表面処理装置
【課題】被清掃面の全域に亘って良好なクリーニング能力を得ることができる表面処理装置及を提供する。
【解決手段】芯部１１２の直径は、被清掃面２ａの半径よりも大きく設定され、ワークＷと芯部１１２とを相対移動させる移動機構８３を備え、移動機構８３は、回転可能に支持され、駆動力が付与されるシャフト８７を備え、パッドシャフト９５の中心軸Ｏ２と、シャフト８７の中心軸Ｏ１とをオフセットさせた状態で、中心軸Ｏ１回りにパッドシャフト９５を公転させるとともに、公転に連動してパッドシャフト９５を中心軸Ｏ２回りに回動させることを特徴とする。
【解決手段】芯部１１２の直径は、被清掃面２ａの半径よりも大きく設定され、ワークＷと芯部１１２とを相対移動させる移動機構８３を備え、移動機構８３は、回転可能に支持され、駆動力が付与されるシャフト８７を備え、パッドシャフト９５の中心軸Ｏ２と、シャフト８７の中心軸Ｏ１とをオフセットさせた状態で、中心軸Ｏ１回りにパッドシャフト９５を公転させるとともに、公転に連動してパッドシャフト９５を中心軸Ｏ２回りに回動させることを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、レンズやディスク等の円盤状のワークの表面をクリーニングするための拭き取り装置（表面処理装置）が知られている。
このような拭き取り装置としては、ブラシ状やパッド状に形成されたクリーニング部材をワークの表面（被清掃面）に対して摺動させて、ワーク表面の汚れ等を除去するものがある（例えば、特許文献１，２参照）。
ところが、上述した従来技術では、使用するうちにワークから拭き取った汚れや、クリーニング液がクリーニング部材に付着したまま残存することで、クリーニング部材のクリーニング能力が経時劣化するという問題があった。クリーニング能力を維持するためには、クリーニング部材の交換作業やメンテナンス作業を頻繁に行う必要があり、それらの作業が煩雑であった。
【０００３】
これに対して、例えば特許文献３に示されるように、連続的に走行するテープ状のクリーニング部材をワーク表面に対して摺動させることにより、ワーク表面をクリーニングするような構成が知られている。
【０００４】
ところで、拭き取り装置によりクリーニングするワークとしては、例えば鏡筒レンズのように、被清掃面がワークの先端から凹状に窪んだ位置に配置されている場合がある。この場合、被清掃面の全域にクリーニング部材を到達させることが難しく、被清掃面に拭き残し等が生じるという問題がある。
そこで、例えば、特許文献４に示されるように、テープ状のクリーニング部材を厚さ方向に挟んで一端側にワーク、他端側にワークの凹部内に押し込まれる凸部を有し、この凸部を凹部内に配置した状態で、ワークの軸方向に直交する方向に凸部を往復移動させながらワークの被清掃面をクリーニングするような構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−９６３９２号公報
【特許文献２】特開２００８−２６９６８５号公報
【特許文献３】特開平２−１３４７８４号公報
【特許文献４】特開平７−１３８０３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、凹状のワークの被清掃面をクリーニングする際、上述の特許文献４の構成では、クリーニング能力が不充分であった。すなわち、クリーニング部材を一定方向に往復移動させながらクリーニングしても、被清掃面の面方向全域に亘ってクリーニング部材が到達せず、例えば、被清掃面の外周部分等において汚れが残存するという問題がある。
【０００７】
また、ブラシ状のクリーニング部材を用い、クリーニング部材を回転させることも考えられる。
ところが、この構成ではクリーニング部材が回転することによりブラシが捩れて絡まるという問題がある。また、クリーニング部材の回転中心及びその近傍では、被清掃面とクリーニング部材との周方向における相対的な摺動が少ない。そのため、被清掃面上に付着した汚れを完全に除去することができず、汚れが残存する虞がある。
【０００８】
そこで、本発明は、上述の課題に鑑みてなされたものであって、被清掃面の全域に亘って良好なクリーニング能力を得ることができる表面処理装置及を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明に係る表面処理装置は、円筒状のワークにおける凹部底面を被処理面とし、前記被処理面の面方向に沿って前記被処理面と処理部材とを相対的に摺動させることで、前記被処理面を処理する表面処理装置において、前記処理部材における前記被処理面との接触面の直径は、前記被処理面の半径よりも大きく設定され、前記ワークと前記処理部材とを相対移動させる移動機構を備え、前記移動機構は、回転可能に支持され、駆動力が付与されるシャフトを備え、前記シャフトの中心を通る第１法線と、前記処理部材の中心を通る第２法線とをオフセットさせた状態で、前記第１法線回りに前記処理部材を公転させるとともに、公転面内において、前記処理部材を前記第２法線回りに回動させることを特徴としている。
【００１０】
この構成によれば、処理部材における接触面の直径が被清掃面の半径よりも大きくなるように設定したため、処理部材が第１法線回りに１回転（公転）することで被処理面の全域に接触することになる。
しかも、処理部材を、第１法線回りに公転させつつ、この公転に連動して第２法線回りに回動させることで、処理部材が公転のみを行う場合と異なり、処理部材の全体が被清掃面上を摺動するようにして移動する。
これにより、被処理面と処理部材とが、被処理面の面方向全域において充分に相対移動するので、被処理面の全域で均一な処理を行うことができる。したがって、ワークの被処理面がワークの先端から窪んでいる場合であっても、被処理面を効率的に処理することができ、処理能力の向上を図ることができる。
【００１１】
また、前記移動機構は、前記処理部材を前記第１法線回りに公転させる公転機構と、前記処理部材を前記第２法線回りに回動させるリンク機構とを備え、前記公転機構は、前記第２法線上において、一端が前記シャフトに回動可能に連結され、他端に前記処理部材が固定されたパッドシャフトとを備え、前記リンク機構は、前記第２法線から所定距離オフセットさせた位置に配置された支持シャフトと、前記支持シャフトと前記パッドシャフトとを連結するアームとを備え、前記アームは、一端が前記パッドシャフトに固定される一方、他端が前記支持シャフトの中心を通る第３法線回りに回動可能に、なおかつ前記アームの軸方向に沿ってスライド可能に、前記支持シャフトに支持されていることを特徴としている。
この構成によれば、シャフトに駆動力が付与されてシャフトが第１法線回りに回転すると、まずパッドシャフトが処理部材とともに第１法線回りに公転しようとする。この場合、パッドシャフトにはアームが固定されているので、パッドシャフトが公転しようとすると、この公転に連動してアームが第３法線回りに回動するとともに、アームが軸方向にスライドする。そして、パッドシャフトはシャフトに回動可能に支持されているので、アームがスライドすることでパッドシャフトが第２法線回りに回動することになる。
その結果、処理部材は、その全体が被処理面上を摺動するようにして移動する。これにより、被処理面の中央部分においても、被処理面とパッドとが被処理面の面方向において充分に相対移動するため、処理部材により被処理面の全域に亘って均一な処理を行うことができる。これにより、処理能力の向上を図ることができるため、信頼性の高い製品を提供することができる。
また、モーター等の駆動手段を１つだけで動作させることができるので、構成の簡素化及び装置コストの低減が可能になる。
【００１２】
また、前記処理部材は、前記被処理面のクリーニングを行うためのクリーニングテープと、前記クリーニングテープを介して前記被処理面を押圧するパッドとを備え、前記クリーニングテープは、前記被処理面の面方向に沿って順次送られるように構成されていることを特徴としている。
この構成によれば、被処理面をクリーニングするためのクリーニング部材にクリーニングテープを用いることで、従来のようにパッド状のクリーニング部材を用いた場合と異なり、クリーニング部材の交換等を要することなく、常に清潔な状態で被清掃面をクリーニングすることができる。これにより、さらなる作業効率の向上を図ることができる。
また、クリーニング部材にブラシを用いた場合のように、ブラシが絡まって捩れたりする虞もないので、メンテナンス性の向上も図ることができる。
【００１３】
また、前記クリーニングテープに向けてクリーニング液を供給するためのクリーニング液供給ユニットが、前記クリーニングテープの送り方向の上流側で前記パッドに隣接配置されていることを特徴としている。
この構成によれば、クリーニング液供給ユニットをパッドに隣接配置することで、ワークをクリーニングする直前でクリーニング部材にクリーニング液を供給することができる。これにより、クリーニング液の揮発等を防ぎ、効率的にクリーニングを行うことができる。
【００１４】
また、前記パッドは、前記被処理面に向けて付勢されていることを特徴としている。
この構成によれば、パッドが付勢手段によって被処理面に向けて付勢されているので、被処理面に向けて所定の押圧力が付与された状態で摺動することになる。これにより、被処理面の表面形状に倣って付勢手段が伸長または縮退するため、パッドの先端面が常に被処理面の法線方向に直交した状態で摺動することになる。これにより、被処理面の面方向全域に亘って、均一な押圧力が付与された状態で、処理部材が摺動するので、被処理面の全域で均一な処理を行うことができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る表面処理装置によれば、被処理面と処理部材とが、被処理面の面方向全域において充分に相対移動するので、被処理面の全域で均一な処理を行うことができる。したがって、ワークの被処理面がワークの先端から窪んでいる場合であっても、被処理面を効率的に処理することができ、処理能力の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態における拭き取り装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態におけるワークの斜視図である。
【図３】本発明の実施形態における要部拡大図であり、図１のＡ部拡大図である。
【図４】本発明の実施形態における拭き取りユニットの断面斜視図である。
【図５】本発明の実施形態における拭き取りユニットの平面図である。
【図６】本発明の実施形態における作用を説明するための説明図であり、拭き取りユニットの平面図である。
【図７】本発明の実施形態における作用を説明するための説明図であり、拭き取りユニットの平面図である。
【図８】本発明の実施形態における作用を説明するための説明図であり、拭き取りユニットの平面図である。
【図９】従来の拭き取りユニットの動作を示す説明図である。
【図１０】従来の拭き取りユニットの動作を示す説明図である。
【図１１】従来の拭き取りユニットの動作を示す説明図である。
【図１２】従来の拭き取りユニットの動作を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
次に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は拭き取り装置（表面処理装置）の斜視図であり、図２はワークＷの斜視図である。
図１に示すように、本実施形態の拭き取り装置１は、クリーニング工程において、鏡筒レンズ等のワークＷのレンズ２表面（被清掃面２ａ）をクリーニングする装置である。まず、本実施形態のクリーニング対象であるワークＷは、図２に示すように、筒部３と、筒部３の軸方向中途部において、筒部３の開口部３ａを閉塞するように設けられたレンズ２とを備えている。すなわち、レンズ２は、筒部３の開口縁よりも軸方向内側に配置されている。
【００１８】
（拭き取り装置）
拭き取り装置１は、クリーニングテープ（処理部材）Ｔを供給するためのテープ繰り出し機構１０と、テープ繰り出し機構１０の上流側から第１ダンサーロールユニット１１と、第１テンションユニット１２と、クリーニング液供給ユニット１３と、拭き取りユニット１４と、昇降ユニット１５と、第２テンションユニット１６と、第２ダンサーロールユニット１７とで主に構成されている。
【００１９】
テープ繰り出し機構１０は、フレーム２０の上部（上流端）に配置され、クリーニングテープＴを供給するための供給源である供給リール２１と、下部（下流端）に配置され、クリーニングテープＴを巻き取るための巻取りリール２２とを備えている。
【００２０】
供給リール２１は、Ｘ方向に沿って延出するシャフト２５に回転可能に支持されたリール本体２６と、リール本体２６に隣接配置され、図示しない歯車伝達機構を介してリール本体２６を回転させるモーター等の駆動手段２７とを備えている。リール本体２６には、未使用のクリーニングテープＴが巻回されており、リール本体２６が回転（図１矢印Ｂ参照）することでクリーニングテープＴが下流側へ順次繰り出されるようになっている。なお、本実施形態で用いるクリーニングテープＴの材料としては、例えば不織布等をテープ状に延伸したものが好適に用いられている。
一方、巻取りリール２２は、供給リール２１と同一の構成からなり、供給リール２１の下方に配置されている。具体的には、シャフト２８に回転可能に支持されたリール本体２９と、駆動手段３０とを備えている。そして、上述した各ユニット１１〜１７は、クリーニングテープＴの走行方向（図１中矢印ＴＡ）に沿う両リール２１，２２間に順次配置されており、クリーニングテープＴは各ユニット１１〜１７間を架け渡された状態で、両リール２１，２２を連結している。そして、リール本体２９が回転（図１矢印Ｃ参照）することで、上流側から走行されるクリーニングテープＴが順次巻き取られるようになっている。
【００２１】
供給リール２１の下流側には、第１ダンサーロールユニット１１が配置されている。第１ダンサーロールユニット１１は、ダンサーロール３３と、ダンサーロール３３をＺ方向に沿って案内支持するガイド３４とを備えている。
【００２２】
ガイド３４は、厚さ方向（Ｘ方向）で対向する一対の板材３５，３６からなり、その上端部には両板材３５，３６を連結するための一対の支柱３７が設けられている。これら支柱３７は、クリーニングテープＴが走行する走行路としても機能するものであり、板材３５，３６の幅方向（Ｙ方向）の両端に回転可能に支持され、クリーニングテープＴが支柱３７を介して折り返されることにより走行方向が変化するようになっている。各板材３５，３６の幅方向（Ｙ方向）中央部、すなわち支柱３７の間には板材３５，３６の上端縁から下方（Ｚ方向）に沿って切り込まれたガイド溝３８が形成されている。
【００２３】
ダンサーロール３３は、軸方向をＸ方向に一致させた状態でガイド溝３８に支持された円柱状のものであり、その軸方向両端部がガイド溝３８の周縁を摺動することで、ガイド溝３８に上下動可能（図１中矢印Ｄ参照）に支持されている。また、ダンサーロール３３は、クリーニングテープＴを案内するガイドローラーの機能を有しており、ガイド溝３８に回転可能に支持されている。すなわち、ダンサーロール３３は、クリーニングテープＴの張力に応じて、ガイド溝３８内を上下動するように構成されている。なお、一方の板材３５には、ガイド溝３８の深さ方向（Ｚ方向）に沿って複数のセンサー３９が配列されている。これらセンサー３９は、レーザー光の投光部及び受信部を備えた光センサーであり、投光部からガイド溝３８をＹ方向に横切るようにレーザー光を出射するとともに、受光部によってダンサーロール３３で反射した反射光を受信することで、ダンサーロール３３のＺ方向における位置を検出できるようになっている。
【００２４】
第１ダンサーロールユニット１１の下流側には、回転可能に支持されたガイドローラー４０を挟んで第１テンションユニット１２が配置されている。この第１テンションユニット１２は、クリーニングテープＴを挟持可能な押さえ機構４３と、押さえ機構４３の下流側に配置され、クリーニングテープＴに張力を付与するテンション機構４４とを備えている。
【００２５】
押さえ機構４３は、フレーム２０に固定された押さえプレート４５と、クリーニングテープＴを間に挟んだ状態で対向配置され、クリーニングテープＴの走行方向に直交する方向（Ｙ方向）に沿ってスライド可能（図１中矢印Ｅ参照）に支持された押さえヘッド４６と、この押さえヘッド４６を駆動させるエアシリンダー等の駆動手段（不図示）とで構成されている。
また、押さえヘッド４６における押さえプレート４５との対向面には、クリーニングテープＴとの間の摩擦係数を向上させるために、ゴム等からなるグリップ部材４７が貼付されている。
【００２６】
また、テンション機構４４は、クリーニングテープＴの走行方向に直交する方向（Ｙ方向）に沿ってスライド可能（図１中矢印Ｆ参照）に支持されたスライドプレート４９と、スライドプレート４９を駆動させるエアシリンダー等の駆動手段（不図示）と、スライドプレート４９上に回転可能に支持されたテンションローラー５０とで構成されている。
【００２７】
図３は、図１のＡ部拡大図である。
図１，３に示すように、第１テンションユニット１２の下流側には、回転可能に支持されたガイドローラー５４を挟んでクリーニング液供給ユニット１３が配置されている。
クリーニング液供給ユニット１３は、クリーニングテープＴに対してクリーニング液を供給するためのものであり、フレーム２０からに延出するアングル５５に保持されたディスペンサー５６を備えている。このディスペンサー５６は、クリーニングテープＴの厚さ方向に対して傾斜して保持されており、図示しないクリーニング液の供給源から供給されたクリーニング液を、クリーニングテープＴの上面に対して噴射するように構成されている。なお、本実施形態のクリーニング液は、例えばアルコールと精製水との混合液からなる。
【００２８】
ここで、クリーニング液供給ユニット１３の下流側には、ワークＷを搬送する搬送ユニット６０が配置されている。搬送ユニット６０は、クリーニングテープＴの走行方向に直交する方向（Ｘ方向）に延出する搬送レール６１を備えている。この搬送レール６１は、拭き取り装置１と拭き取り装置１の前段に配置された図示しない加工装置との間を連結するものであり、加工装置で加工されたワークＷを、パレットＰに載置した状態で拭き取りユニット１４まで搬送するようになっている。すなわち、搬送レール６１は、一端側が加工装置の下流端に連結される一方、他端側が拭き取りユニット１４と昇降ユニット１５との間を通過するように構成されている。なお、パレットＰは、平板状の部材であり、その中央部にはパレットＰを厚さ方向に貫通する貫通孔Ｐ１が形成されている。そして、この貫通孔Ｐ１を塞ぐようにワークＷが載置されるようになっている。
【００２９】
また、拭き取りユニット１４の下方（Ｚ方向）には、拭き取りユニット１４に対向するように昇降ユニット１５が配置されている。この昇降ユニット１５は、クリーニングテープＴの厚さ方向（Ｚ方向）に沿って上下動可能（図１中矢印Ｊ参照）に支持されたスライドテーブル５７と、スライドテーブル５７の先端に設けられ、ワークＷをクリーニングポジションまで搬送するための搬送アーム５８とを備えている。
搬送アーム５８は、平面視Ｌ字型の部材であり、一端側がスライドテーブル５７の上端に固定される一方、他端側は上方に向かって延出している。また搬送アーム５８の他端側には、上方に向かってワークステージ５９が延出している。このワークステージ５９は、上述したパレットＰの貫通孔Ｐ１内に挿入可能な円柱形状の部材であり、パレットＰの下方から貫通孔Ｐ１内に挿入されワークＷを上方（Ｚ方向）に向けて押し上げるようになっている。
【００３０】
図１に示すように、クリーニング液供給ユニット１３の下流側には、拭き取りユニット１４を間に挟んで第２テンションユニット１６が配置されている。この第２テンションユニット１６は、クリーニングテープＴを厚さ方向に挟持可能な複数（例えば、２つ）の押さえ機構６４，６５を備え、これら押さえ機構６４，６５がクリーニングテープＴの走行方向に沿って並んで配置されている。
まず、各押さえ機構６４，６５は、上述した第１テンションユニット１２の押さえ機構４３と同一の構成であり、押さえプレート６６と、クリーニングテープＴを間に挟んだ状態で対向配置され、クリーニングテープＴの走行方向に直交する方向（Ｚ方向）に沿ってスライド可能（図１中矢印Ｇ参照）に支持された押さえヘッド６７と、この押さえヘッド６７を駆動させるエアシリンダー等の駆動手段（不図示）とで構成されている。また、押さえヘッド６７における押さえプレート６６との対向面にはゴム等からなるグリップ部材６８が貼付されている。
【００３１】
ここで、各押さえ機構６４，６５のうち、下流側の押さえ機構６５は、図示しないエアシリンダー等の駆動手段を介して、クリーニングテープＴの走行方向（Ｙ方向）に沿ってスライド可能（図１中矢印Ｈ参照）に構成されている。そして、押さえ機構６４，６５によって、クリーニングテープＴを挟持した状態で押さえ機構６５を下流側（Ｙ方向）にスライドさせることにより、クリーニングテープＴを所定長さだけ下流側に走行させるようになっている。
【００３２】
そして、第２テンションユニット１６の下流側には、第２ダンサーロールユニット１７が配置されている。第２ダンサーロールユニット１７は、上述した第１ダンサーロールユニット１１とほぼ同一の構成からなり、ダンサーロール７０と、ダンサーロール７０をＺ方向に沿って往復移動可能（図１中矢印Ｉ参照）に支持するガイド７１とを備えている。
【００３３】
ガイド７１の板材７２，７３の両端には、各板材７２，７３を連結するための円柱状の支柱７４が回転可能に支持されている。また、各板材７２，７３の幅方向（Ｙ方向）中央部、すなわち支柱７４の間には板材の上端縁から下方（Ｚ方向）に沿って切り込まれたガイド溝７５が形成されている。このガイド溝７５内において、ダンサーロール７０が上下動可能、かつ回転可能に支持されている。
そして、ダンサーロール７０の軸方向中央部には、ダンサーロール７０の下半部を回り込んで約１８０度折り返されるようにクリーニングテープＴがガイドされており、第２ダンサーロールユニット１７の下流側でクリーニングテープＴが巻取りリール２２に巻回されるようになっている。なお、一方の板材７２には、ガイド溝７５の深さ方向（Ｚ方向）に沿って複数のセンサー７６が配列されている。
【００３４】
（拭き取りユニット）
図４は拭き取りユニットの断面斜視図であり、図５は拭き取りユニットの平面図である。
ここで、図１に示すように、上述した拭き取りユニット１４は、クリーニングテープＴの走行方向に沿ってクリーニング液供給ユニット１３の下流側に隣接配置されるとともに、クリーニングテープＴを間に挟んで昇降ユニット１５の反対側に配置されている。具体的には、図４，５に示すように、拭き取りユニット１４は、フレーム２０（図１参照）から延出したブラケット８０にシャフトベース８４を介して固定され、摺動部の粉塵対策の機能を有するカバー８１と、カバー８１の下方に配置され、クリーニングテープＴを間に挟んだ状態でワークＷの被清掃面２ａに接触可能な拭き取りヘッド８２と、拭き取りヘッド８２を被清掃面２ａの面方向に沿って摺動させる移動機構８３とをそなえている。
【００３５】
カバー８１は、クリーニングテープＴの走行方向（Ｙ方向）と長手方向とを一致した状態で配置された直方体形状のものであり、その長手方向の両側面８１ａ，８１ｂには、シャフトベース８４，８５が固定されている。シャフトベース８４，８５は、Ｚ方向に沿って貫通する貫通孔８４ａ、８５ａ内にそれぞれ軸受け８６（例えば、ボールベアリング）が内嵌固定されている。なお、シャフトベース８４，８５は、ユニットとして一体形成されている。
【００３６】
移動機構８３は、シャフトベース８４に軸受け８６を介して回転可能に支持されたシャフト８７と、シャフト８７を中心軸Ｏ１回りに回転させるモーター８８と、シャフト８７の回転（図４中矢印Ｋ参照）によりシャフト８７の中心軸Ｏ１回りに拭き取りヘッド８２を公転させる公転機構９１と、シャフト８７に対して拭き取りヘッド８２を回動（往復回転運動）させるリンク機構９２とを備えている。
モーター８８は、シャフトベース８４の直上にモーターシャフト８９とシャフト８７との軸線を一致させた状態でブラケット８０の上部に連結されており（不図示）、モーターシャフト８９とシャフト８７の一端側とがカラー９０を介して連結されている。
【００３７】
シャフト８７の他端側は、径方向外側に張り出すフランジ部８７ａが形成されており、このフランジ部８７ａにシャフトカラー９３のフランジ部９３ａが締結固定されている。シャフトカラー９３は、軸受け（例えば、ボールベアリング）９４が内嵌固定された筒部９３ｂと、筒部９３ｂの上端側から径方向外側に向かって張り出した上述したフランジ部９３ａとで形成されている。筒部９３ｂの貫通孔９３ｃは、その中心軸（第２法線）Ｏ２とシャフト８７の中心軸（第１法線）Ｏ１とが所定距離Ｑだけオフセットした状態で形成されている。そして、貫通孔９３ｃ内には、軸受け９４を介してパッドシャフト９５が中心軸Ｏ２回りに回動可能に支持されている。なお、シャフト８７及びパッドシャフト９５により、パッドシャフト９５がシャフト８７の中心軸Ｏ１回りに公転する公転機構９１が構成されている。
【００３８】
一方、シャフトベース８５には、軸受け８６を介して支持シャフト９７が中心軸Ｏ３回りに回動可能に支持されている。この支持シャフト９７は、一端側にストップリング９８が固定される一方、他端側にはスライドヘッド９９が形成されている。このスライドヘッド９９は、その軸方向が支持シャフト９７の中心軸Ｏ３（Ｚ方向）に直交するように形成された筒状の部材であり、その貫通孔９９ａ内にはボールブッシュ１０１が内嵌固定されている。
【００３９】
そして、上述した支持シャフト９７とパッドシャフト９５との間には、両者を連結するアーム１０３が設けられている。このアーム１０３は、一端側が支持シャフト９７のスライドヘッド９９内にボールブッシュ１０１を介してスライド可能に支持される一方、他端側が連結ピン１０４を介してパッドシャフト９５に固定されている。なお、支持シャフト９７がアーム１０３によってパッドシャフト９５に連動可能に連結されることで、本実施形態のリンク機構９２が構成されている。また、移動機構８３の動作については、後に詳述する。
【００４０】
パッドシャフト９５の他端側は、カバー８１の底面８１ｃに形成された貫通孔８１ｄからカバー８１の下方へ向けて突出しており、この突出した部分に拭き取りヘッド８２が連結されている。この拭き取りヘッド８２は、筒状のホルダ部材１０９を備えている。ホルダ部材１０９は、パッドシャフト９５の中心軸Ｏ２の軸方向に一致させた状態で配置され、その軸方向中央部は内径が拡大した拡径部１０９ａが形成されている。ホルダ部材１０９内には、拭き取りパッド（処理部材）１１０が保持されている。この拭き取りパッド１１０は、筒状の保持部１１１と、この保持部１１１の貫通孔１１１ａ内に圧入された芯部１１２とで構成されている。保持部１１１の上端部には、径方向外側に張り出す外フランジ部１１１ｂが形成され、この外フランジ部１１１ｂがホルダ部材１０９の下端側の内フランジ部１０９ｃに当接した状態で、拭き取りパッド１１０がホルダ部材１０９に保持されている。また、ホルダ部材１０９の上端側の内フランジ部１０９ｂと、保持部１１１の外フランジ部１１１ｂとの間には、拭き取りパッド１１０を下方（内フランジ部１０９ｂと外フランジ部１１１ｂとが離間する方向）に向けて付勢する付勢手段１１３が介在されている。
【００４１】
芯部１１２は、その軸線がパッドシャフト９５の中心軸Ｏ２に一致した状態で保持部１１１に圧入されており、その先端（下端）が保持部１１１の下端面よりも下方に突出している。そして、芯部１１２の下方には、芯部１１２の軸方向（Ｚ方向）に直交する方向（Ｙ方向）に、クリーニングテープＴが走行するようになっており、クリーニング時には搬送アーム５８（図１参照）に保持されたワークＷとの間にクリーニングテープＴを挟んだ状態で被接触面２ａに押圧されるようになっている。また、芯部１１２の構成材料としては、例えばウレタン等が好適に用いられている。なお、芯部１１２は、その直径Ｄ１がワークＷの被清掃面２ａの半径Ｒ１よりも長くなるように設定されている（Ｄ１＞Ｒ１／２）。また、本実施形態のシャフトカラー９３や拭き取りヘッド８２は、パッドシャフト９５に対して着脱可能に構成されており、ワークＷの大きさに応じて芯部１１２の直径Ｄ１や、シャフト８７とパッドシャフト９５とのオフセット量を適宜調整できるようになっている。
【００４２】
（クリーニング方法）
次に、上述した拭き取り装置１を用いたワークＷのクリーニング方法を説明する。なお、拭き取り装置１の作動前には、各ダンサーロールユニット１１，１７のダンサーロール３３，７０は、ガイド溝３８，７５の最上点にあるものとする。
【００４３】
まず、図１に示すように、拭き取り装置１を作動させると、テープ繰り出し機構１０の駆動手段２７が駆動し、供給リール２１のリール本体２６を矢印Ｂ方向に回転させる。リール本体２６が回転すると、リール本体２６に巻回されたクリーニングテープＴが下流側へ供給される。この時、クリーニングテープＴはダンサーロール３３の自重によって、下流側へ引っ張られるようにして走行する。これに伴い、ダンサーロール３３は、ガイド溝３８内を下降する。すなわち、ダンサーロール３３の下半部を回り込んで約１８０度折り返されるように、クリーニングテープＴがガイドされる。そして、第１ダンサーロールユニット１１のセンサー３９（最下部のセンサー３９）によって、ダンサーロール３３の位置を検出した時点で駆動手段２７の駆動を停止し、リール本体２６の回転を停止させる。これにより、クリーニングテープＴは、各ユニット１１〜１７を通って、各ダンサーロールユニット１１，１７のダンサーロール３３，７０間に架け渡された状態となる。
【００４４】
また、本実施形態では、支柱３７間で弛んだ分だけ予めクリーニングテープＴを余分に供給し、この状態でクリーニングテープＴをダンサーロール３３によって保持させておく。このように、クリーニングテープＴを予め余計にダンサーロール３３に保持させておくことで、未使用のクリーニングテープＴを所定長さだけ供給する度に駆動手段２７を毎回駆動させることがない。その結果、クリーニングテープＴの張力を維持させた状態で、作業効率の向上及び作業コストの低減を図ることができる。
【００４５】
そして、クリーニングテープＴの供給が終了したら、押さえ機構６５の押さえヘッド６７を押さえプレート６６に向けてスライド（図１中矢印Ｇ参照）させ、押さえプレート６６とグリップ部材６８との間にクリーニングテープＴを挟持させる。そして、クリーニング液供給ユニット１３のディスペンサー５６から、クリーニングテープＴに向けてクリーニング液を供給するとともに、クリーニングテープＴを挟持させた状態で、押さえ機構６５を下流側へスライドさせる（図１中矢印Ｈ参照）。これにより、所定長さ（押さえ機構６５のスライド幅）のクリーニングテープＴが、クリーニング液が浸透した状態で拭き取りユニット１４の下方まで供給することができる。
【００４６】
その後、押さえ機構４３，６４の押さえヘッド４６，６７をそれぞれ押さえプレート４５，６６に向けてスライド（図１中矢印Ｅ，Ｇ参照）させ、押さえプレート４５，６６とグリップ部材４７，６８との間にクリーニングテープＴを挟持させる。
そして、テンション機構４４をスライド（図１中矢印Ｆ参照）させ、両者間に架け渡されたクリーニングテープＴに所定の張力を付与する。
【００４７】
一方、拭き取り装置１の前段の加工装置で加工されたワークＷは、搬送レール６１上をパレットＰにセットされた状態で、拭き取りユニット１４と昇降ユニット１５との間まで搬送される。この時点で、スライドテーブル５７を上昇（図１中矢印Ｊ参照）させると、搬送アーム５８のワークステージ５９がパレットＰの貫通孔Ｐ１を通ってワークＷの下面側に当接する。そして、さらにスライドテーブル５７を上方に向けてスライドさせると、ワークＷの被清掃面２ａがクリーニングテープＴを間に挟んで拭き取りパッド１１０の芯部１１２の先端面に接触する。このポジションが、ワークＷの被清掃面２ａのクリーニングが行われる、クリーニングポジションである（図３参照）。なお、このクリーニングポジションでは、図５に示すように、付勢手段１１３を介して芯部１１２からワークＷの被清掃面２ａに向けて、所定の押圧力が付与された状態で芯部１１２と被清掃面２ａとが接触しているとともに、シャフト８７の中心軸Ｏ１がワークＷ（被清掃面２ａ）の中心に一致した状態で保持されている。
【００４８】
ここで、図５〜８は、図４に相当する拭き取りユニットの平面図であって、クリーニング時における拭き取りユニットの動作方法を示す説明図である。なお、図５〜８では、被清掃面２ａ上を芯部１１２が９０度毎公転する図を示しており、図５〜８中白三角は芯部１１２の周方向における基準点を示す基準マークＭである。
図４，５に示すように、ワークＷがクリーニングポジションにある状態で、モーター８８を駆動させると、モーター８８の駆動力がシャフト８７に伝達され、シャフト８７が中心軸Ｏ１回りに回転し始める。すると、図４，６に示すように、パッドシャフト９５とシャフト８７とが、シャフト８７の径方向外側に所定距離Ｑだけオフセットした状態で連結されているため、パッドシャフト９５はシャフト８７の回転に連動して中心軸Ｏ１回りに公転することになる。
【００４９】
図９〜１２は、従来の拭き取りユニットの動作を示す説明図である。なお、以下の説明では、本実施形態と同様の構成については同様の符号を付して説明は省略する。
ところで、図９に示すように、従来の拭き取りユニット２００において、例えばパッドシャフト９５がシャフト８７に対して所定距離Ｑだけオフセットされた状態で固定されている場合、シャフト８７を回転させると、上述した動作と同様の動作によって、図１０〜１２に示すようにシャフト８７の中心軸Ｏ１回りにパッドシャフト９５が公転する（図９〜１２中基準マークＭ参照）。
この場合、被清掃面２ａの外周部分では、パッドシャフト９５と同軸上に連結された拭き取りヘッド２０１が、クリーニングテープ（不図示）を介して被清掃面２ａ上を摺動することになる。すなわち、被清掃面２ａと拭き取りヘッド２０１とが周方向において相対移動するため、被清掃面２ａの汚れが除去される。これに対して、被清掃面２ａの中央部分、すなわち被清掃面２ａの中心（シャフト８７の中心軸Ｏ１）からの距離が近くなるにつれ、拭き取りヘッド２０１と被清掃面２ａとの相対的な摺動が少ない。そのため、被清掃面２ａ上に付着した汚れを除去することができず、汚れが残存する虞がある。
【００５０】
これに対して、本実施形態では、パッドシャフト９５（公転機構９１）は、シャフトカラー９３の軸受け９４に、シャフト８７に対して回動可能に支持されるとともに、アーム１０３を介してリンク機構９２に連結されている。この場合、図６に示すように、パッドシャフト９５が中心軸Ｏ１回りに公転すると、これに連動して中心軸Ｏ２と中心軸Ｏ３とが離間する方向（アーム１０３の伸長方向）に向けて、アーム１０３がスライドヘッド９９上をスライド（図６中矢印Ｌ参照）する。これと同時に、支持シャフト９７が中心軸Ｏ３回りに回動する（図６中矢印Ｎ参照）。
【００５１】
すると、パッドシャフト９５はシャフト８７に回動可能に支持されているので、アーム１０３がスライドすることで、パッドシャフト９５が軸受け９４を介してパッドシャフト９５の公転方向Ｋとは反対の方向（図６中矢印Ｓ参照）に中心軸Ｏ２回りに回動し始める。その結果、パッドシャフト９５の基準マークＭの向きは、アーム１０３の軸方向に一致している。すなわち、パッドシャフト９５の中心軸Ｏ１回りの公転に伴って、パッドシャフト９５自体も中心軸Ｏ２回りに回動していることになる。
【００５２】
すなわち、上述した従来の拭き取りユニットの構成を示す図９〜１２では、パッドシャフト９５の公転時には、基準マークＭが常時中心軸Ｏ１を向いていることになり、被清掃面２ａの中央部分では被清掃面２ａ上に付着した汚れを効率的に除去することができない。これに対して、本実施形態ではパッドシャフト９５が軸受け９４を介してシャフト８７に回動可能に支持されているとともに、パッドシャフト９５の公転面内（被清掃面２ａ）において、パッドシャフト９５の公転に連動してパッドシャフト９５を回動させるリンク機構９２が連結されているので、パッドシャフト９５を回動させつつ公転させることができる。
【００５３】
よって、被清掃面２ａの外周部分では、パッドシャフト９５と同軸上に連結された拭き取りパッド１１０の芯部１１２が、クリーニングテープＴを介して被清掃面２ａの周縁に沿った状態で、被清掃面２ａ上を摺動することになる。すなわち、被清掃面２ａと芯部１１２とが周方向において充分に相対移動するため、クリーニングテープＴが被清掃面２ａ上に付着した汚れを拭き取りながら移動する。
一方、本実施形態では、パッドシャフト９５の公転に連動して、その公転方向Ｋとは反対の方向にパッドシャフト９５が中心軸Ｏ２回りに回動するため、芯部１１２は、その全体が被清掃面２ａ上を摺動するようにして移動する。これにより、被清掃面２ａの中央部分において、芯部１１２と被清掃面２ａとの相対的な摺動が、上述した図９〜１２の動作に比べて大きい。すなわち、芯部１１２の全体が被清掃面２ａ上を摺動しながら中心軸Ｏ１回りに公転することになる。その結果、被清掃面２ａの中央部分においても、被清掃面２ａと芯部１１２とが被清掃面２ａの面方向において充分に相対移動することで、クリーニングテープＴが被清掃面２ａ上に付着した汚れを拭き取りながら移動する。これにより、被清掃面２ａのクリーニングが効率的に行われる。
【００５４】
その後、図７に示すように、シャフト８７が図６の状態から中心軸Ｏ１回りにさらに９０度回転すると、シャフト８７の回転に連動してパッドシャフト９５が中心軸Ｏ２回りに９０度公転する。すると、上述した動作と同様にアーム１０３がスライドヘッド９９上をスライド（図７中矢印Ｌ参照）するとともに、支持シャフト９７が中心軸Ｏ３回りに回動する（図７中矢印Ｎ参照）。なお、この時点で中心軸Ｏ２と中心軸Ｏ３とは最も離間しており、アーム１０３が最も伸長した状態になる。これにより、パッドシャフト９５（芯部１１２）は、矢印Ｓ方向（公転方向Ｋと反対方向）に中心軸Ｏ２回りに回動しつつ、中心軸Ｏ１回りに公転する。この場合も、芯部１１２の基準マークＭは、アーム１０３の軸方向に一致しており、芯部１１２全体が被清掃面２ａ上を摺動しながら中心軸Ｏ１回りを公転することになる。
【００５５】
さらに、図８に示すように、パッドシャフト９５が図７の状態からさらに中心軸Ｏ１回りに９０度回転すると（図８中矢印Ｋ参照）、シャフト８７の回転に連動してパッドシャフト９５が中心軸Ｏ２回りに９０度公転する。これに連動して中心軸Ｏ２と中心軸Ｏ３とが接近する方向（アーム１０３の縮退方向）に向けて、アーム１０３がスライドヘッド９９上をスライド（図８中矢印Ｌ参照）する。これと同時に、支持シャフト９７が中心軸Ｏ３回りに回動する（図８中矢印Ｎ参照）。その結果、パッドシャフト９５（芯部１１２）は矢印Ｓ方向（公転方向Ｋと反対方向）に中心軸Ｏ２回りに回動しつつ、中心軸Ｏ１回りに公転する。そして、芯部１１２の基準マークＭは、アーム１０３の軸方向に一致しており、芯部１１２全体が被清掃面２ａ上を摺動しながら中心軸Ｏ１回りを公転することになる。
【００５６】
その後、図５に戻り、パッドシャフト９５が図８の状態からさらに中心軸Ｏ１回りに９０度回転すると（図５中矢印Ｋ参照）、シャフト８７の回転に連動してパッドシャフト９５が中心軸Ｏ２回りに９０度公転する。これに連動して中心軸Ｏ２と中心軸Ｏ３とが接近する方向（アーム１０３の縮退方向）に向けて、アーム１０３がスライドヘッド９９上をスライド（図５中矢印Ｌ参照）する。これと同時に、支持シャフト９７が中心軸Ｏ３回りに回動する（図５中矢印Ｎ参照）。その結果、パッドシャフト９５（芯部１１２）は矢印Ｓ方向（公転方向Ｋと反対方向）に中心軸Ｏ２回りに回動しつつ、中心軸Ｏ１回りに公転するそして、芯部１１２の基準マークＭは、アーム１０３の軸方向に一致しており、芯部１１２全体が被清掃面２ａ上を摺動しながら中心軸Ｏ１回りを公転することになる。
【００５７】
このように、本実施形態の拭き取りパッド１１０が中心軸Ｏ１回りに公転することで、この公転に連動して拭き取りパッド１１０自体が公転方向Ｋとは反対の方向Ｓに向けて回動することになる。これにより、拭き取りパッド１１０の芯部１１２全体が被清掃面２ａ上を摺動する。
さらに、拭き取りパッド１１０（芯部１１２）は、付勢手段１１３によって下方に向けて付勢されており、被清掃面２ａに向けて所定の押圧力が付与された状態で摺動しているので、被清掃面２ａの表面形状に倣って付勢手段１１３が伸長または縮退する。これにより、芯部１１２の先端面が、常に被清掃面２ａの法線方向に直交した状態で摺動することになる。
その結果、被清掃面２ａの面方向全域に亘って、均一な押圧力が付与された状態で、クリーニングテープＴが被清掃面２ａ上に付着した汚れを拭き取りながら摺動する。これにより、被清掃面２ａの全域で均一なクリーニング能力を発揮させることができる。
【００５８】
なお、図１に示すように、ワークＷのクリーニングが終了すると、搬送アーム５８を下降させ、再びワークＷをパレットＰ上に載置する。そして、ワークＷをパレットＰとともに拭き取り装置１から搬出する。
【００５９】
その後、次のワークＷをクリーニングするには、押さえ機構６５の押さえプレート６６をスライド（図１中矢印Ｇ参照）させ、クリーニングテープＴを解除するとともに、押さえ機構６５をクリーニングテープＴの上流側（図１中矢印Ｈ参照）にスライドさせる。そして、押さえ機構４３，６４からクリーニングテープＴを解除するとともに、テンション機構４４をクリーニングテープＴから離間する方向にスライドさせる。
次に、押さえ機構６５により再びクリーニングテープＴを挟持させ、この状態で押さえ機構６５を下流側にスライドさせる。すると、クリーニングテープＴが下流側に沿って引っ張られる。これにより、ダンサーロール３３がガイド溝３８内を上昇し、ダンサーロール３３に保持されたクリーニングテープＴを所定長さだけ下流側に供給することができる。その後、上述した動作と同様の動作によりワークＷの被清掃面２ａをクリーニングする。
【００６０】
なお、ワークＷのクリーニングに用いられた使用済みのクリーニングテープＴは、送り機構６５の下流側においてダンサーロール７０に保持されている。すなわち、クリーニングテープＴが下流側に走行する度に、ダンサーロール７０はガイド溝７５内を下降し、クリーニングテープＴは支柱７４間に弛んだ状態で保持される。そして、クリーニングが行われ続けると、ダンサーロール７０は徐々にガイド溝７５内を下降していく。この場合、ダンサーロール７０がセンサー７６（最下部のセンサー７６）によって検出された時点で、巻取りリール２２の駆動手段３０を駆動させる。これにより、リール本体２９が回転（図１中矢印Ｃ参照）し、ダンサーロール７０で保持された使用済みのクリーニングテープＴは一斉に巻取りリール２２のリール本体２９に巻き取られることになる。これにより、ダンサーロール７０は、再びガイド溝７０の最上点まで上昇する。このような動作を繰り返すことで、クリーニングテープＴを下流側に供給する度に駆動手段３０を駆動させることがないので、クリーニングテープＴの張力を維持させた状態で、作業効率の向上及び作業コストの低減を図ることができる。
【００６１】
以上、本実施形態によれば、芯部１１２の直径Ｄ１が被清掃面２ａの半径Ｒ１よりも大きくなるように設定したため、芯部１１２が中心軸Ｏ１回りに１回転（公転）することで被清掃面２ａの全域に接触することになる。
特に、本実施形態では、拭き取りパッド１１０（芯部１１２）を、その中心軸Ｏ２周りに回動させつつ、中心軸Ｏ１回りに公転させる構成とした。
この構成によれば、芯部１１２は、中心軸Ｏ２回りに回動しながら被清掃面２ａ上を摺動することになる。これにより、被清掃面２ａの外周部分において、拭き取りパッド１１０の芯部１１２が、クリーニングテープＴを介して被清掃面２ａの周縁に沿った状態で、被清掃面２ａ上を摺動することになる。すなわち、被清掃面２ａと芯部１１２とが周方向において充分に相対移動するため、クリーニングテープＴが被清掃面２ａ上に付着した汚れを拭き取りながら移動する。
一方、被清掃面２ａの中央部分においても、被清掃面２ａと芯部１１２とが被清掃面２ａの面方向において充分に相対移動することで、クリーニングテープＴが被清掃面２ａ上に付着した汚れを拭き取りながら移動する。
【００６２】
すなわち、公転機構９１及びリンク機構９２を用いて、芯部１１２全体を被清掃面２ａ上で摺動させることで、本実施形態のワークＷのように、被清掃面２ａがワークＷの先端から窪んでいる場合であっても、被清掃面２ａの全面に亘って均一な押圧力を付与した状態で芯部１１２を摺動させることができる。これにより、クリーニングテープＴが被清掃面２ａ上に付着した汚れを拭き取りながら移動し、被清掃面２ａを効率的にクリーニングすることができる。したがって、例えば拭き取りヘッドが公転のみを行う場合に比べて、クリーニング能力の向上を図ることができる。その結果、汚れ等の付着がない、信頼性の高い製品を提供することができる。
しかも、本実施形態では、モーター等の駆動手段を１つだけで動作させることができるので、構成の簡素化及び装置コストの低減が可能になる。
【００６３】
また、本実施形態では、クリーニング液供給ユニット１３を拭き取りユニット１４に隣接配置することで、ワークＷをクリーニングする直前でクリーニングテープＴにクリーニング液を供給することができる。これにより、クリーニング液の揮発等を防ぎ、効率的にクリーニングを行うことができる。
さらに、本実施形態では、クリーニング部材にクリーニングテープＴを用いているため、クリーニングテープＴを順次走行させることで、従来のようにパッド状のものを用いた場合に異なり、クリーニング部材の交換等を要することなく、常に清潔な状態で被清掃面２ａをクリーニングすることができる。これにより、さらなる作業効率の向上を図ることができる。また、クリーニング部材にブラシを用いた場合のように、ブラシが絡まって捩れたりする虞もないので、メンテナンス性の向上も図ることができる。
なお、本実施形態では、拭き取りユニット１４における各シャフト８７，９５，９７の動作支持部にボールベアリング等の軸受け８６，９４を採用するとともに、アーム１０３の動作支持部にボールブッシュ１０１を採用することで、動作支持部での金属摩擦により生じる磨耗粉の発生を抑制することができる。また、万が一磨耗粉が発生したとしても、これら動作支持部がカバー８１により覆われているため、これら磨耗粉がレンズ２の被清掃面２ａに付着することを防ぐことができる。その結果、被清掃面２ａを清潔な状態に維持することができる。
【００６４】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこれら実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【００６５】
例えば、上述した実施形態では、拭き取りパッド１１０（芯部１１２）の中心軸Ｏ２回りに回動させながら中心軸Ｏ１回りに公転させる構成であれば、上述の移動機構８３に限らず種々の機構を採用することが可能である。また、拭き取りパッド１１０の回動角度は、適宜設計変更が可能である。
また、上述した実施形態では、クリーニング部材にクリーニングテープＴを用いた場合について説明したが、これに限らず、クリーニング部材となるパッドを拭き取りパッド１１０に直接取り付ける構成にしてもよい。また、クリーニング部材にブラシを用いても構わない。
【００６６】
さらに、上述した実施形態では、鏡筒レンズ等のワークＷの被清掃面２ａに対して清掃を行う場合について説明したが、これに限らず、被清掃面が先端から凹状に窪んだ位置に配置された種々のワークＷに対して用いることが可能である。また、レンズ２は、曲面を有する凸レンズ等であってもよい。
また、拭き取りパッド１１０の芯部１１２の先端面形状は、円形に限らず、矩形等に形成してもよい。
【００６７】
さらに、上述の実施形態では、本発明の表面処理装置をワークＷの被清掃面２ａをクリーニングする場合について説明したが、これに限らず被処理面を研磨したり、塗料を塗布したりする場合についても本発明の表面処理装置を採用することが可能である。
【符号の説明】
【００６８】
１…拭き取り装置（表面処理装置） ２ａ…被清掃面（被処理面） １３…クリーニング液供給ユニット １５…昇降ユニット ８２…拭き取りパッド（パッド） ８３…移動機構 ８７…シャフト ９１…公転機構 ９２…リンク機構 ９５…パッドシャフト ９７…支持シャフト １０３…アーム Ｔ…クリーニングテープ（処理部材） Ｗ…ワーク Ｏ１…シャフトの中心軸（第１法線） Ｏ２…パッドシャフトの中心軸（第２法線） Ｏ３…支持シャフトの中心軸（第３法線）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、レンズやディスク等の円盤状のワークの表面をクリーニングするための拭き取り装置（表面処理装置）が知られている。
このような拭き取り装置としては、ブラシ状やパッド状に形成されたクリーニング部材をワークの表面（被清掃面）に対して摺動させて、ワーク表面の汚れ等を除去するものがある（例えば、特許文献１，２参照）。
ところが、上述した従来技術では、使用するうちにワークから拭き取った汚れや、クリーニング液がクリーニング部材に付着したまま残存することで、クリーニング部材のクリーニング能力が経時劣化するという問題があった。クリーニング能力を維持するためには、クリーニング部材の交換作業やメンテナンス作業を頻繁に行う必要があり、それらの作業が煩雑であった。
【０００３】
これに対して、例えば特許文献３に示されるように、連続的に走行するテープ状のクリーニング部材をワーク表面に対して摺動させることにより、ワーク表面をクリーニングするような構成が知られている。
【０００４】
ところで、拭き取り装置によりクリーニングするワークとしては、例えば鏡筒レンズのように、被清掃面がワークの先端から凹状に窪んだ位置に配置されている場合がある。この場合、被清掃面の全域にクリーニング部材を到達させることが難しく、被清掃面に拭き残し等が生じるという問題がある。
そこで、例えば、特許文献４に示されるように、テープ状のクリーニング部材を厚さ方向に挟んで一端側にワーク、他端側にワークの凹部内に押し込まれる凸部を有し、この凸部を凹部内に配置した状態で、ワークの軸方向に直交する方向に凸部を往復移動させながらワークの被清掃面をクリーニングするような構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−９６３９２号公報
【特許文献２】特開２００８−２６９６８５号公報
【特許文献３】特開平２−１３４７８４号公報
【特許文献４】特開平７−１３８０３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、凹状のワークの被清掃面をクリーニングする際、上述の特許文献４の構成では、クリーニング能力が不充分であった。すなわち、クリーニング部材を一定方向に往復移動させながらクリーニングしても、被清掃面の面方向全域に亘ってクリーニング部材が到達せず、例えば、被清掃面の外周部分等において汚れが残存するという問題がある。
【０００７】
また、ブラシ状のクリーニング部材を用い、クリーニング部材を回転させることも考えられる。
ところが、この構成ではクリーニング部材が回転することによりブラシが捩れて絡まるという問題がある。また、クリーニング部材の回転中心及びその近傍では、被清掃面とクリーニング部材との周方向における相対的な摺動が少ない。そのため、被清掃面上に付着した汚れを完全に除去することができず、汚れが残存する虞がある。
【０００８】
そこで、本発明は、上述の課題に鑑みてなされたものであって、被清掃面の全域に亘って良好なクリーニング能力を得ることができる表面処理装置及を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明に係る表面処理装置は、円筒状のワークにおける凹部底面を被処理面とし、前記被処理面の面方向に沿って前記被処理面と処理部材とを相対的に摺動させることで、前記被処理面を処理する表面処理装置において、前記処理部材における前記被処理面との接触面の直径は、前記被処理面の半径よりも大きく設定され、前記ワークと前記処理部材とを相対移動させる移動機構を備え、前記移動機構は、回転可能に支持され、駆動力が付与されるシャフトを備え、前記シャフトの中心を通る第１法線と、前記処理部材の中心を通る第２法線とをオフセットさせた状態で、前記第１法線回りに前記処理部材を公転させるとともに、公転面内において、前記処理部材を前記第２法線回りに回動させることを特徴としている。
【００１０】
この構成によれば、処理部材における接触面の直径が被清掃面の半径よりも大きくなるように設定したため、処理部材が第１法線回りに１回転（公転）することで被処理面の全域に接触することになる。
しかも、処理部材を、第１法線回りに公転させつつ、この公転に連動して第２法線回りに回動させることで、処理部材が公転のみを行う場合と異なり、処理部材の全体が被清掃面上を摺動するようにして移動する。
これにより、被処理面と処理部材とが、被処理面の面方向全域において充分に相対移動するので、被処理面の全域で均一な処理を行うことができる。したがって、ワークの被処理面がワークの先端から窪んでいる場合であっても、被処理面を効率的に処理することができ、処理能力の向上を図ることができる。
【００１１】
また、前記移動機構は、前記処理部材を前記第１法線回りに公転させる公転機構と、前記処理部材を前記第２法線回りに回動させるリンク機構とを備え、前記公転機構は、前記第２法線上において、一端が前記シャフトに回動可能に連結され、他端に前記処理部材が固定されたパッドシャフトとを備え、前記リンク機構は、前記第２法線から所定距離オフセットさせた位置に配置された支持シャフトと、前記支持シャフトと前記パッドシャフトとを連結するアームとを備え、前記アームは、一端が前記パッドシャフトに固定される一方、他端が前記支持シャフトの中心を通る第３法線回りに回動可能に、なおかつ前記アームの軸方向に沿ってスライド可能に、前記支持シャフトに支持されていることを特徴としている。
この構成によれば、シャフトに駆動力が付与されてシャフトが第１法線回りに回転すると、まずパッドシャフトが処理部材とともに第１法線回りに公転しようとする。この場合、パッドシャフトにはアームが固定されているので、パッドシャフトが公転しようとすると、この公転に連動してアームが第３法線回りに回動するとともに、アームが軸方向にスライドする。そして、パッドシャフトはシャフトに回動可能に支持されているので、アームがスライドすることでパッドシャフトが第２法線回りに回動することになる。
その結果、処理部材は、その全体が被処理面上を摺動するようにして移動する。これにより、被処理面の中央部分においても、被処理面とパッドとが被処理面の面方向において充分に相対移動するため、処理部材により被処理面の全域に亘って均一な処理を行うことができる。これにより、処理能力の向上を図ることができるため、信頼性の高い製品を提供することができる。
また、モーター等の駆動手段を１つだけで動作させることができるので、構成の簡素化及び装置コストの低減が可能になる。
【００１２】
また、前記処理部材は、前記被処理面のクリーニングを行うためのクリーニングテープと、前記クリーニングテープを介して前記被処理面を押圧するパッドとを備え、前記クリーニングテープは、前記被処理面の面方向に沿って順次送られるように構成されていることを特徴としている。
この構成によれば、被処理面をクリーニングするためのクリーニング部材にクリーニングテープを用いることで、従来のようにパッド状のクリーニング部材を用いた場合と異なり、クリーニング部材の交換等を要することなく、常に清潔な状態で被清掃面をクリーニングすることができる。これにより、さらなる作業効率の向上を図ることができる。
また、クリーニング部材にブラシを用いた場合のように、ブラシが絡まって捩れたりする虞もないので、メンテナンス性の向上も図ることができる。
【００１３】
また、前記クリーニングテープに向けてクリーニング液を供給するためのクリーニング液供給ユニットが、前記クリーニングテープの送り方向の上流側で前記パッドに隣接配置されていることを特徴としている。
この構成によれば、クリーニング液供給ユニットをパッドに隣接配置することで、ワークをクリーニングする直前でクリーニング部材にクリーニング液を供給することができる。これにより、クリーニング液の揮発等を防ぎ、効率的にクリーニングを行うことができる。
【００１４】
また、前記パッドは、前記被処理面に向けて付勢されていることを特徴としている。
この構成によれば、パッドが付勢手段によって被処理面に向けて付勢されているので、被処理面に向けて所定の押圧力が付与された状態で摺動することになる。これにより、被処理面の表面形状に倣って付勢手段が伸長または縮退するため、パッドの先端面が常に被処理面の法線方向に直交した状態で摺動することになる。これにより、被処理面の面方向全域に亘って、均一な押圧力が付与された状態で、処理部材が摺動するので、被処理面の全域で均一な処理を行うことができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る表面処理装置によれば、被処理面と処理部材とが、被処理面の面方向全域において充分に相対移動するので、被処理面の全域で均一な処理を行うことができる。したがって、ワークの被処理面がワークの先端から窪んでいる場合であっても、被処理面を効率的に処理することができ、処理能力の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態における拭き取り装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態におけるワークの斜視図である。
【図３】本発明の実施形態における要部拡大図であり、図１のＡ部拡大図である。
【図４】本発明の実施形態における拭き取りユニットの断面斜視図である。
【図５】本発明の実施形態における拭き取りユニットの平面図である。
【図６】本発明の実施形態における作用を説明するための説明図であり、拭き取りユニットの平面図である。
【図７】本発明の実施形態における作用を説明するための説明図であり、拭き取りユニットの平面図である。
【図８】本発明の実施形態における作用を説明するための説明図であり、拭き取りユニットの平面図である。
【図９】従来の拭き取りユニットの動作を示す説明図である。
【図１０】従来の拭き取りユニットの動作を示す説明図である。
【図１１】従来の拭き取りユニットの動作を示す説明図である。
【図１２】従来の拭き取りユニットの動作を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
次に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は拭き取り装置（表面処理装置）の斜視図であり、図２はワークＷの斜視図である。
図１に示すように、本実施形態の拭き取り装置１は、クリーニング工程において、鏡筒レンズ等のワークＷのレンズ２表面（被清掃面２ａ）をクリーニングする装置である。まず、本実施形態のクリーニング対象であるワークＷは、図２に示すように、筒部３と、筒部３の軸方向中途部において、筒部３の開口部３ａを閉塞するように設けられたレンズ２とを備えている。すなわち、レンズ２は、筒部３の開口縁よりも軸方向内側に配置されている。
【００１８】
（拭き取り装置）
拭き取り装置１は、クリーニングテープ（処理部材）Ｔを供給するためのテープ繰り出し機構１０と、テープ繰り出し機構１０の上流側から第１ダンサーロールユニット１１と、第１テンションユニット１２と、クリーニング液供給ユニット１３と、拭き取りユニット１４と、昇降ユニット１５と、第２テンションユニット１６と、第２ダンサーロールユニット１７とで主に構成されている。
【００１９】
テープ繰り出し機構１０は、フレーム２０の上部（上流端）に配置され、クリーニングテープＴを供給するための供給源である供給リール２１と、下部（下流端）に配置され、クリーニングテープＴを巻き取るための巻取りリール２２とを備えている。
【００２０】
供給リール２１は、Ｘ方向に沿って延出するシャフト２５に回転可能に支持されたリール本体２６と、リール本体２６に隣接配置され、図示しない歯車伝達機構を介してリール本体２６を回転させるモーター等の駆動手段２７とを備えている。リール本体２６には、未使用のクリーニングテープＴが巻回されており、リール本体２６が回転（図１矢印Ｂ参照）することでクリーニングテープＴが下流側へ順次繰り出されるようになっている。なお、本実施形態で用いるクリーニングテープＴの材料としては、例えば不織布等をテープ状に延伸したものが好適に用いられている。
一方、巻取りリール２２は、供給リール２１と同一の構成からなり、供給リール２１の下方に配置されている。具体的には、シャフト２８に回転可能に支持されたリール本体２９と、駆動手段３０とを備えている。そして、上述した各ユニット１１〜１７は、クリーニングテープＴの走行方向（図１中矢印ＴＡ）に沿う両リール２１，２２間に順次配置されており、クリーニングテープＴは各ユニット１１〜１７間を架け渡された状態で、両リール２１，２２を連結している。そして、リール本体２９が回転（図１矢印Ｃ参照）することで、上流側から走行されるクリーニングテープＴが順次巻き取られるようになっている。
【００２１】
供給リール２１の下流側には、第１ダンサーロールユニット１１が配置されている。第１ダンサーロールユニット１１は、ダンサーロール３３と、ダンサーロール３３をＺ方向に沿って案内支持するガイド３４とを備えている。
【００２２】
ガイド３４は、厚さ方向（Ｘ方向）で対向する一対の板材３５，３６からなり、その上端部には両板材３５，３６を連結するための一対の支柱３７が設けられている。これら支柱３７は、クリーニングテープＴが走行する走行路としても機能するものであり、板材３５，３６の幅方向（Ｙ方向）の両端に回転可能に支持され、クリーニングテープＴが支柱３７を介して折り返されることにより走行方向が変化するようになっている。各板材３５，３６の幅方向（Ｙ方向）中央部、すなわち支柱３７の間には板材３５，３６の上端縁から下方（Ｚ方向）に沿って切り込まれたガイド溝３８が形成されている。
【００２３】
ダンサーロール３３は、軸方向をＸ方向に一致させた状態でガイド溝３８に支持された円柱状のものであり、その軸方向両端部がガイド溝３８の周縁を摺動することで、ガイド溝３８に上下動可能（図１中矢印Ｄ参照）に支持されている。また、ダンサーロール３３は、クリーニングテープＴを案内するガイドローラーの機能を有しており、ガイド溝３８に回転可能に支持されている。すなわち、ダンサーロール３３は、クリーニングテープＴの張力に応じて、ガイド溝３８内を上下動するように構成されている。なお、一方の板材３５には、ガイド溝３８の深さ方向（Ｚ方向）に沿って複数のセンサー３９が配列されている。これらセンサー３９は、レーザー光の投光部及び受信部を備えた光センサーであり、投光部からガイド溝３８をＹ方向に横切るようにレーザー光を出射するとともに、受光部によってダンサーロール３３で反射した反射光を受信することで、ダンサーロール３３のＺ方向における位置を検出できるようになっている。
【００２４】
第１ダンサーロールユニット１１の下流側には、回転可能に支持されたガイドローラー４０を挟んで第１テンションユニット１２が配置されている。この第１テンションユニット１２は、クリーニングテープＴを挟持可能な押さえ機構４３と、押さえ機構４３の下流側に配置され、クリーニングテープＴに張力を付与するテンション機構４４とを備えている。
【００２５】
押さえ機構４３は、フレーム２０に固定された押さえプレート４５と、クリーニングテープＴを間に挟んだ状態で対向配置され、クリーニングテープＴの走行方向に直交する方向（Ｙ方向）に沿ってスライド可能（図１中矢印Ｅ参照）に支持された押さえヘッド４６と、この押さえヘッド４６を駆動させるエアシリンダー等の駆動手段（不図示）とで構成されている。
また、押さえヘッド４６における押さえプレート４５との対向面には、クリーニングテープＴとの間の摩擦係数を向上させるために、ゴム等からなるグリップ部材４７が貼付されている。
【００２６】
また、テンション機構４４は、クリーニングテープＴの走行方向に直交する方向（Ｙ方向）に沿ってスライド可能（図１中矢印Ｆ参照）に支持されたスライドプレート４９と、スライドプレート４９を駆動させるエアシリンダー等の駆動手段（不図示）と、スライドプレート４９上に回転可能に支持されたテンションローラー５０とで構成されている。
【００２７】
図３は、図１のＡ部拡大図である。
図１，３に示すように、第１テンションユニット１２の下流側には、回転可能に支持されたガイドローラー５４を挟んでクリーニング液供給ユニット１３が配置されている。
クリーニング液供給ユニット１３は、クリーニングテープＴに対してクリーニング液を供給するためのものであり、フレーム２０からに延出するアングル５５に保持されたディスペンサー５６を備えている。このディスペンサー５６は、クリーニングテープＴの厚さ方向に対して傾斜して保持されており、図示しないクリーニング液の供給源から供給されたクリーニング液を、クリーニングテープＴの上面に対して噴射するように構成されている。なお、本実施形態のクリーニング液は、例えばアルコールと精製水との混合液からなる。
【００２８】
ここで、クリーニング液供給ユニット１３の下流側には、ワークＷを搬送する搬送ユニット６０が配置されている。搬送ユニット６０は、クリーニングテープＴの走行方向に直交する方向（Ｘ方向）に延出する搬送レール６１を備えている。この搬送レール６１は、拭き取り装置１と拭き取り装置１の前段に配置された図示しない加工装置との間を連結するものであり、加工装置で加工されたワークＷを、パレットＰに載置した状態で拭き取りユニット１４まで搬送するようになっている。すなわち、搬送レール６１は、一端側が加工装置の下流端に連結される一方、他端側が拭き取りユニット１４と昇降ユニット１５との間を通過するように構成されている。なお、パレットＰは、平板状の部材であり、その中央部にはパレットＰを厚さ方向に貫通する貫通孔Ｐ１が形成されている。そして、この貫通孔Ｐ１を塞ぐようにワークＷが載置されるようになっている。
【００２９】
また、拭き取りユニット１４の下方（Ｚ方向）には、拭き取りユニット１４に対向するように昇降ユニット１５が配置されている。この昇降ユニット１５は、クリーニングテープＴの厚さ方向（Ｚ方向）に沿って上下動可能（図１中矢印Ｊ参照）に支持されたスライドテーブル５７と、スライドテーブル５７の先端に設けられ、ワークＷをクリーニングポジションまで搬送するための搬送アーム５８とを備えている。
搬送アーム５８は、平面視Ｌ字型の部材であり、一端側がスライドテーブル５７の上端に固定される一方、他端側は上方に向かって延出している。また搬送アーム５８の他端側には、上方に向かってワークステージ５９が延出している。このワークステージ５９は、上述したパレットＰの貫通孔Ｐ１内に挿入可能な円柱形状の部材であり、パレットＰの下方から貫通孔Ｐ１内に挿入されワークＷを上方（Ｚ方向）に向けて押し上げるようになっている。
【００３０】
図１に示すように、クリーニング液供給ユニット１３の下流側には、拭き取りユニット１４を間に挟んで第２テンションユニット１６が配置されている。この第２テンションユニット１６は、クリーニングテープＴを厚さ方向に挟持可能な複数（例えば、２つ）の押さえ機構６４，６５を備え、これら押さえ機構６４，６５がクリーニングテープＴの走行方向に沿って並んで配置されている。
まず、各押さえ機構６４，６５は、上述した第１テンションユニット１２の押さえ機構４３と同一の構成であり、押さえプレート６６と、クリーニングテープＴを間に挟んだ状態で対向配置され、クリーニングテープＴの走行方向に直交する方向（Ｚ方向）に沿ってスライド可能（図１中矢印Ｇ参照）に支持された押さえヘッド６７と、この押さえヘッド６７を駆動させるエアシリンダー等の駆動手段（不図示）とで構成されている。また、押さえヘッド６７における押さえプレート６６との対向面にはゴム等からなるグリップ部材６８が貼付されている。
【００３１】
ここで、各押さえ機構６４，６５のうち、下流側の押さえ機構６５は、図示しないエアシリンダー等の駆動手段を介して、クリーニングテープＴの走行方向（Ｙ方向）に沿ってスライド可能（図１中矢印Ｈ参照）に構成されている。そして、押さえ機構６４，６５によって、クリーニングテープＴを挟持した状態で押さえ機構６５を下流側（Ｙ方向）にスライドさせることにより、クリーニングテープＴを所定長さだけ下流側に走行させるようになっている。
【００３２】
そして、第２テンションユニット１６の下流側には、第２ダンサーロールユニット１７が配置されている。第２ダンサーロールユニット１７は、上述した第１ダンサーロールユニット１１とほぼ同一の構成からなり、ダンサーロール７０と、ダンサーロール７０をＺ方向に沿って往復移動可能（図１中矢印Ｉ参照）に支持するガイド７１とを備えている。
【００３３】
ガイド７１の板材７２，７３の両端には、各板材７２，７３を連結するための円柱状の支柱７４が回転可能に支持されている。また、各板材７２，７３の幅方向（Ｙ方向）中央部、すなわち支柱７４の間には板材の上端縁から下方（Ｚ方向）に沿って切り込まれたガイド溝７５が形成されている。このガイド溝７５内において、ダンサーロール７０が上下動可能、かつ回転可能に支持されている。
そして、ダンサーロール７０の軸方向中央部には、ダンサーロール７０の下半部を回り込んで約１８０度折り返されるようにクリーニングテープＴがガイドされており、第２ダンサーロールユニット１７の下流側でクリーニングテープＴが巻取りリール２２に巻回されるようになっている。なお、一方の板材７２には、ガイド溝７５の深さ方向（Ｚ方向）に沿って複数のセンサー７６が配列されている。
【００３４】
（拭き取りユニット）
図４は拭き取りユニットの断面斜視図であり、図５は拭き取りユニットの平面図である。
ここで、図１に示すように、上述した拭き取りユニット１４は、クリーニングテープＴの走行方向に沿ってクリーニング液供給ユニット１３の下流側に隣接配置されるとともに、クリーニングテープＴを間に挟んで昇降ユニット１５の反対側に配置されている。具体的には、図４，５に示すように、拭き取りユニット１４は、フレーム２０（図１参照）から延出したブラケット８０にシャフトベース８４を介して固定され、摺動部の粉塵対策の機能を有するカバー８１と、カバー８１の下方に配置され、クリーニングテープＴを間に挟んだ状態でワークＷの被清掃面２ａに接触可能な拭き取りヘッド８２と、拭き取りヘッド８２を被清掃面２ａの面方向に沿って摺動させる移動機構８３とをそなえている。
【００３５】
カバー８１は、クリーニングテープＴの走行方向（Ｙ方向）と長手方向とを一致した状態で配置された直方体形状のものであり、その長手方向の両側面８１ａ，８１ｂには、シャフトベース８４，８５が固定されている。シャフトベース８４，８５は、Ｚ方向に沿って貫通する貫通孔８４ａ、８５ａ内にそれぞれ軸受け８６（例えば、ボールベアリング）が内嵌固定されている。なお、シャフトベース８４，８５は、ユニットとして一体形成されている。
【００３６】
移動機構８３は、シャフトベース８４に軸受け８６を介して回転可能に支持されたシャフト８７と、シャフト８７を中心軸Ｏ１回りに回転させるモーター８８と、シャフト８７の回転（図４中矢印Ｋ参照）によりシャフト８７の中心軸Ｏ１回りに拭き取りヘッド８２を公転させる公転機構９１と、シャフト８７に対して拭き取りヘッド８２を回動（往復回転運動）させるリンク機構９２とを備えている。
モーター８８は、シャフトベース８４の直上にモーターシャフト８９とシャフト８７との軸線を一致させた状態でブラケット８０の上部に連結されており（不図示）、モーターシャフト８９とシャフト８７の一端側とがカラー９０を介して連結されている。
【００３７】
シャフト８７の他端側は、径方向外側に張り出すフランジ部８７ａが形成されており、このフランジ部８７ａにシャフトカラー９３のフランジ部９３ａが締結固定されている。シャフトカラー９３は、軸受け（例えば、ボールベアリング）９４が内嵌固定された筒部９３ｂと、筒部９３ｂの上端側から径方向外側に向かって張り出した上述したフランジ部９３ａとで形成されている。筒部９３ｂの貫通孔９３ｃは、その中心軸（第２法線）Ｏ２とシャフト８７の中心軸（第１法線）Ｏ１とが所定距離Ｑだけオフセットした状態で形成されている。そして、貫通孔９３ｃ内には、軸受け９４を介してパッドシャフト９５が中心軸Ｏ２回りに回動可能に支持されている。なお、シャフト８７及びパッドシャフト９５により、パッドシャフト９５がシャフト８７の中心軸Ｏ１回りに公転する公転機構９１が構成されている。
【００３８】
一方、シャフトベース８５には、軸受け８６を介して支持シャフト９７が中心軸Ｏ３回りに回動可能に支持されている。この支持シャフト９７は、一端側にストップリング９８が固定される一方、他端側にはスライドヘッド９９が形成されている。このスライドヘッド９９は、その軸方向が支持シャフト９７の中心軸Ｏ３（Ｚ方向）に直交するように形成された筒状の部材であり、その貫通孔９９ａ内にはボールブッシュ１０１が内嵌固定されている。
【００３９】
そして、上述した支持シャフト９７とパッドシャフト９５との間には、両者を連結するアーム１０３が設けられている。このアーム１０３は、一端側が支持シャフト９７のスライドヘッド９９内にボールブッシュ１０１を介してスライド可能に支持される一方、他端側が連結ピン１０４を介してパッドシャフト９５に固定されている。なお、支持シャフト９７がアーム１０３によってパッドシャフト９５に連動可能に連結されることで、本実施形態のリンク機構９２が構成されている。また、移動機構８３の動作については、後に詳述する。
【００４０】
パッドシャフト９５の他端側は、カバー８１の底面８１ｃに形成された貫通孔８１ｄからカバー８１の下方へ向けて突出しており、この突出した部分に拭き取りヘッド８２が連結されている。この拭き取りヘッド８２は、筒状のホルダ部材１０９を備えている。ホルダ部材１０９は、パッドシャフト９５の中心軸Ｏ２の軸方向に一致させた状態で配置され、その軸方向中央部は内径が拡大した拡径部１０９ａが形成されている。ホルダ部材１０９内には、拭き取りパッド（処理部材）１１０が保持されている。この拭き取りパッド１１０は、筒状の保持部１１１と、この保持部１１１の貫通孔１１１ａ内に圧入された芯部１１２とで構成されている。保持部１１１の上端部には、径方向外側に張り出す外フランジ部１１１ｂが形成され、この外フランジ部１１１ｂがホルダ部材１０９の下端側の内フランジ部１０９ｃに当接した状態で、拭き取りパッド１１０がホルダ部材１０９に保持されている。また、ホルダ部材１０９の上端側の内フランジ部１０９ｂと、保持部１１１の外フランジ部１１１ｂとの間には、拭き取りパッド１１０を下方（内フランジ部１０９ｂと外フランジ部１１１ｂとが離間する方向）に向けて付勢する付勢手段１１３が介在されている。
【００４１】
芯部１１２は、その軸線がパッドシャフト９５の中心軸Ｏ２に一致した状態で保持部１１１に圧入されており、その先端（下端）が保持部１１１の下端面よりも下方に突出している。そして、芯部１１２の下方には、芯部１１２の軸方向（Ｚ方向）に直交する方向（Ｙ方向）に、クリーニングテープＴが走行するようになっており、クリーニング時には搬送アーム５８（図１参照）に保持されたワークＷとの間にクリーニングテープＴを挟んだ状態で被接触面２ａに押圧されるようになっている。また、芯部１１２の構成材料としては、例えばウレタン等が好適に用いられている。なお、芯部１１２は、その直径Ｄ１がワークＷの被清掃面２ａの半径Ｒ１よりも長くなるように設定されている（Ｄ１＞Ｒ１／２）。また、本実施形態のシャフトカラー９３や拭き取りヘッド８２は、パッドシャフト９５に対して着脱可能に構成されており、ワークＷの大きさに応じて芯部１１２の直径Ｄ１や、シャフト８７とパッドシャフト９５とのオフセット量を適宜調整できるようになっている。
【００４２】
（クリーニング方法）
次に、上述した拭き取り装置１を用いたワークＷのクリーニング方法を説明する。なお、拭き取り装置１の作動前には、各ダンサーロールユニット１１，１７のダンサーロール３３，７０は、ガイド溝３８，７５の最上点にあるものとする。
【００４３】
まず、図１に示すように、拭き取り装置１を作動させると、テープ繰り出し機構１０の駆動手段２７が駆動し、供給リール２１のリール本体２６を矢印Ｂ方向に回転させる。リール本体２６が回転すると、リール本体２６に巻回されたクリーニングテープＴが下流側へ供給される。この時、クリーニングテープＴはダンサーロール３３の自重によって、下流側へ引っ張られるようにして走行する。これに伴い、ダンサーロール３３は、ガイド溝３８内を下降する。すなわち、ダンサーロール３３の下半部を回り込んで約１８０度折り返されるように、クリーニングテープＴがガイドされる。そして、第１ダンサーロールユニット１１のセンサー３９（最下部のセンサー３９）によって、ダンサーロール３３の位置を検出した時点で駆動手段２７の駆動を停止し、リール本体２６の回転を停止させる。これにより、クリーニングテープＴは、各ユニット１１〜１７を通って、各ダンサーロールユニット１１，１７のダンサーロール３３，７０間に架け渡された状態となる。
【００４４】
また、本実施形態では、支柱３７間で弛んだ分だけ予めクリーニングテープＴを余分に供給し、この状態でクリーニングテープＴをダンサーロール３３によって保持させておく。このように、クリーニングテープＴを予め余計にダンサーロール３３に保持させておくことで、未使用のクリーニングテープＴを所定長さだけ供給する度に駆動手段２７を毎回駆動させることがない。その結果、クリーニングテープＴの張力を維持させた状態で、作業効率の向上及び作業コストの低減を図ることができる。
【００４５】
そして、クリーニングテープＴの供給が終了したら、押さえ機構６５の押さえヘッド６７を押さえプレート６６に向けてスライド（図１中矢印Ｇ参照）させ、押さえプレート６６とグリップ部材６８との間にクリーニングテープＴを挟持させる。そして、クリーニング液供給ユニット１３のディスペンサー５６から、クリーニングテープＴに向けてクリーニング液を供給するとともに、クリーニングテープＴを挟持させた状態で、押さえ機構６５を下流側へスライドさせる（図１中矢印Ｈ参照）。これにより、所定長さ（押さえ機構６５のスライド幅）のクリーニングテープＴが、クリーニング液が浸透した状態で拭き取りユニット１４の下方まで供給することができる。
【００４６】
その後、押さえ機構４３，６４の押さえヘッド４６，６７をそれぞれ押さえプレート４５，６６に向けてスライド（図１中矢印Ｅ，Ｇ参照）させ、押さえプレート４５，６６とグリップ部材４７，６８との間にクリーニングテープＴを挟持させる。
そして、テンション機構４４をスライド（図１中矢印Ｆ参照）させ、両者間に架け渡されたクリーニングテープＴに所定の張力を付与する。
【００４７】
一方、拭き取り装置１の前段の加工装置で加工されたワークＷは、搬送レール６１上をパレットＰにセットされた状態で、拭き取りユニット１４と昇降ユニット１５との間まで搬送される。この時点で、スライドテーブル５７を上昇（図１中矢印Ｊ参照）させると、搬送アーム５８のワークステージ５９がパレットＰの貫通孔Ｐ１を通ってワークＷの下面側に当接する。そして、さらにスライドテーブル５７を上方に向けてスライドさせると、ワークＷの被清掃面２ａがクリーニングテープＴを間に挟んで拭き取りパッド１１０の芯部１１２の先端面に接触する。このポジションが、ワークＷの被清掃面２ａのクリーニングが行われる、クリーニングポジションである（図３参照）。なお、このクリーニングポジションでは、図５に示すように、付勢手段１１３を介して芯部１１２からワークＷの被清掃面２ａに向けて、所定の押圧力が付与された状態で芯部１１２と被清掃面２ａとが接触しているとともに、シャフト８７の中心軸Ｏ１がワークＷ（被清掃面２ａ）の中心に一致した状態で保持されている。
【００４８】
ここで、図５〜８は、図４に相当する拭き取りユニットの平面図であって、クリーニング時における拭き取りユニットの動作方法を示す説明図である。なお、図５〜８では、被清掃面２ａ上を芯部１１２が９０度毎公転する図を示しており、図５〜８中白三角は芯部１１２の周方向における基準点を示す基準マークＭである。
図４，５に示すように、ワークＷがクリーニングポジションにある状態で、モーター８８を駆動させると、モーター８８の駆動力がシャフト８７に伝達され、シャフト８７が中心軸Ｏ１回りに回転し始める。すると、図４，６に示すように、パッドシャフト９５とシャフト８７とが、シャフト８７の径方向外側に所定距離Ｑだけオフセットした状態で連結されているため、パッドシャフト９５はシャフト８７の回転に連動して中心軸Ｏ１回りに公転することになる。
【００４９】
図９〜１２は、従来の拭き取りユニットの動作を示す説明図である。なお、以下の説明では、本実施形態と同様の構成については同様の符号を付して説明は省略する。
ところで、図９に示すように、従来の拭き取りユニット２００において、例えばパッドシャフト９５がシャフト８７に対して所定距離Ｑだけオフセットされた状態で固定されている場合、シャフト８７を回転させると、上述した動作と同様の動作によって、図１０〜１２に示すようにシャフト８７の中心軸Ｏ１回りにパッドシャフト９５が公転する（図９〜１２中基準マークＭ参照）。
この場合、被清掃面２ａの外周部分では、パッドシャフト９５と同軸上に連結された拭き取りヘッド２０１が、クリーニングテープ（不図示）を介して被清掃面２ａ上を摺動することになる。すなわち、被清掃面２ａと拭き取りヘッド２０１とが周方向において相対移動するため、被清掃面２ａの汚れが除去される。これに対して、被清掃面２ａの中央部分、すなわち被清掃面２ａの中心（シャフト８７の中心軸Ｏ１）からの距離が近くなるにつれ、拭き取りヘッド２０１と被清掃面２ａとの相対的な摺動が少ない。そのため、被清掃面２ａ上に付着した汚れを除去することができず、汚れが残存する虞がある。
【００５０】
これに対して、本実施形態では、パッドシャフト９５（公転機構９１）は、シャフトカラー９３の軸受け９４に、シャフト８７に対して回動可能に支持されるとともに、アーム１０３を介してリンク機構９２に連結されている。この場合、図６に示すように、パッドシャフト９５が中心軸Ｏ１回りに公転すると、これに連動して中心軸Ｏ２と中心軸Ｏ３とが離間する方向（アーム１０３の伸長方向）に向けて、アーム１０３がスライドヘッド９９上をスライド（図６中矢印Ｌ参照）する。これと同時に、支持シャフト９７が中心軸Ｏ３回りに回動する（図６中矢印Ｎ参照）。
【００５１】
すると、パッドシャフト９５はシャフト８７に回動可能に支持されているので、アーム１０３がスライドすることで、パッドシャフト９５が軸受け９４を介してパッドシャフト９５の公転方向Ｋとは反対の方向（図６中矢印Ｓ参照）に中心軸Ｏ２回りに回動し始める。その結果、パッドシャフト９５の基準マークＭの向きは、アーム１０３の軸方向に一致している。すなわち、パッドシャフト９５の中心軸Ｏ１回りの公転に伴って、パッドシャフト９５自体も中心軸Ｏ２回りに回動していることになる。
【００５２】
すなわち、上述した従来の拭き取りユニットの構成を示す図９〜１２では、パッドシャフト９５の公転時には、基準マークＭが常時中心軸Ｏ１を向いていることになり、被清掃面２ａの中央部分では被清掃面２ａ上に付着した汚れを効率的に除去することができない。これに対して、本実施形態ではパッドシャフト９５が軸受け９４を介してシャフト８７に回動可能に支持されているとともに、パッドシャフト９５の公転面内（被清掃面２ａ）において、パッドシャフト９５の公転に連動してパッドシャフト９５を回動させるリンク機構９２が連結されているので、パッドシャフト９５を回動させつつ公転させることができる。
【００５３】
よって、被清掃面２ａの外周部分では、パッドシャフト９５と同軸上に連結された拭き取りパッド１１０の芯部１１２が、クリーニングテープＴを介して被清掃面２ａの周縁に沿った状態で、被清掃面２ａ上を摺動することになる。すなわち、被清掃面２ａと芯部１１２とが周方向において充分に相対移動するため、クリーニングテープＴが被清掃面２ａ上に付着した汚れを拭き取りながら移動する。
一方、本実施形態では、パッドシャフト９５の公転に連動して、その公転方向Ｋとは反対の方向にパッドシャフト９５が中心軸Ｏ２回りに回動するため、芯部１１２は、その全体が被清掃面２ａ上を摺動するようにして移動する。これにより、被清掃面２ａの中央部分において、芯部１１２と被清掃面２ａとの相対的な摺動が、上述した図９〜１２の動作に比べて大きい。すなわち、芯部１１２の全体が被清掃面２ａ上を摺動しながら中心軸Ｏ１回りに公転することになる。その結果、被清掃面２ａの中央部分においても、被清掃面２ａと芯部１１２とが被清掃面２ａの面方向において充分に相対移動することで、クリーニングテープＴが被清掃面２ａ上に付着した汚れを拭き取りながら移動する。これにより、被清掃面２ａのクリーニングが効率的に行われる。
【００５４】
その後、図７に示すように、シャフト８７が図６の状態から中心軸Ｏ１回りにさらに９０度回転すると、シャフト８７の回転に連動してパッドシャフト９５が中心軸Ｏ２回りに９０度公転する。すると、上述した動作と同様にアーム１０３がスライドヘッド９９上をスライド（図７中矢印Ｌ参照）するとともに、支持シャフト９７が中心軸Ｏ３回りに回動する（図７中矢印Ｎ参照）。なお、この時点で中心軸Ｏ２と中心軸Ｏ３とは最も離間しており、アーム１０３が最も伸長した状態になる。これにより、パッドシャフト９５（芯部１１２）は、矢印Ｓ方向（公転方向Ｋと反対方向）に中心軸Ｏ２回りに回動しつつ、中心軸Ｏ１回りに公転する。この場合も、芯部１１２の基準マークＭは、アーム１０３の軸方向に一致しており、芯部１１２全体が被清掃面２ａ上を摺動しながら中心軸Ｏ１回りを公転することになる。
【００５５】
さらに、図８に示すように、パッドシャフト９５が図７の状態からさらに中心軸Ｏ１回りに９０度回転すると（図８中矢印Ｋ参照）、シャフト８７の回転に連動してパッドシャフト９５が中心軸Ｏ２回りに９０度公転する。これに連動して中心軸Ｏ２と中心軸Ｏ３とが接近する方向（アーム１０３の縮退方向）に向けて、アーム１０３がスライドヘッド９９上をスライド（図８中矢印Ｌ参照）する。これと同時に、支持シャフト９７が中心軸Ｏ３回りに回動する（図８中矢印Ｎ参照）。その結果、パッドシャフト９５（芯部１１２）は矢印Ｓ方向（公転方向Ｋと反対方向）に中心軸Ｏ２回りに回動しつつ、中心軸Ｏ１回りに公転する。そして、芯部１１２の基準マークＭは、アーム１０３の軸方向に一致しており、芯部１１２全体が被清掃面２ａ上を摺動しながら中心軸Ｏ１回りを公転することになる。
【００５６】
その後、図５に戻り、パッドシャフト９５が図８の状態からさらに中心軸Ｏ１回りに９０度回転すると（図５中矢印Ｋ参照）、シャフト８７の回転に連動してパッドシャフト９５が中心軸Ｏ２回りに９０度公転する。これに連動して中心軸Ｏ２と中心軸Ｏ３とが接近する方向（アーム１０３の縮退方向）に向けて、アーム１０３がスライドヘッド９９上をスライド（図５中矢印Ｌ参照）する。これと同時に、支持シャフト９７が中心軸Ｏ３回りに回動する（図５中矢印Ｎ参照）。その結果、パッドシャフト９５（芯部１１２）は矢印Ｓ方向（公転方向Ｋと反対方向）に中心軸Ｏ２回りに回動しつつ、中心軸Ｏ１回りに公転するそして、芯部１１２の基準マークＭは、アーム１０３の軸方向に一致しており、芯部１１２全体が被清掃面２ａ上を摺動しながら中心軸Ｏ１回りを公転することになる。
【００５７】
このように、本実施形態の拭き取りパッド１１０が中心軸Ｏ１回りに公転することで、この公転に連動して拭き取りパッド１１０自体が公転方向Ｋとは反対の方向Ｓに向けて回動することになる。これにより、拭き取りパッド１１０の芯部１１２全体が被清掃面２ａ上を摺動する。
さらに、拭き取りパッド１１０（芯部１１２）は、付勢手段１１３によって下方に向けて付勢されており、被清掃面２ａに向けて所定の押圧力が付与された状態で摺動しているので、被清掃面２ａの表面形状に倣って付勢手段１１３が伸長または縮退する。これにより、芯部１１２の先端面が、常に被清掃面２ａの法線方向に直交した状態で摺動することになる。
その結果、被清掃面２ａの面方向全域に亘って、均一な押圧力が付与された状態で、クリーニングテープＴが被清掃面２ａ上に付着した汚れを拭き取りながら摺動する。これにより、被清掃面２ａの全域で均一なクリーニング能力を発揮させることができる。
【００５８】
なお、図１に示すように、ワークＷのクリーニングが終了すると、搬送アーム５８を下降させ、再びワークＷをパレットＰ上に載置する。そして、ワークＷをパレットＰとともに拭き取り装置１から搬出する。
【００５９】
その後、次のワークＷをクリーニングするには、押さえ機構６５の押さえプレート６６をスライド（図１中矢印Ｇ参照）させ、クリーニングテープＴを解除するとともに、押さえ機構６５をクリーニングテープＴの上流側（図１中矢印Ｈ参照）にスライドさせる。そして、押さえ機構４３，６４からクリーニングテープＴを解除するとともに、テンション機構４４をクリーニングテープＴから離間する方向にスライドさせる。
次に、押さえ機構６５により再びクリーニングテープＴを挟持させ、この状態で押さえ機構６５を下流側にスライドさせる。すると、クリーニングテープＴが下流側に沿って引っ張られる。これにより、ダンサーロール３３がガイド溝３８内を上昇し、ダンサーロール３３に保持されたクリーニングテープＴを所定長さだけ下流側に供給することができる。その後、上述した動作と同様の動作によりワークＷの被清掃面２ａをクリーニングする。
【００６０】
なお、ワークＷのクリーニングに用いられた使用済みのクリーニングテープＴは、送り機構６５の下流側においてダンサーロール７０に保持されている。すなわち、クリーニングテープＴが下流側に走行する度に、ダンサーロール７０はガイド溝７５内を下降し、クリーニングテープＴは支柱７４間に弛んだ状態で保持される。そして、クリーニングが行われ続けると、ダンサーロール７０は徐々にガイド溝７５内を下降していく。この場合、ダンサーロール７０がセンサー７６（最下部のセンサー７６）によって検出された時点で、巻取りリール２２の駆動手段３０を駆動させる。これにより、リール本体２９が回転（図１中矢印Ｃ参照）し、ダンサーロール７０で保持された使用済みのクリーニングテープＴは一斉に巻取りリール２２のリール本体２９に巻き取られることになる。これにより、ダンサーロール７０は、再びガイド溝７０の最上点まで上昇する。このような動作を繰り返すことで、クリーニングテープＴを下流側に供給する度に駆動手段３０を駆動させることがないので、クリーニングテープＴの張力を維持させた状態で、作業効率の向上及び作業コストの低減を図ることができる。
【００６１】
以上、本実施形態によれば、芯部１１２の直径Ｄ１が被清掃面２ａの半径Ｒ１よりも大きくなるように設定したため、芯部１１２が中心軸Ｏ１回りに１回転（公転）することで被清掃面２ａの全域に接触することになる。
特に、本実施形態では、拭き取りパッド１１０（芯部１１２）を、その中心軸Ｏ２周りに回動させつつ、中心軸Ｏ１回りに公転させる構成とした。
この構成によれば、芯部１１２は、中心軸Ｏ２回りに回動しながら被清掃面２ａ上を摺動することになる。これにより、被清掃面２ａの外周部分において、拭き取りパッド１１０の芯部１１２が、クリーニングテープＴを介して被清掃面２ａの周縁に沿った状態で、被清掃面２ａ上を摺動することになる。すなわち、被清掃面２ａと芯部１１２とが周方向において充分に相対移動するため、クリーニングテープＴが被清掃面２ａ上に付着した汚れを拭き取りながら移動する。
一方、被清掃面２ａの中央部分においても、被清掃面２ａと芯部１１２とが被清掃面２ａの面方向において充分に相対移動することで、クリーニングテープＴが被清掃面２ａ上に付着した汚れを拭き取りながら移動する。
【００６２】
すなわち、公転機構９１及びリンク機構９２を用いて、芯部１１２全体を被清掃面２ａ上で摺動させることで、本実施形態のワークＷのように、被清掃面２ａがワークＷの先端から窪んでいる場合であっても、被清掃面２ａの全面に亘って均一な押圧力を付与した状態で芯部１１２を摺動させることができる。これにより、クリーニングテープＴが被清掃面２ａ上に付着した汚れを拭き取りながら移動し、被清掃面２ａを効率的にクリーニングすることができる。したがって、例えば拭き取りヘッドが公転のみを行う場合に比べて、クリーニング能力の向上を図ることができる。その結果、汚れ等の付着がない、信頼性の高い製品を提供することができる。
しかも、本実施形態では、モーター等の駆動手段を１つだけで動作させることができるので、構成の簡素化及び装置コストの低減が可能になる。
【００６３】
また、本実施形態では、クリーニング液供給ユニット１３を拭き取りユニット１４に隣接配置することで、ワークＷをクリーニングする直前でクリーニングテープＴにクリーニング液を供給することができる。これにより、クリーニング液の揮発等を防ぎ、効率的にクリーニングを行うことができる。
さらに、本実施形態では、クリーニング部材にクリーニングテープＴを用いているため、クリーニングテープＴを順次走行させることで、従来のようにパッド状のものを用いた場合に異なり、クリーニング部材の交換等を要することなく、常に清潔な状態で被清掃面２ａをクリーニングすることができる。これにより、さらなる作業効率の向上を図ることができる。また、クリーニング部材にブラシを用いた場合のように、ブラシが絡まって捩れたりする虞もないので、メンテナンス性の向上も図ることができる。
なお、本実施形態では、拭き取りユニット１４における各シャフト８７，９５，９７の動作支持部にボールベアリング等の軸受け８６，９４を採用するとともに、アーム１０３の動作支持部にボールブッシュ１０１を採用することで、動作支持部での金属摩擦により生じる磨耗粉の発生を抑制することができる。また、万が一磨耗粉が発生したとしても、これら動作支持部がカバー８１により覆われているため、これら磨耗粉がレンズ２の被清掃面２ａに付着することを防ぐことができる。その結果、被清掃面２ａを清潔な状態に維持することができる。
【００６４】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこれら実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【００６５】
例えば、上述した実施形態では、拭き取りパッド１１０（芯部１１２）の中心軸Ｏ２回りに回動させながら中心軸Ｏ１回りに公転させる構成であれば、上述の移動機構８３に限らず種々の機構を採用することが可能である。また、拭き取りパッド１１０の回動角度は、適宜設計変更が可能である。
また、上述した実施形態では、クリーニング部材にクリーニングテープＴを用いた場合について説明したが、これに限らず、クリーニング部材となるパッドを拭き取りパッド１１０に直接取り付ける構成にしてもよい。また、クリーニング部材にブラシを用いても構わない。
【００６６】
さらに、上述した実施形態では、鏡筒レンズ等のワークＷの被清掃面２ａに対して清掃を行う場合について説明したが、これに限らず、被清掃面が先端から凹状に窪んだ位置に配置された種々のワークＷに対して用いることが可能である。また、レンズ２は、曲面を有する凸レンズ等であってもよい。
また、拭き取りパッド１１０の芯部１１２の先端面形状は、円形に限らず、矩形等に形成してもよい。
【００６７】
さらに、上述の実施形態では、本発明の表面処理装置をワークＷの被清掃面２ａをクリーニングする場合について説明したが、これに限らず被処理面を研磨したり、塗料を塗布したりする場合についても本発明の表面処理装置を採用することが可能である。
【符号の説明】
【００６８】
１…拭き取り装置（表面処理装置） ２ａ…被清掃面（被処理面） １３…クリーニング液供給ユニット １５…昇降ユニット ８２…拭き取りパッド（パッド） ８３…移動機構 ８７…シャフト ９１…公転機構 ９２…リンク機構 ９５…パッドシャフト ９７…支持シャフト １０３…アーム Ｔ…クリーニングテープ（処理部材） Ｗ…ワーク Ｏ１…シャフトの中心軸（第１法線） Ｏ２…パッドシャフトの中心軸（第２法線） Ｏ３…支持シャフトの中心軸（第３法線）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状のワークにおける凹部底面を被処理面とし、前記被処理面の面方向に沿って前記被処理面と処理部材とを相対的に摺動させることで、前記被処理面を処理する表面処理装置において、
前記処理部材における前記被処理面との接触面の直径は、前記被処理面の半径よりも大きく設定され、
前記ワークと前記処理部材とを相対移動させる移動機構を備え、
前記移動機構は、回転可能に支持され、駆動力が付与されるシャフトを備え、前記シャフトの中心を通る第１法線と、前記処理部材の中心を通る第２法線とをオフセットさせた状態で、前記第１法線回りに前記処理部材を公転させるとともに、
公転面内において、前記処理部材を前記第２法線回りに回動させることを特徴とする表面処理装置。
【請求項２】
前記移動機構は、前記処理部材を前記第１法線回りに公転させる公転機構と、前記処理部材を前記第２法線回りに回動させるリンク機構とを備え、
前記公転機構は、前記第２法線上において、一端が前記シャフトに回動可能に連結され、他端に前記処理部材が固定されたパッドシャフトとを備え、
前記リンク機構は、前記第２法線から所定距離オフセットさせた位置に配置された支持シャフトと、前記支持シャフトと前記パッドシャフトとを連結するアームとを備え、
前記アームは、一端が前記パッドシャフトに固定される一方、他端が前記支持シャフトの中心を通る第３法線回りに回動可能に、なおかつ前記アームの軸方向に沿ってスライド可能に、前記支持シャフトに支持されていることを特徴とする請求項１記載の表面処理装置。
【請求項３】
前記処理部材は、前記被処理面のクリーニングを行うためのクリーニングテープと、前記クリーニングテープを介して前記被処理面を押圧するパッドとを備え、
前記クリーニングテープは、前記被処理面の面方向に沿って順次送られるように構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の表面処理装置。
【請求項４】
前記クリーニングテープに向けてクリーニング液を供給するためのクリーニング液供給ユニットが、前記クリーニングテープの送り方向の上流側で前記パッドに隣接配置されていることを特徴とする請求項３記載の表面処理装置。
【請求項５】
前記パッドは、前記被処理面に向けて付勢されていることを特徴とする請求項３または請求項４記載の表面処理装置。
【請求項１】
円筒状のワークにおける凹部底面を被処理面とし、前記被処理面の面方向に沿って前記被処理面と処理部材とを相対的に摺動させることで、前記被処理面を処理する表面処理装置において、
前記処理部材における前記被処理面との接触面の直径は、前記被処理面の半径よりも大きく設定され、
前記ワークと前記処理部材とを相対移動させる移動機構を備え、
前記移動機構は、回転可能に支持され、駆動力が付与されるシャフトを備え、前記シャフトの中心を通る第１法線と、前記処理部材の中心を通る第２法線とをオフセットさせた状態で、前記第１法線回りに前記処理部材を公転させるとともに、
公転面内において、前記処理部材を前記第２法線回りに回動させることを特徴とする表面処理装置。
【請求項２】
前記移動機構は、前記処理部材を前記第１法線回りに公転させる公転機構と、前記処理部材を前記第２法線回りに回動させるリンク機構とを備え、
前記公転機構は、前記第２法線上において、一端が前記シャフトに回動可能に連結され、他端に前記処理部材が固定されたパッドシャフトとを備え、
前記リンク機構は、前記第２法線から所定距離オフセットさせた位置に配置された支持シャフトと、前記支持シャフトと前記パッドシャフトとを連結するアームとを備え、
前記アームは、一端が前記パッドシャフトに固定される一方、他端が前記支持シャフトの中心を通る第３法線回りに回動可能に、なおかつ前記アームの軸方向に沿ってスライド可能に、前記支持シャフトに支持されていることを特徴とする請求項１記載の表面処理装置。
【請求項３】
前記処理部材は、前記被処理面のクリーニングを行うためのクリーニングテープと、前記クリーニングテープを介して前記被処理面を押圧するパッドとを備え、
前記クリーニングテープは、前記被処理面の面方向に沿って順次送られるように構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の表面処理装置。
【請求項４】
前記クリーニングテープに向けてクリーニング液を供給するためのクリーニング液供給ユニットが、前記クリーニングテープの送り方向の上流側で前記パッドに隣接配置されていることを特徴とする請求項３記載の表面処理装置。
【請求項５】
前記パッドは、前記被処理面に向けて付勢されていることを特徴とする請求項３または請求項４記載の表面処理装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２０１０−１８４２１３（Ｐ２０１０−１８４２１３Ａ）
【公開日】平成２２年８月２６日（２０１０．８．２６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−３０９８８（Ｐ２００９−３０９８８）
【出願日】平成２１年２月１３日（２００９．２．１３）
【出願人】（０００００２３２５）セイコーインスツル株式会社 (3,629)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年８月２６日（２０１０．８．２６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年２月１３日（２００９．２．１３）
【出願人】（０００００２３２５）セイコーインスツル株式会社 (3,629)
【Ｆターム（参考）】
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