【課題】センサを構成する金属部材の形成装置の種類を少なくすること。
【解決手段】半導体基板の表面に層間絶縁膜を介して第１および第２導電配線をスパッタ法で形成し、第１および第２導電配線と層間絶縁膜を第１絶縁膜で覆い、第１絶縁膜の上に第２絶縁膜を積層し、第１導電配線上の第１および第２絶縁膜を除去し、それによって第２絶縁膜表面から第１導電配線に達する溝を形成し、第２絶縁膜と溝の側壁および底とを覆う導電膜をスパッタ法で形成し、前記導電膜の上から溝幅より広いレジスト膜で溝を覆い、レジスト膜をマスクとして前記導電膜と第２絶縁膜とを除去して第１絶縁膜を露出させ、レジスト膜を除去した後、第３絶縁膜をその表面が前記導電膜の表面と同一表面になるように第１絶縁膜上に形成する表面形状認証用センサの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 高分子アクチュエータの伸縮量センシング精度を向上させ、かつコンパクトである、高分子アクチュエータの伸縮量センシング方法および装置を提供する。
【解決手段】 高分子アクチュエー１の駆動を周波数変調した駆動電圧８により行い、駆動電圧８と駆動波形１０との位相１５を比較することにより、高分子アクチュエータ１の伸縮に伴う静電容量の変化を計測することで、高分子アクチュエータの伸縮量１７を求める方法である。 （もっと読む）

【課題】法線方向のみならず接線方向の圧力も精度良く検出できる信頼性の高い触覚センサを提供する。
【解決手段】押圧により抵抗値が変化するシート状の感圧導電性部材７と、前記感圧導電性部材７の一側面に配置され、前記感圧導電性部材７のインピーダンスを検出する複数の電極セル１４が所定方向に配列された電極シート８と、前記感圧導電性部材７を挟んで隣接する電極セル１４間に跨るように対向配置され、前記感圧導電性部材７を加圧する複数の圧力伝達部材３０と、前記圧力伝達部材３０を被覆する弾性被覆層９とを備え、前記弾性被覆層９により前記圧力伝達部材３０が感圧導電性部材７の法線方向及び接線方向に変位自在に支持されている。 （もっと読む）

本発明は、近傍電界を吸収することによる体の一部を検出するための装置に関する。接近する人体を検出するために、様々な方法、特に静電容量法が存在する。当該方法のうちのほとんどは、電極が交流電界を放射し、体又は体の一部が接近すると、この交流電界の電界分布が周囲に対して変化し、この変化が適切な電子機器によって検出されるという原理に基づいて動作する。本発明による検出装置は、監視区域に接近するか又は当該監視区域内に存在する物体、特に動いている手足を検出するために使用される。この検出装置は、監視区域又は当該監視区域の周囲のエリアへ交流電界を誘導するための送信電極装置と、監視区域又は上記周囲のエリアにおける電界を検出するための受信電極装置と、送信電極及び受信電極間に延在する電界の一部を遮蔽するための遮蔽電極装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】 車両の衝突等による外装部材の変形を正確に検出することのできるセンサを提供する。
【解決手段】 車両の外装部材変形センサ２０を、エラストマーと、該エラストマー中に略単粒子状態でかつ高充填率で配合されている球状の導電性フィラーと、を有し、弾性変形量が増加するに従って電気抵抗が増加する弾性変形可能なセンサ本体２０１と、センサ本体２０１に接続され、該電気抵抗を出力可能な電極Ａ、Ｂ、Ｍと、を備えて構成し、車両９の外部に表出している外装部材９００に配置する。 （もっと読む）

【課題】生体内に配置された標的プローブの位置をリアルタイムで特定する効率的な装置および方法を提供すること。
【解決手段】位置検出方法は、少なくとも１つの基準電極を備える基準プローブを被検者の体内の既知の位置に配置することを含む。被検者の身体を通して基準電極と体表電極との間に電流を流す。電流の特性を測定し、その測定値を使って基準プローブの既知の位置の近似値を求める。近似値と既知の位置との関係に基いて補正因子を決定する。少なくとも１つの標的電極を備える標的プローブを被検者の体内に配置して、第２電流を被検者の身体を通して標的電極と体表電極との間に流す。第２電流の特性を測定し、その測定値を使って標的プローブの算定位置を求める。補正因子を用いてこの算定位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】水分の侵入を防止しながら、被検体の表面の凹凸を感度良く検出することが可能な表面形状センサとその製造方法を提供すること。
【解決手段】シリコン基板１０と、シリコン基板１０の上方に形成された層間絶縁膜４０と、層間絶縁膜４０の上に形成された第１水分バリア絶縁膜４１と、第１水分バリア絶縁膜４１の上に形成された検出電極膜４４ａと、検出電極膜４４ａの上に形成された第２水分バリア絶縁膜５１と、第２水分バリア絶縁膜５１の上に形成され、検出電極膜４４ａの上に窓５５ａを備えた保護絶縁膜５５とを有する表面形状センサによる。 （もっと読む）

【課題】樹脂部材の加工残厚をリアルタイムで測定可能として作業時間を短縮させた加工残厚の測定方法及び測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】溝成形部材２１によって樹脂部材１０にティアライン１１を形成し、ティアライン形成後により残された樹脂部材１０の加工残厚を測定する加工残厚の測定方法であって、前記樹脂部材１０のティアライン形成面１０ａの裏側に渦流センサ３３を配置し、渦流センサ３３により樹脂部材１０に差し込まれた状態の前記溝成形部材２１に渦電流を誘起して、誘起された渦電流に基づく出力電圧を検出する検出工程と、該検出工程によって検出された出力電圧から、該渦流センサ３３と溝成形部材２１との距離Ｄを演算して、樹脂部材１０の溝加工部１２の厚さＬを求める測定工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単、かつ、短時間で正規の取付位置に位置決めすることができる磁気マッピング装置並びにその位置決め方法を提供する。
【解決手段】 移動ステージ３１を備えた磁気マッピング装置であって、レーザー光照射方向前方で磁気マッピング装置の設置の際の基準となる基準線Ｌ上の位置に取り付けられたヘッドアップディスプレイ２と、このヘッドアップディスプレイ２の前方で基準線Ｌの延長上に設置されたターゲットボード４とを含み、ヘッドアップディスプレイ２は基準線Ｌ上にシンボルマークを表示させ、ターゲットボードは基準線の延長上にターゲットマークを表示させ、レーザー照射器５から照射させたレーザー光をシンボルマークとターゲットマークとに合致するように移動ステージを設置する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、半導体素子と配線基板との接続部が保護された接触型センサ内蔵半導体装置を提供することを課題とする。
【解決手段】接触型センサ内蔵半導体装置は、回路形成面に形成されたセンサ領域１ｂと、センサ領域１ｂ以外の領域に設けられた接続用電極１ｃとを有する接触型センサ内蔵半導体素子１と、端面が回路形成面上に位置するように、半導体素子１の接続用電極１ｃに接続された配線基板１２Ａとを有する。半導体素子１の回路形成面上に位置する配線基板１２Ａの端面６ａは傾斜面である。 （もっと読む）

【課題】有機分子薄膜中の炭素原子、または有機分子薄膜の膜厚をＳＴＭで高感度に計測する。
【解決手段】強磁性金属元素からなる基板表面に有機分子を吸着して、有機分子を構成する炭素原子に局在するＬＤＯＳを計測する。ＬＤＯＳの分布から炭素原子が計測され、またＬＤＯＳの大きさから膜厚が計測される。基板を強磁性金属とすることで、基板に吸着した炭素原子に局在するＬＤＯＳが大きくなり、高感度の計測がなされる。 （もっと読む）

像感知装置は、対象物、例えば指、の予想運動方向に関してほぼ直角に配置される像ピックアップ・プレートと、像ピックアップ・プレートに対して離隔配置された多数の像駆動プレートと、イメージピックアップ・プレートに対して実質的にほぼ平行に配置された基準プレートとを有し、前記複数の像駆動プレートは、各像駆動プレートと像ビックアップ・プレート間にセンサー・ギャップを画定するように、像ピックアップ・プレートから離隔配置されている。基準プレートは、共通モード・ノイズと結合が打ち消されるように像ピックアップ・プレートから隔てられていて、且つ像ピックアップ・プレートと基準プレート間に差動像信号が作りだされるように像駆動プレートから隔てられている。像ピックアップ・プレートに接続された差動増幅器と基準プレートとにより、ノイズが打ち消される。前記装置は更に、基準プレートから隔てられ、且つ例えば接地電位のような基準電位に連結された、櫛状プレートを有している。 （もっと読む）

【課題】 検出感度を向上させつつ、静電容量検出装置を静電破壊から保護できるようにする。
【解決手段】 補助電極３１がマトリクス状に配置されるとともに、行方向に延伸された静電気保護電極３２が補助電極３１間に形成された静電容量検出装置において、静電気保護電極３２上に配置された突出電極３３を設ける。 （もっと読む）

複数の検知電極および少なくとも１つの保護電極を有するセンサにおける近接度の検出のために可測キャパシタンスを決定する方法、システムおよび装置が記載される。電荷移動プロセスが、少なくとも２回の実行回数、実行される。前記電荷移動プロセスは、第１のスイッチを使用して前記複数の検知電極の少なくとも１つに所定の電圧を印加するステップと、第２のスイッチを使用して前記少なくとも１つの保護電極に第１の保護電圧を印加するステップと、前記複数の検知電極の前記少なくとも１つと、フィルタキャパシタンスとの間で電荷を再分配するステップと、前記少なくとも１つの保護電極に、前記第１の保護電圧と異なる第２の保護電圧を印加するステップとを有する。近接度の検出のために前記可測キャパシタンスを決定すべく、少なくとも１つの結果を得るために、少なくとも１回の測定回数、前記フィルタキャパシタンス上の電圧が測定される。
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【課題】より正確にレース走行中のタイヤ摩耗予測を行うこと。
【解決手段】レース走行をする車両５に、処理部１１と記憶部１２とを有する制御部１０を搭載する。また、処理部１１には、表示モニタ１７と入力部１６と走行状態検出センサ１５を接続し、さらに、タイヤ２０の近傍に設けられた撮像部３１を有する画像解析装置３０を接続する。記憶部１２では、入力部１６からの入力によりレース走行前に摩耗データを記憶する。また、画像解析装置３０で、レース走行中のタイヤ摩耗状態情報を取得し、走行状態検出センサ１５によって走行状態を検出する。処理部１１では、これらの情報と記憶された摩耗データとを演算してタイヤ摩耗速度を予測する。従って、レース走行中における走行状態に応じた、当該レース走行時のタイヤ２０の摩耗予測をすることができる。この結果、より正確にレース走行中のタイヤ摩耗予測を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 自動車の車輪に作用する外力を一層高精度に測定し得る歪み検出手段を備えた筒形防振装置を提供すること。
【解決手段】 インナ軸部材１２とアウタ筒金具１４が本体ゴム弾性体１６で連結されて構成されている筒形防振装置１０に対して、ゴム弾性体に導電性フィラーを混合せしめたセンサゴム６６に複数の電極６８が固着されて構成されたセンサ本体５６を、インナ軸部材１２とアウタ筒部材１４の相対変位に基づく本体ゴム弾性体１６の歪みが該センサ本体５６によってインピーダンス変化として検出されるように配設した。 （もっと読む）

検出電極１１Ａが表面形状検出部２に接続され、検出電極１２Ａが共通電位に接続された検出素子１Ａと、検出電極１１Ｂが表面形状検出部２に接続され、検出電極１２Ｂが生体認識部３に接続された検出素子１Ｂとを設け、表面形状検出部２では、これら検出素子１Ａ，１Ｂから得られた個々の容量に基づき、これら検出素子と接触する位置に対応する表面形状の凹凸を示す信号をそれぞれ出力し、生体認識部３で、検出素子１Ｂの検出電極１２Ｂと検出素子１Ａの検出電極１２Ａとの間に接続された被検体９のインピーダンスに応じた信号に基づき被検体９が生体であるか否かを判定する。
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【課題】 参照信号の調整を要することなく特性のバラツキを補償する。
【解決手段】 検出装置１００は、対象物の表面との距離に応じたレベルの検出信号Ｓdを各々が生成する複数のセンサ回路Ｕと、各センサ回路Ｕを選択して検出信号Ｓdを出力させる選択回路２０と、レジスタ３１に記憶された参照値Ｒに応じたレベルの参照信号Ｓrefを生成するＤ／Ａ変換回路３２と、各センサ回路Ｕから出力される検出信号ＳdとＤ／Ａ変換回路３２が生成した参照信号Ｓrefとのレベルの大小に応じた検出データＤを生成する比較器３５とを有する。ＣＰＵ４１は、比較器３５が生成した複数の検出データに対する所定の演算によって空間周波数Ｆを算定し、この空間周波数Ｆに基づいてレジスタ３１の参照値Ｒを更新する。 （もっと読む）

【課題】 ユーザーの手や衣服にトナーが付着した場合にも、ユーザーの嫌悪感を軽減できる導電体の表面形状認識装置を提供する。
【解決手段】 表面形状認識装置１は、媒体１０を表面形状認識装置１の内部で搬送させる搬送手段２１と、媒体１０を表面形状認識装置１の内部で帯電させる帯電手段６と、導電体の表面形状に対応する読み取り情報として保持された媒体１０上に形成された静電潜像を表面形状認識装置１の内部でトナーにより現像してトナー像Ｔを形成するトナー像形成手段７と、表面形状認識装置１の内部でトナー像の形状情報を作成する形状情報作成手段８と、形状情報を出力する出力手段２９とを有するものであって、前記トナーを白色トナー６２とした。 （もっと読む）

【課題】 対象物の表面の形状を高い精度で検出する。
【解決手段】 検出装置は、対象物と対向して検出用容量５０を形成する検出用電極５１と、静電容量ＣRを有する基準容量素子との接続点Ｎの電位に応じて対象物の表面の形状を検出する。対象物の凸部が検出用電極５１と対向するときの検出用容量５０の静電容量をＣ_XRとし、対象物の凹部が検出用電極５１と対向するときの検出用容量５０の静電容量をＣ_XVとすると、基準容量素子の静電容量Ｃ_Rは、Ｃ_R＞（Ｃ_XR・Ｃ_XV）^1/2を満たすように選定される。 （もっと読む）