインアームF1と同様に構成されている。
【0044】
第4の洗浄単位ブロックE4は、裏面洗浄モジュールBST3、BST4に代り露光後洗浄モジュールPIR1、PIR2を備えている。露光後洗浄モジュールPIR1、PIR2は、ウエハWに保護膜除去または洗浄用の処理液を供給するモジュールであり、レジスト膜形成モジュールCOTと同様に構成されているが、差異点として1つの処理カップ23及びスピンチャック22が設けられており、この処理カップ23及びスピンチャック22に対して1つのノズル24が設けられている。
【0045】
第5の洗浄単位ブロックE5は、露光後洗浄モジュールPIR1、PIR2に対応する露光後洗浄モジュールPIR3、PIR4を備えている。第4、第5の洗浄単位ブロックE4、E5は、メインアームF1に対応するメインアームF2を共有しており、メインアームF2は、これら第4、第5の洗浄単位ブロックE4、E5の各高さ位置を昇降する。
【0046】
各層の搬送領域R3のキャリアブロックS1側には、図2及び図3に示すように、第1〜第5の洗浄単位ブロックE1〜E5に跨るように棚ユニットU5が設けられている。棚ユニットU5には、メインアームF1及びメインアームD2がアクセス可能な位置に受け渡しモジュールCPL31が設けられており、メインアームF2及びメインアームD3がアクセス可能な位置に受け渡しモジュールCPL32が設けられている。また、メインアームF2及びメインアームD4がアクセス可能な位置に受け渡しモジュールCPL33が設けられている。
【0047】
次にインターフェイスブロックS6について、その縦断正面図である図7も参照しながら説明する。インターフェイスブロックS6には、複数の積層されたモジュールからなる棚ユニットU6が設けられている。棚ユニットU6において、前記メインアームF2がアクセスできる高さ位置に受け渡しモジュールTRS21が設けられ、メインアームF1がアクセスすることができる高さ位置に受け渡しモジュールTRS22が設けられている。また、棚ユニットU6には受け渡しモジュールBU41、BU42、CPL41、CPL42が設けられている。
【0048】
また、インターフェイスブロックS6には、インターフェイスアーム41、42が設けられている。インターフェイスアーム41、42は回動自在、昇降自在及び進退自在に構成されており、さらにインターフェイスアーム41は、水平方向に移動自在に構成されている。インターフェイスアーム41は露光装置S7及び受け渡しモジュールCPL41、CPL42にアクセスし、これらの間でウエハWを受け渡す。インターフェイスアーム42は、棚ユニットU6を構成する各モジュールにアクセスし、これらのモジュール間でウエハWを受け渡す。
【0049】
続いて、塗布、現像装置1に設けられた制御部51について説明する。制御部51はプログラム、メモリ、CPUなどを備えている。前記プログラムには制御部51から塗布、現像装置1の各モジュール及びウエハWの搬送手段に制御信号を送り、後述のウエハWの搬送及び処理を進行させるように命令(各ステップ)が組み込まれている。このプログラム(処理パラメータの入力操作や表示に関するプログラムも含む)は、コンピュータ記憶媒体例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ハードディスク、MO(光磁気ディスク)、メモリーカードなどの記憶媒体に格納されて制御部51にインストールされる。また、前記メモリにはキャリアCの各ウエハWのIDと、ウエハWが搬送されるモジュールとが対応付けられた搬送スケジュールが記憶されている。
【0050】
塗布、現像装置1におけるウエハWの搬送経路について、モジュール単位で図2を参照しながら詳しく説明すると、キャリアCから受け渡しアーム13により棚ユニットU1の受け渡しモジュールBU11に受け渡されたウエハWは、受け渡しアーム15→棚ユニットU1、U2の疎水化処理モジュールADHの順で搬送され、疎水化処理される。疎水化処理後、ウエハWは受け渡しアーム15→棚ユニットU3の受け渡しモジュールCPL11→第1の液処理単位ブロックB1のメインアームA1→反射防止膜形成モジュールBCT1、BCT2の順で搬送されて、当該ウエハWに反射防止膜が形成される。
【0051】
反射防止膜形成後のウエハWは、メインアームA1→棚ユニットU4の受け渡しモジュールTRS11→第1の加熱処理単位ブロックC1のメインアームD1→加熱モジュールCHP→メインアームD1→棚ユニットU4の受け渡しモジュールTRS12→第2の液処理単位ブロックB2のメインアームA2→レジスト膜形成モジュールCOT1、COT2の順に搬送され、ウエハWにレジスト膜が形成される。
【0052】
続いて、前記ウエハWは、メインアームA2→棚ユニットU3の受け渡しモジュールCPL12→受け渡しアーム16→加熱モジュールPAB→受け渡しアーム16→棚ユニットU3の受け渡しモジュールCPL13→第3の液処理単位ブロックB3のメインアームA3→保護膜形成モジュールTCT1、TCT2の順に搬送され、レジスト膜の上層に保護膜が形成される。
【0053】
次に、ウエハWはメインアームA3→棚ユニットU4の受け渡しモジュールTRS13→第2の加熱処理単位ブロックC2のメインアームD2→加熱モジュールCHP→メインアームD2→棚ユニットU5の受け渡しモジュールCPL31→第1〜第3の洗浄単位ブロックE1〜E3のメインアームF1→裏面洗浄モジュールBST1〜BST6の順で搬送されて、裏面洗浄処理を受ける。裏面洗浄処理後、ウエハWはメインアームF1→棚ユニットU6のTRS22→インターフェイスアーム42→受け渡しモジュールBU41→インターフェイスアーム42→受け渡しモジュールCPL41→インターフェイスアーム41→露光装置S7の順で搬送されて、液浸露光される。
【0054】
液浸露光後のウエハWは、インターフェイスアーム41→受け渡しモジュールCPL42→インターフェイスアーム42→受け渡しモジュールBU42→インターフェイスアーム42→受け渡しモジュールTRS21→第4〜第5の洗浄単位ブロックE4〜E5のメインアームF2→第4または第5の洗浄単位ブロックE4またはE5の露光後洗浄モジュールPIR1〜PIR4に搬送されて、保護膜の除去及び洗浄処理を受ける。
【0055】
然る後、ウエハWは、メインアームF2→棚ユニットU5の受け渡しモジュールCPL32またはCPL33→第3の加熱処理単位ブロックC3のメインアームD3→加熱モジュールPEB→メインアームD3→棚ユニットU4の受け渡しモジュールTRS14またはTRS15に搬送される。受け渡しモジュールTRS14に搬送されたウエハWは、第4の液処理単位ブロックB4のメインアームA4→現像モジュールDEV1,DEV2の順で搬送され、現像処理を受けた後、メインアームA4により棚ユニットU3の受け渡しモジュールCPL14に搬送される。受け渡しモジュールTRS15に搬送されたウエハWは、第4の液処理単位ブロックB5のメインアームA5→現像モジュールDEV3,DEV4の順で搬送され、現像処理を受けた後、メインアームA5により棚ユニットU3の受け渡しモジュールCPL15に搬送される。
【0056】
各受け渡しモジュールCPL14、CPL15に搬送されたウエハWは、受け渡しアーム17→棚ユニットU1、U2の加熱モジュールPOST→受け渡しアーム17→棚ユニットU2の検査モジュールに搬送されて検査される。検査後のウエハWは受け渡しアーム17→棚ユニットU1の受け渡しモジュールBU12→受け渡しアーム13の順で搬送され、受け渡しアーム13がウエハWをキャリアCに戻す。
【0057】
上記のようにウエハWの搬送及び処理される間に液処理ブロックS3の各層の液処理モジュールのうち一方が使用不可になった場合には、当該液処理モジュールに対向した他方の液処理モジュールへ後続のウエハWを搬送するように搬送スケジュールが変更される。図8には上記した通常の搬送時におけるウエハWの搬送経路の概略を示しており、図9には例えばレジスト膜形成モジュールCOT2及び現像モジュールDEV2が使用不可になった場合の搬送経路の概略を示している。
【0058】
図9のフローに示すように、レジスト膜形成モジュールCOT2が使用不可になった場合には、レジスト膜形成モジュールCOT2に搬入されるように設定されていたウエハWは、レジスト膜形成モジュールCOT1に搬送されて処理を受けるように搬送スケジュールが変更される。また、現像モジュールDEV1に搬入されるように設定されていたウエハWは、現像モジュールDEV1に搬送されて処理を受けるように搬送スケジュールが変更される。TCT、BCTについても、これらのモジュールが使用不可になった場合は同様に、対向する同種の液処理モジュールにウエハWが搬送される。これらの液処理モジュールが使用不可になる場合としては、例えばモジュールの故障時やメンテナンス時などがあり、故障時には制御部51が自動で上記のように搬送スケジュールの変更を行う。メンテナンス時には、ユーザがメンテナンスを行う液処理モジュールを制御部51から設定すると、当該制御部51が上記のように搬送スケジュールの変更を行う。
【0059】
この塗布、現像装置1を構成する処理ブロックS20は、前方側加熱系ブロックS2と、液処理ブロックS4と、後方側加熱ブロックS3と、をキャリアブロックS1側からインターフェイスブロックS6側にこの順番で配置し、液処理ブロックS3は、反射防止膜形成用の単位ブロックB1と、レジスト膜形成用の単位ブロックB2と、保護層膜形成用の単位ブロックB3と、現像用の単位ブロックB4、B5とを積層してなり、これら各単位ブロックB1〜B5の液処理モジュールは、キャリアブロックS1からインターフェイスブロックS6へ向かうウエハWの搬送領域R1の左右両側に配置されている。このように各ブロック及び各単位ブロックを配置することで、塗布、現像装置1の設置面積を抑えることができる。また、各第1〜第5の液処理単位ブロックB1〜B5に設けられる2つの同種の液処理モジュールのうち、一方のモジュールが使用不可の際に他方のモジュールで処理を行うことができるので、ウエハWを使用不可となったモジュールの後段へと搬送することができる。これによってスループットの低下を抑えることができる。
【0060】
また、後方側加熱ブロックS4では、第1の液処理単位ブロックB1の受け渡しモジュールTRS11から第2の液処理単位ブロックB2の受け渡しモジュールTRS12にウエハWを搬送するメインアームD1と、第3の液処理単位ブロックB3の受け渡しモジュールTRS13から洗浄ブロックS5へウエハWを搬送するメインアームD2とが夫々別体として設けられている。これによって、前記液処理単位ブロックB1、B2間と、液処理単位ブロックB3と洗浄ブロックS5との間とで速やかにウエハWを搬送することができ、スループットの向上を図ることができる。なお、この実施形態や他の実施形態で、第3の液処理単位ブロックB3でレジスト膜の上層に形成される膜は保護膜に限られず、例えばレジストの上層側に形成される反射防止膜であってもよい。
【0061】
(第2の実施形態)
続いて図10を参照しながら塗布、現像装置1の処理ブロックの第2の実施形態について、第1の実施形態との差異点を中心に説明する。図10の処理ブロックS30の第2の液処理単位ブロックB2の搬送領域R1と、第3の液処理単位ブロックB3の搬送領域R1とは仕切られておらず、互いに開放されている。そしてメインアームA2が第2の液処理単位ブロックB2と第3の液処理単位ブロックB3とで共有されており、第2の液処理単位ブロックB2と第3の液処理単位ブロックB3との間を昇降できるように構成されている。これらのような構成を除いて処理ブロックS30は、既述の処理ブロックS20と同様に構成されている。
【0062】
この塗布、現像装置1の制御部61は、制御部51との差異点としてモード選択部62を備えている。モード選択部62は、マウスやキーボードまたはタッチパネルなどにより構成されており、ユーザがウエハWの搬送モード1、搬送モード2のいずれかを選択することができる。前記搬送モード1が選択された場合では第1の実施形態と同様にウエハWが搬送され、ウエハWに反射防止膜、レジスト膜、保護膜が順に形成された後、現像処理が行われる。ただし、この塗布、現像装置1ではメインアームA3が設けられていないため、第1の実施形態においてメインアームA3により行われる搬送は、当該メインアームA3に代わりメインアームA2により行われる。
【0063】
搬送モード2が選択された場合には、レジスト膜が形成されたウエハWは保護膜が形成されずに洗浄ブロックS5へと搬送される。図10中の矢印は、この搬送モード2実行時のウエハWの流れを示しており、具体的に説明すると、ウエハWは、第1の実施形態と同様の経路でレジスト膜形成モジュールCOT1,COT2に搬送される。そして、レジスト膜形成モジュールCOT1、COT2でレジスト膜が形成された後にメインアームA2に受け渡され、メインアームA2は、当該ウエハWを第3の液処理単位ブロックB3の高さ位置に設けられた受け渡しモジュールTRS13に搬送する。受け渡しモジュールTRS13のウエハWは、第2の加熱処理単位ブロックC2のメインアームD2により、加熱モジュールCHPに搬送されて加熱処理された後、洗浄ブロックS5へ搬送される。これ以降、ウエハWは第1の実施形態と同様の搬送経路で搬送される。
【0064】
この第2の実施形態においても、第1の実施形態と同様に装置の設置面積を抑えることができると共にスループットの低下を抑えることができる。また、保護膜を形成しない場合には、ウエハWは第2の液処理単位ブロックB2から前方側加熱系ブロックS2にウエハWが戻されずに後方側加熱処理ブロックS4へと搬入されるので、スループットをより高めることができる。
【0065】
(第3の実施形態)
第3の実施形態の塗布、現像装置1に設けられる処理ブロックS40は、図11に示されるように、液処理単位ブロックB3と加熱処理単位ブロックC2とを備えていない。このような違いを除いて処理ブロックS40は第1の実施形態の処理ブロックS20と同様に構成されている。ウエハWは第1の実施形態と同様の経路で反射防止膜形成モジュール→受け渡しモジュールTRS11→加熱モジュールCHP→受け渡しモジュールTRS12の順で搬送された後、レジスト膜形成モジュールCOT1、COT2でレジスト膜が形成される。然る後、ウエハWはメインアームA2により受け渡しモジュールTRS12へ搬送され、さらに第1の加熱処理単位ブロックC1のメインアームD1に受け渡される。その後、加熱モジュールCHPに搬送されて加熱処理された後、洗浄ブロックS5へ搬送される。これ以降、ウエハWは第1の実施形態と同様の搬送経路で搬送される。処理ブロックをこのような構成としても第1の実施形態と同様の効果がある。
【0066】
図12に示す処理ブロックS50は第3の実施形態の変形例である。処理ブロックS50は、第1の実施形態と同様に第1〜第3の加熱処理単位ブロックC1〜C3を備えている。ただし、第1の実施形態とは異なり、第1の加熱処理単位ブロックC1は第1の液処理単位ブロックB1及び第2の液処理単位ブロックB2の下側に隣接し、第2の加熱処理単位ブロックC2は第2の液処理単位ブロックB2の上側に隣接している。そして、液処理ブロックS4の棚ユニットU4の受け渡しモジュールTRS12、TRS13は、第1の加熱処理単位ブロックC1の高さ位置、第2の加熱処理単位ブロックC2の高さ位置に夫々設けられている。
【0067】
処理ブロックS50において、他の実施形態と同様に反射防止膜形成後、受け渡しモジュールTRS11に搬入されたウエハWは、メインアームD1により第1の加熱処理単位ブロックC1の加熱モジュールCHPに搬入されて加熱処理された後、受け渡しモジュールTRS12に搬送される。そして、第2の液処理単位ブロックB2でレジスト膜が形成されたウエハWは、受け渡しモジュールTRS13に搬送され、第2の加熱処理単位ブロックC2のメインアームD2により、当該第2の加熱処理単位ブロックC2の加熱モジュールCHPに搬送されて加熱処理を受ける。然る後、ウエハWはメインアームD2により洗浄ブロックS5に搬送される。これ以降、ウエハWは第1の実施形態と同様の経路で搬送される。この実施形態においても第1の実施形態と同様の効果が得られる。各実施形態において液処理単位ブロックB4、B5でメインアームは共有されていてもよい。つまり、メインアームA5が設けられておらず、メインアームA4が液処理単位ブロックB4、B5間を昇降し、これらの高さ位置にある各モジュールにウエハWを受け渡すことができるようになっていてもよい。
【0068】
上記の各実施形態で現像用の単位ブロックは2層設けられているが、3層以上の複数層であってもよく、また1層のみ設けられていてもよい。なお、現像用の単位ブロックB4、B5で1つのメインアームAを共有し、当該メインアームが単位ブロックB4、B5の各モジュールにアクセスできるようにしてもよい。このようにメインアームAが共有化されていても、他の単位ブロックBの高さの2つ分の高さを有していれば、その単位ブロックBは2層であるものと見ることができる。
【0069】
次に本発明の変形例を以下に示しておく。
(1)液処理系の単位ブロック群は、反射防止膜用の単位ブロックと、レジスト膜用の単位ブロックと、上層膜用の単位ブロックと、を下からこの順に積層することに限らず、上からこの順に積層するようにしてもよい。
(2)既述の図1の実施形態は、加熱系のブロックを、液処理系の単位ブロック群のキャリアブロックS1側及びインターフェイスブロックS6側に分散させた構成であるが、図13に示すように加熱系のブロックを、液処理系の単位ブロック群のキャリアブロックS1側だけに設けてもよいし、あるいは図14に示すように液処理系の単位ブロック群のインターフェイスブロックS6側だけに設けてもよい。図13、図14に記載されている鎖線71は、ウエハWの流れを示している。
【0070】
加熱系のブロックは、前記塗布膜用の単位ブロック群の各々で形成された塗布膜を加熱処理するための複数の加熱モジュールPAB及びCHPが積層されているが、加熱系のブロックが液処理系の単位ブロック群のキャリアブロックS1側(前方側)及びインターフェイスブロックS6側(後方側)に分散されている場合には、各塗布膜を加熱処理する加熱モジュールPAB及びCHPが前方側の加熱ブロックS2及び後方側の加熱ブロックS4のいずれかに配置されることになる。
【0071】
また現像処理の前後において加熱処理するための加熱モジュールについても、複数積層して加熱系のブロックとして構成しているが、この場合、露光後現像前のウエハWに対して加熱を行うための加熱モジュールPEBと現像後のウエハWに対して加熱を行うための加熱モジュールPOSTとを、現像用の単位ブロックのインターフェイスブロックS6側に集約して設けてもよいし、あるいは現像用の単位ブロックのキャリアブロックS1側に集約して設けてもよい。
従って本発明は、これらの変形例までも含めてその特徴を表現するならば、
イ)処理ブロックは、液処理系の単位ブロック群のキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側のうちの少なくとも一方に加熱系のブロックを配置したことと、
ロ)加熱系のブロックは、互いに上下に積層した複数の加熱モジュールと、これら複数の加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
ハ)反射防止膜用の単位ブロック、レジスト膜用の単位ブロック及び上層膜用の単位ブロックごとに設けられ、各単位ブロックの主搬送機構と前記上下搬送機構との間で基板の受け渡しを行うための受け渡しステージと、
ニ)反射防止膜用の単位ブロック、レジスト膜用の単位ブロック及び上層膜用の単位ブロック間の基板の搬送は、前記ハ)に記載した受け渡しステージを介して前記上下搬送機構により行われること、
ホ)前記加熱モジュールは塗布膜用の単位ブロック群の各単位ブロックにて塗布された塗布膜を加熱処理するためのものであること、
を備えているということができる。
【0072】
なおウエハ上のレジスト膜の上に上層膜を形成しない場合には、図15のように反射防止膜用の単位ブロック及びレジスト膜用の単位ブロックからなる塗布膜用の単位ブロック群(この例では2つの単位ブロックを「群」と呼んでいる)の後方側に設けてもよいし、あるいは図16のように塗布膜用の単位ブロック群の前方側に設けてもよい。このように塗布膜用の単位ブロック群及び現像用の単位ブロックと、加熱モジュールと、を分離し、加熱モジュールを積層して加熱系のブロックとして集約すると共に加熱系のブロックを、液処理系の単位ブロック群のキャリアブロック側やインターフェイスブロック側に配置することにより、コンパクトな装置を構築することができ、特にキャリアブロック側から見た前後方向の寸法を小さくできる利点がある。また塗布膜用の単位ブロック間のウエハの搬送を加熱系のブロックの上下搬送機構を利用して行うことができるので、搬送効率がよく、また搬送系をハード面から見ても全体として無駄のない設計ができる。
【符号の説明】
【0073】
A1〜A5 メインアーム
BCT 反射防止膜形成モジュール
B1〜B5 液処理単位ブロック
COT レジスト膜形成モジュール
DEV 現像モジュール
D1〜D3 メインアーム
F1、F2 メインアーム
TCT 保護膜形成モジュール
S1 キャリアブロック
S2 前方側加熱ブロック
S3 液処理ブロック
S4 後方側加熱ブロック
S5 洗浄ブロック
S6 インターフェイスブロック
S7 露光装置
W ウエハ
1 塗布、現像装置
51 制御部
【特許請求の範囲】
【請求項1】
キャリアブロックにキャリアにより搬入された基板を処理ブロックに受け渡し、この処理ブロックにてレジスト膜を含む塗布膜を形成した後、前記処理ブロックに対してキャリアブロックとは反対側に位置するインターフェイスブロックを介して露光装置に搬送し、前記インターフェイスブロックを介して戻ってきた露光後の基板を前記処理ブロックにて現像処理して前記キャリアブロックに受け渡す塗布、現像装置において、
a)前記処理ブロックは、キャリアブロック側の加熱系のブロックと、液処理系の単位ブロック群と、インターフェイスブロック側の加熱ブロックと、をキャリアブロック側からインターフェイスブロック側にこの順番で配置したことと、
b)前記液処理系の単位ブロック群は、
反射防止膜を基板に形成するための反射防止膜用の単位ブロックと、前記反射防止膜の上にレジスト膜を形成するためのレジスト膜用の単位ブロックと、レジスト膜の上に上層膜を形成するための上層膜用の単位ブロックと、をこの順で上側に積層した塗布膜用の単位ブロック群と、
この塗布膜用の単位ブロック群に対して互いに上下に積層され、露光後の基板を現像するための現像用の単位ブロックと、から構成されることと、
c)前記塗布膜用の単位ブロック群の各々は、キャリアブロック側からインターフェイスブロック側を見る方向を前方とすると、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、各塗布膜に対応する薬液を基板に供給するための液処理モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら液処理モジュールの間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
d)前記現像用の単位ブロックは、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、現像液を基板に供給するための現像モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら現像モジュール間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
e)前記キャリアブロック側の加熱系のブロックは、多数の加熱モジュールを上下に積層し、これら加熱モジュールに対して、前記レジスト膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、現像用の単位ブロックにて現像液を供給した後の基板を加熱する加熱モジュールと、を割り当てると共に、加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
f)前記インターフェイスブロック側の加熱ブロックは、多数の加熱モジュールを上下に積層し、これら加熱モジュールに対して、前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、前記上層膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、現像用の単位ブロックにて現像液を供給する前の露光後の基板を加熱する加熱モジュールと、を割り当てると共に、加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
g)前記塗布膜用の単位ブロック群の各々におけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと、
h)前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと
i)キャリアブロックに置かれたキャリアから取り出された基板を、前記反射防止膜用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージに受け渡し、また前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージから基板を受け取るための受け渡し機構と、
j)前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理し、次いでレジスト膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、続いてキャリアブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理し、その後上層膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、更にインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理するように制御信号を出力する制御部と、
を備えたことを特徴とする塗布、現像装置。
【請求項2】
インターフェイスブロック側の加熱系ブロックの上下搬送機構は、反射防止膜用の単位ブロックに対応する受け渡しステージから基板を受け取り、加熱処理後の基板をレジスト膜用の単位ブロックに対応する受け渡しステージに受け渡す上下搬送機構と、上層膜用の単位ブロックに対応する受け渡しステージから基板を受け取る上下搬送機構と、に分割されている請求項1記載の塗布、現像装置。
【請求項3】
前記レジスト膜用の単位ブロック及び上層膜用の単位ブロックは、各々に主搬送機構が備えられる構成に代えて、主搬送機構が共通化され、
前記制御部は、上層膜を基板に形成しないときには、レジスト膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を上層膜用の単位ブロックに対応する受け渡しステージを介してインターフェイスブロック側の加熱系ブロックに受け渡して加熱処理するように制御することを特徴とする請求項1または2記載の塗布、現像装置。
【請求項4】
キャリアブロックにキャリアにより搬入された基板を処理ブロックに受け渡し、この処理ブロックにてレジスト膜を含む塗布膜を形成した後、前記処理ブロックに対してキャリアブロックとは反対側に位置するインターフェイスブロックを介して露光装置に搬送し、前記インターフェイスブロックを介して戻ってきた露光後の基板を前記処理ブロックにて現像処理して前記キャリアブロックに受け渡す塗布、現像装置において、
a)前記処理ブロックは、キャリアブロック側の加熱系のブロックと、液処理系の単位ブロック群と、インターフェイスブロック側の加熱ブロックと、をキャリアブロック側からインターフェイスブロック側にこの順番で配置したことと、
b)前記液処理系の単位ブロック群は、
反射防止膜を基板に形成するための反射防止膜用の単位ブロックと、前記反射防止膜の上にレジスト膜を形成するためのレジスト膜用の単位ブロックと、をこの順で上側に積層した塗布膜用の単位ブロック群と、
この塗布膜用の単位ブロック群に対して互いに上下に積層され、露光後の基板を現像するための現像用の単位ブロックと、から構成されることと、
c)前記塗布膜用の単位ブロック群の各々は、キャリアブロック側からインターフェイスブロック側を見る方向を前方とすると、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、各塗布膜に対応する薬液を基板に供給するための液処理モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら液処理モジュールの間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
d)前記現像用の単位ブロックは、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、現像液を基板に供給するための現像モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら現像モジュール間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
e)前記キャリアブロック側の加熱系のブロックは、互いに上下に積層され、現像用の単位ブロックにて現像液を供給した後の基板を加熱する複数の加熱モジュールと、これら加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
f)前記インターフェイスブロック側の加熱系のブロックは、多数の加熱モジュールを上下に積層し、これら加熱モジュールに対して、前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、前記レジスト膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、現像用の単位ブロックにて現像液を供給する前の露光後の基板を加熱する加熱モジュールと、を割り当てると共に、加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
g)前記反射防止膜用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと、
h)前記レジスト膜用の単位ブロックにおけるインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと、
i)前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと
j)キャリアブロックに置かれたキャリアから取り出された基板を、前記反射防止膜用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージに受け渡し、また前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージから基板を受け取るための受け渡し機構と、
k)前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理し、次いでレジスト膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、続いてインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理するように制御信号を出力する制御部と、
を備えたことを特徴とする塗布、現像装置。
【請求項5】
キャリアブロックにキャリアにより搬入された基板を処理ブロックに受け渡し、この処理ブロックにてレジスト膜を含む塗布膜を形成した後、前記処理ブロックに対してキャリアブロックとは反対側に位置するインターフェイスブロックを介して露光装置に搬送し、前記インターフェイスブロックを介して戻ってきた露光後の基板を前記処理ブロックにて現像処理して前記キャリアブロックに受け渡す塗布、現像装置において、
a)前記処理ブロックは、キャリアブロック側の加熱系のブロックと、液処理系の単位ブロック群と、インターフェイスブロック側の加熱ブロックと、をキャリアブロック側からインターフェイスブロック側にこの順番で配置したことと、
b)前記液処理系の単位ブロック群は、
反射防止膜を基板に形成するための反射防止膜用の単位ブロックと、前記反射防止膜の上にレジスト膜を形成するためのレジスト膜用の単位ブロックと、レジスト膜の上に上層膜を形成するための上層膜用の単位ブロックと、をこの順で上側に積層した塗布膜用の単位ブロック群と、
この塗布膜用の単位ブロック群に対して互いに上下に積層され、露光後の基板を現像するための現像用の単位ブロックと、から構成されることと、
c)前記塗布膜用の単位ブロック群の各々は、キャリアブロック側からインターフェイスブロック側を見る方向を前方とすると、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、各塗布膜に対応する薬液を基板に供給するための液処理モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら液処理モジュールの間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
d)前記現像用の単位ブロックは、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、現像液を基板に供給するための現像モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら現像モジュール間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
e)前記キャリアブロック側の加熱系のブロックは、多数の加熱モジュールを上下に積層し、これら加熱モジュールに対して、前記レジスト膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、現像用の単位ブロックにて現像液を供給した後の基板を加熱する加熱モジュールと、を割り当てると共に、加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
f)前記インターフェイスブロック側の加熱ブロックは、多数の加熱モジュールを上下に積層し、これら加熱モジュールに対して、前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、前記上層膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、現像用の単位ブロックにて現像液を供給する前の露光後の基板を加熱する加熱モジュールと、を割り当てると共に、加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
g)前記塗布膜用の単位ブロック群の各々におけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと、
h)前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと
i)キャリアブロックに置かれたキャリアから取り出された基板を、前記反射防止膜用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージに受け渡し、また前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージから基板を受け取るための受け渡し機構と、
j)前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理し、次いでレジスト膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、続いてキャリアブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理し、その後上層膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、更にインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理するように制御信号を出力する制御部と、
を備えた塗布、現像装置を用い、
前記反射防止膜用の単位ブロックにて基板に反射防止膜形成用の薬液を塗布する工程と、
前記薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、
前記加熱処理された基板をレジスト膜用の単位ブロックに受け渡してレジスト液を塗布する工程と、
前記レジスト液が塗布された基板をキャリアブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、
前記加熱処理された基板を上層膜用の単位ブロックに受け渡して上層膜形成用の薬液を塗布する工程と、
前記薬液が塗布された基板をインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、を備えたことを特徴とする塗布、現像方法。
【請求項6】
キャリアブロックにキャリアにより搬入された基板を処理ブロックに受け渡し、この処理ブロックにてレジスト膜を含む塗布膜を形成した後、前記処理ブロックに対してキャリアブロックとは反対側に位置するインターフェイスブロックを介して露光装置に搬送し、前記インターフェイスブロックを介して戻ってきた露光後の基板を前記処理ブロックにて現像処理して前記キャリアブロックに受け渡す塗布、現像装置において、
a)前記処理ブロックは、キャリアブロック側の加熱系のブロックと、液処理系の単位ブロック群と、インターフェイスブロック側の加熱ブロックと、をキャリアブロック側からインターフェイスブロック側にこの順番で配置したことと、
b)前記液処理系の単位ブロック群は、
反射防止膜を基板に形成するための反射防止膜用の単位ブロックと、前記反射防止膜の上にレジスト膜を形成するためのレジスト膜用の単位ブロックと、をこの順で上側に積層した塗布膜用の単位ブロック群と、
この塗布膜用の単位ブロック群に対して互いに上下に積層され、露光後の基板を現像するための現像用の単位ブロックと、から構成されることと、
c)前記塗布膜用の単位ブロック群の各々は、キャリアブロック側からインターフェイスブロック側を見る方向を前方とすると、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、各塗布膜に対応する薬液を基板に供給するための液処理モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら液処理モジュールの間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
d)前記現像用の単位ブロックは、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、現像液を基板に供給するための現像モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら現像モジュール間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
e)前記キャリアブロック側の加熱系のブロックは、互いに上下に積層され、現像用の単位ブロックにて現像液を供給した後の基板を加熱する複数の加熱モジュールと、これら加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
f)前記インターフェイスブロック側の加熱系のブロックは、多数の加熱モジュールを上下に積層し、これら加熱モジュールに対して、前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、前記レジスト膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、現像用の単位ブロックにて現像液を供給する前の露光後の基板を加熱する加熱モジュールと、を割り当てると共に、加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
g)前記反射防止膜用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと、
h)前記レジスト膜用の単位ブロックにおけるインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと、
i)前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと
j)キャリアブロックに置かれたキャリアから取り出された基板を、前記反射防止膜用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージに受け渡し、また前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージから基板を受け取るための受け渡し機構と、
k)前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理し、次いでレジスト膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、続いてインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理するように制御信号を出力する制御部と、
を備えたことを特徴とする塗布、現像装置。
を用い、
反射防止膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、
次いでレジスト膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、続いてインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、
を備えたことを特徴とする塗布、現像方法。
【請求項7】
塗布、現像装置に用いられるコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項5または6記載の塗布、現像方法を実施するためのものであることを特徴とする記憶媒体。
【請求項1】
キャリアブロックにキャリアにより搬入された基板を処理ブロックに受け渡し、この処理ブロックにてレジスト膜を含む塗布膜を形成した後、前記処理ブロックに対してキャリアブロックとは反対側に位置するインターフェイスブロックを介して露光装置に搬送し、前記インターフェイスブロックを介して戻ってきた露光後の基板を前記処理ブロックにて現像処理して前記キャリアブロックに受け渡す塗布、現像装置において、
a)前記処理ブロックは、キャリアブロック側の加熱系のブロックと、液処理系の単位ブロック群と、インターフェイスブロック側の加熱ブロックと、をキャリアブロック側からインターフェイスブロック側にこの順番で配置したことと、
b)前記液処理系の単位ブロック群は、
反射防止膜を基板に形成するための反射防止膜用の単位ブロックと、前記反射防止膜の上にレジスト膜を形成するためのレジスト膜用の単位ブロックと、レジスト膜の上に上層膜を形成するための上層膜用の単位ブロックと、をこの順で上側に積層した塗布膜用の単位ブロック群と、
この塗布膜用の単位ブロック群に対して互いに上下に積層され、露光後の基板を現像するための現像用の単位ブロックと、から構成されることと、
c)前記塗布膜用の単位ブロック群の各々は、キャリアブロック側からインターフェイスブロック側を見る方向を前方とすると、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、各塗布膜に対応する薬液を基板に供給するための液処理モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら液処理モジュールの間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
d)前記現像用の単位ブロックは、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、現像液を基板に供給するための現像モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら現像モジュール間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
e)前記キャリアブロック側の加熱系のブロックは、多数の加熱モジュールを上下に積層し、これら加熱モジュールに対して、前記レジスト膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、現像用の単位ブロックにて現像液を供給した後の基板を加熱する加熱モジュールと、を割り当てると共に、加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
f)前記インターフェイスブロック側の加熱ブロックは、多数の加熱モジュールを上下に積層し、これら加熱モジュールに対して、前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、前記上層膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、現像用の単位ブロックにて現像液を供給する前の露光後の基板を加熱する加熱モジュールと、を割り当てると共に、加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
g)前記塗布膜用の単位ブロック群の各々におけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと、
h)前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと
i)キャリアブロックに置かれたキャリアから取り出された基板を、前記反射防止膜用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージに受け渡し、また前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージから基板を受け取るための受け渡し機構と、
j)前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理し、次いでレジスト膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、続いてキャリアブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理し、その後上層膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、更にインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理するように制御信号を出力する制御部と、
を備えたことを特徴とする塗布、現像装置。
【請求項2】
インターフェイスブロック側の加熱系ブロックの上下搬送機構は、反射防止膜用の単位ブロックに対応する受け渡しステージから基板を受け取り、加熱処理後の基板をレジスト膜用の単位ブロックに対応する受け渡しステージに受け渡す上下搬送機構と、上層膜用の単位ブロックに対応する受け渡しステージから基板を受け取る上下搬送機構と、に分割されている請求項1記載の塗布、現像装置。
【請求項3】
前記レジスト膜用の単位ブロック及び上層膜用の単位ブロックは、各々に主搬送機構が備えられる構成に代えて、主搬送機構が共通化され、
前記制御部は、上層膜を基板に形成しないときには、レジスト膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を上層膜用の単位ブロックに対応する受け渡しステージを介してインターフェイスブロック側の加熱系ブロックに受け渡して加熱処理するように制御することを特徴とする請求項1または2記載の塗布、現像装置。
【請求項4】
キャリアブロックにキャリアにより搬入された基板を処理ブロックに受け渡し、この処理ブロックにてレジスト膜を含む塗布膜を形成した後、前記処理ブロックに対してキャリアブロックとは反対側に位置するインターフェイスブロックを介して露光装置に搬送し、前記インターフェイスブロックを介して戻ってきた露光後の基板を前記処理ブロックにて現像処理して前記キャリアブロックに受け渡す塗布、現像装置において、
a)前記処理ブロックは、キャリアブロック側の加熱系のブロックと、液処理系の単位ブロック群と、インターフェイスブロック側の加熱ブロックと、をキャリアブロック側からインターフェイスブロック側にこの順番で配置したことと、
b)前記液処理系の単位ブロック群は、
反射防止膜を基板に形成するための反射防止膜用の単位ブロックと、前記反射防止膜の上にレジスト膜を形成するためのレジスト膜用の単位ブロックと、をこの順で上側に積層した塗布膜用の単位ブロック群と、
この塗布膜用の単位ブロック群に対して互いに上下に積層され、露光後の基板を現像するための現像用の単位ブロックと、から構成されることと、
c)前記塗布膜用の単位ブロック群の各々は、キャリアブロック側からインターフェイスブロック側を見る方向を前方とすると、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、各塗布膜に対応する薬液を基板に供給するための液処理モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら液処理モジュールの間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
d)前記現像用の単位ブロックは、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、現像液を基板に供給するための現像モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら現像モジュール間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
e)前記キャリアブロック側の加熱系のブロックは、互いに上下に積層され、現像用の単位ブロックにて現像液を供給した後の基板を加熱する複数の加熱モジュールと、これら加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
f)前記インターフェイスブロック側の加熱系のブロックは、多数の加熱モジュールを上下に積層し、これら加熱モジュールに対して、前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、前記レジスト膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、現像用の単位ブロックにて現像液を供給する前の露光後の基板を加熱する加熱モジュールと、を割り当てると共に、加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
g)前記反射防止膜用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと、
h)前記レジスト膜用の単位ブロックにおけるインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと、
i)前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと
j)キャリアブロックに置かれたキャリアから取り出された基板を、前記反射防止膜用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージに受け渡し、また前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージから基板を受け取るための受け渡し機構と、
k)前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理し、次いでレジスト膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、続いてインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理するように制御信号を出力する制御部と、
を備えたことを特徴とする塗布、現像装置。
【請求項5】
キャリアブロックにキャリアにより搬入された基板を処理ブロックに受け渡し、この処理ブロックにてレジスト膜を含む塗布膜を形成した後、前記処理ブロックに対してキャリアブロックとは反対側に位置するインターフェイスブロックを介して露光装置に搬送し、前記インターフェイスブロックを介して戻ってきた露光後の基板を前記処理ブロックにて現像処理して前記キャリアブロックに受け渡す塗布、現像装置において、
a)前記処理ブロックは、キャリアブロック側の加熱系のブロックと、液処理系の単位ブロック群と、インターフェイスブロック側の加熱ブロックと、をキャリアブロック側からインターフェイスブロック側にこの順番で配置したことと、
b)前記液処理系の単位ブロック群は、
反射防止膜を基板に形成するための反射防止膜用の単位ブロックと、前記反射防止膜の上にレジスト膜を形成するためのレジスト膜用の単位ブロックと、レジスト膜の上に上層膜を形成するための上層膜用の単位ブロックと、をこの順で上側に積層した塗布膜用の単位ブロック群と、
この塗布膜用の単位ブロック群に対して互いに上下に積層され、露光後の基板を現像するための現像用の単位ブロックと、から構成されることと、
c)前記塗布膜用の単位ブロック群の各々は、キャリアブロック側からインターフェイスブロック側を見る方向を前方とすると、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、各塗布膜に対応する薬液を基板に供給するための液処理モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら液処理モジュールの間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
d)前記現像用の単位ブロックは、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、現像液を基板に供給するための現像モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら現像モジュール間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
e)前記キャリアブロック側の加熱系のブロックは、多数の加熱モジュールを上下に積層し、これら加熱モジュールに対して、前記レジスト膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、現像用の単位ブロックにて現像液を供給した後の基板を加熱する加熱モジュールと、を割り当てると共に、加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
f)前記インターフェイスブロック側の加熱ブロックは、多数の加熱モジュールを上下に積層し、これら加熱モジュールに対して、前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、前記上層膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、現像用の単位ブロックにて現像液を供給する前の露光後の基板を加熱する加熱モジュールと、を割り当てると共に、加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
g)前記塗布膜用の単位ブロック群の各々におけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと、
h)前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと
i)キャリアブロックに置かれたキャリアから取り出された基板を、前記反射防止膜用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージに受け渡し、また前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージから基板を受け取るための受け渡し機構と、
j)前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理し、次いでレジスト膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、続いてキャリアブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理し、その後上層膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、更にインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理するように制御信号を出力する制御部と、
を備えた塗布、現像装置を用い、
前記反射防止膜用の単位ブロックにて基板に反射防止膜形成用の薬液を塗布する工程と、
前記薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、
前記加熱処理された基板をレジスト膜用の単位ブロックに受け渡してレジスト液を塗布する工程と、
前記レジスト液が塗布された基板をキャリアブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、
前記加熱処理された基板を上層膜用の単位ブロックに受け渡して上層膜形成用の薬液を塗布する工程と、
前記薬液が塗布された基板をインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、を備えたことを特徴とする塗布、現像方法。
【請求項6】
キャリアブロックにキャリアにより搬入された基板を処理ブロックに受け渡し、この処理ブロックにてレジスト膜を含む塗布膜を形成した後、前記処理ブロックに対してキャリアブロックとは反対側に位置するインターフェイスブロックを介して露光装置に搬送し、前記インターフェイスブロックを介して戻ってきた露光後の基板を前記処理ブロックにて現像処理して前記キャリアブロックに受け渡す塗布、現像装置において、
a)前記処理ブロックは、キャリアブロック側の加熱系のブロックと、液処理系の単位ブロック群と、インターフェイスブロック側の加熱ブロックと、をキャリアブロック側からインターフェイスブロック側にこの順番で配置したことと、
b)前記液処理系の単位ブロック群は、
反射防止膜を基板に形成するための反射防止膜用の単位ブロックと、前記反射防止膜の上にレジスト膜を形成するためのレジスト膜用の単位ブロックと、をこの順で上側に積層した塗布膜用の単位ブロック群と、
この塗布膜用の単位ブロック群に対して互いに上下に積層され、露光後の基板を現像するための現像用の単位ブロックと、から構成されることと、
c)前記塗布膜用の単位ブロック群の各々は、キャリアブロック側からインターフェイスブロック側を見る方向を前方とすると、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、各塗布膜に対応する薬液を基板に供給するための液処理モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら液処理モジュールの間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
d)前記現像用の単位ブロックは、前後に伸びる直線搬送路と、この直線搬送路の左右両側に配置され、現像液を基板に供給するための現像モジュールと、前記直線搬送路に沿って移動し、これら現像モジュール間で基板の搬送を行う主搬送機構と、を備えたことと、
e)前記キャリアブロック側の加熱系のブロックは、互いに上下に積層され、現像用の単位ブロックにて現像液を供給した後の基板を加熱する複数の加熱モジュールと、これら加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
f)前記インターフェイスブロック側の加熱系のブロックは、多数の加熱モジュールを上下に積層し、これら加熱モジュールに対して、前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、前記レジスト膜用の単位ブロックにて薬液を塗布した後の基板を加熱する加熱モジュールと、現像用の単位ブロックにて現像液を供給する前の露光後の基板を加熱する加熱モジュールと、を割り当てると共に、加熱モジュールの間で基板の搬送を行うために昇降自在な上下搬送機構と、を備えたことと、
g)前記反射防止膜用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと、
h)前記レジスト膜用の単位ブロックにおけるインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと、
i)前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側及びインターフェイスブロック側に夫々設けられた受け渡しステージと
j)キャリアブロックに置かれたキャリアから取り出された基板を、前記反射防止膜用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージに受け渡し、また前記現像用の単位ブロックにおけるキャリアブロック側の受け渡しステージから基板を受け取るための受け渡し機構と、
k)前記反射防止膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理し、次いでレジスト膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、続いてインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理するように制御信号を出力する制御部と、
を備えたことを特徴とする塗布、現像装置。
を用い、
反射防止膜用の単位ブロックにて薬液が塗布された基板を、インターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、
次いでレジスト膜用の単位ブロックに受け渡して薬液を塗布し、続いてインターフェイスブロック側の加熱モジュールに受け渡して加熱処理する工程と、
を備えたことを特徴とする塗布、現像方法。
【請求項7】
塗布、現像装置に用いられるコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項5または6記載の塗布、現像方法を実施するためのものであることを特徴とする記憶媒体。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【公開番号】特開2012−54472(P2012−54472A)
【公開日】平成24年3月15日(2012.3.15)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−197069(P2010−197069)
【出願日】平成22年9月2日(2010.9.2)
【出願人】(000219967)東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成24年3月15日(2012.3.15)
【国際特許分類】
【出願日】平成22年9月2日(2010.9.2)
【出願人】(000219967)東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Fターム(参考)】
[ Back to top ]