【課題】塗布欠陥が低減され、液浸露光においても優れたパターンの提供を可能とする、感活性光線性または感放射線性樹脂組成物、及び、それを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】下記（Ａ）〜（Ｄ）を含有することを特徴とする感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。（Ａ）酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、（Ｂ）活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、（Ｃ）フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかと、アルカリ現像液の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解性が増大する極性変換基を有する樹脂、及び、（Ｄ）下記一般式（Ｓ１）〜（Ｓ３）で表される群より選択される少なくとも１種の溶剤を含有し、該溶剤の合計の含有率が全溶剤中の３〜２０質量％である混合溶剤。

【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記（Ａ）〜（Ｄ）を含有することを特徴とする感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。
（Ａ）酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、
（Ｂ）活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、
（Ｃ）フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかと、アルカリ現像液の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解性が増大する極性変換基を有する樹脂、及び、
（Ｄ）下記一般式（Ｓ１）〜（Ｓ３）で表される群より選択される少なくとも１種の溶剤を含有し、該溶剤の合計の含有率が全溶剤中の３〜２０質量％である混合溶剤。
【化１】

一般式（Ｓ１）〜（Ｓ３）中、
Ｒ₁〜Ｒ_７は、各々独立に、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいシクロアルキル基、または置換基を有していてもよいアリール基を表す。Ｒ₁とＲ₂、Ｒ₃とＲ₄、またはＲ_６とＲ_７は互いに連結して環を形成してもよい。
【請求項２】
樹脂（Ｃ）が、２つ以上の極性変換基を有する繰り返し単位を含有することを特徴とする、請求項１に記載の感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。
【請求項３】
一般式（Ｓ１）〜（Ｓ３）で表される群より選択される溶剤の合計の含有率が、全溶剤中３〜１０質量％であることを特徴とする請求項１又は２に記載の感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。
【請求項４】
混合溶剤（Ｄ）が、一般式（Ｓ１）で表される溶剤として、Ｒ_１とＲ_２が互いに連結して形成されるアルキレンカーボネート構造を有する溶剤を含有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。
【請求項５】
混合溶剤（Ｄ）が、一般式（Ｓ２）で表される溶剤として、Ｒ_３とＲ_４が互いに連結して形成されるラクトン構造を有する溶剤を含有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の感活性光線性または感放射線性樹脂組成物を用いて膜を形成し、該膜を、液浸液を介して露光、現像することを特徴とするパターン形成方法。

【公開番号】特開２０１０−２７１６４９（Ｐ２０１０−２７１６４９Ａ）
【公開日】平成２２年１２月２日（２０１０．１２．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１２５５０８（Ｐ２００９−１２５５０８）
【出願日】平成２１年５月２５日（２００９．５．２５）
【出願人】（３０６０３７３１１）富士フイルム株式会社 (25,513)
【Ｆターム（参考）】