封止されたＭＥＭＳデバイス内の湿度を検査するシステム及び方法
【課題】封止されたＭＥＭＳデバイス内の湿度を検査するシステム及び方法
【解決手段】一実施形態は、複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスの特性を測定することと、上記測定した特性に少なくとも部分的に基づいて、このデバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断することとを備える、湿度を検査する方法を提供する。一実施形態において、このデバイスの特性は、次のもの、すなわち、ｉ）このデバイスの重量、ｉｉ）このデバイス内に封入された乾燥剤の色変化、ｉｉｉ）このデバイスの内部の抵抗、ｉｖ）冷たいフィンガデバイスが接触している、このデバイスの内部領域に霜が形成されたか否か、ｖ）このデバイス内に水蒸気が供給された場合に、このデバイス内に封入された乾燥剤が的確に作用しているか否か、ｖｉ）ｉ）〜ｖ）のうちの少なくとも２つの組み合わせ、のうちの少なくとも１つを含む。
【解決手段】一実施形態は、複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスの特性を測定することと、上記測定した特性に少なくとも部分的に基づいて、このデバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断することとを備える、湿度を検査する方法を提供する。一実施形態において、このデバイスの特性は、次のもの、すなわち、ｉ）このデバイスの重量、ｉｉ）このデバイス内に封入された乾燥剤の色変化、ｉｉｉ）このデバイスの内部の抵抗、ｉｖ）冷たいフィンガデバイスが接触している、このデバイスの内部領域に霜が形成されたか否か、ｖ）このデバイス内に水蒸気が供給された場合に、このデバイス内に封入された乾燥剤が的確に作用しているか否か、ｖｉ）ｉ）〜ｖ）のうちの少なくとも２つの組み合わせ、のうちの少なくとも１つを含む。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の分野は、微小電気機械素子（ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ；ＭＥＭＳ）に関する。
【背景技術】
【０００２】
微小電気機械素子（ＭＥＭＳ）は、微少機械要素、アクチュエータ及び電子機器を含む。微少機械要素は、蒸着、エッチング、及び又は、基板及び／又は堆積材料層の部分をエッチング除去し、あるいは、層を加えて電気素子及び電気機械素子を形成する他のミクロ機械加工プロセスを用いて形成することができる。ＭＥＭＳデバイスの１つのタイプは、インターフェロメトリック変調器（interferometric modulator）と称される。本明細書中で用いる場合、インターフェロメトリック変調器又はインターフェロメトリック光変調器とは、光学的干渉の原理を用いて光を選択的に吸収し及び／又は反射するデバイスを指す。ある実施形態において、インターフェロメトリック変調器は、一方又は両方が、この全体又は一部が透過性及び／又は反射性であってもよく、かつ適当な電気信号を印加したときに相対運動が可能な、１組の導電性プレートを備えてもよい。特定の実施形態において、一方のプレートは、基板上に堆積された固定層を備えてもよく、また他方のプレートは、この固定層からエアギャップだけ離れている金属膜を備えてもよい。本明細書に詳細に記載されているように、一方のプレートの他方に対する位置は、このインターフェロメトリック変調器に入射する光の光学的干渉を変えることができる。このようなデバイスは、広範囲の用途を有しており、これらのタイプのデバイスの特徴を利用し及び／又は変更することが当分野において有益であるため、現在ある製品を改良する際、及びまだ開発されていない新しい製品を考案する際に、これらの特徴を活かすことができる。
【０００３】
さらに、従来技術においては、例えば、このデバイスの寿命を評価するために、又は、このパッケージに不具合があるか否かを判断するために、ＭＥＭＳパッケージの製造が完了した後に、ＭＥＭＳデバイス内部の湿度（相対湿度）のレベルをチェック又は測定する必要性があることは認識されなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明のシステム、方法及びデバイスは、各々がいくつかの態様を有し、単独でこの望ましい特性の原因となる単一の態様はない。この発明の範囲を限定することなく、このより顕著な特徴について簡単に論じる。この論考の後、及び特に、“発明を実施するための最良の形態”という部分を読んだ後には、この発明の特徴が、他のディスプレイデバイスより勝る効果をもたらすことが理解される。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
一実施形態は、湿度を検査する方法を提供する。この方法は、複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスの特性を測定することと、この測定した特性に少なくとも部分的に基づいて、このデバイス内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を測定することとを備える。
【０００６】
別の実施形態は、湿度を検査するシステムを提供する。このシステムは、ｉ）湿潤環境をデバイスに与える手段であって、このデバイスが複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲んでいる、該手段と、ｉｉ）このデバイスの特性を測定する手段とを備える。このデバイス内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度は、この測定した特性に少なくとも部分的に基づいて測定可能である。
【０００７】
他の実施形態は、湿度を検査するシステムを提供する。このシステムは、湿潤環境をターゲットデバイスに与えるように構成された第１の検査デバイスであって、このターゲットデバイスが複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲んでいる該デバイスを備える。また、このシステムは、このターゲットデバイスの特性を測定するように構成された第２の検査デバイスを備える。このターゲットデバイス内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度は、この測定した特性に少なくとも部分的に基づいて測定可能である。
【０００８】
別の実施形態は、湿度を検査する方法を提供する。この方法は、ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲む第１のデバイスの第１の重量と、ｉｉ）複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲む第２のデバイスの第２の重量とを測定することを備え、これらの第１及び第２のデバイスは、異なる量の水蒸気を含む。また、この方法は、これら第１及び第２のデバイスの重量を比較することと、この重量の比較に少なくとも部分的に基づいて、これら２つのデバイスのうちの一方の内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を測定することとを備える。
【０００９】
他の実施形態は、湿度を検査するシステムを提供する。このシステムは、ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲む第１のデバイスと、ｉｉ）複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲む第２のデバイスとを備え、これら第１及び第２のデバイスは、異なる量の水蒸気を含む。また、このシステムは、これら第１及び第２のデバイスの重量を測定するように構成されたスケールを備える。これら２つのデバイスのうちの一方の内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度は、この測定した重量に少なくとも部分的に基づいて測定可能である。
【００１０】
別の実施形態は、湿度を検査する方法を提供する。この方法は、ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器と、ｉｉ）乾燥剤とを取り囲むデバイスを設けることを備え、この乾燥剤は、該乾燥剤中に吸収された水蒸気の量に基づいて、乾燥剤の色を変化させるように構成されている。また、この方法は、この乾燥剤の色変化の程度を測定することと、この色変化の測定した程度に少なくとも部分的に基づいて、このデバイス内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を測定することとを備える。
【００１１】
他の実施形態は、ＭＥＭＳデバイスを製造する方法を提供する。この方法は、基板を設けることと、この基板上に複数のインターフェロメトリック変調器を形成することとを備える。また、この方法は、乾燥剤の中に吸収された水蒸気の量に基づいて、乾燥剤の色を変化させるように構成された乾燥剤を設けることと、バックプレートを設けることとを備える。さらに、この方法は、複数のインターフェロメトリック変調器及び乾燥剤を取り囲むデバイスを形成するように、この基板とこのバックプレートを接合することを備える。このバックプレートは、バックプレートを通して、この乾燥剤の色変化を、このデバイスの外側から見ることができる、少なくとも１つの透明部分を含む。
【００１２】
別の実施形態は、ＭＥＭＳデバイスを提供する。この素子は、ｉ）基板と、ｉｉ）この基板上に形成された複数のインターフェロメトリック変調器と、ｉｉｉ）乾燥剤の中に吸収された水蒸気の量に基づいて、乾燥剤の色を変化させるように構成された該乾燥剤と、ｉｖ）バックプレートとを備える。この基板及びバックプレートは、この複数のインターフェロメトリック変調器及びこのバックプレートを取り囲むデバイスを形成するように、互いに接合されている。このバックプレートは、バックプレートを通して、この乾燥剤の色変化を、このデバイスの外側から見ることができる、少なくとも１つの透明部分を含む。
【００１３】
他の実施形態は、湿度を検査する方法を提供する。この方法は、複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスを設けることと、このデバイスの少なくとも１つの内部部分の抵抗を測定することとを備える。また、この方法は、この測定した抵抗に少なくとも部分的に基づいて、このデバイス内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を測定することを備える。
【００１４】
別の実施形態は、湿度を検査するシステムを提供する。このシステムは、複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスと、このデバイスの少なくとも１つの内部部分の抵抗を測定するように構成された抵抗センサとを備える。このデバイス内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度は、この測定した抵抗に少なくとも部分的に基づいて測定可能である。
【００１５】
他の実施形態は、湿度を検査する方法を提供する。この方法は、複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスを設けることと、このデバイスの外側領域を、第１の温度に設定された冷たいフィンガデバイスに操作可能に接触させることとを備える。また、この方法は、この接触した領域に関して、このインターフェロメトリック変調器素子の内部領域に霜が形成されたか否かを判断することと、この内部領域に霜が形成されているか否かに少なくとも部分的に基づいて、このインターフェロメトリック変調器素子内の相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断することとを備える。
【００１６】
別の実施形態は、湿度を検査するシステムを提供する。このシステムは、複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスと、このデバイスの外側領域と操作可能に接触するように構成された冷たいフィンガデバイスとを備える。このインターフェロメトリック変調器素子内の相対湿度の値又は相対湿度の程度は、この内部領域に霜が形成されているか否かに少なくとも部分的に基づいて測定可能である。
【００１７】
また別の実施形態は、湿度を検査する方法を提供する。この方法は、ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器と、ｉｉ）乾燥剤とを取り囲むデバイスを設けることを備える。また、この方法は、このデバイスの第１の重量を測定することと、このデバイスの内部に水蒸気を与えることと、ｉｉｉ）水蒸気がこのデバイスの中に与えられた後に、このデバイスの第２の重量を測定することとを備える。さらに、この方法は、この第１の重量と第２の重量を比較することと、この重量の比較に少なくとも部分的に基づいて、このデバイス内部の相対湿度の程度を判断することとを備える。
【００１８】
また別の実施形態は、湿度を検査するシステムを提供する。このシステムは、複数のインターフェロメトリック変調器と、ｉｉ）水蒸気を吸収するように構成された乾燥剤とを取り囲むデバイスを備え、水蒸気が、穴を介してこのデバイス内に与えられるように、該穴がこのデバイスのある領域内に画成されている。また、このシステムは、ｉ）水蒸気がこのデバイス内に与えられる前のこのデバイスの第１の重量と、ｉｉ）水蒸気がこのデバイス内に与えられた後のこのデバイスの第２の重量とを測定するように構成されたスケールを備える。このデバイスの内部の相対湿度の程度は、第１の重量と第２の重量の比較に少なくとも部分的に基づいて測定可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下の詳細な説明は、本発明のある特定の実施形態に関する。しかし、本発明は、多くの異なる方法で実施することができる。この説明においては、図面に関して説明し、同様の部分は、全体を通して、同様の数字を用いて表わすことにする。以下の説明から容易に理解できるように、本実施形態は、動いていようと（例えば、ビデオ）、静止していようと（例えば、静止イメージ）、及びテキストであろうと写真であろうと、イメージを表示するように構成されているいかなるデバイスでも実施することができる。より具体的には、本実施形態を、限定するものではないが、移動電話、無線装置、ＰＤＡｓ（ｐｅｒｓｏｎａｌ ｄａｔａ ａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）、ハンドヘルドコンピュータ又はポータブルコンピュータ、ＧＰＳレシーバ／ナビゲータ、カメラ、ＭＰ３プレーヤ、カムコーダー、ゲームコンソール、腕時計、時計、計算機、テレビモニタ、フラットパネルディスプレイ、コンピュータモニタ、オートディスプレイ（例えば、走行距離計等）、コックピット制御部及び／又はディスプレイ、カメラビューのディスプレイ（例えば、自動車のリアビューカメラのディスプレイ）、電子写真、電子掲示板又は電子サイン、プロジェクタ、建築構造物、パッケージング及び審美的構造（例えば、宝石に関するイメージの表示）等の様々な電子デバイスで、又は該様々な電子デバイスに付随して実施することができることが意図されている。また、本明細書中で説明したのと同様の構造のＭＥＭＳデバイスは、電子スイッチングデバイスにおける等の非表示用途で用いることもできる。
【００２０】
一実施形態は、湿度を検査する方法を提供し、この方法は、ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスを湿潤環境にさらすことと、ｉｉ）特性（重量、抵抗、乾燥剤の色変化、霜が生じた箇所の温度等）を測定することと、ｉｉｉ）この測定した特性に少なくとも部分的に基づいて、このデバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断することとを備える。
【００２１】
干渉ＭＥＭＳディスプレイ要素を備える１つの干渉変調ディスプレイの実施形態を図１に示す。これらのデバイスにおいて、画素は、明るい状態又は暗い状態のいずれかにある。この明るい（「オン」又は「オープン」）状態において、このディスプレイ要素は、入射可視光の大部分をユーザに対して反射させる。この暗い（「オフ」又は「クローズド」）状態の場合、このディスプレイ要素は、わずかな入射可視光を該ユーザに対して反射させる。実施形態によっては、これらの「オン」及び「オフ」状態の光反射特性は、逆にしてもよい。ＭＥＭＳ画素は、選択された色で主に反射するように構成することができ、黒及び白に加えてカラー表示を可能にする。
【００２２】
図１は、ビジュアルディスプレイの一連の画素における隣接する２つの画素を示す等角図であり、各画素は、ＭＥＭＳインターフェロメトリック変調器を備える。いくつかの実施形態においては、干渉変調ディスプレイは、これらのインターフェロメトリック変調器の行／列アレイを備える。各インターフェロメトリック変調器は、互いに可変かつ制御可能な距離をおいて配置され、少なくとも１つの可変寸法を有する光空洞共振器を形成する１対の反射層を含む。一実施形態において、これらの反射層の一方は、２つの位置の間で移動することができる。本明細書において弛緩位置と称する第１の位置においては、この移動可能な反射層は、固定された部分的反射層から比較的大きな距離をおいて配置されている。本明細書において作動位置と称する第２の位置においては、この移動可能な反射層は、この部分的反射層により近接して配置されている。これらの２つの層から反射する入射光は、この移動可能な反射層の位置により、建設的に又は破壊的に干渉し、各画素に対して全体的反射状態又は非反射状態のいずれかをもたらす。
【００２３】
図１の画素アレイの図示した部分は、隣接する２つのインターフェロメトリック変調器１２ａ及び１２ｂを含む。左側のインターフェロメトリック変調器１２ａにおいては、移動可能な高反射層１４ａが、部分的反射層を含む光学的スタック１６ａから所定の距離の弛緩位置に示されている。右側のインターフェロメトリック変調器１２ｂにおいては、移動可能な反射層１４ｂが、光学的スタック１６ｂに隣接する作動位置に示されている。
【００２４】
本明細書で言及されているような光学的スタック１６ａ、１６ｂ（まとめて光学的スタック１６と称する）は、典型的には、インジウムスズ酸化物（ｉｎｄｉｕｍ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ；ＩＴＯ）等の電子層、クロム等の部分的反射層、及び透明誘電体を含むことができるいくつかの融合層から構成される。このため、光学的スタック１６は導電性であり、部分的に透明であり、かつ部分的に反射性であり、例えば、これらの層の１つ以上を透明基板２０上に堆積させることにより製造することができる。いくつかの実施形態において、これらの層は、平行なストリップにパターン化され、また、以下にさらに説明するように、ディスプレイ装置に行電極を形成することができる。移動可能な反射層１４ａ、１４ｂは、ポスト１８の上部に堆積させた（行電極１６ａ、１６ｂと直交する）堆積した１枚の金属層及び複数の金属層と、ポスト１８の間に堆積させた介在犠牲材料とからなる一連の平行なストリップとして形成することができる。この犠牲材料がエッチング除去されると、移動可能な反射層１４ａ、１４ｂは、画定されたエアギャップ１９だけ、光学的スタック１６ａ、１６ｂから分離される。アルミニウム等の高導電性及び反射性の材料は、反射層１４に用いることができ、また、これらのストリップは、ディスプレイ装置内に列電極を形成してもよい。
【００２５】
電圧を印加しない場合、空洞１９は、図１における画素１２ａによって示すように、移動可能な反射層１４ａが物理的に弛緩した状態で、移動可能な反射層１４ａと光学的スタック１６ａとの間に存続する。しかし、選択した行及び列に対して電位差を加えると、対応する画素におけるこの行及び列電極の交差部に形成されたキャパシタが充電されて、静電力がこれらの電極を一緒に引っ張る。この電圧が充分高い場合、移動可能な反射層１４は変形し、かつ光学的スタック１６に向かって押し込まれる。光学的スタック１６内の（この図面には示されていない）誘電体層は、短絡を防止することができ、また、図１の右側の画素１２ｂに示すように、層１４と層１６との間の隔離距離を制御することができる。この作用は、印加された電位差の極性に関係なく同じである。このように、反射性対非反射性の画素状態を制御することができる行／列動作は、従来のＬＣＤ及び他の表示技術で用いられるものと多くの点で似ている。
【００２６】
図２〜図５Ｂは、表示用途において、インターフェロメトリック変調器のアレイを用いる１つの例示的なプロセス及びシステムを示す。
【００２７】
図２は、本発明の態様を組み込んでもよい電子装置の一実施形態を示すシステムブロック図である。例示的な実施形態において、この電子装置は、ＡＲＭ、Ｐｅｎｔｉｕｍ（登録商標）、Ｐｅｎｔｉｕｍ ＩＩ（登録商標）、Ｐｅｎｔｉｕｍ ＩＩＩ（登録商標）、Ｐｅｎｔｉｕｍ ＩＶ（登録商標）、Ｐｅｎｔｉｕｍ Ｐｒｏ（登録商標）、８０５１、ＭＩＰＳ（登録商標）、Ｐｏｗｅｒ ＰＣ（登録商標）、ＡＬＰＨＡ（登録商標）等のどのような汎用の単一又はマルチチップマイクロプロセッサ、あるいは、ディジタル信号プロセッサ、マイクロコントローラ又はプログラマブルゲートアレイ等のどのような専用マイクロプロセッサであってもよいプロセッサ２１を含む。従来技術と同様に、プロセッサ２１は、１つ以上のソフトウェアモジュールを実行するように構成することができる。このプロセッサは、オペレーティングシステムを実行するのに加えて、ウェブブラウザ、電話アプリケーション、電子メールプログラム、又は他のソフトウェアアプリケーションを含む１つ以上のソフトウェアアプリケーションを実行するように構成することができる。
【００２８】
一実施形態においては、プロセッサ２１も、アレイドライバ２２と通信するように構成されている。一実施形態において、アレイドライバ２２は、信号を表示アレイ又はパネル３０へ供給する行ドライバ回路２４及び列ドライバ回路２６を含む。図１に示すこのアレイの断面は、図２の線１−１によって示されている。ＭＥＭＳインターフェロメトリック変調器の場合、この行／列作動プロトコルは、図３に示すそれらのデバイスのヒステリシス特性を利用してもよい。例えば、移動可能な層を、上記弛緩状態から作動状態に変形させるために、１０ボルトの電位差を要求してもよい。しかし、この電圧がこの値から低下した場合、この移動可能な層は、この電圧が１０ボルト以下に低下したときにその状態を維持する。図３の例示的な実施形態において、この移動可能な層は、この電圧が２ボルト以下に低下するまで、完全に弛緩しない。それに伴って、図３に示した実施例には、約３〜７Ｖの電圧範囲があり、この場合、その範囲内でこのデバイスが、この弛緩状態又は作動状態のいずれかで安定している印加電圧のウィンドウが存在する。本明細書では、これを「ヒステリシスウィンドウ」又は「安定ウィンドウ」と称する。図３のヒステリシス特性を有するディスプレイアレイの場合、上記行／列作動プロトコルは、行ストロービングの間、作動されるべきこのストローブされた行の画素が、約１０ボルトの電圧差にさらされ、かつ弛緩されるべき画素が、０ボルトに近い電圧差にさらされるように設計することができる。このストローブの後、これらの画素は、どのような状態においても、行ストローブのままであるように、約５ボルトの定常電圧差にさらされる。書き込まれた後、各画素は、この実施例において３〜７Ｖの「安定ウィンドウ」内の電位差を参照する。この特徴は、図１に示す画素デザインを、作動又は弛緩先在状態のいずれかにおける同じ印加電圧条件の下で安定させる。上記インターフェロメトリック変調器の各画素は、作動状態であろうと弛緩状態であろうと、本質的に、固定された反射層と移動可能な層とによって形成されたキャパシタであるため、この安定状態は、ほとんど電力消失を伴わずに、このヒステリシスウィンドウ内の電圧で保持することができる。印加電位が固定されている場合、本質的に、電流はこの画素へは流れない。
【００２９】
典型的な用途において、ディスプレイフレームは、第１の行における作動画素の所望のセットに従って、列電極のセットをアサートすることによって生成することができる。そして、行パルスは、行１電極に印加され、このアサートされた列ラインに対応する画素が作動される。次に、列電極のこのアサートされたセットは、第２の行の作動画素の所望のセットに対応させるため変化する。次いで、パルスが行２電極に印加され、このアサートされた列電極に従って、行２の適当な画素が作動される。行１画素は、行２パルスによる影響を受けず、行１パルスの間に設定された状態のままである。これは、フレームを生成するために、一連の行に対して繰り返すことができる。一般に、これらのフレームは、毎秒所望数のフレームにおいて、このプロセスを連続的に繰り返すことにより、新たな表示データに伴ってリフレッシュ及び／又は更新される。画素アレイの行及び列電極を駆動して表示フレームを生成する幅広いプロトコルもまた周知であり、本発明と共に用いることができる。
【００３０】
図４、図５Ａ及び図５Ｂは、図２の３×３アレイに表示フレームを生成する１つの可能な作動プロトコルを示す。図４は、図３のヒステリシス曲線を示す画素に用いることができる列及び行電圧レベルの可能なセットを示す。図４の実施形態において、画素を作動させることは、適当な行を−Ｖｂｉａｓに、適当な列を＋ΔＶに設定することを含み、これらはそれぞれ、−５Ｖ及び＋５Ｖに相当する。画素を弛緩させることは、適当な行を＋Ｖｂｉａｓに、適当な列を同じく＋ΔＶに設定して、この画素の両端に０Ｖの電位差を生じることにより実現される。行電圧が０Ｖに保持される行においては、これらの画素は、この列が＋Ｖｂｉａｓ又は−Ｖｂｉａｓであることに関係なく、これらの画素が元々どのような状態にあろうとも安定している。図４にも示されているように、上述したもの以外の反対極性の電圧を用いることができること、例えば、画素を作動させることが、適当な列を＋Ｖｂｉａｓに、及び適当な行を−ΔＶに設定することを含むことができることは、正しく理解される。この実施形態において、画素を解放することは、適当な行を−Ｖｂｉａｓに、及び適当な行を同じく−ΔＶに設定して、この画素の両端に０Ｖの電位差を生じさせることによって実現される。
【００３１】
図５Ｂは、作動画素が非反射性である、図５Ａに示す表示構成を生じる、図２の３×３アレイに印加される一連の行及び列信号を示すタイミング図である。図５Ａに示すフレームに書き込む前に、画素は、どのような状態も可能であり、この実施例においては、全ての行が０Ｖであり、全ての列が＋５Ｖである。これらの印加電圧によって、全ての画素は、これらの現在の作動又は弛緩状態において安定している。
【００３２】
図５Ａのフレームにおいては、画素（１，１）、（１，２）、（２，２）、（３，２）及び（３，３）が作動している。これを実現するため、行１のための「ラインタイム」の間には、列１及び列２が−５Ｖに設定され、かつ列３が＋５Ｖに設定される。このことは、全ての画素が３〜７Ｖの安定ウィンドウに入ったままであるため、どの画素の状態も変えない。そして、行１は、０から５Ｖに上昇した後０に戻るパルスによってストローブされる。このことは、（１，１）及び（１，２）画素を作動させ、（１，３）画素を弛緩させる。このアレイ内の他の画素は影響を受けない。行２を要望通りに設定するため、列２は−５Ｖに設定され、列１及び列３は＋５Ｖに設定される。次いで、行２に印加される同じストローブが画素（２，２）を作動させ、かつ画素（２，１）及び（２，３）を弛緩させる。ここでも、このアレイの他の画素は影響を受けない。行３は、列２及び列３を−５Ｖに、及び列１を＋５Ｖに設定することにより、同様に設定される。行３のストローブは、行３の画素を図５Ａに示すように設定する。このフレームを書き込んだ後、この行電位は０であり、この列電位は、＋５又は−５Ｖのいずれかのままとすることができ、上記ディスプレイは、図５Ａの構成において安定している。数十又は数百の行及び列のアレイに対して同じ処理手順を用いることができることは正しく認識される。また、行及び列の作動を実行するのに用いる電圧のタイミング、シーケンス及びレベルを、上述した包括的な原理の範囲内で大きく変化させることができること、及び上記の実施例が単に例示であり、どのような作動電圧方法も本明細書に記載したシステム及び方法と共に用いることができることは正しく認識される。
【００３３】
図６Ａ及び図６Ｂは、ディスプレイ装置４０の実施形態を示すシステムブロック図である。ディスプレイ装置４０は、例えば、携帯電話又は移動電話とすることができる。しかし、ディスプレイ装置４０又は、そのわずかな変形例の同じ構成要素も、テレビ及びポータブルメディアプレーヤ等の様々なタイプのディスプレイ装置の例証である。
【００３４】
ディスプレイ装置４０は、ハウジング４１と、ディスプレイ３０と、アンテナ４３と、スピーカ４４と、入力装置４８と、マイクロフォン４６とを含む。ハウジング４１は、一般に、射出成形及び真空成形を含む、当業者には周知の種々の製造プロセスのうちのいずれかによって形成されている。また、ハウジング４１は、限定するものではないが、プラスチック、金属、ガラス、ゴム及びセラミック又はこれらの組み合わせを含む様々な材料のうちのいずれかから形成することができる。一実施形態において、ハウジング４１は、異なる色の、又は、異なるロゴ、写真又はシンボルからなる他の取外し可能な部分と交換することができる取外し可能な部分（図示せず）を含む。
【００３５】
例示的なディスプレイ装置４０のディスプレイ３０は、本明細書で説明したようなバイステイブルディスプレイを含む様々なディスプレイのうちのいずれかとすることができる。他の実施形態においては、ディスプレイ３０は、上述したように、プラズマ、ＥＬ、ＯＬＥＤ、ＳＴＮ ＬＣＤ及びＴＦＴ ＬＣＤ等のフラットパネルディスプレイ、あるいは、当業者には周知のＣＲＴ又は他のブラウン管装置等の非フラットパネルディスプレイを含む。しかし、本実施形態を説明するため、ディスプレイ３０は、本明細書に記載したように、干渉変調ディスプレイを含む。
【００３６】
例示的なディスプレイ装置４０の一実施形態の構成要素を図６Ｂに概略的に示す。図示した例示的なディスプレイ装置４０は、ハウジング４１を含み、またこのハウジングの中に少なくとも部分的に閉じ込められた追加的な構成要素を含むことができる。例えば、一実施形態において、例示的なディスプレイ装置４０は、トランシーバ４７に結合されているアンテナ４３を含むネットワークインタフェース２７を含む。トランシーバ４７はプロセッサ２１に接続されており、このプロセッサは、調整ハードウェア５２に接続されている。調整ハードウェア５２は、信号を調整する（例えば、信号をフィルタリングする）ように構成してもよい。調整ハードウェア５２は、スピーカ４５及びマイクロフォン４６に接続されている。また、プロセッサ２１は、入力装置４８及びドライバコントローラ２９にも接続されている。ドライバコントローラ２９は、フレームバッファ２８及びアレイドライバ２２に結合されており、このアレイドライバは、ディスプレイアレイ３０にも結合されている。電源５０は、特定の例示的なディスプレイ装置４０デザインに要求される全ての構成要素に電力を供給する。
【００３７】
ネットワークインタフェース２７は、例示的なディスプレイ装置４０が、ネットワークを介して１つ以上のデバイスと通信することができるように、アンテナ４３及びトランシーバ４７を含む。一実施形態において、ネットワークインタフェース２７は、プロセッサ２１の要求を軽減するためのいくつかの処理能力も有してもよい。アンテナ４３は、当業者は既知である、信号を送受信する何らかのアンテナである。一実施形態において、このアンテナは、ＩＥＥＥ８０２．１１（ａ）、（ｂ）又は（ｇ）を含むＩＥＥＥ８０２．１１規格に従ってＲＦ信号を送受信する。別の実施形態においては、このアンテナは、ブルートゥース規格に従ってＲＦ信号を送受信する。携帯電話の場合、このアンテナは、ＣＤＭＡ、ＧＳＭ、ＡＭＰＳ、又は、無線セル電話ネットワーク内で通信するのに用いられる他の公知の信号を受信するように設計されている。トランシーバ４７は、アンテナ４３から受け取った信号をプロセッサ２１によって受け取り、かつこのプロセッサによってさらに処理できるようにこの信号を前処理する。また、トランシーバ４７は、プロセッサ２１から受け取った信号を、アンテナ４３を介して例示的なディスプレイ装置４０から送信できるように、この信号を処理する。
【００３８】
代替の実施形態においては、トランシーバ４７は、レシーバと置き換えることができる。また別の代替の実施形態においては、ネットワークインタフェース２７は、イメージソースと置き換えることができ、このイメージソースは、プロセッサ２１へ送るべきイメージデータを格納又は生成することができる。例えば、このイメージソースは、イメージデータを含むＤＶＤ（ｄｉｇｉｔａｌ ｖｉｄｅｏ ｄｉｓｃ）又はハードディスクドライブ、あるいは、イメージデータを生成するソフトウェアモジュールとすることができる。
【００３９】
プロセッサ２１は、一般に、例示的なディスプレイ装置４０の全体の動作を制御する。プロセッサ２１は、ネットワークインタフェース２７又はイメージソースからの圧縮されたイメージデータ等のデータを受け取り、このデータを処理して生イメージデータに、又は生イメージデータに容易に処理されるフォーマットにする。そして、プロセッサ２１は、この処理されたデータをドライバコントローラ２９に、又は格納のためにフレームバッファ２８へ送る。生データとは、典型的には、イメージ内の各位置におけるイメージ特性を識別する情報を指す。例えば、このようなイメージ特性は、色、飽和及びグレースケールレベルを含むことができる。
【００４０】
一実施形態において、プロセッサ２１は、マイクロコントローラ、ＣＰＵ、又は、例示的なディスプレイ装置４０の動作を制御する論理ユニットを含む。調整ハードウェア５２は、一般に、信号をスピーカ４５へ転送し、かつマイクロフォン４６から信号を受け取る増幅器及びフィルタを含む。調整ハードウェア５２は、例示的なディスプレイ装置４０内の個別の構成要素であってもよく、あるいは、プロセッサ２１又は他の構成要素に組み込んでもよい。
【００４１】
ドライバコントローラ２９は、プロセッサ２１によって生成された生イメージデータを、プロセッサ２１から直接、又はフレームバッファ２８から取得して、アレイドライバ２２への高速転送に適した生イメージデータに再フォーマット化する。具体的には、ドライバコントローラ２９は、表示アレイ３０の全域を走査するのに適した時間順序を有するように、この生イメージデータを、ラスタ状フォーマットを有するデータフローに再フォーマット化する。そして、ドライバコントローラ２９は、このフォーマット化した情報をアレイドライバ２２へ送る。ＬＣＤコントローラ等のドライバコントローラ２９は、独立型集積回路（ＩＣ）としてシステムプロセッサ２１と関連付けられる場合があるが、このようなコントローラは、多くの方法で実施することができる。このコントローラは、ハードウェアとしてプロセッサ２１に、ソフトウェアとしてプロセッサ２１に埋め込んでもよく、又は、ハードウェア内で、アレイドライバ２２と完全に一体化してもよい。
【００４２】
典型的には、アレイドライバ２２は、ドライバコントローラ２９から上記フォーマット化された情報を受け取って、このビデオデータを、上記ディスプレイの画素のｘ−ｙマトリックスからくる何百及び時には何千ものリードに毎秒多数回印加される波形の並行セットに再フォーマット化する。
【００４３】
一実施形態において、ドライバコントローラ２９、アレイドライバ２２及び表示アレイ３０は、本明細書に記載したいずれかの種類のディスプレイに適している。例えば、一実施形態において、ドライバコントローラ２９は、従来のディスプレイコントローラ又はバイステイブルディスプレイコントローラ（例えば、干渉変調コントローラ）である。別の実施形態においては、アレイドライバ２２は、従来のドライバ又はバイステイブルディスプレイドライバ（例えば、干渉変調ディスプレイ）である。一実施形態において、ドライバコントローラ２９は、アレイドライバ２２と一体化されている。このような実施形態は、携帯電話、時計及び他の小面積ディスプレイ等の高度に一体化されたシステムにおいては共通である。また別の実施形態においては、表示アレイ３０は、典型的な表示アレイ又はバイステイブルディスプレイアレイ（例えば、インターフェロメトリック変調器のアレイを含むディスプレイ）である。
【００４４】
入力装置４８は、ユーザが例示的なディスプレイ装置４０の動作を制御できるようにする。一実施形態において、入力装置４８は、ＱＷＥＲＴＹキーボード又は電話キーパッド、ボタン、スイッチ、タッチスクリーン、圧力又は熱センシティブ膜等のキーパッドを含む。一実施形態において、マイクロフォン４６は、例示的なディスプレイ装置４０のための入力装置である。マイクロフォン４６を、この装置にデータを入力するのに使用する場合、例示的なディスプレイ装置４０の動作を制御するために、ユーザがボイスコマンドを与えてもよい。
【００４５】
電源５０は、公知の様々なエネルギストレージデバイスを含むことができる。例えば、一実施形態において、電源５０は、ニッケル−カドミウム電池又はリチウムイオン電池等の充電可能な電池である。別の実施形態において、電源５０は、回復可能なエネルギ源、コンデンサ、又は、プラスチックソーラーセル及びソーラーセルペイントを含む太陽電池である。別の実施形態において、電源５０は、壁コンセントから電力を受け取るように構成される。
【００４６】
いくつかの実施においては、制御プログラム性は、上述したように、電子表示システムのいくつかの箇所に配置することができるドライバコントローラに存する。制御プログラム性は、アレイドライバ２２に存する場合もある。当業者は、上述した最適化を、多数のハードウェア及び／又はソフトウェア構成要素のどれでも、及び様々な構成で実施することができることを正しく認識する。
【００４７】
上述した原理に従って作動するインターフェロメトリック変調器の構成の細部は、大幅に変更してもよい。例えば、図７Ａ〜図７Ｅは、移動可能な反射層１４及びこれの支持構造の５つの異なる実施形態を示す。図７Ａは、図１の実施形態の断面であり、金属材料からなるストリップ１４が、直交して伸びる支持体１８の上に堆積されている。図７Ｂにおいては、移動可能な反射層１４が、その隅においてのみテザー３２上で支持体に取付けられている。図７Ｃにおいては、移動可能な反射層１４が、柔軟な材料を備えてもよい変形可能な層３４から吊り下げられている。変形可能な層３４は、変形可能な層３４の周辺部で基板２０に直接的又は間接的に接続する。これらの接続は、本明細書においては、支持ポストと称する。図７Ｄに示す実施形態は、変形可能な層３４がその上に載る支持ポストプラグ４２を有する。移動可能な反射層１４は、図７Ａ〜図７Ｃと同様に、この空間上に吊り下げられたままであるが、変形可能な層３４は、変形可能な層３４と光学的スタック１６との間の穴を充填することにより、この支持ポストを形成しない。正確に言えば、この支持ポストは、支持ポストプラグ４２を形成するのに使われる平坦化材料で形成される。図７Ｅに示す実施形態は、図７Ｄに示す実施形態に基づいているが、図７Ａ〜図７Ｃに示す実施形態のうちのいずれかならびに図示していない追加的な実施形態と共に機能するように適応させることもできる。図７Ｅに示す実施形態においては、金属からなる追加の層又は他の導電性材料が、バス構造４４を形成するのに用いられている。このことは、このインターフェロメトリック変調器の裏に沿った信号ルーティングを可能にし、別の方法で基板２０上に形成されなければならない可能性がある多数の電極を排除できる。
【００４８】
図７に示すような実施形態において、上記インターフェロメトリック変調器は、イメージが、透明基板２０の前面、すなわち、この変調装置が配置されている面と反対側の面から見られる直視型デバイスとして機能する。これらの実施形態において、反射層１４は、変形可能な層３４を含む、基板２０と反対側の反射層の側のインターフェロメトリック変調器の部分を光学的に遮蔽する。このことは、この遮断された領域を、イメージ品質に悪い影響を与えることなく構成し、かつ作動できるようにする。このような遮蔽は、図７Ｅにおける構造４４を可能にし、このことは、取扱い及びこの取扱いから生じる動き等の、この変調装置の電気機械的特性からこの変調装置の光学的特性を切り離す能力をもたらす。この切り離し可能な変調装置構造は、この変調装置の電気機械的態様及び光学的態様に用いられる構造デザイン及び材料を選択できるようにし、かつ互いに無関係に機能できるようにする。また、図７Ｃ〜図７Ｅに示す実施形態は、反射層１４の光学的特性の、該反射層の機械的特性からの分離から得られる追加的な利益を有し、この分離は、変形可能な層３４によって行われる。このことは、反射層１４に用いられる構造デザイン及び材料を、その光学的特性に対して最適化できるようにし、また、変形可能な層３４に用いられる構造デザイン及び材料を所望の機械的特性に対して最適化できるようにする。
【００４９】
一般的に、インターフェロメトリック変調器は、ＯＬＥＤデバイスより高い、湿度要件に対する許容範囲を有する。上述したように、水蒸気は、半密閉状態又は密閉状態であっても、パッケージ内に浸入することが可能である。乾燥剤がこのパッケージの内部に配置されている特定の実施形態において、一定量の水分の浸入は、この乾燥剤の容量により許容することができる。しかし、許容範囲レベルよりも高い水分又は水蒸気が存在する場合、又は、所望量よりも多い、このパッケージ内への水分の浸入がある場合には、この干渉変調ディスプレイデバイスは、短縮された寿命を有しやすくなり、あるいは、正常に作動しない可能性がある。また、特定のパッケージにおいては、組立中に生成されている及び／又は浸入している水分を、このパッケージの製造を完了する前に、適切に除去されない可能性がある。さらに、特に、乾燥剤が入っていないパッケージの内部の相対湿度レベルは、このデバイスが、意図した目的のために作動するように、又は、予想される寿命を有するように、あるレベル以下に維持する必要がある。そのため、例えば、このデバイスの寿命を評価するために、あるいは、このパッケージに不具合があるかないかを判断するために、このパッケージの製造が完了した後に、このパッケージの内部の湿度（相対湿度）のレベルをチェック又は測定する必要性がある。
【００５０】
図８は、本発明の実施形態によるパッケージの内部の湿度検査のプロセスを示す概念図を示す。図１４は、本発明の実施形態による湿度検査プロセスを説明するための例示的なフローチャートを示す。図８〜図１４を参照して、様々な実施形態の湿度検査処理手順について詳細に説明する。
【００５１】
まず、湿度検査のための、製造したパッケージ５１をサンプルとする（選択する）（２００）。図８に示すように、製造したパッケージ５１は、基板１００とバックプレート８０とを含む。複数のインターフェロメトリック変調器を含むインターフェロメトリック変調器アレイ５４は、パッケージ５１内に密閉されている。基板１００及びバックプレート８０は、透明であってもなくてもよい。シール５６及び５８は、典型的には、基板１００とバックプレート８０とを接合して、製造したパッケージ５１を形成するために設けられている。実施形態により、シール５６及び５８は、非密封シール、半密封シール又は密封シールとすることができる。
【００５２】
一実施形態においては、パッケージ構造５１内の水分を低減するために、乾燥剤７０がパッケージ構造５１内に設けられている。一実施形態において、乾燥剤７０は、インターフェロメトリック変調器アレイ５４とバックプレート８０との間に配置されている。乾燥剤は、密封シール又は半密封シールを有するパッケージに用いることができる。一実施形態において、パッケージ５１の内部で使用される乾燥剤の量は、デバイス５１の存続期間中に、シール５６及び５８を介して浸入する水蒸気を吸収するように選定される。
【００５３】
本明細書を通じて、サンプルとされた（又は、サンプル）パッケージ５１とは、以下で論じるように、湿潤環境にさらされていないパッケージを意味する。また、本明細書を通じて、製造したパッケージ５１とは、複数のインターフェロメトリック変調器（インターフェロメトリック変調器アレイ）を取り囲むデバイスを意味する。特定の実施形態においては、必要に応じて、湿度検査の前に、最初の測定（例えば、重量、色、抵抗、初期相対湿度等）を行うことができる。（２１０）。
【００５４】
サンプルとしたパッケージ５１は、例えば、この検査のための、十分な量の水蒸気を含む湿度チャンバ５３を介して、ある環境に一定期間、例えば、２５０〜５００時間さらされる（２２０）。一実施形態において、湿度チャンバ５３は、人が実際に住み、電子機器を使用する普通の環境よりも厳しい湿度状態を生成することができる。例えば、この普通の環境が、４０℃で９０％ＲＨ（相対湿度）である場合、湿度チャンバ５３は、例えば、約７０℃で８０％ＲＨ、又は８５℃で６０％ＲＨに設定することができる。すなわち、短時間、湿度チャンバ５３を用いて、サンプルとされたパッケージ５１は、他の方法（例えば、周囲環境）よりもかなり長く湿度にさらされているかのようにシミュレートすることができる。
【００５５】
別の実施形態においては、サンプルパッケージ５１を、湿度チャンバ５３以外の環境（Ｘ）にさらすことができ、この場合、十分な量の湿度がこの検査のために存在し、又は、この環境は、湿度チャンバ５３と同様の温湿度を有する。別の実施形態においては、サンプルパッケージ５１は、人が実際に住み、電子機器を使用する周囲環境（普通の環境；Ｙ）にさらすことができる。この環境においては、このさらす時間は、サンプルパッケージ５１が、湿度チャンバ５３内のようなより高い湿度環境にさらされる場合よりも長くなる。本明細書を通じて、「湿潤環境」という用語は、この湿度チャンバ及び上述した環境Ｘ及びＹのうちの少なくとも１つを表すことができる。
【００５６】
一定（所定）期間の後、パッケージ５１は、湿度チャンバ５３又は他の湿度環境から取り除かれる（２３０）。一実施形態においては、湿度の程度により、さらす時間を変えることができる。例えば、サンプルとしたパッケージ５１が、湿度チャンバ５３等のより高い湿潤環境にさらされる場合、この所定期間は、サンプルとしたパッケージ５１が、周囲環境等のより低い湿潤環境にさらされる場合よりも比較的短くなることになる。便宜上、この湿潤環境から取り除かれたパッケージを、さらし済みパッケージ６０と称することにする。様々な実施形態において、この湿度検査は、さらし済みパッケージ６０に対して実行することができる。別の実施形態においては、この湿度検査は、この湿潤環境にさらされていないサンプルパッケージ５１に対して実行することができる。この検査は、製造プロセス中に、サンプルパッケージ５１から水蒸気が十分に除去されていない場合でも有用である。しかし、便宜上、この湿度検査処理手順は、さらし済みパッケージ６０に関して説明する。
【００５７】
一実施形態においては、図８に概略するように、この湿度検査は、例えば、重量測定検査（Ａ）、乾燥剤の色変化検査（Ｂ）、抵抗測定検査（Ｃ）、冷たいフィンガ測定検査（Ｄ）及びＣ及びＤの組み合わせ（Ｅ）に基づいて実行される。別の実施形態においては、前述した検査プロセスのうちの１つ以上を互いに組合わせて、多数の湿度検査プロセスを実現することができる。他の実施形態においては、前述した検査プロセスのうちの１つ以上を、図９Ｃに例示したような状況により変更することができる（「Ａ」の変更バージョン）。また別の実施形態においては、前述した検査プロセスのうちの１つ以上の組み合わせを、図１０Ｄに例示したような状況により変更することができる（「Ａ」及び「Ｂ」の組み合わせの変更バージョン）。
【００５８】
様々な実施形態において、さらし済みパッケージ６０の内部における測定した相対湿度の程度の評価は、例えば、次のパラメータ、すなわち、ｉ）温度／湿度の組み合わせ（例えば、４０℃及び９０％ＲＨ、又は８５℃及び６０％ＲＨ）、ｉｉ）シール２４の厚さ及び幅、ｉｉｉ）付着透過性（例えば、１２．１グラムｍｍ／ｍ２／１日／ＫＰａ）、ｉｖ）乾燥剤容量（例えば、乾燥剤重量の１０％）、及びｖ）ディスプレイサイズ（例えば、１．１インチ対角又は４．５インチ対角）等のうちの少なくとも１つを考慮することにより、実行することができる。
【００５９】
図９Ａ及び図９Ｂは、本発明の一実施形態による湿度検査プロセスを示す。この実施形態において、さらし済みパッケージ６０の湿度レベルは、サンプルパッケージ５１及びさらし済みパッケージ６０の重量を比較することによって決まる。別の実施形態においては、さらし済みパッケージ６０の内部の湿度レベルは、さらし済みパッケージ６０の重量と、複数の（さらされていない）サンプルパッケージの平均重量とを比較することによって決めることができる。
【００６０】
図９Ａについて説明すると、（このパッケージが湿潤環境にさらされる前の）サンプルパッケージ５１の重量が、重量測定デバイス（又は、スケール）６２を用いて測定される。一実施形態において、重量測定デバイス６２は、増量を識別することができる何らかの種類のスケールを含む。一実施形態において、デバイス６２の重量スケールは、約±０．１ｍｇの精度である。別の実施形態においては、デバイス６２の重量スケールは、例えば、±０．０５ｍｇの精度である。一実施形態において、重量測定デバイス６２は、例えば、メトラー（Ｍｅｔｔｌｅｒ）社から入手可能なＡＥ１６３又はＸＳ１０５を含む。
【００６１】
図９Ｂについて説明すると、（このパッケージが湿潤環境にさらされた後の）さらし済みパッケージ６０の重量は、重量測定デバイス６２を用いて測定される。例えば、サンプルパッケージ５１の重量がＹ（ｇ）で、さらし済みパッケージ６０の重量がＹ＋α（ｇ）である場合、増量（α）は、さらし済みパッケージ６０の内部における湿度レベルを評価するのに用いることができる。一実施形態において、増量（α）がしきい値よりも大きい場合、さらし済みパッケージ６０は、不具合があるか又は短縮された寿命を有すると判断することができる。例えば、８５℃及び６０％の相対湿度において３００時間のさらし時間の場合、約１ｍｇの増量を伴うこのさらし済みパッケージは、１つの検査シナリオにおいて、不具合があると判断することができる。
【００６２】
図９Ｃは、本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。この実施形態においては、同じサンプルとしたパッケージを、所定の間隔で、少なくとも２回、測定することができる。この実施形態において、サンプルとしたパッケージ５１が測定されて、第１の重量が重量測定デバイス６２によって得られる。所定期間の後、サンプルとしたパッケージ５１が測定されて、第２の重量が得られる。上述したように、この所定期間は、湿度レベル要件により変わる。測定した第１の重量と第２の重量とが比較される。このパッケージの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度は、この重量の比較に基づいて判断される。一実施形態において、サンプルとしたパッケージ５１の重量は、２回以上、測定される。
【００６３】
図１０Ａ〜図１０Ｃは、本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。この実施形態において、さらし済みパッケージ６０の湿度レベルは、さらし済みパッケージ６０の乾燥剤の色変化によって判断される。一般的に、乾燥剤は、水分を吸収したときに、乾燥剤の色を変化させる。また、一般的に、乾燥剤の色は、この乾燥剤が吸収した水分の量に従って変化する。一実施形態において、ある乾燥剤の元の色は、例えば、青である。この実施形態において、乾燥剤７０は、例えば、約２５℃及び１５％ＲＨにおいて、周囲の水分を吸収したときに、青から、例えば、赤へ色変化を始める。さらに、この乾燥剤の色は、約２５℃及び４０％ＲＨにおいて、乾燥剤７０が一定量以上、水分を吸収したときに、その元の色から特定の色（例えば、赤）に完全に変化する。
【００６４】
一実施形態において、バックプレート８０は、乾燥剤７０の色変化を、透明なバックプレート８０全体から見ることができるように、透明材料で形成されている。この実施形態においては、この乾燥剤の色又は色変化を見るのに必要な独立したウィンドウはない。別の実施形態においては、バックプレート８０は、透明でも半透明でもない。この実施形態において、バックプレート８０は、乾燥剤７０の色変化を、ウィンドウ７２を介してパッケージ６０の外側から見ることができるように、図１０Ａに示すような透明なウィンドウ７２を含む。別の実施例においては、ウィンドウ７４のサイズは、図１０Ｂに示すように、変えてもよい。また別の実施形態においては、バックプレート８０は、図１０Ｃに示すように、複数の透明なウィンドウ７６及び７８を含む。
【００６５】
一実施形態において、サンプルパッケージ５１が湿潤環境にさらされる前に、乾燥剤７０の色変化を手動で、又は自動的に測定することができる。この実施形態において、さらし済みパッケージ６０のこの乾燥剤の色変化は、この色変化の程度を判断するために、サンプルパッケージ５１の色変化と比較することができる。さらし済みパッケージ６０の乾燥剤７０の色をチェックした後、及び／又はサンプルとしたパッケージ５１とさらし済みパッケージ６０との間で、乾燥剤の色変化を比較した後、検知した色の程度及び／又は乾燥剤の色変化は、さらし済みパッケージ６０の内部における相対湿度のレベルを評価するのに用いることができる。一実施形態において、この評価は、このパッケージの寿命を計算することと、サンプルパッケージ５１に不具合があるか否かを判断することとを備える。
【００６６】
図１０Ｄは、本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。この実施形態において、乾燥剤７０は、水蒸気を吸収しても、乾燥剤の色を変化させない。この実施形態は、破壊的湿度検査方法のうちの１つである。最初に、さらし済みパッケージ６０又はサンプルとしたパッケージ５１（本明細書において、以後、さらし済みパッケージ６０と称する）が、重量測定デバイス６２によって測定される。次に、水蒸気をパッケージ６０内に供給するために、開口部６４が、さらし済みパッケージ６０の外側部分、例えば、シール５８上に画成される。別の実施形態においては、開口部６４は、別の部分、例えば、基板１００、バックプレート８０又はシール５６上に画成することができる。一実施形態においては、例えば、ポンプ（図示せず）を用いた処理を促進するために、水蒸気をパッケージ６０内に注入してもよい。別の実施形態においては、水蒸気は、何らかのデバイスを用いることなく、パッケージ６０内に浸入できるようになっている。次いで、再び、さらし済みパッケージ６０が、重量測定デバイス６２によって測定される。
【００６７】
乾燥剤７０が的確に作用している場合、この乾燥剤は、短期間に、相当量の、浸入した水蒸気を吸収することになり、また、第２の重量が、第１の重量よりもかなり大きくなる。この状況においては、穴６４を画成する前の、パッケージ６０の内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度が許容可能であったと判断することができる。
【００６８】
上記乾燥剤が的確に作用していない場合には、この乾燥剤は、これ以上、浸入した水蒸気を吸収せず、第２の重量は、実質的に第１の重量と同じになる。この状況においては、穴６４を画成する前の、パッケージ６０の内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度がかなり高く、許容できなかったと判断することができる。
【００６９】
図１１Ａ及び図１１Ｂは、本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。この実施形態において、さらし済みパッケージ６０の内部の相対湿度は、抵抗湿度センサ８２を用いて測定される。一実施形態において、センサ８２は、パッケージ６０のリード８６に接続されている。リード８６は、インターフェロメトリック変調器アレイ５４の電極に、又は、インターフェロメトリック変調器アレイ５４の一部に、あるいは、電気インピーダンス又は抵抗を、その部分の周りで測定することができる、パッケージ６０のどこかの内部部分（例えば、バックプレート８０又は基板１００の上）に接続することができる。一実施形態において、リード８６は、パッケージ６０の現存するリードである。別の実施例においては、リード８６は、この湿度検査のためのインターフェロメトリック変調器の製造プロセス中に形成された、パターン化されたリードである。この実施形態において、このパターン化されたリードは、このインターフェロメトリック変調器の未使用部分（例えば、角の領域）に配設することができる。このパターン化されたリードは、この湿度検査が終了した後に、取り除くか又は保持することができる。さらに別の実施形態において、リード８６は、この目的のために画成されている穴を介して、パッケージ６０の内部に挿入することができる独立したリードである。
【００７０】
一般的に、材料物質の抵抗と、この材料物質の周囲の相対湿度は、図１１Ｂに示すような指数関数的関係を有する。一実施形態において、センサ８２は、例えば、図１１Ｂに示すような抵抗と相対湿度の既知の関係に基づいて、測定した抵抗値を対応する相対湿度の値に変換することにより、相対湿度の値を生成することができる。
【００７１】
図１２Ａ〜図１２Ｃは、本発明のまた別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。この実施形態において、さらし済みパッケージ６０の湿度レベルは、冷たいフィンガデバイス９２を用いて測定される。一般的に、冷たいフィンガデバイス９２は、冷却された物質（例えば、氷、ドライアイス等）が配置されている中空部分を有する。一実施形態において、冷たいフィンガデバイス９２は、例えば、−２０℃、−４０℃又は−６０℃に設定される。代替として、実施形態により、より低い又はより高い他の温度、あるいは、例示した温度の間の他の温度を用いることができる。一実施形態において、冷たいフィンガデバイス９２は、熱伝導性材料、例えば、金属で形成されている。一実施形態においては、アルコール等の特定の液体材料を、冷たいフィンガデバイス９２の接触領域上に加えて、より良好な接触及び熱コンダクタンスを与えることができる。
【００７２】
一実施形態においては、冷たいフィンガデバイス９２は、図１２Ａに示すように、バックプレート８０の特定の領域に接触するように構成される。別の実施形態においては、冷たいフィンガデバイス９２は、基板１００又はシール５６、５８の特定の領域に接触するように構成される。また別の実施形態においては、冷たいフィンガデバイス９２は、各シール５６、５８及び基板１００の境界領域に接触するように構成される。この実施形態において、パッケージ６０の内部に形成された霜（以下で説明する）透明基板１００を通して見ることができる。
【００７３】
一実施形態において、冷たいフィンガデバイス９２は、低温、例えば、−６０℃に設定され、図１２Ａに示すように、例えば、領域９６に接触する。この結果、接触領域９６に対応する内部領域９４に霜が形成されたか否かが判断される。一実施形態において、霜が形成されたか否かは、バックプレート８０の接触領域９６の周りに形成された透明ウィンドウ（図１２Ａには示されていない）を介して視覚的に判断することができる。別の実施例においては、上述したように、冷たいフィンガデバイス９２が基板１００又はシール５６、５８と基板１００の境界領域に接触した場合、検査者は、透明基板１００の一部を介して、霜が内部領域９４に形成されたか否かを判断することができる。また別の実施形態においては、図１１に関して説明したように、及び図１３に示すように、抵抗湿度センサ８２を、霜が内部領域９４に形成されたか否かを判断するのに用いることができる。図１３の実施形態は、バックプレート８０が透明でなく、また透明部分を含まない場合に、パッケージ６０の内部の湿度を測定するのに特に有用である。
【００７４】
図１１Ａ及び図１２Ａに関して説明したように、センサ８２は、パッケージ６０のどこかの内部部分（例えば、バックプレート８０又は基板１００等）に接続されているリードに接続することができ、この場合、電気インピーダンス又は電気抵抗は、この部分の周りで測定することができる。この実施形態において、冷たいフィンガデバイス９２は、この内部部分に対応する外側領域（例えば、バックプレート８０又は基板１００）に接触する。この実施形態は、バックプレート８０及び基板１００の少なくとも一方が透明でなく、又は、透明部分を含まない場合に、パッケージ６０内部の湿度を測定する際に、特に有利である。一実施形態において、例えば、−６０℃の温度に設定された冷たいフィンガデバイス９２を用いて、内部領域９４に霜が形成されておらず、上記インターフェロメトリック変調器デバイスの意図した動作に対して、パッケージ６０の内部が十分に乾燥している（すなわち、十分に低い湿度を有している）ことを示していると判断された場合、それ以上、検査は必要ない。別の実施形態においては、例えば、−６０℃の温度に設定された冷たいフィンガデバイス９２を用いて、内部領域９４に霜が形成されていると判断された場合には、より高い温度（例えば、−４０℃）を用いて、この湿度検査を続けることができる。この実施形態において、内部領域９４に霜が形成されたと判断された場合、この実施形態に従って、より高い温度（例えば、−３０℃）を用いた別の検査を行うことができ、あるいは、これ以上の検査は行わない。この検査プロセスは、必要に応じて、異なる温度値を用いて、何度でも繰り返すことができる。
【００７５】
別の実施形態においては、冷たいフィンガデバイス９２は、図１２Ｂに示すように、基板１００に接触する。この実施形態において、霜は、パッケージ６０内部の領域９４に形成される。この実施形態においては、形成された霜を透明なバックプレート８０を介して見ることができるように、バックプレート８０が透明であるか、又は、少なくとも透明部分を含むことが望ましい。
【００７６】
別の実施形態においては、冷たいフィンガデバイス９２は、図１２Ｃに示すように、バックプレート８０に接触する。この実施形態において、霜は、パッケージ６０内部の領域９４に形成される。この実施形態においては、形成された霜を透明な基板１００を介して見ることができるように、基板１００が透明であるか、又は、少なくとも透明部分を含むことが望ましい。
【００７７】
上記の詳細な説明は、様々な実施形態に適用される本発明の新規な特徴を示し、記載し、かつ指摘したが、当業者には、本発明の趣旨を逸脱することなく、説明したデバイス又はプロセスの形態及び詳細における様々な省略、置換え及び変更が可能であることは、理解される。正しく認識できるように、本発明は、いくつかの特徴は、他の特徴とは別に用いることができ、又は実施することができるため、本明細書に記載した特徴及び利益の全てを備えていない構成内に具体化してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】第１のインターフェロメトリック変調器の可動反射層が弛緩位置にあり、かつ第２のインターフェロメトリック変調器の可動反射層が作動位置にある、干渉変調ディスプレイの一実施形態の一部を示す等角図である。
【図２】３×３干渉変調ディスプレイを組み入れた電子デバイスの一実施形態を示すシステムブロック図である。
【図３】図１のインターフェロメトリック変調器の例示的な一実施形態の場合の可動ミラー位置対印加電圧の図である。
【図４】干渉変調ディスプレイを駆動するのに用いることができる、行及び列電圧のセットの図である。
【図５Ａ】図２の３×３干渉変調ディスプレイにおける表示データの１つの例示的なフレームを示す。
【図５Ｂ】図５Ａのフレームを書き込むのに用いることができる、行及び列信号のための１つの例示的なタイミング図を示す。
【図６Ａ】複数のインターフェロメトリック変調器を備えるビジュアルディスプレイデバイスの一実施形態を示すシステムブロック図である。
【図６Ｂ】複数のインターフェロメトリック変調器を備えるビジュアルディスプレイデバイスの一実施形態を示すシステムブロック図である。
【図７Ａ】図１のデバイスの断面図である。
【図７Ｂ】インターフェロメトリック変調器の代替の実施形態の断面図である。
【図７Ｃ】インターフェロメトリック変調器の別の代替の実施形態の断面図である。
【図７Ｄ】インターフェロメトリック変調器のまた別の代替の実施形態の断面図である。
【図７Ｅ】インターフェロメトリック変調器の追加的な代替の実施形態の断面図である。
【図８】本発明の実施形態によるパッケージの内部における湿度検査のプロセスを示す概念図である。
【図９Ａ】本発明の一実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図９Ｂ】本発明の一実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図９Ｃ】本発明の一実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１０Ａ】本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１０Ｂ】本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１０Ｃ】本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１０Ｄ】本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１１Ａ】本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１１Ｂ】本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１２Ａ】本発明のまた別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１２Ｂ】本発明のまた別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１２Ｃ】本発明のまた別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１３】本発明のさらに別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１４】本発明の実施形態による湿度検査プロセスを説明するための例示的なフローチャートを示す。
【技術分野】
【０００１】
本発明の分野は、微小電気機械素子（ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ；ＭＥＭＳ）に関する。
【背景技術】
【０００２】
微小電気機械素子（ＭＥＭＳ）は、微少機械要素、アクチュエータ及び電子機器を含む。微少機械要素は、蒸着、エッチング、及び又は、基板及び／又は堆積材料層の部分をエッチング除去し、あるいは、層を加えて電気素子及び電気機械素子を形成する他のミクロ機械加工プロセスを用いて形成することができる。ＭＥＭＳデバイスの１つのタイプは、インターフェロメトリック変調器（interferometric modulator）と称される。本明細書中で用いる場合、インターフェロメトリック変調器又はインターフェロメトリック光変調器とは、光学的干渉の原理を用いて光を選択的に吸収し及び／又は反射するデバイスを指す。ある実施形態において、インターフェロメトリック変調器は、一方又は両方が、この全体又は一部が透過性及び／又は反射性であってもよく、かつ適当な電気信号を印加したときに相対運動が可能な、１組の導電性プレートを備えてもよい。特定の実施形態において、一方のプレートは、基板上に堆積された固定層を備えてもよく、また他方のプレートは、この固定層からエアギャップだけ離れている金属膜を備えてもよい。本明細書に詳細に記載されているように、一方のプレートの他方に対する位置は、このインターフェロメトリック変調器に入射する光の光学的干渉を変えることができる。このようなデバイスは、広範囲の用途を有しており、これらのタイプのデバイスの特徴を利用し及び／又は変更することが当分野において有益であるため、現在ある製品を改良する際、及びまだ開発されていない新しい製品を考案する際に、これらの特徴を活かすことができる。
【０００３】
さらに、従来技術においては、例えば、このデバイスの寿命を評価するために、又は、このパッケージに不具合があるか否かを判断するために、ＭＥＭＳパッケージの製造が完了した後に、ＭＥＭＳデバイス内部の湿度（相対湿度）のレベルをチェック又は測定する必要性があることは認識されなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明のシステム、方法及びデバイスは、各々がいくつかの態様を有し、単独でこの望ましい特性の原因となる単一の態様はない。この発明の範囲を限定することなく、このより顕著な特徴について簡単に論じる。この論考の後、及び特に、“発明を実施するための最良の形態”という部分を読んだ後には、この発明の特徴が、他のディスプレイデバイスより勝る効果をもたらすことが理解される。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
一実施形態は、湿度を検査する方法を提供する。この方法は、複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスの特性を測定することと、この測定した特性に少なくとも部分的に基づいて、このデバイス内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を測定することとを備える。
【０００６】
別の実施形態は、湿度を検査するシステムを提供する。このシステムは、ｉ）湿潤環境をデバイスに与える手段であって、このデバイスが複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲んでいる、該手段と、ｉｉ）このデバイスの特性を測定する手段とを備える。このデバイス内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度は、この測定した特性に少なくとも部分的に基づいて測定可能である。
【０００７】
他の実施形態は、湿度を検査するシステムを提供する。このシステムは、湿潤環境をターゲットデバイスに与えるように構成された第１の検査デバイスであって、このターゲットデバイスが複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲んでいる該デバイスを備える。また、このシステムは、このターゲットデバイスの特性を測定するように構成された第２の検査デバイスを備える。このターゲットデバイス内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度は、この測定した特性に少なくとも部分的に基づいて測定可能である。
【０００８】
別の実施形態は、湿度を検査する方法を提供する。この方法は、ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲む第１のデバイスの第１の重量と、ｉｉ）複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲む第２のデバイスの第２の重量とを測定することを備え、これらの第１及び第２のデバイスは、異なる量の水蒸気を含む。また、この方法は、これら第１及び第２のデバイスの重量を比較することと、この重量の比較に少なくとも部分的に基づいて、これら２つのデバイスのうちの一方の内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を測定することとを備える。
【０００９】
他の実施形態は、湿度を検査するシステムを提供する。このシステムは、ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲む第１のデバイスと、ｉｉ）複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲む第２のデバイスとを備え、これら第１及び第２のデバイスは、異なる量の水蒸気を含む。また、このシステムは、これら第１及び第２のデバイスの重量を測定するように構成されたスケールを備える。これら２つのデバイスのうちの一方の内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度は、この測定した重量に少なくとも部分的に基づいて測定可能である。
【００１０】
別の実施形態は、湿度を検査する方法を提供する。この方法は、ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器と、ｉｉ）乾燥剤とを取り囲むデバイスを設けることを備え、この乾燥剤は、該乾燥剤中に吸収された水蒸気の量に基づいて、乾燥剤の色を変化させるように構成されている。また、この方法は、この乾燥剤の色変化の程度を測定することと、この色変化の測定した程度に少なくとも部分的に基づいて、このデバイス内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を測定することとを備える。
【００１１】
他の実施形態は、ＭＥＭＳデバイスを製造する方法を提供する。この方法は、基板を設けることと、この基板上に複数のインターフェロメトリック変調器を形成することとを備える。また、この方法は、乾燥剤の中に吸収された水蒸気の量に基づいて、乾燥剤の色を変化させるように構成された乾燥剤を設けることと、バックプレートを設けることとを備える。さらに、この方法は、複数のインターフェロメトリック変調器及び乾燥剤を取り囲むデバイスを形成するように、この基板とこのバックプレートを接合することを備える。このバックプレートは、バックプレートを通して、この乾燥剤の色変化を、このデバイスの外側から見ることができる、少なくとも１つの透明部分を含む。
【００１２】
別の実施形態は、ＭＥＭＳデバイスを提供する。この素子は、ｉ）基板と、ｉｉ）この基板上に形成された複数のインターフェロメトリック変調器と、ｉｉｉ）乾燥剤の中に吸収された水蒸気の量に基づいて、乾燥剤の色を変化させるように構成された該乾燥剤と、ｉｖ）バックプレートとを備える。この基板及びバックプレートは、この複数のインターフェロメトリック変調器及びこのバックプレートを取り囲むデバイスを形成するように、互いに接合されている。このバックプレートは、バックプレートを通して、この乾燥剤の色変化を、このデバイスの外側から見ることができる、少なくとも１つの透明部分を含む。
【００１３】
他の実施形態は、湿度を検査する方法を提供する。この方法は、複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスを設けることと、このデバイスの少なくとも１つの内部部分の抵抗を測定することとを備える。また、この方法は、この測定した抵抗に少なくとも部分的に基づいて、このデバイス内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を測定することを備える。
【００１４】
別の実施形態は、湿度を検査するシステムを提供する。このシステムは、複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスと、このデバイスの少なくとも１つの内部部分の抵抗を測定するように構成された抵抗センサとを備える。このデバイス内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度は、この測定した抵抗に少なくとも部分的に基づいて測定可能である。
【００１５】
他の実施形態は、湿度を検査する方法を提供する。この方法は、複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスを設けることと、このデバイスの外側領域を、第１の温度に設定された冷たいフィンガデバイスに操作可能に接触させることとを備える。また、この方法は、この接触した領域に関して、このインターフェロメトリック変調器素子の内部領域に霜が形成されたか否かを判断することと、この内部領域に霜が形成されているか否かに少なくとも部分的に基づいて、このインターフェロメトリック変調器素子内の相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断することとを備える。
【００１６】
別の実施形態は、湿度を検査するシステムを提供する。このシステムは、複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスと、このデバイスの外側領域と操作可能に接触するように構成された冷たいフィンガデバイスとを備える。このインターフェロメトリック変調器素子内の相対湿度の値又は相対湿度の程度は、この内部領域に霜が形成されているか否かに少なくとも部分的に基づいて測定可能である。
【００１７】
また別の実施形態は、湿度を検査する方法を提供する。この方法は、ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器と、ｉｉ）乾燥剤とを取り囲むデバイスを設けることを備える。また、この方法は、このデバイスの第１の重量を測定することと、このデバイスの内部に水蒸気を与えることと、ｉｉｉ）水蒸気がこのデバイスの中に与えられた後に、このデバイスの第２の重量を測定することとを備える。さらに、この方法は、この第１の重量と第２の重量を比較することと、この重量の比較に少なくとも部分的に基づいて、このデバイス内部の相対湿度の程度を判断することとを備える。
【００１８】
また別の実施形態は、湿度を検査するシステムを提供する。このシステムは、複数のインターフェロメトリック変調器と、ｉｉ）水蒸気を吸収するように構成された乾燥剤とを取り囲むデバイスを備え、水蒸気が、穴を介してこのデバイス内に与えられるように、該穴がこのデバイスのある領域内に画成されている。また、このシステムは、ｉ）水蒸気がこのデバイス内に与えられる前のこのデバイスの第１の重量と、ｉｉ）水蒸気がこのデバイス内に与えられた後のこのデバイスの第２の重量とを測定するように構成されたスケールを備える。このデバイスの内部の相対湿度の程度は、第１の重量と第２の重量の比較に少なくとも部分的に基づいて測定可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下の詳細な説明は、本発明のある特定の実施形態に関する。しかし、本発明は、多くの異なる方法で実施することができる。この説明においては、図面に関して説明し、同様の部分は、全体を通して、同様の数字を用いて表わすことにする。以下の説明から容易に理解できるように、本実施形態は、動いていようと（例えば、ビデオ）、静止していようと（例えば、静止イメージ）、及びテキストであろうと写真であろうと、イメージを表示するように構成されているいかなるデバイスでも実施することができる。より具体的には、本実施形態を、限定するものではないが、移動電話、無線装置、ＰＤＡｓ（ｐｅｒｓｏｎａｌ ｄａｔａ ａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）、ハンドヘルドコンピュータ又はポータブルコンピュータ、ＧＰＳレシーバ／ナビゲータ、カメラ、ＭＰ３プレーヤ、カムコーダー、ゲームコンソール、腕時計、時計、計算機、テレビモニタ、フラットパネルディスプレイ、コンピュータモニタ、オートディスプレイ（例えば、走行距離計等）、コックピット制御部及び／又はディスプレイ、カメラビューのディスプレイ（例えば、自動車のリアビューカメラのディスプレイ）、電子写真、電子掲示板又は電子サイン、プロジェクタ、建築構造物、パッケージング及び審美的構造（例えば、宝石に関するイメージの表示）等の様々な電子デバイスで、又は該様々な電子デバイスに付随して実施することができることが意図されている。また、本明細書中で説明したのと同様の構造のＭＥＭＳデバイスは、電子スイッチングデバイスにおける等の非表示用途で用いることもできる。
【００２０】
一実施形態は、湿度を検査する方法を提供し、この方法は、ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスを湿潤環境にさらすことと、ｉｉ）特性（重量、抵抗、乾燥剤の色変化、霜が生じた箇所の温度等）を測定することと、ｉｉｉ）この測定した特性に少なくとも部分的に基づいて、このデバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断することとを備える。
【００２１】
干渉ＭＥＭＳディスプレイ要素を備える１つの干渉変調ディスプレイの実施形態を図１に示す。これらのデバイスにおいて、画素は、明るい状態又は暗い状態のいずれかにある。この明るい（「オン」又は「オープン」）状態において、このディスプレイ要素は、入射可視光の大部分をユーザに対して反射させる。この暗い（「オフ」又は「クローズド」）状態の場合、このディスプレイ要素は、わずかな入射可視光を該ユーザに対して反射させる。実施形態によっては、これらの「オン」及び「オフ」状態の光反射特性は、逆にしてもよい。ＭＥＭＳ画素は、選択された色で主に反射するように構成することができ、黒及び白に加えてカラー表示を可能にする。
【００２２】
図１は、ビジュアルディスプレイの一連の画素における隣接する２つの画素を示す等角図であり、各画素は、ＭＥＭＳインターフェロメトリック変調器を備える。いくつかの実施形態においては、干渉変調ディスプレイは、これらのインターフェロメトリック変調器の行／列アレイを備える。各インターフェロメトリック変調器は、互いに可変かつ制御可能な距離をおいて配置され、少なくとも１つの可変寸法を有する光空洞共振器を形成する１対の反射層を含む。一実施形態において、これらの反射層の一方は、２つの位置の間で移動することができる。本明細書において弛緩位置と称する第１の位置においては、この移動可能な反射層は、固定された部分的反射層から比較的大きな距離をおいて配置されている。本明細書において作動位置と称する第２の位置においては、この移動可能な反射層は、この部分的反射層により近接して配置されている。これらの２つの層から反射する入射光は、この移動可能な反射層の位置により、建設的に又は破壊的に干渉し、各画素に対して全体的反射状態又は非反射状態のいずれかをもたらす。
【００２３】
図１の画素アレイの図示した部分は、隣接する２つのインターフェロメトリック変調器１２ａ及び１２ｂを含む。左側のインターフェロメトリック変調器１２ａにおいては、移動可能な高反射層１４ａが、部分的反射層を含む光学的スタック１６ａから所定の距離の弛緩位置に示されている。右側のインターフェロメトリック変調器１２ｂにおいては、移動可能な反射層１４ｂが、光学的スタック１６ｂに隣接する作動位置に示されている。
【００２４】
本明細書で言及されているような光学的スタック１６ａ、１６ｂ（まとめて光学的スタック１６と称する）は、典型的には、インジウムスズ酸化物（ｉｎｄｉｕｍ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ；ＩＴＯ）等の電子層、クロム等の部分的反射層、及び透明誘電体を含むことができるいくつかの融合層から構成される。このため、光学的スタック１６は導電性であり、部分的に透明であり、かつ部分的に反射性であり、例えば、これらの層の１つ以上を透明基板２０上に堆積させることにより製造することができる。いくつかの実施形態において、これらの層は、平行なストリップにパターン化され、また、以下にさらに説明するように、ディスプレイ装置に行電極を形成することができる。移動可能な反射層１４ａ、１４ｂは、ポスト１８の上部に堆積させた（行電極１６ａ、１６ｂと直交する）堆積した１枚の金属層及び複数の金属層と、ポスト１８の間に堆積させた介在犠牲材料とからなる一連の平行なストリップとして形成することができる。この犠牲材料がエッチング除去されると、移動可能な反射層１４ａ、１４ｂは、画定されたエアギャップ１９だけ、光学的スタック１６ａ、１６ｂから分離される。アルミニウム等の高導電性及び反射性の材料は、反射層１４に用いることができ、また、これらのストリップは、ディスプレイ装置内に列電極を形成してもよい。
【００２５】
電圧を印加しない場合、空洞１９は、図１における画素１２ａによって示すように、移動可能な反射層１４ａが物理的に弛緩した状態で、移動可能な反射層１４ａと光学的スタック１６ａとの間に存続する。しかし、選択した行及び列に対して電位差を加えると、対応する画素におけるこの行及び列電極の交差部に形成されたキャパシタが充電されて、静電力がこれらの電極を一緒に引っ張る。この電圧が充分高い場合、移動可能な反射層１４は変形し、かつ光学的スタック１６に向かって押し込まれる。光学的スタック１６内の（この図面には示されていない）誘電体層は、短絡を防止することができ、また、図１の右側の画素１２ｂに示すように、層１４と層１６との間の隔離距離を制御することができる。この作用は、印加された電位差の極性に関係なく同じである。このように、反射性対非反射性の画素状態を制御することができる行／列動作は、従来のＬＣＤ及び他の表示技術で用いられるものと多くの点で似ている。
【００２６】
図２〜図５Ｂは、表示用途において、インターフェロメトリック変調器のアレイを用いる１つの例示的なプロセス及びシステムを示す。
【００２７】
図２は、本発明の態様を組み込んでもよい電子装置の一実施形態を示すシステムブロック図である。例示的な実施形態において、この電子装置は、ＡＲＭ、Ｐｅｎｔｉｕｍ（登録商標）、Ｐｅｎｔｉｕｍ ＩＩ（登録商標）、Ｐｅｎｔｉｕｍ ＩＩＩ（登録商標）、Ｐｅｎｔｉｕｍ ＩＶ（登録商標）、Ｐｅｎｔｉｕｍ Ｐｒｏ（登録商標）、８０５１、ＭＩＰＳ（登録商標）、Ｐｏｗｅｒ ＰＣ（登録商標）、ＡＬＰＨＡ（登録商標）等のどのような汎用の単一又はマルチチップマイクロプロセッサ、あるいは、ディジタル信号プロセッサ、マイクロコントローラ又はプログラマブルゲートアレイ等のどのような専用マイクロプロセッサであってもよいプロセッサ２１を含む。従来技術と同様に、プロセッサ２１は、１つ以上のソフトウェアモジュールを実行するように構成することができる。このプロセッサは、オペレーティングシステムを実行するのに加えて、ウェブブラウザ、電話アプリケーション、電子メールプログラム、又は他のソフトウェアアプリケーションを含む１つ以上のソフトウェアアプリケーションを実行するように構成することができる。
【００２８】
一実施形態においては、プロセッサ２１も、アレイドライバ２２と通信するように構成されている。一実施形態において、アレイドライバ２２は、信号を表示アレイ又はパネル３０へ供給する行ドライバ回路２４及び列ドライバ回路２６を含む。図１に示すこのアレイの断面は、図２の線１−１によって示されている。ＭＥＭＳインターフェロメトリック変調器の場合、この行／列作動プロトコルは、図３に示すそれらのデバイスのヒステリシス特性を利用してもよい。例えば、移動可能な層を、上記弛緩状態から作動状態に変形させるために、１０ボルトの電位差を要求してもよい。しかし、この電圧がこの値から低下した場合、この移動可能な層は、この電圧が１０ボルト以下に低下したときにその状態を維持する。図３の例示的な実施形態において、この移動可能な層は、この電圧が２ボルト以下に低下するまで、完全に弛緩しない。それに伴って、図３に示した実施例には、約３〜７Ｖの電圧範囲があり、この場合、その範囲内でこのデバイスが、この弛緩状態又は作動状態のいずれかで安定している印加電圧のウィンドウが存在する。本明細書では、これを「ヒステリシスウィンドウ」又は「安定ウィンドウ」と称する。図３のヒステリシス特性を有するディスプレイアレイの場合、上記行／列作動プロトコルは、行ストロービングの間、作動されるべきこのストローブされた行の画素が、約１０ボルトの電圧差にさらされ、かつ弛緩されるべき画素が、０ボルトに近い電圧差にさらされるように設計することができる。このストローブの後、これらの画素は、どのような状態においても、行ストローブのままであるように、約５ボルトの定常電圧差にさらされる。書き込まれた後、各画素は、この実施例において３〜７Ｖの「安定ウィンドウ」内の電位差を参照する。この特徴は、図１に示す画素デザインを、作動又は弛緩先在状態のいずれかにおける同じ印加電圧条件の下で安定させる。上記インターフェロメトリック変調器の各画素は、作動状態であろうと弛緩状態であろうと、本質的に、固定された反射層と移動可能な層とによって形成されたキャパシタであるため、この安定状態は、ほとんど電力消失を伴わずに、このヒステリシスウィンドウ内の電圧で保持することができる。印加電位が固定されている場合、本質的に、電流はこの画素へは流れない。
【００２９】
典型的な用途において、ディスプレイフレームは、第１の行における作動画素の所望のセットに従って、列電極のセットをアサートすることによって生成することができる。そして、行パルスは、行１電極に印加され、このアサートされた列ラインに対応する画素が作動される。次に、列電極のこのアサートされたセットは、第２の行の作動画素の所望のセットに対応させるため変化する。次いで、パルスが行２電極に印加され、このアサートされた列電極に従って、行２の適当な画素が作動される。行１画素は、行２パルスによる影響を受けず、行１パルスの間に設定された状態のままである。これは、フレームを生成するために、一連の行に対して繰り返すことができる。一般に、これらのフレームは、毎秒所望数のフレームにおいて、このプロセスを連続的に繰り返すことにより、新たな表示データに伴ってリフレッシュ及び／又は更新される。画素アレイの行及び列電極を駆動して表示フレームを生成する幅広いプロトコルもまた周知であり、本発明と共に用いることができる。
【００３０】
図４、図５Ａ及び図５Ｂは、図２の３×３アレイに表示フレームを生成する１つの可能な作動プロトコルを示す。図４は、図３のヒステリシス曲線を示す画素に用いることができる列及び行電圧レベルの可能なセットを示す。図４の実施形態において、画素を作動させることは、適当な行を−Ｖｂｉａｓに、適当な列を＋ΔＶに設定することを含み、これらはそれぞれ、−５Ｖ及び＋５Ｖに相当する。画素を弛緩させることは、適当な行を＋Ｖｂｉａｓに、適当な列を同じく＋ΔＶに設定して、この画素の両端に０Ｖの電位差を生じることにより実現される。行電圧が０Ｖに保持される行においては、これらの画素は、この列が＋Ｖｂｉａｓ又は−Ｖｂｉａｓであることに関係なく、これらの画素が元々どのような状態にあろうとも安定している。図４にも示されているように、上述したもの以外の反対極性の電圧を用いることができること、例えば、画素を作動させることが、適当な列を＋Ｖｂｉａｓに、及び適当な行を−ΔＶに設定することを含むことができることは、正しく理解される。この実施形態において、画素を解放することは、適当な行を−Ｖｂｉａｓに、及び適当な行を同じく−ΔＶに設定して、この画素の両端に０Ｖの電位差を生じさせることによって実現される。
【００３１】
図５Ｂは、作動画素が非反射性である、図５Ａに示す表示構成を生じる、図２の３×３アレイに印加される一連の行及び列信号を示すタイミング図である。図５Ａに示すフレームに書き込む前に、画素は、どのような状態も可能であり、この実施例においては、全ての行が０Ｖであり、全ての列が＋５Ｖである。これらの印加電圧によって、全ての画素は、これらの現在の作動又は弛緩状態において安定している。
【００３２】
図５Ａのフレームにおいては、画素（１，１）、（１，２）、（２，２）、（３，２）及び（３，３）が作動している。これを実現するため、行１のための「ラインタイム」の間には、列１及び列２が−５Ｖに設定され、かつ列３が＋５Ｖに設定される。このことは、全ての画素が３〜７Ｖの安定ウィンドウに入ったままであるため、どの画素の状態も変えない。そして、行１は、０から５Ｖに上昇した後０に戻るパルスによってストローブされる。このことは、（１，１）及び（１，２）画素を作動させ、（１，３）画素を弛緩させる。このアレイ内の他の画素は影響を受けない。行２を要望通りに設定するため、列２は−５Ｖに設定され、列１及び列３は＋５Ｖに設定される。次いで、行２に印加される同じストローブが画素（２，２）を作動させ、かつ画素（２，１）及び（２，３）を弛緩させる。ここでも、このアレイの他の画素は影響を受けない。行３は、列２及び列３を−５Ｖに、及び列１を＋５Ｖに設定することにより、同様に設定される。行３のストローブは、行３の画素を図５Ａに示すように設定する。このフレームを書き込んだ後、この行電位は０であり、この列電位は、＋５又は−５Ｖのいずれかのままとすることができ、上記ディスプレイは、図５Ａの構成において安定している。数十又は数百の行及び列のアレイに対して同じ処理手順を用いることができることは正しく認識される。また、行及び列の作動を実行するのに用いる電圧のタイミング、シーケンス及びレベルを、上述した包括的な原理の範囲内で大きく変化させることができること、及び上記の実施例が単に例示であり、どのような作動電圧方法も本明細書に記載したシステム及び方法と共に用いることができることは正しく認識される。
【００３３】
図６Ａ及び図６Ｂは、ディスプレイ装置４０の実施形態を示すシステムブロック図である。ディスプレイ装置４０は、例えば、携帯電話又は移動電話とすることができる。しかし、ディスプレイ装置４０又は、そのわずかな変形例の同じ構成要素も、テレビ及びポータブルメディアプレーヤ等の様々なタイプのディスプレイ装置の例証である。
【００３４】
ディスプレイ装置４０は、ハウジング４１と、ディスプレイ３０と、アンテナ４３と、スピーカ４４と、入力装置４８と、マイクロフォン４６とを含む。ハウジング４１は、一般に、射出成形及び真空成形を含む、当業者には周知の種々の製造プロセスのうちのいずれかによって形成されている。また、ハウジング４１は、限定するものではないが、プラスチック、金属、ガラス、ゴム及びセラミック又はこれらの組み合わせを含む様々な材料のうちのいずれかから形成することができる。一実施形態において、ハウジング４１は、異なる色の、又は、異なるロゴ、写真又はシンボルからなる他の取外し可能な部分と交換することができる取外し可能な部分（図示せず）を含む。
【００３５】
例示的なディスプレイ装置４０のディスプレイ３０は、本明細書で説明したようなバイステイブルディスプレイを含む様々なディスプレイのうちのいずれかとすることができる。他の実施形態においては、ディスプレイ３０は、上述したように、プラズマ、ＥＬ、ＯＬＥＤ、ＳＴＮ ＬＣＤ及びＴＦＴ ＬＣＤ等のフラットパネルディスプレイ、あるいは、当業者には周知のＣＲＴ又は他のブラウン管装置等の非フラットパネルディスプレイを含む。しかし、本実施形態を説明するため、ディスプレイ３０は、本明細書に記載したように、干渉変調ディスプレイを含む。
【００３６】
例示的なディスプレイ装置４０の一実施形態の構成要素を図６Ｂに概略的に示す。図示した例示的なディスプレイ装置４０は、ハウジング４１を含み、またこのハウジングの中に少なくとも部分的に閉じ込められた追加的な構成要素を含むことができる。例えば、一実施形態において、例示的なディスプレイ装置４０は、トランシーバ４７に結合されているアンテナ４３を含むネットワークインタフェース２７を含む。トランシーバ４７はプロセッサ２１に接続されており、このプロセッサは、調整ハードウェア５２に接続されている。調整ハードウェア５２は、信号を調整する（例えば、信号をフィルタリングする）ように構成してもよい。調整ハードウェア５２は、スピーカ４５及びマイクロフォン４６に接続されている。また、プロセッサ２１は、入力装置４８及びドライバコントローラ２９にも接続されている。ドライバコントローラ２９は、フレームバッファ２８及びアレイドライバ２２に結合されており、このアレイドライバは、ディスプレイアレイ３０にも結合されている。電源５０は、特定の例示的なディスプレイ装置４０デザインに要求される全ての構成要素に電力を供給する。
【００３７】
ネットワークインタフェース２７は、例示的なディスプレイ装置４０が、ネットワークを介して１つ以上のデバイスと通信することができるように、アンテナ４３及びトランシーバ４７を含む。一実施形態において、ネットワークインタフェース２７は、プロセッサ２１の要求を軽減するためのいくつかの処理能力も有してもよい。アンテナ４３は、当業者は既知である、信号を送受信する何らかのアンテナである。一実施形態において、このアンテナは、ＩＥＥＥ８０２．１１（ａ）、（ｂ）又は（ｇ）を含むＩＥＥＥ８０２．１１規格に従ってＲＦ信号を送受信する。別の実施形態においては、このアンテナは、ブルートゥース規格に従ってＲＦ信号を送受信する。携帯電話の場合、このアンテナは、ＣＤＭＡ、ＧＳＭ、ＡＭＰＳ、又は、無線セル電話ネットワーク内で通信するのに用いられる他の公知の信号を受信するように設計されている。トランシーバ４７は、アンテナ４３から受け取った信号をプロセッサ２１によって受け取り、かつこのプロセッサによってさらに処理できるようにこの信号を前処理する。また、トランシーバ４７は、プロセッサ２１から受け取った信号を、アンテナ４３を介して例示的なディスプレイ装置４０から送信できるように、この信号を処理する。
【００３８】
代替の実施形態においては、トランシーバ４７は、レシーバと置き換えることができる。また別の代替の実施形態においては、ネットワークインタフェース２７は、イメージソースと置き換えることができ、このイメージソースは、プロセッサ２１へ送るべきイメージデータを格納又は生成することができる。例えば、このイメージソースは、イメージデータを含むＤＶＤ（ｄｉｇｉｔａｌ ｖｉｄｅｏ ｄｉｓｃ）又はハードディスクドライブ、あるいは、イメージデータを生成するソフトウェアモジュールとすることができる。
【００３９】
プロセッサ２１は、一般に、例示的なディスプレイ装置４０の全体の動作を制御する。プロセッサ２１は、ネットワークインタフェース２７又はイメージソースからの圧縮されたイメージデータ等のデータを受け取り、このデータを処理して生イメージデータに、又は生イメージデータに容易に処理されるフォーマットにする。そして、プロセッサ２１は、この処理されたデータをドライバコントローラ２９に、又は格納のためにフレームバッファ２８へ送る。生データとは、典型的には、イメージ内の各位置におけるイメージ特性を識別する情報を指す。例えば、このようなイメージ特性は、色、飽和及びグレースケールレベルを含むことができる。
【００４０】
一実施形態において、プロセッサ２１は、マイクロコントローラ、ＣＰＵ、又は、例示的なディスプレイ装置４０の動作を制御する論理ユニットを含む。調整ハードウェア５２は、一般に、信号をスピーカ４５へ転送し、かつマイクロフォン４６から信号を受け取る増幅器及びフィルタを含む。調整ハードウェア５２は、例示的なディスプレイ装置４０内の個別の構成要素であってもよく、あるいは、プロセッサ２１又は他の構成要素に組み込んでもよい。
【００４１】
ドライバコントローラ２９は、プロセッサ２１によって生成された生イメージデータを、プロセッサ２１から直接、又はフレームバッファ２８から取得して、アレイドライバ２２への高速転送に適した生イメージデータに再フォーマット化する。具体的には、ドライバコントローラ２９は、表示アレイ３０の全域を走査するのに適した時間順序を有するように、この生イメージデータを、ラスタ状フォーマットを有するデータフローに再フォーマット化する。そして、ドライバコントローラ２９は、このフォーマット化した情報をアレイドライバ２２へ送る。ＬＣＤコントローラ等のドライバコントローラ２９は、独立型集積回路（ＩＣ）としてシステムプロセッサ２１と関連付けられる場合があるが、このようなコントローラは、多くの方法で実施することができる。このコントローラは、ハードウェアとしてプロセッサ２１に、ソフトウェアとしてプロセッサ２１に埋め込んでもよく、又は、ハードウェア内で、アレイドライバ２２と完全に一体化してもよい。
【００４２】
典型的には、アレイドライバ２２は、ドライバコントローラ２９から上記フォーマット化された情報を受け取って、このビデオデータを、上記ディスプレイの画素のｘ−ｙマトリックスからくる何百及び時には何千ものリードに毎秒多数回印加される波形の並行セットに再フォーマット化する。
【００４３】
一実施形態において、ドライバコントローラ２９、アレイドライバ２２及び表示アレイ３０は、本明細書に記載したいずれかの種類のディスプレイに適している。例えば、一実施形態において、ドライバコントローラ２９は、従来のディスプレイコントローラ又はバイステイブルディスプレイコントローラ（例えば、干渉変調コントローラ）である。別の実施形態においては、アレイドライバ２２は、従来のドライバ又はバイステイブルディスプレイドライバ（例えば、干渉変調ディスプレイ）である。一実施形態において、ドライバコントローラ２９は、アレイドライバ２２と一体化されている。このような実施形態は、携帯電話、時計及び他の小面積ディスプレイ等の高度に一体化されたシステムにおいては共通である。また別の実施形態においては、表示アレイ３０は、典型的な表示アレイ又はバイステイブルディスプレイアレイ（例えば、インターフェロメトリック変調器のアレイを含むディスプレイ）である。
【００４４】
入力装置４８は、ユーザが例示的なディスプレイ装置４０の動作を制御できるようにする。一実施形態において、入力装置４８は、ＱＷＥＲＴＹキーボード又は電話キーパッド、ボタン、スイッチ、タッチスクリーン、圧力又は熱センシティブ膜等のキーパッドを含む。一実施形態において、マイクロフォン４６は、例示的なディスプレイ装置４０のための入力装置である。マイクロフォン４６を、この装置にデータを入力するのに使用する場合、例示的なディスプレイ装置４０の動作を制御するために、ユーザがボイスコマンドを与えてもよい。
【００４５】
電源５０は、公知の様々なエネルギストレージデバイスを含むことができる。例えば、一実施形態において、電源５０は、ニッケル−カドミウム電池又はリチウムイオン電池等の充電可能な電池である。別の実施形態において、電源５０は、回復可能なエネルギ源、コンデンサ、又は、プラスチックソーラーセル及びソーラーセルペイントを含む太陽電池である。別の実施形態において、電源５０は、壁コンセントから電力を受け取るように構成される。
【００４６】
いくつかの実施においては、制御プログラム性は、上述したように、電子表示システムのいくつかの箇所に配置することができるドライバコントローラに存する。制御プログラム性は、アレイドライバ２２に存する場合もある。当業者は、上述した最適化を、多数のハードウェア及び／又はソフトウェア構成要素のどれでも、及び様々な構成で実施することができることを正しく認識する。
【００４７】
上述した原理に従って作動するインターフェロメトリック変調器の構成の細部は、大幅に変更してもよい。例えば、図７Ａ〜図７Ｅは、移動可能な反射層１４及びこれの支持構造の５つの異なる実施形態を示す。図７Ａは、図１の実施形態の断面であり、金属材料からなるストリップ１４が、直交して伸びる支持体１８の上に堆積されている。図７Ｂにおいては、移動可能な反射層１４が、その隅においてのみテザー３２上で支持体に取付けられている。図７Ｃにおいては、移動可能な反射層１４が、柔軟な材料を備えてもよい変形可能な層３４から吊り下げられている。変形可能な層３４は、変形可能な層３４の周辺部で基板２０に直接的又は間接的に接続する。これらの接続は、本明細書においては、支持ポストと称する。図７Ｄに示す実施形態は、変形可能な層３４がその上に載る支持ポストプラグ４２を有する。移動可能な反射層１４は、図７Ａ〜図７Ｃと同様に、この空間上に吊り下げられたままであるが、変形可能な層３４は、変形可能な層３４と光学的スタック１６との間の穴を充填することにより、この支持ポストを形成しない。正確に言えば、この支持ポストは、支持ポストプラグ４２を形成するのに使われる平坦化材料で形成される。図７Ｅに示す実施形態は、図７Ｄに示す実施形態に基づいているが、図７Ａ〜図７Ｃに示す実施形態のうちのいずれかならびに図示していない追加的な実施形態と共に機能するように適応させることもできる。図７Ｅに示す実施形態においては、金属からなる追加の層又は他の導電性材料が、バス構造４４を形成するのに用いられている。このことは、このインターフェロメトリック変調器の裏に沿った信号ルーティングを可能にし、別の方法で基板２０上に形成されなければならない可能性がある多数の電極を排除できる。
【００４８】
図７に示すような実施形態において、上記インターフェロメトリック変調器は、イメージが、透明基板２０の前面、すなわち、この変調装置が配置されている面と反対側の面から見られる直視型デバイスとして機能する。これらの実施形態において、反射層１４は、変形可能な層３４を含む、基板２０と反対側の反射層の側のインターフェロメトリック変調器の部分を光学的に遮蔽する。このことは、この遮断された領域を、イメージ品質に悪い影響を与えることなく構成し、かつ作動できるようにする。このような遮蔽は、図７Ｅにおける構造４４を可能にし、このことは、取扱い及びこの取扱いから生じる動き等の、この変調装置の電気機械的特性からこの変調装置の光学的特性を切り離す能力をもたらす。この切り離し可能な変調装置構造は、この変調装置の電気機械的態様及び光学的態様に用いられる構造デザイン及び材料を選択できるようにし、かつ互いに無関係に機能できるようにする。また、図７Ｃ〜図７Ｅに示す実施形態は、反射層１４の光学的特性の、該反射層の機械的特性からの分離から得られる追加的な利益を有し、この分離は、変形可能な層３４によって行われる。このことは、反射層１４に用いられる構造デザイン及び材料を、その光学的特性に対して最適化できるようにし、また、変形可能な層３４に用いられる構造デザイン及び材料を所望の機械的特性に対して最適化できるようにする。
【００４９】
一般的に、インターフェロメトリック変調器は、ＯＬＥＤデバイスより高い、湿度要件に対する許容範囲を有する。上述したように、水蒸気は、半密閉状態又は密閉状態であっても、パッケージ内に浸入することが可能である。乾燥剤がこのパッケージの内部に配置されている特定の実施形態において、一定量の水分の浸入は、この乾燥剤の容量により許容することができる。しかし、許容範囲レベルよりも高い水分又は水蒸気が存在する場合、又は、所望量よりも多い、このパッケージ内への水分の浸入がある場合には、この干渉変調ディスプレイデバイスは、短縮された寿命を有しやすくなり、あるいは、正常に作動しない可能性がある。また、特定のパッケージにおいては、組立中に生成されている及び／又は浸入している水分を、このパッケージの製造を完了する前に、適切に除去されない可能性がある。さらに、特に、乾燥剤が入っていないパッケージの内部の相対湿度レベルは、このデバイスが、意図した目的のために作動するように、又は、予想される寿命を有するように、あるレベル以下に維持する必要がある。そのため、例えば、このデバイスの寿命を評価するために、あるいは、このパッケージに不具合があるかないかを判断するために、このパッケージの製造が完了した後に、このパッケージの内部の湿度（相対湿度）のレベルをチェック又は測定する必要性がある。
【００５０】
図８は、本発明の実施形態によるパッケージの内部の湿度検査のプロセスを示す概念図を示す。図１４は、本発明の実施形態による湿度検査プロセスを説明するための例示的なフローチャートを示す。図８〜図１４を参照して、様々な実施形態の湿度検査処理手順について詳細に説明する。
【００５１】
まず、湿度検査のための、製造したパッケージ５１をサンプルとする（選択する）（２００）。図８に示すように、製造したパッケージ５１は、基板１００とバックプレート８０とを含む。複数のインターフェロメトリック変調器を含むインターフェロメトリック変調器アレイ５４は、パッケージ５１内に密閉されている。基板１００及びバックプレート８０は、透明であってもなくてもよい。シール５６及び５８は、典型的には、基板１００とバックプレート８０とを接合して、製造したパッケージ５１を形成するために設けられている。実施形態により、シール５６及び５８は、非密封シール、半密封シール又は密封シールとすることができる。
【００５２】
一実施形態においては、パッケージ構造５１内の水分を低減するために、乾燥剤７０がパッケージ構造５１内に設けられている。一実施形態において、乾燥剤７０は、インターフェロメトリック変調器アレイ５４とバックプレート８０との間に配置されている。乾燥剤は、密封シール又は半密封シールを有するパッケージに用いることができる。一実施形態において、パッケージ５１の内部で使用される乾燥剤の量は、デバイス５１の存続期間中に、シール５６及び５８を介して浸入する水蒸気を吸収するように選定される。
【００５３】
本明細書を通じて、サンプルとされた（又は、サンプル）パッケージ５１とは、以下で論じるように、湿潤環境にさらされていないパッケージを意味する。また、本明細書を通じて、製造したパッケージ５１とは、複数のインターフェロメトリック変調器（インターフェロメトリック変調器アレイ）を取り囲むデバイスを意味する。特定の実施形態においては、必要に応じて、湿度検査の前に、最初の測定（例えば、重量、色、抵抗、初期相対湿度等）を行うことができる。（２１０）。
【００５４】
サンプルとしたパッケージ５１は、例えば、この検査のための、十分な量の水蒸気を含む湿度チャンバ５３を介して、ある環境に一定期間、例えば、２５０〜５００時間さらされる（２２０）。一実施形態において、湿度チャンバ５３は、人が実際に住み、電子機器を使用する普通の環境よりも厳しい湿度状態を生成することができる。例えば、この普通の環境が、４０℃で９０％ＲＨ（相対湿度）である場合、湿度チャンバ５３は、例えば、約７０℃で８０％ＲＨ、又は８５℃で６０％ＲＨに設定することができる。すなわち、短時間、湿度チャンバ５３を用いて、サンプルとされたパッケージ５１は、他の方法（例えば、周囲環境）よりもかなり長く湿度にさらされているかのようにシミュレートすることができる。
【００５５】
別の実施形態においては、サンプルパッケージ５１を、湿度チャンバ５３以外の環境（Ｘ）にさらすことができ、この場合、十分な量の湿度がこの検査のために存在し、又は、この環境は、湿度チャンバ５３と同様の温湿度を有する。別の実施形態においては、サンプルパッケージ５１は、人が実際に住み、電子機器を使用する周囲環境（普通の環境；Ｙ）にさらすことができる。この環境においては、このさらす時間は、サンプルパッケージ５１が、湿度チャンバ５３内のようなより高い湿度環境にさらされる場合よりも長くなる。本明細書を通じて、「湿潤環境」という用語は、この湿度チャンバ及び上述した環境Ｘ及びＹのうちの少なくとも１つを表すことができる。
【００５６】
一定（所定）期間の後、パッケージ５１は、湿度チャンバ５３又は他の湿度環境から取り除かれる（２３０）。一実施形態においては、湿度の程度により、さらす時間を変えることができる。例えば、サンプルとしたパッケージ５１が、湿度チャンバ５３等のより高い湿潤環境にさらされる場合、この所定期間は、サンプルとしたパッケージ５１が、周囲環境等のより低い湿潤環境にさらされる場合よりも比較的短くなることになる。便宜上、この湿潤環境から取り除かれたパッケージを、さらし済みパッケージ６０と称することにする。様々な実施形態において、この湿度検査は、さらし済みパッケージ６０に対して実行することができる。別の実施形態においては、この湿度検査は、この湿潤環境にさらされていないサンプルパッケージ５１に対して実行することができる。この検査は、製造プロセス中に、サンプルパッケージ５１から水蒸気が十分に除去されていない場合でも有用である。しかし、便宜上、この湿度検査処理手順は、さらし済みパッケージ６０に関して説明する。
【００５７】
一実施形態においては、図８に概略するように、この湿度検査は、例えば、重量測定検査（Ａ）、乾燥剤の色変化検査（Ｂ）、抵抗測定検査（Ｃ）、冷たいフィンガ測定検査（Ｄ）及びＣ及びＤの組み合わせ（Ｅ）に基づいて実行される。別の実施形態においては、前述した検査プロセスのうちの１つ以上を互いに組合わせて、多数の湿度検査プロセスを実現することができる。他の実施形態においては、前述した検査プロセスのうちの１つ以上を、図９Ｃに例示したような状況により変更することができる（「Ａ」の変更バージョン）。また別の実施形態においては、前述した検査プロセスのうちの１つ以上の組み合わせを、図１０Ｄに例示したような状況により変更することができる（「Ａ」及び「Ｂ」の組み合わせの変更バージョン）。
【００５８】
様々な実施形態において、さらし済みパッケージ６０の内部における測定した相対湿度の程度の評価は、例えば、次のパラメータ、すなわち、ｉ）温度／湿度の組み合わせ（例えば、４０℃及び９０％ＲＨ、又は８５℃及び６０％ＲＨ）、ｉｉ）シール２４の厚さ及び幅、ｉｉｉ）付着透過性（例えば、１２．１グラムｍｍ／ｍ２／１日／ＫＰａ）、ｉｖ）乾燥剤容量（例えば、乾燥剤重量の１０％）、及びｖ）ディスプレイサイズ（例えば、１．１インチ対角又は４．５インチ対角）等のうちの少なくとも１つを考慮することにより、実行することができる。
【００５９】
図９Ａ及び図９Ｂは、本発明の一実施形態による湿度検査プロセスを示す。この実施形態において、さらし済みパッケージ６０の湿度レベルは、サンプルパッケージ５１及びさらし済みパッケージ６０の重量を比較することによって決まる。別の実施形態においては、さらし済みパッケージ６０の内部の湿度レベルは、さらし済みパッケージ６０の重量と、複数の（さらされていない）サンプルパッケージの平均重量とを比較することによって決めることができる。
【００６０】
図９Ａについて説明すると、（このパッケージが湿潤環境にさらされる前の）サンプルパッケージ５１の重量が、重量測定デバイス（又は、スケール）６２を用いて測定される。一実施形態において、重量測定デバイス６２は、増量を識別することができる何らかの種類のスケールを含む。一実施形態において、デバイス６２の重量スケールは、約±０．１ｍｇの精度である。別の実施形態においては、デバイス６２の重量スケールは、例えば、±０．０５ｍｇの精度である。一実施形態において、重量測定デバイス６２は、例えば、メトラー（Ｍｅｔｔｌｅｒ）社から入手可能なＡＥ１６３又はＸＳ１０５を含む。
【００６１】
図９Ｂについて説明すると、（このパッケージが湿潤環境にさらされた後の）さらし済みパッケージ６０の重量は、重量測定デバイス６２を用いて測定される。例えば、サンプルパッケージ５１の重量がＹ（ｇ）で、さらし済みパッケージ６０の重量がＹ＋α（ｇ）である場合、増量（α）は、さらし済みパッケージ６０の内部における湿度レベルを評価するのに用いることができる。一実施形態において、増量（α）がしきい値よりも大きい場合、さらし済みパッケージ６０は、不具合があるか又は短縮された寿命を有すると判断することができる。例えば、８５℃及び６０％の相対湿度において３００時間のさらし時間の場合、約１ｍｇの増量を伴うこのさらし済みパッケージは、１つの検査シナリオにおいて、不具合があると判断することができる。
【００６２】
図９Ｃは、本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。この実施形態においては、同じサンプルとしたパッケージを、所定の間隔で、少なくとも２回、測定することができる。この実施形態において、サンプルとしたパッケージ５１が測定されて、第１の重量が重量測定デバイス６２によって得られる。所定期間の後、サンプルとしたパッケージ５１が測定されて、第２の重量が得られる。上述したように、この所定期間は、湿度レベル要件により変わる。測定した第１の重量と第２の重量とが比較される。このパッケージの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度は、この重量の比較に基づいて判断される。一実施形態において、サンプルとしたパッケージ５１の重量は、２回以上、測定される。
【００６３】
図１０Ａ〜図１０Ｃは、本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。この実施形態において、さらし済みパッケージ６０の湿度レベルは、さらし済みパッケージ６０の乾燥剤の色変化によって判断される。一般的に、乾燥剤は、水分を吸収したときに、乾燥剤の色を変化させる。また、一般的に、乾燥剤の色は、この乾燥剤が吸収した水分の量に従って変化する。一実施形態において、ある乾燥剤の元の色は、例えば、青である。この実施形態において、乾燥剤７０は、例えば、約２５℃及び１５％ＲＨにおいて、周囲の水分を吸収したときに、青から、例えば、赤へ色変化を始める。さらに、この乾燥剤の色は、約２５℃及び４０％ＲＨにおいて、乾燥剤７０が一定量以上、水分を吸収したときに、その元の色から特定の色（例えば、赤）に完全に変化する。
【００６４】
一実施形態において、バックプレート８０は、乾燥剤７０の色変化を、透明なバックプレート８０全体から見ることができるように、透明材料で形成されている。この実施形態においては、この乾燥剤の色又は色変化を見るのに必要な独立したウィンドウはない。別の実施形態においては、バックプレート８０は、透明でも半透明でもない。この実施形態において、バックプレート８０は、乾燥剤７０の色変化を、ウィンドウ７２を介してパッケージ６０の外側から見ることができるように、図１０Ａに示すような透明なウィンドウ７２を含む。別の実施例においては、ウィンドウ７４のサイズは、図１０Ｂに示すように、変えてもよい。また別の実施形態においては、バックプレート８０は、図１０Ｃに示すように、複数の透明なウィンドウ７６及び７８を含む。
【００６５】
一実施形態において、サンプルパッケージ５１が湿潤環境にさらされる前に、乾燥剤７０の色変化を手動で、又は自動的に測定することができる。この実施形態において、さらし済みパッケージ６０のこの乾燥剤の色変化は、この色変化の程度を判断するために、サンプルパッケージ５１の色変化と比較することができる。さらし済みパッケージ６０の乾燥剤７０の色をチェックした後、及び／又はサンプルとしたパッケージ５１とさらし済みパッケージ６０との間で、乾燥剤の色変化を比較した後、検知した色の程度及び／又は乾燥剤の色変化は、さらし済みパッケージ６０の内部における相対湿度のレベルを評価するのに用いることができる。一実施形態において、この評価は、このパッケージの寿命を計算することと、サンプルパッケージ５１に不具合があるか否かを判断することとを備える。
【００６６】
図１０Ｄは、本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。この実施形態において、乾燥剤７０は、水蒸気を吸収しても、乾燥剤の色を変化させない。この実施形態は、破壊的湿度検査方法のうちの１つである。最初に、さらし済みパッケージ６０又はサンプルとしたパッケージ５１（本明細書において、以後、さらし済みパッケージ６０と称する）が、重量測定デバイス６２によって測定される。次に、水蒸気をパッケージ６０内に供給するために、開口部６４が、さらし済みパッケージ６０の外側部分、例えば、シール５８上に画成される。別の実施形態においては、開口部６４は、別の部分、例えば、基板１００、バックプレート８０又はシール５６上に画成することができる。一実施形態においては、例えば、ポンプ（図示せず）を用いた処理を促進するために、水蒸気をパッケージ６０内に注入してもよい。別の実施形態においては、水蒸気は、何らかのデバイスを用いることなく、パッケージ６０内に浸入できるようになっている。次いで、再び、さらし済みパッケージ６０が、重量測定デバイス６２によって測定される。
【００６７】
乾燥剤７０が的確に作用している場合、この乾燥剤は、短期間に、相当量の、浸入した水蒸気を吸収することになり、また、第２の重量が、第１の重量よりもかなり大きくなる。この状況においては、穴６４を画成する前の、パッケージ６０の内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度が許容可能であったと判断することができる。
【００６８】
上記乾燥剤が的確に作用していない場合には、この乾燥剤は、これ以上、浸入した水蒸気を吸収せず、第２の重量は、実質的に第１の重量と同じになる。この状況においては、穴６４を画成する前の、パッケージ６０の内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度がかなり高く、許容できなかったと判断することができる。
【００６９】
図１１Ａ及び図１１Ｂは、本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。この実施形態において、さらし済みパッケージ６０の内部の相対湿度は、抵抗湿度センサ８２を用いて測定される。一実施形態において、センサ８２は、パッケージ６０のリード８６に接続されている。リード８６は、インターフェロメトリック変調器アレイ５４の電極に、又は、インターフェロメトリック変調器アレイ５４の一部に、あるいは、電気インピーダンス又は抵抗を、その部分の周りで測定することができる、パッケージ６０のどこかの内部部分（例えば、バックプレート８０又は基板１００の上）に接続することができる。一実施形態において、リード８６は、パッケージ６０の現存するリードである。別の実施例においては、リード８６は、この湿度検査のためのインターフェロメトリック変調器の製造プロセス中に形成された、パターン化されたリードである。この実施形態において、このパターン化されたリードは、このインターフェロメトリック変調器の未使用部分（例えば、角の領域）に配設することができる。このパターン化されたリードは、この湿度検査が終了した後に、取り除くか又は保持することができる。さらに別の実施形態において、リード８６は、この目的のために画成されている穴を介して、パッケージ６０の内部に挿入することができる独立したリードである。
【００７０】
一般的に、材料物質の抵抗と、この材料物質の周囲の相対湿度は、図１１Ｂに示すような指数関数的関係を有する。一実施形態において、センサ８２は、例えば、図１１Ｂに示すような抵抗と相対湿度の既知の関係に基づいて、測定した抵抗値を対応する相対湿度の値に変換することにより、相対湿度の値を生成することができる。
【００７１】
図１２Ａ〜図１２Ｃは、本発明のまた別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。この実施形態において、さらし済みパッケージ６０の湿度レベルは、冷たいフィンガデバイス９２を用いて測定される。一般的に、冷たいフィンガデバイス９２は、冷却された物質（例えば、氷、ドライアイス等）が配置されている中空部分を有する。一実施形態において、冷たいフィンガデバイス９２は、例えば、−２０℃、−４０℃又は−６０℃に設定される。代替として、実施形態により、より低い又はより高い他の温度、あるいは、例示した温度の間の他の温度を用いることができる。一実施形態において、冷たいフィンガデバイス９２は、熱伝導性材料、例えば、金属で形成されている。一実施形態においては、アルコール等の特定の液体材料を、冷たいフィンガデバイス９２の接触領域上に加えて、より良好な接触及び熱コンダクタンスを与えることができる。
【００７２】
一実施形態においては、冷たいフィンガデバイス９２は、図１２Ａに示すように、バックプレート８０の特定の領域に接触するように構成される。別の実施形態においては、冷たいフィンガデバイス９２は、基板１００又はシール５６、５８の特定の領域に接触するように構成される。また別の実施形態においては、冷たいフィンガデバイス９２は、各シール５６、５８及び基板１００の境界領域に接触するように構成される。この実施形態において、パッケージ６０の内部に形成された霜（以下で説明する）透明基板１００を通して見ることができる。
【００７３】
一実施形態において、冷たいフィンガデバイス９２は、低温、例えば、−６０℃に設定され、図１２Ａに示すように、例えば、領域９６に接触する。この結果、接触領域９６に対応する内部領域９４に霜が形成されたか否かが判断される。一実施形態において、霜が形成されたか否かは、バックプレート８０の接触領域９６の周りに形成された透明ウィンドウ（図１２Ａには示されていない）を介して視覚的に判断することができる。別の実施例においては、上述したように、冷たいフィンガデバイス９２が基板１００又はシール５６、５８と基板１００の境界領域に接触した場合、検査者は、透明基板１００の一部を介して、霜が内部領域９４に形成されたか否かを判断することができる。また別の実施形態においては、図１１に関して説明したように、及び図１３に示すように、抵抗湿度センサ８２を、霜が内部領域９４に形成されたか否かを判断するのに用いることができる。図１３の実施形態は、バックプレート８０が透明でなく、また透明部分を含まない場合に、パッケージ６０の内部の湿度を測定するのに特に有用である。
【００７４】
図１１Ａ及び図１２Ａに関して説明したように、センサ８２は、パッケージ６０のどこかの内部部分（例えば、バックプレート８０又は基板１００等）に接続されているリードに接続することができ、この場合、電気インピーダンス又は電気抵抗は、この部分の周りで測定することができる。この実施形態において、冷たいフィンガデバイス９２は、この内部部分に対応する外側領域（例えば、バックプレート８０又は基板１００）に接触する。この実施形態は、バックプレート８０及び基板１００の少なくとも一方が透明でなく、又は、透明部分を含まない場合に、パッケージ６０内部の湿度を測定する際に、特に有利である。一実施形態において、例えば、−６０℃の温度に設定された冷たいフィンガデバイス９２を用いて、内部領域９４に霜が形成されておらず、上記インターフェロメトリック変調器デバイスの意図した動作に対して、パッケージ６０の内部が十分に乾燥している（すなわち、十分に低い湿度を有している）ことを示していると判断された場合、それ以上、検査は必要ない。別の実施形態においては、例えば、−６０℃の温度に設定された冷たいフィンガデバイス９２を用いて、内部領域９４に霜が形成されていると判断された場合には、より高い温度（例えば、−４０℃）を用いて、この湿度検査を続けることができる。この実施形態において、内部領域９４に霜が形成されたと判断された場合、この実施形態に従って、より高い温度（例えば、−３０℃）を用いた別の検査を行うことができ、あるいは、これ以上の検査は行わない。この検査プロセスは、必要に応じて、異なる温度値を用いて、何度でも繰り返すことができる。
【００７５】
別の実施形態においては、冷たいフィンガデバイス９２は、図１２Ｂに示すように、基板１００に接触する。この実施形態において、霜は、パッケージ６０内部の領域９４に形成される。この実施形態においては、形成された霜を透明なバックプレート８０を介して見ることができるように、バックプレート８０が透明であるか、又は、少なくとも透明部分を含むことが望ましい。
【００７６】
別の実施形態においては、冷たいフィンガデバイス９２は、図１２Ｃに示すように、バックプレート８０に接触する。この実施形態において、霜は、パッケージ６０内部の領域９４に形成される。この実施形態においては、形成された霜を透明な基板１００を介して見ることができるように、基板１００が透明であるか、又は、少なくとも透明部分を含むことが望ましい。
【００７７】
上記の詳細な説明は、様々な実施形態に適用される本発明の新規な特徴を示し、記載し、かつ指摘したが、当業者には、本発明の趣旨を逸脱することなく、説明したデバイス又はプロセスの形態及び詳細における様々な省略、置換え及び変更が可能であることは、理解される。正しく認識できるように、本発明は、いくつかの特徴は、他の特徴とは別に用いることができ、又は実施することができるため、本明細書に記載した特徴及び利益の全てを備えていない構成内に具体化してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】第１のインターフェロメトリック変調器の可動反射層が弛緩位置にあり、かつ第２のインターフェロメトリック変調器の可動反射層が作動位置にある、干渉変調ディスプレイの一実施形態の一部を示す等角図である。
【図２】３×３干渉変調ディスプレイを組み入れた電子デバイスの一実施形態を示すシステムブロック図である。
【図３】図１のインターフェロメトリック変調器の例示的な一実施形態の場合の可動ミラー位置対印加電圧の図である。
【図４】干渉変調ディスプレイを駆動するのに用いることができる、行及び列電圧のセットの図である。
【図５Ａ】図２の３×３干渉変調ディスプレイにおける表示データの１つの例示的なフレームを示す。
【図５Ｂ】図５Ａのフレームを書き込むのに用いることができる、行及び列信号のための１つの例示的なタイミング図を示す。
【図６Ａ】複数のインターフェロメトリック変調器を備えるビジュアルディスプレイデバイスの一実施形態を示すシステムブロック図である。
【図６Ｂ】複数のインターフェロメトリック変調器を備えるビジュアルディスプレイデバイスの一実施形態を示すシステムブロック図である。
【図７Ａ】図１のデバイスの断面図である。
【図７Ｂ】インターフェロメトリック変調器の代替の実施形態の断面図である。
【図７Ｃ】インターフェロメトリック変調器の別の代替の実施形態の断面図である。
【図７Ｄ】インターフェロメトリック変調器のまた別の代替の実施形態の断面図である。
【図７Ｅ】インターフェロメトリック変調器の追加的な代替の実施形態の断面図である。
【図８】本発明の実施形態によるパッケージの内部における湿度検査のプロセスを示す概念図である。
【図９Ａ】本発明の一実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図９Ｂ】本発明の一実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図９Ｃ】本発明の一実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１０Ａ】本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１０Ｂ】本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１０Ｃ】本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１０Ｄ】本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１１Ａ】本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１１Ｂ】本発明の別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１２Ａ】本発明のまた別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１２Ｂ】本発明のまた別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１２Ｃ】本発明のまた別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１３】本発明のさらに別の実施形態による湿度検査プロセスを示す。
【図１４】本発明の実施形態による湿度検査プロセスを説明するための例示的なフローチャートを示す。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
湿度を検査する方法であって、
複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスの特性を測定することと、
前記測定した特性に少なくとも部分的に基づいて、前記デバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断することと、
を備える方法。
【請求項２】
前記デバイスの特性は、次のもの、すなわち、ｉ）前記デバイスの重量、ｉｉ）前記デバイス内に封入された乾燥剤の色変化、ｉｉｉ）前記デバイスの内部の抵抗、ｉｖ）ある温度に設定された冷たいフィンガデバイスが接触している、前記デバイスの内部領域に霜が形成されたか否か、及びｖ）水蒸気が前記デバイス内に供給された場合に、前記デバイス内に封入された乾燥剤が的確に作用しているか否か、のうちの１つを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記デバイスの特性は、前記ｉ）〜ｉｖ）のうちの少なくとも２つの組み合わせを含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記特性を測定することの前に、前記デバイスを湿潤環境にさらすことをさらに備える、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記湿潤環境は湿度チャンバを含む、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記デバイス内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度が、次のパラメータ、すなわち、ｉ）温度と湿度の組み合わせ、ｉｉ）シールの厚さ及び幅、ｉｉｉ）接着剤透過性、ｉｖ）乾燥剤の容量、及びｖ）デバイスのサイズ、のうちの少なくとも１つを考慮して判断される、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
湿度を検査するシステムであって、
湿潤環境をデバイスに与える手段であって、前記デバイスは、複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲んでいる手段と、
前記デバイスの特性を測定する手段であって、前記デバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度が、前記測定した特性に少なくとも部分的に基づいて測定可能である、手段と、
を備えるシステム。
【請求項８】
前記与える手段は湿度チャンバを含む、請求項７に記載のシステム。
【請求項９】
前記測定手段は、次のもの、すなわち、ｉ）前記デバイスの重量を測定するように構成されたスケール、ｉｉ）前記デバイス内に封入され、かつ乾燥剤の中に吸収された水蒸気の量に基づいて、乾燥剤の色を変化させるように構成された第１の乾燥剤、ｉｉｉ）前記デバイスの少なくとも１つの内部部分の抵抗を測定するように構成された抵抗センサ、ｉｖ）前記デバイスの外側領域に操作可能に接触するように構成された冷たいフィンガデバイス、ｖ）前記デバイス内に封入され、かつ乾燥剤の色の変化を伴わずに、水蒸気を吸収するように構成された第２の乾燥剤、のうちの少なくとも１つを含む、請求項７又は８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記デバイスの特性は、次のもの、すなわち、ｉ）前記デバイスの重量、ｉｉ）前記デバイス内に封入された乾燥剤の色変化、ｉｉｉ）前記デバイスの内部の抵抗、ｉｖ）ある温度に設定された冷たいフィンガデバイスが接触している、前記デバイスの内部領域に霜が形成されたか否か、及びｖ）水蒸気が前記デバイス内に供給された場合に、前記デバイス内に封入された乾燥剤が的確に作用しているか否か、のうちの１つを含む、請求項７に記載のシステム。
【請求項１１】
前記デバイスの特性は、前記ｉ）〜ｉｖ）のうちの少なくとも２つの組み合わせを含む、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
湿度を検査するシステムであって、
湿潤環境をターゲットデバイスに与えるように構成された第１の検査デバイスであって、前記ターゲットデバイスは複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲んでいる、第１の検査デバイスと、
前記ターゲットデバイスの特性を測定するように構成された第２の検査デバイスであって、前記ターゲットデバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度が、前記測定した特性に少なくとも部分的に基づいて測定可能である、第２の検査デバイスと、
を備えるシステム。
【請求項１３】
前記ターゲットデバイスは、
前記複数のインターフェロメトリック変調器と電気的に連通しているプロセッサであって、イメージデータを処理するように構成されているプロセッサと、
前記プロセッサと電気的に連通している記憶装置と、
を備える、請求項１２に記載のシステム。
【請求項１４】
前記ターゲットデバイスはさらに、
少なくとも１つの信号を前記複数のインターフェロメトリック変調器に送るように構成されたドライバ回路を備える、請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】
前記ターゲットデバイスはさらに、
前記イメージデータの少なくとも一部を前記ドライバ回路へ送るように構成されたコントローラを備える、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
前記ターゲットデバイスはさらに、
前記イメージデータを前記プロセッサへ送るように構成されたイメージソースモジュールを備える請求項１３に記載のシステム。
【請求項１７】
前記イメージソースモジュールは、レシーバ、トランシーバ及びトランスミッタのうちの少なくとも１つを備える、請求項１６に記載のシステム。
【請求項１８】
前記ターゲットデバイスはさらに、
入力データを受け取り、前記入力データを前記プロセッサへ伝達するように構成された入力デバイスを備える請求項１３に記載のシステム。
【請求項１９】
湿度を検査する方法であって、
ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲む第１のデバイスの第１の重量、及びｉｉ）複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲む第２のデバイスの第２の重量を測定することであって、前記第１及び第２のデバイスは異なる量の水蒸気を含むことと、
前記第１及び第２のデバイスの重量を比較することと、
前記重量の比較に少なくとも部分的に基づいて、前記２つのデバイスの一方の内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断することと、
を備える方法。
【請求項２０】
前記第１の重量と前記第２の重量の差を判断することと、
前記差がしきい値よりも大きい場合に、前記デバイスに不具合があること、又は、前記デバイスは短縮された寿命を有することを判断することと、
をさらに備える、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記デバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度が、次のパラメータ、すなわち、ｉ）温度と湿度の組み合わせ、ｉｉ）シールの厚さ及び幅、ｉｉｉ）接着剤透過性、ｉｖ）乾燥剤の容量、及びｖ）デバイスのサイズ、のうちの少なくとも１つを考慮して判断される請求項１９に記載の方法。
【請求項２２】
前記第２のデバイスは、各々が複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲んでいる複数のデバイスを含み、前記複数のデバイスのうちの少なくとも１つは、前記第１のデバイスからの異なる量の水蒸気を含んでおり、前記第２の重量は、前記複数のデバイスの平均重量である請求項１９に記載の方法。
【請求項２３】
前記第２のデバイスは前記第１のデバイスと同じであり、前記第２の重量を測定することが、前記第１の重量の測定の所定期間後に実行される、請求項１９に記載の方法。
【請求項２４】
湿度を検査するシステムであって、
複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲む第１のデバイスと、
複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲む第２のデバイスであって、前記第１及び第２のデバイスは、異なる量の水蒸気を含む、前記第２のデバイスと、
前記第１及び第２のデバイスの重量を測定するように構成されたスケールと、
を備え、
前記２つのデバイスの相対湿度の値又は相対湿度の程度が、前記測定した重量に少なくとも部分的に基づいて測定可能であるシステム。
【請求項２５】
前記スケールは、約±０．１ｍｇの精度である、請求項２４に記載のシステム。
【請求項２６】
前記スケールは、約±０．０５ｍｇの精度である、請求項２４に記載のシステム。
【請求項２７】
湿度を検査する方法であって、
ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器と、ｉｉ）乾燥剤とを取り囲むデバイスを設けることであって、前記乾燥剤は、この乾燥剤の中に吸収された一定量の水蒸気に基づいて、乾燥剤の色を変化させるように構成されていること、
前記乾燥剤の色変化の程度を判断することと、
前記判断した色変化の程度に少なくとも部分的に基づいて、前記デバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断することと、
を備える方法。
【請求項２８】
前記デバイスは、少なくとも透明部分を含むバックプレートを備え、前記色変化の程度を判断することは、前記バックプレートの前記透明部分を介して実行される、請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
前記デバイスは透明なバックプレートを備え、前記色変化の程度を判断することは、前記透明なバックプレートを介して実行される、請求項２７に記載の方法。
【請求項３０】
前記乾燥剤の色変化の程度を判断することは、
前記デバイスを湿潤環境にさらすことと、
前記デバイスを湿潤環境にさらすことの前に、前記乾燥剤の第１の色を測定することと、
前記デバイスを前記湿潤環境にさらすことの後に、前記乾燥剤の第２の色を測定することと、
前記第１の色と第２の色を比較することと、
前記色の比較に基づいて、前記乾燥剤の色変化の程度を判断することと、
を備える請求項２７に記載の方法。
【請求項３１】
微小電気機械素子（ＭＥＭＳ）を製造する方法であって、
基板を設けることと、
前記基板の上に複数のインターフェロメトリック変調器を形成することと、
乾燥剤の中に吸収された水蒸気の量に基づいて、乾燥剤の色を変化させるように構成された乾燥剤を設けることと、
バックプレートを設けることと、
前記複数のインターフェロメトリック変調器及び前記乾燥剤を取り囲むデバイスを形成するように、前記基板と前記バックプレートとを接合することと、
を備え、
前記バックプレートは、前記乾燥剤の色変化を、前記デバイスの外部からバックプレートを通して見ることができる少なくとも１つの透明部分を含む方法。
【請求項３２】
請求項３１に記載の方法によって製造される微小電気機械素子（ＭＥＭＳ）。
【請求項３３】
前記デバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度が、次のパラメータ、すなわち、ｉ）温度と湿度の組み合わせ、ｉｉ）シールの厚さ及び幅、ｉｉｉ）接着剤透過性、ｉｖ）乾燥剤の容量、及びｖ）デバイスのサイズのうちの少なくとも１つを考慮して判断される、請求項３１に記載の方法。
【請求項３４】
基板と、
前記基板の上に形成された複数のインターフェロメトリック変調器と、
乾燥剤の中に吸収された一定量の水蒸気に基づいて、乾燥剤の色を変化させるように構成された乾燥剤と、
バックプレートと、
を備え、
前記基板と前記バックプレートは、前記複数のインターフェロメトリック変調器及び前記乾燥剤を取り囲むデバイスを形成するように、互いに接合され、
前記バックプレートは、前記乾燥剤の色変化を、前記デバイスの外部からバックプレートを通して視ることができる少なくとも１つの透明部分を含む、微小電気機械素子（ＭＥＭＳ）デバイス。
【請求項３５】
前記バックプレートは、透明な材料で形成される、請求項３４に記載のデバイス。
【請求項３６】
前記複数のインターフェロメトリック変調器と電気的に連通しているプロセッサであって、イメージデータを処理するように構成されているプロセッサと、
前記プロセッサと電気的に連通している記憶装置と、
をさらに備える請求項３４に記載のデバイス。
【請求項３７】
少なくとも１つの信号を前記複数のインターフェロメトリック変調器へ送るように構成されたドライバ回路をさらに備える、請求項３６に記載のデバイス。
【請求項３８】
前記イメージデータの少なくとも一部を前記ドライバ回路へ送るように構成されたコントローラをさらに備える請求項３７に記載のデバイス。
【請求項３９】
前記イメージデータを前記プロセッサへ送るように構成されたイメージソースモジュールをさらに備える請求項３６に記載のデバイス。
【請求項４０】
前記イメージソースモジュールは、レシーバ、トランシーバ及びトランスミッタのうちの少なくとも１つを備える、請求項３９に記載のデバイス。
【請求項４１】
入力データを受け取り、前記入力データを前記プロセッサへ伝達するように構成された入力デバイスをさらに備える、請求項３６に記載のデバイス。
【請求項４２】
湿度を検査する方法であって、
複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスを設けることと、
前記デバイスの少なくとも１つの内部部分の抵抗を測定することと、
前記測定した抵抗に少なくとも部分的に基づいて、前記デバイスの相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断することと、
を備える方法。
【請求項４３】
前記測定することは、抵抗センサを用いて実行される、請求項４２に記載の方法。
【請求項４４】
前記抵抗センサを前記デバイスのリードに接続することをさらに備え、前記リードは前記デバイスの内部部分に接続され、前記抵抗センサは、前記内部部分の周りの電気インピーダンス又は抵抗を測定するように構成される、請求項４３に記載の方法。
【請求項４５】
リードをパターニングすることと、
前記抵抗センサを前記パターニングしたリードに接続することと、
前記相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断した後に、前記パターニングしたリードを取り除くことと、
をさらに備える、請求項４３に記載の方法。
【請求項４６】
前記デバイスの外側領域を冷たいフィンガデバイスに操作可能に接触させることと、
前記接触した領域に対応する前記インターフェロメトリック変調器の内部領域に霜が形成されたか否かを判断することと、
をさらに備え、
前記相対湿度の値又は相対湿度の程度が、ｉ）霜が前記内部領域に形成されたか否かと、ｉｉ）前記測定した抵抗との組み合わせに少なくとも部分的に基づいて判断される、請求項４２に記載の方法。
【請求項４７】
前記デバイスは、バックプレート及び基板を備え、前記バックプレート及び基板の少なくとも一方は非透明である、請求項４６に記載の方法。
【請求項４８】
湿度を検査するシステムであって、
複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスと、
前記デバイスの少なくとも１つの内部部分の抵抗を測定するように構成された抵抗センサと、
を備え、
前記デバイスの相対湿度の値又は相対湿度の程度が、前記測定した抵抗に少なくとも部分的に基づいて測定可能であるシステム。
【請求項４９】
前記抵抗センサは、前記デバイスのリードに接続されており、前記リードは、前記デバイスの内部部分に接続されており、前記抵抗センサは、前記内部部分の周りの電気インピーダンス又は抵抗を測定するように構成されている、請求項４８に記載のシステム。
【請求項５０】
前記リードは、前記湿度検査のために形成されたパターン化されたリードである、請求項４９に記載のシステム。
【請求項５１】
前記パターン化されたリードは、前記湿度検査の後に取り除かれるように構成されている、請求項５０に記載のシステム。
【請求項５２】
前記パターン化されたリードは、前記デバイスの未使用部分に配設されている、請求項５０に記載のシステム。
【請求項５３】
前記リードは、次のもの、すなわち、ｉ）前記複数のインターフェロメトリック変調器のうちの少なくとも１つの電極、ｉｉ）前記インターフェロメトリック変調器の一部、及びｉｉｉ）前記デバイスの他の内部部分、のうちの１つに接続されている、請求項４９に記載のシステム。
【請求項５４】
前記リードは、前記デバイスのバックプレート又は基板の一部に接続されている、請求項４９に記載のシステム。
【請求項５５】
前記リードは、湿度検査のために画成されている穴を介して、前記デバイスの内部に挿入されるように構成されている請求項４９に記載のシステム。
【請求項５６】
前記インターフェロメトリック変調器の外側領域に操作可能に接触するように構成された冷たいフィンガデバイスをさらに備え、前記相対湿度の値又は相対湿度の程度は、ｉ）霜が前記内部に形成されたか否か、及びｉｉ）前記測定した抵抗の組み合わせに少なくとも部分的に基づいて測定可能である、請求項４８に記載のシステム。
【請求項５７】
湿度を検査する方法であって、
ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスを設けることと、
ｉｉ）前記デバイスの外側領域を、第１の温度に設定された冷たいフィンガデバイスに操作可能に接触させることと、
ｉｉｉ）前記接触した領域に対して前記インターフェロメトリック変調器デバイスの内部領域に霜が形成されたか否かを判断することと、
ｉｖ）前記内部領域に霜が形成されたか否かに少なくとも部分的に基づいて、前記インターフェロメトリック変調器デバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断することと、
を備える方法。
【請求項５８】
より良好な接触及び熱コンダクタンスを実現できるように、液体材料を前記冷たいフィンガデバイスの接触領域に塗布することをさらに備える、請求項５７に記載の方法。
【請求項５９】
ｖ）前記内部領域に霜が形成された場合に、前記第１の温度よりも高い第２の温度に設定された冷たいフィンガデバイスを、前記デバイスの外側領域に接触させることと、
ｖｉ）必要に応じて、前記ｉｉｉ）及びｉｖ）を繰り返すことと、
をさらに備える、請求項５７に記載の方法。
【請求項６０】
前記内部領域に霜が形成されなくなるまで、前記ｖ）及びｖｉ）を繰り返すことをさらに備える、請求項５９に記載の方法。
【請求項６１】
前記判断することｉｉｉ）は抵抗センサを用いて実行される、請求項５７に記載の方法。
【請求項６２】
前記抵抗センサを前記デバイスのリードに接続することをさらに備え、前記リードは、前記デバイスの内部部分に接続されており、前記抵抗センサは、前記内部部分の周りの電気インピーダンス又は抵抗を測定するように構成されている、請求項６１に記載の方法。
【請求項６３】
前記ｉｉ）は、前記冷たいフィンガデバイスを、次のもの、すなわち、バックプレート、基板、及び前記デバイスの１）シールと２）前記基板との境界領域のうちの１つに接触させることを備える、請求項５７に記載の方法。
【請求項６４】
前記基板は、少なくとも１つの透明部分を含み、前記方法はさらに、
前記冷たいフィンガデバイスを前記バックプレートの外側領域に接触させることと、
前記基板の少なくとも１つの透明部分を介して、前記外側領域に対応する前記バックプレートの内部領域に霜が形成されたか否かを判断することと、
を備える、請求項６３に記載の方法。
【請求項６５】
前記バックプレートは少なくとも１つの透明部分を含み、前記方法はさらに、
前記冷たいフィンガデバイスを、前記基板の外側領域に接触させることと、
前記バックプレートの少なくとも１つの透明部分を介して、前記外側領域に対応する前記基板の前記内部領域に霜が形成されたか否かを判断することと、
を備える、請求項６３に記載の方法。
【請求項６６】
前記判断することｉｉｉ）は、バックプレートの少なくとも１つの透明ウィンドウを介して、又は、透明基板の一部を介して実行される、請求項５７に記載の方法。
【請求項６７】
前記デバイスの少なくとも１つの内部部分の抵抗を測定することをさらに備え、前記相対湿度の値又は相対湿度の程度が、ｉ）霜が前記内部領域に形成されたか否かと、ｉｉ）前記測定した抵抗との組み合わせに少なくとも部分的に基づいて判断される、請求項５７に記載の方法。
【請求項６８】
湿度を検査するシステムであって、
複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスと、
前記デバイスの外側領域に操作可能に接触するように構成された冷たいフィンガデバイスと、
を備え、
前記インターフェロメトリック変調器の内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度が、前記内部領域に霜が形成されたか否かに少なくとも部分的に基づいて測定可能であるシステム。
【請求項６９】
前記デバイスは、少なくとも１つの透明部分を含む基板を備え、前記内部領域に霜が形成されたか否かを判断することは、前記基板の少なくとも１つの透明部分を介して実行される、請求項６８に記載のシステム。
【請求項７０】
前記デバイスは、少なくとも１つの透明部分を含むバックプレートを備え、前記内部領域に霜が形成されたか否かを判断することは、前記バックプレートの少なくとも１つの透明部分を介して実行される、請求項６８に記載のシステム。
【請求項７１】
前記デバイスの少なくとも１つの内部部分の抵抗を測定するように構成された抵抗センサをさらに備え、前記相対湿度の値又は相対湿度の程度が、ｉ）前記内部領域に霜が形成されたか否かと、ｉｉ）前記測定した抵抗との組み合わせに少なくとも部分的に基づいて測定可能である、請求項６８に記載のシステム。
【請求項７２】
湿度を検査する方法であって、
ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器と、ｉｉ）乾燥剤とを取り囲むデバイスを設けることと、
前記デバイスの第１の重量を測定することと、
水蒸気を前記デバイスの内部に供給することと、
前記水蒸気が前記デバイス内に供給された後に、前記デバイスの第２の重量を測定することと、
前記第１の重量と前記第２の重量を比較することと、
前記重量の比較に少なくとも部分的に基づいて、前記デバイスの内部の相対湿度の程度を判断することと、
を備える方法。
【請求項７３】
前記デバイスは乾燥剤を含み、前記方法はさらに、前記第２の重量が前記第１の重量と実質的に同じである場合に、前記乾燥剤は的確に作用していないと判断することを備える、請求項７２に記載の方法。
【請求項７４】
次の領域、すなわち、前記デバイスのシール、バックプレート及び基板のうちの少なくとも１つに穴を画成することをさらに備え、前記水蒸気が前記穴を介して前記デバイス内に供給される、請求項７２に記載の方法。
【請求項７５】
湿度を検査するシステムであって、
ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器と、ｉｉ）水蒸気を吸収するように構成された乾燥剤とを取り囲むデバイスであって、水蒸気が穴を介して前記デバイス内に供給されるように、前記デバイスの領域内に前記穴が画成されている、デバイスと、
ｉ）前記水蒸気が前記デバイス内に供給される前の、前記デバイスの第１の重量と、ｉｉ）前記水蒸気が前記デバイス内に供給された後の、前記デバイスの第２の重量とを測定するように構成されたスケールと、
を備え、
前記デバイスの内部の相対湿度の程度が、前記第１の重量と第２の重量の重量比較に少なくとも部分的に基づいて測定可能であるシステム。
【請求項１】
湿度を検査する方法であって、
複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスの特性を測定することと、
前記測定した特性に少なくとも部分的に基づいて、前記デバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断することと、
を備える方法。
【請求項２】
前記デバイスの特性は、次のもの、すなわち、ｉ）前記デバイスの重量、ｉｉ）前記デバイス内に封入された乾燥剤の色変化、ｉｉｉ）前記デバイスの内部の抵抗、ｉｖ）ある温度に設定された冷たいフィンガデバイスが接触している、前記デバイスの内部領域に霜が形成されたか否か、及びｖ）水蒸気が前記デバイス内に供給された場合に、前記デバイス内に封入された乾燥剤が的確に作用しているか否か、のうちの１つを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記デバイスの特性は、前記ｉ）〜ｉｖ）のうちの少なくとも２つの組み合わせを含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記特性を測定することの前に、前記デバイスを湿潤環境にさらすことをさらに備える、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記湿潤環境は湿度チャンバを含む、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記デバイス内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度が、次のパラメータ、すなわち、ｉ）温度と湿度の組み合わせ、ｉｉ）シールの厚さ及び幅、ｉｉｉ）接着剤透過性、ｉｖ）乾燥剤の容量、及びｖ）デバイスのサイズ、のうちの少なくとも１つを考慮して判断される、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
湿度を検査するシステムであって、
湿潤環境をデバイスに与える手段であって、前記デバイスは、複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲んでいる手段と、
前記デバイスの特性を測定する手段であって、前記デバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度が、前記測定した特性に少なくとも部分的に基づいて測定可能である、手段と、
を備えるシステム。
【請求項８】
前記与える手段は湿度チャンバを含む、請求項７に記載のシステム。
【請求項９】
前記測定手段は、次のもの、すなわち、ｉ）前記デバイスの重量を測定するように構成されたスケール、ｉｉ）前記デバイス内に封入され、かつ乾燥剤の中に吸収された水蒸気の量に基づいて、乾燥剤の色を変化させるように構成された第１の乾燥剤、ｉｉｉ）前記デバイスの少なくとも１つの内部部分の抵抗を測定するように構成された抵抗センサ、ｉｖ）前記デバイスの外側領域に操作可能に接触するように構成された冷たいフィンガデバイス、ｖ）前記デバイス内に封入され、かつ乾燥剤の色の変化を伴わずに、水蒸気を吸収するように構成された第２の乾燥剤、のうちの少なくとも１つを含む、請求項７又は８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記デバイスの特性は、次のもの、すなわち、ｉ）前記デバイスの重量、ｉｉ）前記デバイス内に封入された乾燥剤の色変化、ｉｉｉ）前記デバイスの内部の抵抗、ｉｖ）ある温度に設定された冷たいフィンガデバイスが接触している、前記デバイスの内部領域に霜が形成されたか否か、及びｖ）水蒸気が前記デバイス内に供給された場合に、前記デバイス内に封入された乾燥剤が的確に作用しているか否か、のうちの１つを含む、請求項７に記載のシステム。
【請求項１１】
前記デバイスの特性は、前記ｉ）〜ｉｖ）のうちの少なくとも２つの組み合わせを含む、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
湿度を検査するシステムであって、
湿潤環境をターゲットデバイスに与えるように構成された第１の検査デバイスであって、前記ターゲットデバイスは複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲んでいる、第１の検査デバイスと、
前記ターゲットデバイスの特性を測定するように構成された第２の検査デバイスであって、前記ターゲットデバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度が、前記測定した特性に少なくとも部分的に基づいて測定可能である、第２の検査デバイスと、
を備えるシステム。
【請求項１３】
前記ターゲットデバイスは、
前記複数のインターフェロメトリック変調器と電気的に連通しているプロセッサであって、イメージデータを処理するように構成されているプロセッサと、
前記プロセッサと電気的に連通している記憶装置と、
を備える、請求項１２に記載のシステム。
【請求項１４】
前記ターゲットデバイスはさらに、
少なくとも１つの信号を前記複数のインターフェロメトリック変調器に送るように構成されたドライバ回路を備える、請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】
前記ターゲットデバイスはさらに、
前記イメージデータの少なくとも一部を前記ドライバ回路へ送るように構成されたコントローラを備える、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
前記ターゲットデバイスはさらに、
前記イメージデータを前記プロセッサへ送るように構成されたイメージソースモジュールを備える請求項１３に記載のシステム。
【請求項１７】
前記イメージソースモジュールは、レシーバ、トランシーバ及びトランスミッタのうちの少なくとも１つを備える、請求項１６に記載のシステム。
【請求項１８】
前記ターゲットデバイスはさらに、
入力データを受け取り、前記入力データを前記プロセッサへ伝達するように構成された入力デバイスを備える請求項１３に記載のシステム。
【請求項１９】
湿度を検査する方法であって、
ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲む第１のデバイスの第１の重量、及びｉｉ）複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲む第２のデバイスの第２の重量を測定することであって、前記第１及び第２のデバイスは異なる量の水蒸気を含むことと、
前記第１及び第２のデバイスの重量を比較することと、
前記重量の比較に少なくとも部分的に基づいて、前記２つのデバイスの一方の内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断することと、
を備える方法。
【請求項２０】
前記第１の重量と前記第２の重量の差を判断することと、
前記差がしきい値よりも大きい場合に、前記デバイスに不具合があること、又は、前記デバイスは短縮された寿命を有することを判断することと、
をさらに備える、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記デバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度が、次のパラメータ、すなわち、ｉ）温度と湿度の組み合わせ、ｉｉ）シールの厚さ及び幅、ｉｉｉ）接着剤透過性、ｉｖ）乾燥剤の容量、及びｖ）デバイスのサイズ、のうちの少なくとも１つを考慮して判断される請求項１９に記載の方法。
【請求項２２】
前記第２のデバイスは、各々が複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲んでいる複数のデバイスを含み、前記複数のデバイスのうちの少なくとも１つは、前記第１のデバイスからの異なる量の水蒸気を含んでおり、前記第２の重量は、前記複数のデバイスの平均重量である請求項１９に記載の方法。
【請求項２３】
前記第２のデバイスは前記第１のデバイスと同じであり、前記第２の重量を測定することが、前記第１の重量の測定の所定期間後に実行される、請求項１９に記載の方法。
【請求項２４】
湿度を検査するシステムであって、
複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲む第１のデバイスと、
複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲む第２のデバイスであって、前記第１及び第２のデバイスは、異なる量の水蒸気を含む、前記第２のデバイスと、
前記第１及び第２のデバイスの重量を測定するように構成されたスケールと、
を備え、
前記２つのデバイスの相対湿度の値又は相対湿度の程度が、前記測定した重量に少なくとも部分的に基づいて測定可能であるシステム。
【請求項２５】
前記スケールは、約±０．１ｍｇの精度である、請求項２４に記載のシステム。
【請求項２６】
前記スケールは、約±０．０５ｍｇの精度である、請求項２４に記載のシステム。
【請求項２７】
湿度を検査する方法であって、
ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器と、ｉｉ）乾燥剤とを取り囲むデバイスを設けることであって、前記乾燥剤は、この乾燥剤の中に吸収された一定量の水蒸気に基づいて、乾燥剤の色を変化させるように構成されていること、
前記乾燥剤の色変化の程度を判断することと、
前記判断した色変化の程度に少なくとも部分的に基づいて、前記デバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断することと、
を備える方法。
【請求項２８】
前記デバイスは、少なくとも透明部分を含むバックプレートを備え、前記色変化の程度を判断することは、前記バックプレートの前記透明部分を介して実行される、請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
前記デバイスは透明なバックプレートを備え、前記色変化の程度を判断することは、前記透明なバックプレートを介して実行される、請求項２７に記載の方法。
【請求項３０】
前記乾燥剤の色変化の程度を判断することは、
前記デバイスを湿潤環境にさらすことと、
前記デバイスを湿潤環境にさらすことの前に、前記乾燥剤の第１の色を測定することと、
前記デバイスを前記湿潤環境にさらすことの後に、前記乾燥剤の第２の色を測定することと、
前記第１の色と第２の色を比較することと、
前記色の比較に基づいて、前記乾燥剤の色変化の程度を判断することと、
を備える請求項２７に記載の方法。
【請求項３１】
微小電気機械素子（ＭＥＭＳ）を製造する方法であって、
基板を設けることと、
前記基板の上に複数のインターフェロメトリック変調器を形成することと、
乾燥剤の中に吸収された水蒸気の量に基づいて、乾燥剤の色を変化させるように構成された乾燥剤を設けることと、
バックプレートを設けることと、
前記複数のインターフェロメトリック変調器及び前記乾燥剤を取り囲むデバイスを形成するように、前記基板と前記バックプレートとを接合することと、
を備え、
前記バックプレートは、前記乾燥剤の色変化を、前記デバイスの外部からバックプレートを通して見ることができる少なくとも１つの透明部分を含む方法。
【請求項３２】
請求項３１に記載の方法によって製造される微小電気機械素子（ＭＥＭＳ）。
【請求項３３】
前記デバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度が、次のパラメータ、すなわち、ｉ）温度と湿度の組み合わせ、ｉｉ）シールの厚さ及び幅、ｉｉｉ）接着剤透過性、ｉｖ）乾燥剤の容量、及びｖ）デバイスのサイズのうちの少なくとも１つを考慮して判断される、請求項３１に記載の方法。
【請求項３４】
基板と、
前記基板の上に形成された複数のインターフェロメトリック変調器と、
乾燥剤の中に吸収された一定量の水蒸気に基づいて、乾燥剤の色を変化させるように構成された乾燥剤と、
バックプレートと、
を備え、
前記基板と前記バックプレートは、前記複数のインターフェロメトリック変調器及び前記乾燥剤を取り囲むデバイスを形成するように、互いに接合され、
前記バックプレートは、前記乾燥剤の色変化を、前記デバイスの外部からバックプレートを通して視ることができる少なくとも１つの透明部分を含む、微小電気機械素子（ＭＥＭＳ）デバイス。
【請求項３５】
前記バックプレートは、透明な材料で形成される、請求項３４に記載のデバイス。
【請求項３６】
前記複数のインターフェロメトリック変調器と電気的に連通しているプロセッサであって、イメージデータを処理するように構成されているプロセッサと、
前記プロセッサと電気的に連通している記憶装置と、
をさらに備える請求項３４に記載のデバイス。
【請求項３７】
少なくとも１つの信号を前記複数のインターフェロメトリック変調器へ送るように構成されたドライバ回路をさらに備える、請求項３６に記載のデバイス。
【請求項３８】
前記イメージデータの少なくとも一部を前記ドライバ回路へ送るように構成されたコントローラをさらに備える請求項３７に記載のデバイス。
【請求項３９】
前記イメージデータを前記プロセッサへ送るように構成されたイメージソースモジュールをさらに備える請求項３６に記載のデバイス。
【請求項４０】
前記イメージソースモジュールは、レシーバ、トランシーバ及びトランスミッタのうちの少なくとも１つを備える、請求項３９に記載のデバイス。
【請求項４１】
入力データを受け取り、前記入力データを前記プロセッサへ伝達するように構成された入力デバイスをさらに備える、請求項３６に記載のデバイス。
【請求項４２】
湿度を検査する方法であって、
複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスを設けることと、
前記デバイスの少なくとも１つの内部部分の抵抗を測定することと、
前記測定した抵抗に少なくとも部分的に基づいて、前記デバイスの相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断することと、
を備える方法。
【請求項４３】
前記測定することは、抵抗センサを用いて実行される、請求項４２に記載の方法。
【請求項４４】
前記抵抗センサを前記デバイスのリードに接続することをさらに備え、前記リードは前記デバイスの内部部分に接続され、前記抵抗センサは、前記内部部分の周りの電気インピーダンス又は抵抗を測定するように構成される、請求項４３に記載の方法。
【請求項４５】
リードをパターニングすることと、
前記抵抗センサを前記パターニングしたリードに接続することと、
前記相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断した後に、前記パターニングしたリードを取り除くことと、
をさらに備える、請求項４３に記載の方法。
【請求項４６】
前記デバイスの外側領域を冷たいフィンガデバイスに操作可能に接触させることと、
前記接触した領域に対応する前記インターフェロメトリック変調器の内部領域に霜が形成されたか否かを判断することと、
をさらに備え、
前記相対湿度の値又は相対湿度の程度が、ｉ）霜が前記内部領域に形成されたか否かと、ｉｉ）前記測定した抵抗との組み合わせに少なくとも部分的に基づいて判断される、請求項４２に記載の方法。
【請求項４７】
前記デバイスは、バックプレート及び基板を備え、前記バックプレート及び基板の少なくとも一方は非透明である、請求項４６に記載の方法。
【請求項４８】
湿度を検査するシステムであって、
複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスと、
前記デバイスの少なくとも１つの内部部分の抵抗を測定するように構成された抵抗センサと、
を備え、
前記デバイスの相対湿度の値又は相対湿度の程度が、前記測定した抵抗に少なくとも部分的に基づいて測定可能であるシステム。
【請求項４９】
前記抵抗センサは、前記デバイスのリードに接続されており、前記リードは、前記デバイスの内部部分に接続されており、前記抵抗センサは、前記内部部分の周りの電気インピーダンス又は抵抗を測定するように構成されている、請求項４８に記載のシステム。
【請求項５０】
前記リードは、前記湿度検査のために形成されたパターン化されたリードである、請求項４９に記載のシステム。
【請求項５１】
前記パターン化されたリードは、前記湿度検査の後に取り除かれるように構成されている、請求項５０に記載のシステム。
【請求項５２】
前記パターン化されたリードは、前記デバイスの未使用部分に配設されている、請求項５０に記載のシステム。
【請求項５３】
前記リードは、次のもの、すなわち、ｉ）前記複数のインターフェロメトリック変調器のうちの少なくとも１つの電極、ｉｉ）前記インターフェロメトリック変調器の一部、及びｉｉｉ）前記デバイスの他の内部部分、のうちの１つに接続されている、請求項４９に記載のシステム。
【請求項５４】
前記リードは、前記デバイスのバックプレート又は基板の一部に接続されている、請求項４９に記載のシステム。
【請求項５５】
前記リードは、湿度検査のために画成されている穴を介して、前記デバイスの内部に挿入されるように構成されている請求項４９に記載のシステム。
【請求項５６】
前記インターフェロメトリック変調器の外側領域に操作可能に接触するように構成された冷たいフィンガデバイスをさらに備え、前記相対湿度の値又は相対湿度の程度は、ｉ）霜が前記内部に形成されたか否か、及びｉｉ）前記測定した抵抗の組み合わせに少なくとも部分的に基づいて測定可能である、請求項４８に記載のシステム。
【請求項５７】
湿度を検査する方法であって、
ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスを設けることと、
ｉｉ）前記デバイスの外側領域を、第１の温度に設定された冷たいフィンガデバイスに操作可能に接触させることと、
ｉｉｉ）前記接触した領域に対して前記インターフェロメトリック変調器デバイスの内部領域に霜が形成されたか否かを判断することと、
ｉｖ）前記内部領域に霜が形成されたか否かに少なくとも部分的に基づいて、前記インターフェロメトリック変調器デバイスの内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度を判断することと、
を備える方法。
【請求項５８】
より良好な接触及び熱コンダクタンスを実現できるように、液体材料を前記冷たいフィンガデバイスの接触領域に塗布することをさらに備える、請求項５７に記載の方法。
【請求項５９】
ｖ）前記内部領域に霜が形成された場合に、前記第１の温度よりも高い第２の温度に設定された冷たいフィンガデバイスを、前記デバイスの外側領域に接触させることと、
ｖｉ）必要に応じて、前記ｉｉｉ）及びｉｖ）を繰り返すことと、
をさらに備える、請求項５７に記載の方法。
【請求項６０】
前記内部領域に霜が形成されなくなるまで、前記ｖ）及びｖｉ）を繰り返すことをさらに備える、請求項５９に記載の方法。
【請求項６１】
前記判断することｉｉｉ）は抵抗センサを用いて実行される、請求項５７に記載の方法。
【請求項６２】
前記抵抗センサを前記デバイスのリードに接続することをさらに備え、前記リードは、前記デバイスの内部部分に接続されており、前記抵抗センサは、前記内部部分の周りの電気インピーダンス又は抵抗を測定するように構成されている、請求項６１に記載の方法。
【請求項６３】
前記ｉｉ）は、前記冷たいフィンガデバイスを、次のもの、すなわち、バックプレート、基板、及び前記デバイスの１）シールと２）前記基板との境界領域のうちの１つに接触させることを備える、請求項５７に記載の方法。
【請求項６４】
前記基板は、少なくとも１つの透明部分を含み、前記方法はさらに、
前記冷たいフィンガデバイスを前記バックプレートの外側領域に接触させることと、
前記基板の少なくとも１つの透明部分を介して、前記外側領域に対応する前記バックプレートの内部領域に霜が形成されたか否かを判断することと、
を備える、請求項６３に記載の方法。
【請求項６５】
前記バックプレートは少なくとも１つの透明部分を含み、前記方法はさらに、
前記冷たいフィンガデバイスを、前記基板の外側領域に接触させることと、
前記バックプレートの少なくとも１つの透明部分を介して、前記外側領域に対応する前記基板の前記内部領域に霜が形成されたか否かを判断することと、
を備える、請求項６３に記載の方法。
【請求項６６】
前記判断することｉｉｉ）は、バックプレートの少なくとも１つの透明ウィンドウを介して、又は、透明基板の一部を介して実行される、請求項５７に記載の方法。
【請求項６７】
前記デバイスの少なくとも１つの内部部分の抵抗を測定することをさらに備え、前記相対湿度の値又は相対湿度の程度が、ｉ）霜が前記内部領域に形成されたか否かと、ｉｉ）前記測定した抵抗との組み合わせに少なくとも部分的に基づいて判断される、請求項５７に記載の方法。
【請求項６８】
湿度を検査するシステムであって、
複数のインターフェロメトリック変調器を取り囲むデバイスと、
前記デバイスの外側領域に操作可能に接触するように構成された冷たいフィンガデバイスと、
を備え、
前記インターフェロメトリック変調器の内部の相対湿度の値又は相対湿度の程度が、前記内部領域に霜が形成されたか否かに少なくとも部分的に基づいて測定可能であるシステム。
【請求項６９】
前記デバイスは、少なくとも１つの透明部分を含む基板を備え、前記内部領域に霜が形成されたか否かを判断することは、前記基板の少なくとも１つの透明部分を介して実行される、請求項６８に記載のシステム。
【請求項７０】
前記デバイスは、少なくとも１つの透明部分を含むバックプレートを備え、前記内部領域に霜が形成されたか否かを判断することは、前記バックプレートの少なくとも１つの透明部分を介して実行される、請求項６８に記載のシステム。
【請求項７１】
前記デバイスの少なくとも１つの内部部分の抵抗を測定するように構成された抵抗センサをさらに備え、前記相対湿度の値又は相対湿度の程度が、ｉ）前記内部領域に霜が形成されたか否かと、ｉｉ）前記測定した抵抗との組み合わせに少なくとも部分的に基づいて測定可能である、請求項６８に記載のシステム。
【請求項７２】
湿度を検査する方法であって、
ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器と、ｉｉ）乾燥剤とを取り囲むデバイスを設けることと、
前記デバイスの第１の重量を測定することと、
水蒸気を前記デバイスの内部に供給することと、
前記水蒸気が前記デバイス内に供給された後に、前記デバイスの第２の重量を測定することと、
前記第１の重量と前記第２の重量を比較することと、
前記重量の比較に少なくとも部分的に基づいて、前記デバイスの内部の相対湿度の程度を判断することと、
を備える方法。
【請求項７３】
前記デバイスは乾燥剤を含み、前記方法はさらに、前記第２の重量が前記第１の重量と実質的に同じである場合に、前記乾燥剤は的確に作用していないと判断することを備える、請求項７２に記載の方法。
【請求項７４】
次の領域、すなわち、前記デバイスのシール、バックプレート及び基板のうちの少なくとも１つに穴を画成することをさらに備え、前記水蒸気が前記穴を介して前記デバイス内に供給される、請求項７２に記載の方法。
【請求項７５】
湿度を検査するシステムであって、
ｉ）複数のインターフェロメトリック変調器と、ｉｉ）水蒸気を吸収するように構成された乾燥剤とを取り囲むデバイスであって、水蒸気が穴を介して前記デバイス内に供給されるように、前記デバイスの領域内に前記穴が画成されている、デバイスと、
ｉ）前記水蒸気が前記デバイス内に供給される前の、前記デバイスの第１の重量と、ｉｉ）前記水蒸気が前記デバイス内に供給された後の、前記デバイスの第２の重量とを測定するように構成されたスケールと、
を備え、
前記デバイスの内部の相対湿度の程度が、前記第１の重量と第２の重量の重量比較に少なくとも部分的に基づいて測定可能であるシステム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５Ａ】
【図５Ｂ】
【図６Ａ】
【図６Ｂ】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図７Ｃ】
【図７Ｄ】
【図７Ｅ】
【図８】
【図９Ａ】
【図９Ｂ】
【図９Ｃ】
【図１０Ａ】
【図１０Ｂ】
【図１０Ｃ】
【図１０Ｄ】
【図１１Ａ】
【図１１Ｂ】
【図１２Ａ】
【図１２Ｂ】
【図１２Ｃ】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５Ａ】
【図５Ｂ】
【図６Ａ】
【図６Ｂ】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図７Ｃ】
【図７Ｄ】
【図７Ｅ】
【図８】
【図９Ａ】
【図９Ｂ】
【図９Ｃ】
【図１０Ａ】
【図１０Ｂ】
【図１０Ｃ】
【図１０Ｄ】
【図１１Ａ】
【図１１Ｂ】
【図１２Ａ】
【図１２Ｂ】
【図１２Ｃ】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２００８−２６８７６（Ｐ２００８−２６８７６Ａ）
【公開日】平成２０年２月７日（２００８．２．７）
【国際特許分類】
【外国語出願】
【出願番号】特願２００７−１５０４０４（Ｐ２００７−１５０４０４）
【出願日】平成１９年６月６日（２００７．６．６）
【分割の表示】特願２００７−５３３４７４（Ｐ２００７−５３３４７４）の分割
【原出願日】平成１７年８月２２日（２００５．８．２２）
【出願人】（５０５２５８４７２）アイディーシー、エルエルシー (122)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年２月７日（２００８．２．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−１５０４０４（Ｐ２００７−１５０４０４）
【出願日】平成１９年６月６日（２００７．６．６）
【分割の表示】特願２００７−５３３４７４（Ｐ２００７−５３３４７４）の分割
【原出願日】平成１７年８月２２日（２００５．８．２２）
【出願人】（５０５２５８４７２）アイディーシー、エルエルシー (122)
【Ｆターム（参考）】
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