【課題】位置測定装置における可動部材をできる限り他の部材と機械的に接続せずに成る高精度の位置測定装置を提供すること。
【解決手段】検出ユニット２０と信号ユニット３０を構造的に分離されたユニットとして形成し、検出ユニット２０を測定標準１０に対して少なくとも１つの測定方向ｘに沿って変位可能に配置し、光源から照射されるビームを信号ユニット３０から検出ユニット２０の方向へ照射し、少なくとも１対の部分ビームを検出ユニット２０から信号ユニット３０の方向へ照射し、検出ユニット２０及び信号ユニット３０を互いに平行な平面内に配置し、信号ユニット３０と検出ユニット２０の間におけるビームの少なくとも一部の拡がり方向を前記平面に対して垂直に配向するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】ラインイメージセンサーと同等の機能を有する比較的安価な受光装置を提供する。
【解決手段】検出領域における光を検出するための受光装置であって、ホトデテクターと、ホトデテクターに入光する光を規制する開孔を有するマスクを備えた受光手段と、受光手段を検出領域に渡り移送せしめる移動手段と、受光手段の移動位置を検出する位置検出手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】高い回折効率を示し、精度良く位置検出を行える変位検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】台形または矩形のレリーフ形状をした回折格子を用いる。また、可干渉光を出射する光源部と、光源部から出射された光束を二つの光束に分割する光束分割部と、を含み、二つの光束をＰ偏光として回折格子上に照射させる照射光学系と、二つの光束が回折格子により回折されることによって生じる二つの第１回折光をそれぞれ反射し、回折格子上にＰ偏光として再入射させる反射光学系を備える。また、回折格子に再入射した二つの第１回折光が回折されて生じる二つの第２回折光を干渉させる干渉光学系と、干渉光学系により干渉した光を受光する受光部と、受光部において取得した干渉信号に基づいて、回折格子の位置情報を検出する位置検出部を備えるものとする。そして、回折格子のレリーフの周期を、回折格子に入射する可干渉光の波長の１．５倍以下とする。 （もっと読む）

【課題】複数の奥行計測装置が近傍で動作している場合、近傍の奥行計測装置が発光する平面パターンが妨害して平面パターンの認識ができず奥行計算ができない場合があった。
【解決手段】平面パターンの発光を間欠的にして、ほぼ発光期間のみを露光期間とすることにより、近傍の奥行計測装置が発光する期間に露光する確率を減らす。
これにより平面パターンが認識できなくなる確率が減じる。また、平面パターンが認識できないことを検出して発光のタイミングを変える。 （もっと読む）

【課題】エレベータ乗りかごの位置を検出するために、昇降路内の所定位置に位置表示体としてデジタル情報を表す遮蔽板３１，３２，３３を配置し、乗りかご側に光電センサ２０（２１−１〜４）を搭載する。このとき、遮蔽板の少ないデジタル情報数で、多くの位置情報を区別して検出する。
【解決手段】各階床１〜ｎを示すための遮蔽板３１−１〜３１−ｎには、４列，２行のデジタル情報を表すようにし、これらの遮蔽板によって、光電センサ２０（２１−１〜２０−４）にて得られたデジタル情報と、エレベータ乗りかごの運転方向情報とを組み合わせて位置を判定するようにすることで、方向別で、対称性を持ってしまうデジタル情報でも、異なる位置情報として活用できるようにした。 （もっと読む）

【課題】可撓性シートに対する印刷型の配置が種々である印版を使用して印刷を行う際に、初期段階であっても段ボールシートに印刷される位置を正確に検出することができる、印刷位置検出方法を提供する。
【解決手段】可撓性シート２１上の印刷型２２の基準点Ｑ３から予め定める所定距離の第一基準点Ｑ１に、印刷型２２より高さの低い被検出体３０を取り付け、版胴１１の回転に伴う被検出体３０の通過を第一センサ３１によって検出し、挟持点Ｑ０に向かい搬送される段ボールシート１上に第二基準点Ｑ２を設定し、第二基準点Ｑ２の通過を第二センサ３２によって検出し、第一センサ３１による第一基準点Ｑ１の検出点と挟持点Ｑ０との距離Ｎ１、第二センサ３２による第二基準点Ｑ２の検出点と挟持点Ｑ０との距離Ｎ２、及び、印刷型の基準点Ｑ３と第一基準点Ｑ１との距離に基づき、段ボールシート１において印刷型の基準点に対応する点Ｑ３’を検出する。 （もっと読む）

【課題】データ処理量を増大させることなく、パターンマッチングに適したパターンを正確にピックアップし、記録用紙上の移動量計測用パターンの正確な移動量を検出する。
【解決手段】記録媒体を所定の搬送方向に搬送する搬送手段を備え、搬送される記録媒体に記録ヘッドを用いて画像を記録する記録装置における記録媒体の搬送量を計測する搬送量計測装置であって、搬送される記録媒体に対して所定範囲の撮像領域を有し、記録媒体の搬送量を計測するための移動量計測用パターンの抽出および移動量計測用パターンの移動量を算出するための画像データを取得するイメージセンサ１０１−１と、搬送方向のイメージセンサ１０１−１の上流側に配置された所定範囲の撮像領域を有し、移動量計測用パターンを抽出する範囲を選択するためのイメージセンサ１０１−１よりも低解像度の画像データを取得するイメージセンサ１０１−２を有する。 （もっと読む）

【課題】各検査員の主観的判断に依拠するために生じる検査結果のバラツキをなくし、常に客観的な判断基準で検査を行える組立品検査装置および方法を提供する。
【解決手段】組立中子１１を搬送軌道の搬送方向に沿って搬送する搬送装置５３と、組立中子１１の上側部をなす上部中子１３の搬送方向に沿った複数箇所に設けた搬送方向に延びる上側エッジ部５２ａ、５２ｂおよび各上側エッジ部５２ａ、５２ｂに対応する位置で、かつ組立中子１１の下側部をなす下部中子１２の搬送方向に沿った複数箇所に設けた搬送方向に延びる下側エッジ部５１ａ、５１ｃとを検出するセンサ装置５４と、センサ装置５４で検出した上側エッジ部５２ａ、５２ｂと下側エッジ部５１ａ、５１ｃとの相対距離を搬送方向に沿った複数箇所の上側エッジ部５２ａ、５２ｂと下側エッジ部５１ａ、５１ｃの間において算出するコントロール部５５を備えた。 （もっと読む）

【課題】鎖錠桿に塗布されたグリースの一部が移動スリット保持体、または固定スリット保持体のスリットを塞いでしまうことによる誤検出を防止し得るロック狂い検出装置を提供する。
【解決手段】ロック狂い検出装置１は、転てつ機２の鎖錠桿４ａ，４ｂが出入りする鎖錠桿案内部と、鎖錠桿４ａ，４ｂに取り付けられた移動スリット保持体とともにロック狂いの検出に用いられる固定スリット保持体の間に、特徴的なパッキン部が設けられている。パッキン部の先端は、鎖錠桿４ａ，４ｂの進入ごとに鎖錠桿４ａ，４ｂの表面を擦るため、鎖錠桿４ａ，４ｂの表面に塗布されたグリースなどの潤滑剤は、パッキン部に遮られて、固定スリット保持体または移動スリット保持体が設けられた領域へ侵入することがない。 （もっと読む）

【課題】分解能を維持しつつ広い計測レンジで変位を測定することが可能な変位センサを提供する。
【解決手段】センサヘッド１００は、レーザダイオード１と、フォトダイオード２と、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）３と、レンズ４〜６と、ピンホール７ａが形成された絞り板７と、アーム８ａ，８ｂを有する音叉状の振動子８と、振動子８のアーム８ａに取り付けられたレンズ９（コリメートレンズ）と、振動子８のアーム８ｂに取り付けられたレンズ１０（対物レンズ）とを備える。レンズ９の焦点距離は、レンズ１０の焦点距離の２倍以下、好ましくは１倍と定められる。 （もっと読む）

【課題】外乱による信頼性の低下を抑えた分光特性測定装置とその制御方法、分光特性測定方法、及び光路長差伸縮機構を提供する。
【解決手段】本発明は、被測定物の測定点から多様な方向に向かって発せられた光を一つにまとめた後、分割光学系によって第１反射部と第２反射部に導き、前記第１反射部と前記第２反射部の相対位置に影響を及ぼす外乱を推定し、該外乱を解消するように前記第１反射部と前記第２反射部の少なくとも一方を移動させることにより前記第１反射部によって反射された第１反射光と前記第２反射部によって反射された第２反射光の光路長差を伸縮させつつ、前記第１反射光と前記第２反射光を結像光学系によって同一点に導き、その点の干渉光強度変化に基づき前記被測定物の測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する。 （もっと読む）

【課題】安価で小型の位相シフト機構を提供すること。
【解決手段】従来の位相シフト機構でよく知られている、フィードバック制御機能付きピエゾステージの代わりに、（１）参照光を位相シフトする鏡にトリガ光を反射させ、（２）参照光よりもトリガ光が数倍多く位相シフトするように参照光とトリガ光の入射角を変え、（３）トリガ光で得られる干渉縞を検出する光センサーによってカメラのトリガ信号を作ることで、従来のフィードバック制御機能付きピエゾステージを使用することなく、安価・小型の位相シフト機構を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】移動体の曲面からの信号に関してデフォーカスによる信号振幅減少を低減し、移動情報の検出精度の低下を抑制する。
【解決手段】光源と、移動方向に曲面を備える移動体と、前記曲面からの集光された反射光または透過光を受講する受光素子と、を有する移動情報測定装置において、前記曲面が移動方向に複数種の曲率を備える。 （もっと読む）

【課題】 プローブの伸び、及び周辺空気の温度、湿度の影響を抑えた高精度な形状測定を行うことのできる形状測定用の接触式プローブおよび形状測定装置を提供する。
【解決手段】 プローブシャフト２と先端球１６を備えた接触式プローブ１において、
前記プローブシャフト２内の測長光路の少なくとも一部に透明体を設けることにより、少なくともこの部分だけ空気に暴露された光路を減らすことができる。その結果、外気の屈折率変化による測定誤差を抑え、精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 ウエハＷを保持し所定面内で移動するウエハステージＷＳＴと、所定面内と実質的に平行に配置される移動スケール４４Ａ〜４４Ｄに、複数のヘッド４８ａ〜４８ｋを介してそれぞれ所定平面と交差する方向からビームを照射して、ウエハステージＷＳＴの位置情報を計測するエンコーダシステムと、エンコーダシステムの計測情報に基づいてウエハステージＷＳＴを制御する制御システムによって、複数のヘッド４８ａ〜４８ｋのうち移動スケール４４Ａ〜４４Ｄと対向する複数のヘッド４８ａ〜４８ｋの数が変化するとともに、ウエハステージＷＳＴの移動によって、複数のヘッド４８ａ〜４８ｋのうち位置情報の計測に用いられるヘッドが別のヘッドに切り換わる。 （もっと読む）

【課題】腕金以外の他の物体を誤検知することなく腕金だけを走行的に安全に検知する。
【解決手段】検測装置は、検測車に搭載された測長センサ手段を用いて電気供給用サードレールの保護板の上面に光を照射し、保護板から反射する反射光を受光することによって保護板上面における変位量を検出し、測長センサ手段によって検出された保護板上面における変位量に基づいて保護板の取付け金具である腕金の位置を検出する。防護板には腕金以外に取付けボルト等の構造物がある。この発明ではレーザ光を用いた測長センサ手段を用いて防護板上面における変位量を検出し、腕金の存在及びその位置を検出する。測長センサ手段によって検出された変位量が保護板上面から腕金の上部までの高さに対応し、その検出幅が腕金の板厚に対応するので、これらの値を腕金の高さ及び幅を示す基準値と比較して腕金のみを検出する。 （もっと読む）

【課題】微小径ワイヤーボンドの接合状態の良否検査に先立ち、当該ワイヤーボンドの三次元的位置決めを迅速且つ精確に行うことができるワイヤーボンドの三次元位置決め方法及び装置を提供することを課題とする。
【解決手段】カメラ５とラインレーザー３、４を用いて、可動ステージ２上に載置されたワイヤーボンド１の三次元位置決めを行うための方法であって、 ラインレーザー３、４を、カメラ５の向きに対して角度を持たせて配置することにより、照射されたレーザーラインがワイヤーボンド照射部分において他の照射部分と一直線状にならないようにし、カメラ５で取り込んだレーザーラインが照射された状態のワイヤーボンド１の画像データにおいて、ワイヤーボンド１上におけるレーザーラインの位置と基準位置とのずれとラインレーザーの傾斜角度とから演算して求めた数値を基に、可動ステージ２を移動制御する （もっと読む）

【課題】参照面と被検面との間の距離の測定に有利な技術を提供する。
【解決手段】光源からの光を２つの光に分割して、一方の光を参照面に入射させ、他方の光を被検面に入射させ、前記参照面で反射された光と前記被検面で反射された光との干渉光を検出する検出部と、距離を求める処理を行う処理部、前記光源からの光の波長を固定しての干渉光である第１の信号と、前記光源からの光の波長を連続的に変更させながらの干渉光である第２の信号、前記第２の信号を周波数解析して前記第２の信号に含まれる周期誤差を算出し、前記第１の信号に含まれる周期誤差と前記第２の信号に含まれる周期誤差との対応関係を表すテーブルを用いて、前記算出された前記第２の信号に含まれる周期誤差に対応する前記第１の信号に含まれる周期誤差を特定し、前記第１の信号から前記特定された周期誤差を減算し、前記参照面と前記被検面との間の光路長に対応する位相を求める。 （もっと読む）

【課題】物体の誤検出を抑えたい領域と、物体の見逃しを抑えたい領域とが、混在する検出空間に対して、領域毎に、その領域に合わせた物体の検出が行える物体検出ユニットを提供する。
【解決手段】発光部３１を発光させて入出口の幅方向に検出波を照射し、受光部３２で反射波を検出する。記憶部５、物体の仮検出に用いる受光部３２の受光光量の下限を設定する仮検出レベル、および仮検出した物体の本検出に用いる受光部３２の受光光量であって、仮検出した物体までの距離に応じて下限を設定する本検出レベルを記憶する。測距部３は、受光部３２で検出した反射波の受光光量が、記憶部５に記憶している仮検出レベルを超えているときに、物体を仮検出するとともに、この仮検出した物体までの距離を算出する。制御部２は、本検出レベルを用いて、仮検出した物体が物体であるかどうかを判定する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の光量安定性、光量分布、光軸ぶれによる測定誤差を低減することのできる変位測定装置及び変位測定方法を提供する。
【解決手段】ビームスプリッタ３により、レーザ光源１から出射されたレーザ光を被測定物４に向かう第１分割レーザ光２ａ及び第２分割レーザ光２ｂに分割すると共に、第２受光素子６ｂにより第２分割レーザ光２ｂを受光する。そして、第２受光素子６ｂを、第２受光素子６ｂに入射する第２分割レーザ光２ｂの光量の割合と第１受光素子６ａに入射する第１分割レーザ光２ａの光量の割合とが一致する位置に配置し、位置演算器８は、第１受光素子６ａの出力及び第２受光素子６ｂの出力の差に基づいてレーザ光源１に対する被測定物４の変位を演算する。 （もっと読む）