【課題】対物レンズの被計測体側に配設された光学素子によりスポット位置を光軸に垂直な面内方向に走査することができるとともにこの光学素子による光学系全体の結像性能の劣化を抑えることができる三次元画像取得装置および三次元画像取得方法を提供する。
【解決手段】三次元画像取得装置１０は、共焦点光学系を用いた三次元画像取得装置であって、対物レンズ１３の被計測体１５側の光軸と交差するよう配設された平行平板形の部材を有し、光軸と垂直な面に対する平行平板形の部材の傾きを異ならせることで、傾きに応じて屈折作用により被計測体側共役点の位置を光軸方向に垂直な面内で変更するＸＹ方向焦点位置変更部１４を備え、平行平板形の部材の傾きは、対物レンズ１３の被計測体側共役点に集光される光の直径が、エアリーディスク直径の半分となる所定の傾き以下である。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成を採用しつつ検出光量ムラの発生を抑制可能とした走査型検出測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の走査型検出測定装置は、レーザ光を射出する発光素子と、発光素子から供給されるレーザ光を走査しつつ標本に照射する走査光学系と、標本から生じる光を検出する検出光学系と、発光素子と走査光学系との間に設けられレーザ光の一部を発光素子に向けて反射させる反射光学素子と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】透過率の再現性が高い分光素子を用いながら、適正にレーザ光源の光量制御が可能な情報取得装置およびこれを搭載する物体検出装置を提供する。
【解決手段】情報取得装置１は、発光装置１０と、受光装置２０と、を備える。発光装置１０は、レーザ光源１１０と、コリメータレンズ１２０と、リーケージミラー１３０と、リーケージミラー１３０によって反射されたレーザ光をドットパターンを有するレーザ光に変換するＤＯＥ１４０と、リーケージミラー１３０を透過したレーザ光を受光して受光量に応じた検出信号を出力するＦＭＤ１６０と、リーケージミラー１３０とＦＭＤ１６０との間に配置され、リーケージミラー１３０を透過したレーザ光の光量を減衰させるフィルタ１５０と、ＦＭＤ１６０の検出信号に基づいて、レーザ光源１１０の発光量を制御するＡＰＣ制御部２１ｂと、を有する。 （もっと読む）

【課題】測定範囲を拡大できるとともに機器の簡略化が可能な斜入射干渉計を提供すること。
【解決手段】光源４１と、光源４１からの原光を分割する光束分割部と、測定光を被測定物Ｗに照射する照射部４３と、測定光と参照光とを合成する光束合成部４４と、合成された光束を受光する受光部４５とを有する斜入射干渉計１において、干渉計本体３０と、被測定物Ｗを保持する基台１０と、干渉計本体３０を被測定物Ｗに沿って移動可能な移動機構２０と、干渉計本体３０の移動軸線の延長上に配置された補助反射鏡５１と、光源４１からの原光から補助光を分割して補助反射鏡５１に照射する補助光束分割部５２と、干渉計本体に設置されかつ補助反射鏡５１で反射された補助光を受光する補助受光部５５と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料を詳細かつ適切に評価することができる形状測定装置、及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる形状測定装置は、観察窓５１と、基板５４とを有する試料保持ユニット１１と、観察窓５１又は基板５４を介して、試料５３を加圧するシリンダ５６、５７と、試料５１の形状を測定するため試料５１を照明するとともに、照明光の焦点位置を光軸方向に走査可能な共焦点光学系３０と、共焦点光学系３０を介して、試料保持ユニット１１に保持された試料からの反射光を検出するラインセンサ１５〜１７と、焦点位置を光軸方向に走査した時での検出結果によって、形状を測定する処理部１８と、を備え、観察窓５１の表面５１ａに焦点位置を合わせて、観察窓５１の表面形状を測定するものである。 （もっと読む）

【課題】計測装置が揺動する状況下であっても、計測対象の３次元形状を好適に計測することができる３次元計測装置を提供する。
【解決手段】撮像装置１２により撮像された画像データを含む撮像情報を取得する撮像部１１と、撮像情報に基づいて計測対象の３次元座標を取得する３次元形状演算処理部２３と、撮像装置１２の加速度および姿勢角度を含む位置姿勢情報を撮像情報の取得と同期して取得する位置姿勢計測部１４と、位置姿勢情報に基づいて計測原点に対する撮像装置１２の移動量・方向と姿勢角度の変化量・方向とを演算する位置姿勢補正処理部１７と、撮像情報と同期して取得された撮像装置１２の移動量および方向と姿勢角度の変化量および方向とに基づいて３次元形状演算処理部２３により得られる３次元座標を平行移動および回転して複数の３次元座標を統合し、計測対象の３次元形状を取得する統合演算処理部２４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】凹部の内側の情報に関する測定精度を向上させる。
【解決手段】形状測定装置は、撮像素子５と、複数の光学素子を含み、撮像素子５と共役な共役面１０を、複数の光学素子の配列方向に対して鋭角または鈍角の関係となるように形成する結像光学系６と、測定対象面に対して結像光学系６の少なくとも一部を移動可能な走査部と、走査部の位置情報及び撮像素子５の画像情報に基づいて、測定対象面の位置情報を取得する位置情報取得部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ブロックマッチングにより探索される対応点の信頼度を改善する。
【解決手段】画像処理装置は、第１画像上に予め設定された注目点を空間的に内包する第１基準ブロックと、第２画像上に設定された複数の第１参照ブロックのそれぞれとの画像内容の類似度をそれぞれ表現した複数の第１指標値を取得する第１演算部と、該複数の第１指標値に基づいて、注目点に対応した対応点の複数の候補点を前記第２画像においてそれぞれ抽出する抽出部と、複数の候補点をそれぞれ空間的に内包する複数の第２基準ブロックのそれぞれと、第１画像上の第２参照ブロックとの第２ブロックマッチングにより、複数の候補点のそれぞれについて、対応点としての選択の適性を表現した複数の第２指標値を取得する第２演算部と、該複数の第２指標値に基づいて、複数の候補点の中から１つを選択することにより、対応点を決定する決定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】プリント配線板等のそり測定において、測定精度の向上と測定時間の短縮が可能なそり測定方法を提供するとともに、量産機として使用できるそり測定装置を提供する。
【解決手段】平面度が３００μｍ以下である平滑板上に、測定対象物を積載して、測定対象物の平面度を測定するそり測定方法。また、このそり測定方法により、測定対象物の平面度を測定する、好ましくはインライン化されたそり測定装置。 （もっと読む）

【課題】吐出された液体の体積を精度よく測定する。
【解決手段】吐出手段１０１から吐出される液体２００を表面張力を用いて凸状に保持する保持面部１２１と、保持面部１２１の周囲に形成され、保持面部１２１からの液体２００の流出を抑止する抑止面領域１２２とを備える検査部材１０２と、保持面部１２１に保持される液体２００の形状に関する情報である形状情報を取得する形状情報取得手段１０３とを備える。 （もっと読む）

【課題】検知対象物の一部が他の障害物によって隠れているような状況下でも、その検知対象物の形状を正確に識別することができるようにする。
【解決手段】検知対象物上の各点の法線を算出する法線算出処理部３と、検知対象物上の各点を通過する直線を生成する直線生成処理部４と、３次元空間内の一定範囲の区切りである格子の中で、直線生成処理部４により生成された直線が通過する格子を特定する通過格子特定処理部５と、通過格子特定処理部５により特定された格子に対する投票を行う投票処理部６とを設け、形状推定処理部７が、３次元空間内の各格子に対する投票処理部６の投票結果から検知対象物の形状を推定する。 （もっと読む）

【課題】表面形状の計測処理を効率的に行い、撮像装置のスループットを向上させる技術を提供する。
【解決手段】撮像装置が、被写体を保持する保持手段と、前記被写体の表面形状を計測する表面形状計測手段と、前記表面形状計測手段により計測された表面形状に合わせて撮像面を調整して、前記被写体の撮像を行う撮像手段と、前記被写体の全体領域のなかから撮像すべき対象物が存在する存在領域を特定する特定手段とを備える。前記表面形状計測手段は、前記特定手段により特定された存在領域の表面形状のみを計測する。 （もっと読む）

【課題】ラインカメラの画像からラインカメラの視野範囲が移動した軌跡を特定し、路面全体の画像を正確に生成することが可能な技術を提供する。
【解決手段】本発明の路面画像処理システムは、車両と、車両に搭載されており、一方向に長い第１視野範囲内の路面を撮影する第１ラインカメラと、車両に搭載されており、一方向に長く、第１視野範囲と交差する第２視野範囲内の路面を撮影する第２ラインカメラと、車両の走行距離に応じて第１ラインカメラと第２ラインカメラに繰り返し撮影を指示する手段と、第１ラインカメラが撮影した画像系列にアフィン変換を施した画像と、第２ラインカメラが撮影した画像系列にアフィン変換を施した画像について、最も高い一致度を与えるアフィン変換パラメータを探索する手段と、探索されたアフィン変換パラメータに基づいて、第１視野範囲と第２視野範囲が交差する点の進行方向を算出する手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】試料表面の変位量が大きくても、フェーズラッピングの問題が生ずることなく、試料の微細な表面形状を高分解能で測定できる形状測定装置を実現する。
【解決手段】白色光源から出射した照明光は、入射光をシャーリングする第１の光路と入射光に対して可変光路長ないし可変位相量を導入してフリンジスキャンを行う第２の光路とを有する干渉光学系及び対物レンズを経て試料に入射する。試料上には、シャーリングされた参照ビームにより形成される第１の照明領域とフリンジスキャンされた測定ビームにより形成される第２の照明領域が形成される。第１及び第２の照明領域から出射した反射光は、対物レンズ及び干渉光学系を介して２次元撮像装置に入射し、２つの照明領域の画像が合成された干渉画像が形成される。フリンジスキャンにより、２つの画像を構成する反射光間に白色干渉が発生し、干渉信号を検出することで、試料の形状又は孔の深さが測定される。 （もっと読む）

【課題】３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】３次元形状測定装置は、光を発生する光源ユニットおよび光源ユニットから発生された光を格子パターンを有する格子パターン光に変更する格子ユニットを含み、格子パターン光を所定方向から測定対象物に照射する照明部、および格子ユニットを格子パターンの延長方向および格子パターンの配置方向に対して所定の傾斜方向に移送させる格子移送ユニットを含む。よって、製造コストを低減して、３次元形状測定装置は容易に管理することができる。 （もっと読む）

【課題】電子部品を、高速に検査する光学システムを提供する。
【解決手段】センサは、カメラのアレイに対してノンストップで移動する加工対象物に関する画像データを取得するように構成されたカメラのアレイを含む。カメラのアレイが画像データを取得するとき照明のパルスを提供するために照明システムが配置されている。少なくともいくらかの画像データは、加工対象物上のスキップマーク又はバーコードに関するデータを含む。又取得した複数の画像により立体画像化する。 （もっと読む）

【課題】物体の反射特性によらずに高精度に形状計測ができ、また計測精度の調整が可能な光学的走査による高速な形状計測装置を提供する。
【解決手段】形状計測装置１００は、スリット光１により物体を走査する光学走査手段１０と、物体からの、スリット光１の反射光による計測画像を取得する撮像手段２０と、取得した計測画像を基に、物体の反射位置を算出する反射位置検出手段３０と、を備え、反射位置検出手段３０は、取得した計測画像を構成する複数の画素に分布する計測輝度パターンから、物体の反射位置候補座標を算出し、計測輝度パターンと、反射位置候補座標を含む比較座標範囲内において所定の分解能の間隔で用意された複数の参照輝度パターンとを比較して、計測輝度パターンとそれぞれの参照輝度パターンとのパターン類似度を算出し、パターン類似度が最も大きな参照輝度パターンが特定する座標情報から、物体の反射位置座標を求める。 （もっと読む）

【課題】安価でかつ幅方向に高い分解能を有することができ、高精度に被測定物体の形状を測定可能にする。
【解決手段】被測定物体１の搬送方向に対し垂直な平面内であってその斜め上方または下方に配置されスリット状光を照射するスリット状光光源２ａ，２ｂと、被測定物体１を介しスリット状光光源２ａ，２ｂと反対側となる被測定物体１の斜め上方または下方であって、被測定物体１の表面１ａまたは裏面１ｂ上に照射されたスリット状光をその照射方向に対し所定の角度だけずれた方向から撮像する撮像部３ａ，３ｂと、撮像部３ａ，３ｂが撮像した被測定物体表面１ａおよび裏面１ｂの撮像画像の座標を、撮像部３ａ，３ｂがスリット状光光源２ａ，２ｂからの照射線上で撮像したように変換する座標変換部４ａ，４ｂと、その座標変換された撮像画像の座標に基づいて、被測定物体１の断面厚み形状を演算する断面厚み形状演算部５とを有する。 （もっと読む）

【課題】従来の形状測定装置は、被測定物体の幅方向に変位計を複数台設置して凹凸を測定していたので、幅方向の分解能が粗いという問題があった。また、スポット光と光走査装置を用いて、被測定物体の幅方向にこの光スポットを走査し、撮像装置で走査されたスポット光を撮像する方法が提案されていたが、撮像装置の受光信号のレベルが低い、または、測定範囲内の受光レベル差が大きく、安定した測定ができないという問題があった。
【解決手段】被測定物体に垂直でかつ幅方向にスリット状の光を照射するスリット光光源と、スリット光源と反対側に配置される撮像装置と、被測定物体に垂直でかつ搬送方向にスリット状の光を照射するスリット光光源と、スリット光源と反対側に配置される撮像装置と、撮像素子上の結像座標を被測定物体の測定座標に変換する座標変換器と、顕在形状演算器を備えた。 （もっと読む）

【課題】パターンの1周期を撮像素子の少ない画素数でサンプリングした上で交点間隔の誤差を低減し、三次元計測の精度を向上する。
【解決手段】明部と暗部とが交互に配置された第１の明暗パターン光が投影された対象物を撮像して取得される第１の画像の階調値と、当該第１の明暗パターン光の位相をずらした第２の明暗パターン光が投影された当該対象物を撮像して取得される第２の画像の階調値とを用いて、当該第１の明暗パターン光と当該第２の明暗パターン光との複数の交点位置を検出する検出部と、検出部により検出された複数の交点位置に含まれる第１の交点位置と当該第１の交点位置と隣接する第２の交点位置とに基づいて、第３の位置を算出して、当該第３の位置の間隔に基づいて対象物の三次元位置を計測する計測部と、を備える。 （もっと読む）