【課題】加工物の表面欠陥を自動的に検出するとともに、作業者に対して安全な環境を維持しつつ、その表面欠陥の位置を正確かつすばやく明示し、その後の表面欠陥の再加工を円滑に行わせることのできる表面欠陥検出・指示システムおよび表面処理の伴う加工物の製造方法を提供する。
【解決手段】ロボットの動作範囲内に表面処理された加工物を置いて、その加工物の表面をスキャンさせ、表面欠陥があったときには、その欠陥位置を特定する情報を記憶させておき、そのスキャン後に、加工物をロボットの動作範囲外におき、欠陥位置情報をもとに指示器がその表面欠陥の位置を光で照射することのほか、その照射した光が指し示す加工物の表面部位に対して再表面処理を行う。 （もっと読む）

【課題】検査精度を保ちつつスループットを向上させることができる検査装置、検査方法および検査プログラムを提供すること。
【解決手段】高倍率で基板の検査測定を行うミクロ検査部と、基板の全体画像をもとに各画素の輝度を算出して全体画像内のムラを検査するマクロ検査部と、全体画像に対して測定を行う測定点を、仮測定点として割り付ける設定部と、各画素の輝度をもとに全体画像を構成する画素をグループ化する分類部と、分類部がグループ化した領域において存在する仮測定点から少なくとも１つの仮測定点を選択して、選択された仮測定点を実測定点として決定する決定部と、実測定点の測定乃至検査をミクロ検査部に行わせるとともに、各実測定点における検査結果を同一の領域における仮測定点にそれぞれ割り付けて検査結果の出力制御を行う制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】従来よりもガラス基板の欠陥の検査感度を向上可能であり、かつ、欠陥を検査する時間を短縮できるガラス基板の欠陥検査方法及び欠陥検査装置、並びに、前記欠陥検査方法又は前記欠陥検査装置を用いたガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本ガラス基板の欠陥検査方法の一形態は、第１主平面及びその対向面である第２主平面を有するガラス基板に、複数方向から光を順次照射し、前記ガラス基板の画像を順次撮像する順次撮像工程と、前記順次撮像工程で順次撮像した各ガラス基板の画像に基づいて、前記ガラス基板の前記第１主平面及び前記第２主平面の欠陥の有無を検査する欠陥検査工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】
従来技術によれば，試料に熱ダメージを与えることなく，短時間で高感度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
被検査対象物である試料の表面の領域を所定の照明条件にて照明する照明工程と、該試料を並進および回転させる試料走査工程と、該試料の照明領域から複数の方向に散乱する複数の散乱光のそれぞれを、前記試料走査工程における走査方向および該走査方向と概略直交する方向の各々について複数画素に分割して検出する散乱光検出工程と、前記散乱光検出工程において検出された複数の散乱光のそれぞれについて、該試料の概略同一領域から概略同一方向に散乱した散乱光を加算処理し、該加算処理した散乱光に基づき欠陥の有無を判定し、該判定された欠陥に対応する複数の散乱光のうち少なくとも一の散乱光を用いて該判定された欠陥の寸法を算出する処理工程と、を備える欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】対象物の表面において多数の凹凸が繰り返し形成された領域全体についての評価が可能なテクスチャ評価装置、テクスチャ評価方法を提供する。
【解決手段】テクスチャ評価装置１は、３次元計測部２と、３次元計測部２から計測データを入力する入力部３と、距離画像の生成などを行う演算部４と、評価結果を表示する表示部６とを備えている。３次元計測部２は、対象物１０表面までの距離を計測し、計測した距離値を計測データとして入力部３に出力する。演算部４は、３次元計測部２から入力部３に入力された距離値を用いて、距離値を画素値とする距離画像を生成する距離画像生成部４１を有している。さらに、演算部４は、距離画像の全体についてのテクスチャの凹凸の形状を表す測度の分布を求め、当該分布の統計量を特徴量として算出する特徴量算出部４２と、算出された特徴量に基づいてテクスチャの評価を行う評価部４３とを有している。 （もっと読む）

【課題】被検査物を変更する際の洗浄を、従来装置に比べてより簡単に行うことができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物Ｋを一列に整列して供給する整列供給装置と、供給された被検査物Ｋを搬送する搬送装置と、その搬送路上に設定された撮像領域内に達した被検査物Ｋの画像を撮像する撮像装置５０と、被検査物Ｋの画像を解析してその良否を判別する画像処理装置と、判別結果にしたがい、被検査物Ｋを良品と不良品とに選別する選別装置とを備える。整列供給装置、搬送装置及び選別装置は、閉塞空間たる搬送空間内に配設される一方、撮像装置及び画像処理装置は搬送空間の外側に配設される。撮像領域と対峙する仕切板７に、透明な部材から構成される窓部６５を設け、撮像装置５０は窓部６５を通して被検査物Ｋの画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】スリット光によって測定対象物に形成される光切断線における干渉縞を低減して良好に表面測定が行われる表面検査装置を構成する。
【解決手段】半導体レーザＬＤからのレーザ光ＬＢから直線状の領域に拡がるスリット光Ｓを作り出してワークに照射し、これを撮影ユニットで撮影した画像データからスリット光Ｓが照射された光切断線を抽出してワークの表面形状データを生成するように表面検査装置を構成する。半導体レーザＬＤが、ＰＮ接合型で接合面の境界部分に沿って直線方向Ｍに形成される発光層１７を有し、この直線方向Ｍが、スリット光Ｓの拡がり方向と直交するように相対的な姿勢を設定した。 （もっと読む）

【課題】 高価な位置検出器を取り付けることなく、シート材端部の観察画像が常に最適状態にある観察装置及び方法、並びに、観察画像を用いた評価結果にばらつきが生じることを防ぐことができる観察評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】 連続搬送されるシート材端部を第１及び第２の観察手段を用いて観察評価する装置及び方法において、
第１の観察手段は、シート材の幅方向端部を視野に含み、厚み方向にシート材端部との距離が変更可能な第１の観察手段位置変更機構に取り付けられ、
第２の観察手段は、シート材の厚み方向端部を視野に含み、幅方向にシート材端部との距離が変更可能な第２の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
第１及び第２の観察手段での観察情報に基づき、シート材の幅及び厚み方向端部の位置を検出し、第１及び第２の観察手段位置変更機構を制御することを特徴とするシート材端部の観察評価装置及び方法である。 （もっと読む）

【課題】高い精度で、微細加工処理が施された基板上のパタン形状ならび欠陥を測定することが可能な形状測定装置を提供する。
【解決手段】本発明は、反射型サンプル基板２上の被検パタン領域に対し、空間領域及び／又は時間領域でのコヒーレントな光を、照射位置をシフトさせながら複数回照射する照射部１０と、照射部１０により照射された被検パタン領域からの回折光を受光する撮像素子１５と、撮像素子１５による受光結果である画像情報を記録する記録部１６ａと、記録部１６ａに記録された画像情報から、反復計算により演算に最適な照明形状を導出し、記録部１６ａに記録された画像情報のうち、導出された照明形状を用いて、実波長でのパタン形状ならび欠陥を抽出する測定処理部１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定表面が曲面であっても確実にその表面状態をイメージングする。
【解決手段】構造物の曲面に電磁波を複数の送信アンテナからそれぞれ放射する複数の送信回路と、構造物の構造物物の曲面で反射した電磁波を複数の受信アンテナでそれぞれ受信する複数の受信アンテナとを有し、送受信アンテナ１３ａと送受信回路１３ｂとが一体化された複数のミリ波モジュール１３をコンクリートポールＣＰの曲率に合わせて円弧状にアレイ化して配置する。 （もっと読む）

【課題】シェーディングの状態や、その雑音成分が変化しても、リアルタイムにシェーディング補正が可能な表面検査装置のシェーディング補正方法を提供することを目的とする。
【解決手段】予め記憶された前回走査時までの走査検出信号で生成した第１のシェーディング補正信号ｓ８を元にして閾値信号ｓ３、ｓ４を生成し、今回の走査時の走査検出信号ｓ１に含まれる欠陥部に対応する位置の信号値を第１のシェーディング補正信号ｓ８で置換してアルタイムに補正走査信号ｓ６を求め、今回の走査時の走査検出信号を正規化するようにしたことを特徴とする表面検査装置のシェーディング補正方法。 （もっと読む）

【課題】金属帯の幅方向に配列された複数台の撮像装置に故障などの異常が生じたことを正確に検出して表面欠陥の見逃し等を防止することのできる表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】表面欠陥検査装置２は、撮像装置３〜６と、その撮像領域に照明光を照射する照明装置７と、撮像装置により撮像された画像を記憶する画像メモリ９と、画像メモリに記憶された画像を画像処理して金属帯１の表面欠陥を検出する欠陥検出装置１０とを備え、さらに、画像メモリに記憶された画像から金属帯のエッジを検出するエッジ検出部１６と、検出されたエッジから金属帯の板幅を算出する板幅算出部１７と、撮像装置から出力された画像信号の平均輝度レベルを算出する平均輝度算出部１８と、算出された板幅を金属帯の真の板幅情報と比較すると共に算出された平均輝度レベルを閾値レベルと比較して撮像装置３〜６の異常を判断する異常判断部１９とを有してなる異常検出装置１５を備えている。 （もっと読む）

【課題】２軸の角度調整の操作性と小型化とをバランス良く達成することができる。
【解決手段】基準プレート１１と、ＣＣＤ素子面において走査方向に直交する方向の中心を通る走査方向の第１軸線Ｏ１を中心にして回転するあおり調整用プレート２０と、あおり調整用プレート２０上に搭載され、このあおり調整用プレート２０を回転させるためのあおり調整機構２１と、ＣＣＤ素子面に対する法線方向に平行な第２軸線Ｏ２を中心にして回転する回転調整用プレート３０と、回転調整用プレート３０上に搭載されるとともに、この回転調整用プレート３０を回転させるための回転調整機構３１とを備え、あおり調整用プレート２０がカメラ本体５に固定され、回転調整用プレート３０に対して回転可能に支持され、回転調整用プレート３０が基準プレート１１に固定され、各プレート１１、２０、３０がその順で重なって配置された角度調整装置１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】部品のターミナルを短絡させるブリッジを検出することのできるブリッジ接続不良検出方法を提供する。
【解決手段】部品のターミナルの間を短絡させるブリッジ（bridge）を検出するためのブリッジ接続不良検出方法は部品が実装された基板に照射され反射された複数の光を通じて２Ｄイメージ及び高さ基準情報を獲得する段階と、２Ｄイメージ及び高さ基準情報のうち少なくとも一つ以上を用いて部品の回転情報を獲得する段階と、回転情報を用いて部品のブリッジ接続不良を検出するための検査領域を設定する段階と、２Ｄイメージを用いて検査領域内の第１ブリッジ領域を抽出する段階と、高さ基準情報を用いて検査領域内の第２ブリッジ領域を抽出する段階と、第１及び第２ブリッジ領域のうち少なくとも一つ以上を用いて部品のブリッジ接続不良可否を判断する段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】筐体の被照射面に付着した塵埃等の影響を排除して被照射面に付いた傷を正確に検出することを、装置構成の複雑化を招くことなく実現する。
【解決手段】傷検出用の放射線画像を撮影して白色線欠陥及び黒色線欠陥を検出し、X方向又はY方向に平行で太さが細く読出方向上流側又はドライバと反対側に白色線欠陥が位置している線欠陥は断線由来と判定し(「白色線欠陥Ａ」参照)、再撮影した傷検出用放射線画像((B)参照)で位置が移動している線欠陥は浮遊ゴミ由来と判定し(「白色線欠陥Ｂ」「黒色線欠陥Ａ」参照)、位置変化の無い白色線欠陥は筐体の被照射面に固着しているゴミに由来する線欠陥(「白色線欠陥Ｃ」参照)、位置変化の無い黒色線欠陥は筐体の被照射面に付いた傷に由来する線欠陥(「黒色線欠陥Ｂ」参照)と判定する。 （もっと読む）

【課題】
微小な欠陥を検出すること、検出した欠陥の寸法を高精度に計測することなどが求められる。
【解決手段】
光源から出射した光を、調整する照明光調整工程と、前記照明光調整工程により得られる光束を所望の照明強度分布に形成する照明強度分布制御工程と、前記照明強度分布の長手方向に対して実質的に垂直な方向に試料を変位させる試料走査工程と、照明光が照射される領域内の複数の小領域各々から出射される散乱光の光子数を計数して対応する複数の散乱光検出信号を出力する散乱光検出工程と、複数の散乱光検出信号を処理して欠陥の存在を判定する欠陥判定工程と、欠陥と判定される箇所各々について欠陥の寸法を判定する欠陥寸法判定工程と、前記欠陥と判定される箇所各々について、前記試料表面上における位置および前記欠陥の寸法を表示する表示工程と、を有することを特徴とする欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】パターン付きウェハの表面粗さを高精度で非破壊に測定できる平坦な検査範囲を、目視によらず探索できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】照射される照射光により生じる散乱光の散乱光強度を、パターン付きウェハ２００上の測定座標に対応付けて測定し、ウェハ２００の表面粗さを検査する表面検査装置において、制御部が、下限閾値以上である散乱光強度の測定座標を抽出し、抽出された測定座標の周辺に相当するパターンの全体レイアウト４０１の一部の部分レイアウト４０５ａ内に、表面粗さの検査の検査範囲４０６を設定し、検査範囲４０６における表面粗さを求める。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面の凹凸状態をパワースペクトルの全座標点データを用いて定量的に評価することができる表面評価装置を提供する。
【解決手段】ワーク表面の凹凸データに基づいてワーク表面を評価する表面評価装置１０において、前記ワーク表面の凹凸データをフーリエ変換してパワースペクトルを求める手段と、当該パワースペクトルを相互相関関数を用いて数値化する手段と、当該数値化された値の最大値を用いて前記ワーク表面の評価を行う手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】液晶用カラーフィルターや有機ＥＬなどのディスプレイに用いられるカラーフィルターの製造工程における、塗膜コーテングでのスリットダイの搬送方向に発生している膜厚ムラを、膜厚ムラ検査装置の測定搬送時に発生している搬送擬似ムラと容易に、区別、判別することができる装置、方法を提供する。
【解決手段】透明基板８に製膜された塗工膜の欠陥を検査する装置、方法であって、撮像用センサーカメラ９と透過照明光源１０を透明基板８の搬送方向と垂直方向にスライトさせながら透明基板８を撮像し、その画像データを短形処理により画像補正処理することによって、透明基板８の搬送方向に発生する疑似搬送ムラを容易に判別でき、膜厚ムラや濃度ムラを的確に検査できる長所を有する。 （もっと読む）

【課題】処理負荷、処理時間の増大を抑制し、境界部分の表面欠陥をも取りこぼすことのない検査を可能とすること。
【解決手段】検査対象を有する物体を相対移動させながら撮像した検査対象の撮像画像に基づいて検査対象の表面検査を行う表面検査装置であって、検査対象の撮像画像に設定された検査領域内に更に設定される１〜複数のフィルタ領域のそれぞれに対して所定のフィルタ処理を行い、前回フィルタ処理画像と今回フィルタ処理画像との差分値であるフィルタ処理差分画像に対して、フィルタ領域ごとに画素単位でのしきい値処理を施した二値化画像（表面欠陥候補差分画像）を検査領域全体で統合した二値化画像（表面欠陥候補統合化差分画像）の画素値に前回の処理で得られた表面欠陥画像の画素値を加算することで得た二値化画像（表面欠陥候補統合化画像）を用いて表面欠陥の箇所および個数を特定する。 （もっと読む）