【課題】測定誤差に方向依存性がなく、ピンホールの位置を容易に調整することができる変位計の提供。
【解決手段】変位計１は、光源２と、集光レンズ４と、ピンホール５と、光路延長手段６と、結像レンズ７と、対物レンズ８と、受光手段９とを備える。集光レンズ４は、光源２、及びピンホール５の間に配設され、光源２から射出される光をピンホール５に集光させる。ピンホール５は、光源２、及び結像レンズ７の間に配設される。光路延長手段６は、ピンホール５と、結像レンズ７との間に配設され、Ｓ偏光の光路を延長する。受光手段９は、偏光ビームスプリッタ９１と、２つの受光素子９２，９３とを備える。偏光ビームスプリッタ９１は、入射した光をＰ偏光、及びＳ偏光に分離する。受光素子９２は、Ｐ偏光の光を受光し、受光素子９３は、Ｓ偏光の光を受光する。 （もっと読む）

【課題】タイヤ内面の検査において、ハレーションを抑制してタイヤ内面のキズや汚れ及び異物などの検出精度を向上させるタイヤ内面検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤ内面検査装置が、タイヤ内面の一方のタイヤサイド側に光を照射する第１照射手段とタイヤ内面の他方のタイヤサイド側に光を照射する第２照射手段と、第１照射手段の照射面に取り付けられる第１偏光手段と第２照射手段の照射面に取り付けられる第２偏光手段と、第１照射手段と第２照射手段が照射する光に基づき一方、他方のタイヤサイドを含むタイヤ内面を撮像する撮像手段とを備え、撮像手段が第１照射手段と第２照射手段によってタイヤ内面に照射された光のタイヤ内面からの反射光を偏光する撮像用偏光手段を備える。 （もっと読む）

物体（８）の、特に、半透明な物体の少なくとも１つの部分の形状、例えば、歯の部分の形状を、好ましくは広帯域スペクトルを有する光を発生させるための光源（１）と、多焦点の照射パターンを作成するための装置（３）と、照射パターンの複数の焦点を物体に結像するための、大きな色収差を有する対物レンズ（６）と、対物レンズを介して物体に共焦点に結像される複数の焦点の波長スペクトルを決定するための検出装置（１０）とを用いて、測定するための方法であって、各々の波長スペクトルから、各々の焦点のスペクトルのピーク位置を決定し、該ピーク位置から、結像光線（Ｚ座標）の方向における物体の広がりを計算し、多焦点の照射パターンを、光源（１）と、大きな色収差を有する対物レンズ（６）との間に設けられた複数のライトガイド（５）によって形成し、対物レンズ（６）は、ライトガイドの、物体側の端部を物体に結像し、物体から反射された光を、ライトガイドの物体側の端部に結像し、ライトガイドによって導かれかつ反射された光を、検出装置（１２）へ向ける。構造的に簡単な措置によって極めて正確な測定を行なうことができ、サンプル上の測定点のできる限り良好な分布のみならず、検出装置における最適なスペクトル分布を可能にすることが意図されることを達成するために、物体側の照射パターンは、物体側の測定点分布が、照射側および検出側のマイクロレンズの分布またはピンホールの分布に依存していないように、ライトガイド（５）を介して、形成されることが提案される。 （もっと読む）

【課題】被測定物の三次元形状の測定精度をより一層向上させることができる三次元測定方法を提供する。
【解決手段】被測定物の表面に沿ってプローブを走査して、ＸＹ座標データを取得するとともに、光干渉計によりＸＹ座標データに対応するＡ相正弦波信号値とＢ相正弦波信号値とを取得し、それらの信号値の位相差と２乗和平方根とを算出し、位相差に基づいてＺ座標データを取得するとともに、２乗和平方根によりプローブのＺ軸方向に対する傾き角度を求め、当該傾き角度からプローブと被測定物との接点の位置ズレ量を算出し、ＸＹ座標データとＺ座標データと位置ズレ量とを合成して、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸における各座標データを取得し、被測定物の三次元形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】被検基板２０の表面に形成された繰り返しパターンを直線偏光Ｌ１により照明する手段１３と、表面における直線偏光Ｌ１の振動面の方向と繰り返しパターンの繰り返し方向との成す角度を斜めに設定する手段１１,１２と、繰り返しパターンから正反射方向に発生した光Ｌ２のうち、直線偏光Ｌ１の振動面に垂直な偏光成分Ｌ４を抽出する手段３８と、偏光成分Ｌ４の光強度に基づいて、繰り返しパターンの欠陥を検出する手段３９,１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】照明開口絞りと結像開口絞りとの位置ずれの影響を低減する。
【解決手段】瞳面に配置させた第２照明開口絞り４Ｂを通過した照明光を用いて結像系の結像開口絞りＡＳの像を第２像検出素子に撮像させ、次に、回転盤４を回転させて瞳面に第１照明開口絞り４Ａを配置させ、第１照明開口絞りを通過した照明光を用いて第１照明開口絞りの像を第２像検出素子４１に撮像させ、撮像された結像開口絞りの像と第１照明開口絞りの像とに基づいて、結像開口絞りに対する第１照明開口絞りの位置ずれの影響を低減するように第１照明開口絞りの補正処理を行う。位置検出装置は、補正処理が行われた前記第１照明開口絞りを通過した照明光を用い、第１像検出素子１１により検出されたマークの像の位置に基づいて被検物体の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルの欠陥検査技術において、異物混入に起因する欠陥を精度高く検出する技術を提供する。
【解決手段】本発明に係る検査装置１は、表偏光板１０、検査対象の液晶パネル２０、裏偏光板３０およびバックライト４０を、表偏光板１０側から撮像して検査用画像６０を取得し、検査用画像６０および欠陥を精度よく検出するための視角特性情報を用いて液晶パネル２０の検査を行う。上記視角特性情報は、検査装置１が、表偏光板１０、標準として用いる液晶パネル２０’、裏偏光板３０およびバックライト４０を、表偏光板１０側から撮像して第１画像を取得するとともに、表偏光板１０およびバックライト４０を表偏光板１０側から撮像して第２画像を取得し、第１画像および第２画像に基づいて生成したものである。 （もっと読む）

【課題】正確な計測結果を得ることが可能な光学式変位計を提供する。
【解決手段】時点ｔ２１，ｔ２２，ｔ２３において、Ｘ方向における光の走査位置が位置Ｐ１２に一致し、時点ｔ２１ａ〜ｔ２１ｂの期間、時点ｔ２２ａ〜ｔ２２ｂの期間、時点ｔ２３ａ〜ｔ２３ｂの期間に露光が行われる。この場合、露光の開始時点と終了時点との中間の時点で、投光方向が所定の方向と一致する。すなわち、時点ｔ２１ａ〜ｔ２１の期間の長さと時点ｔ２１〜ｔ２１ｂの期間の長さとが等しく調整され、時点ｔ２２ａ〜ｔ２２の期間の長さと時点ｔ２２〜ｔ２２ｂの期間の長さとが等しく調整され、時点ｔ２３ａ〜ｔ２３の期間の長さと時点ｔ２３〜ｔ２３ｂの期間の長さとが等しく調整される。 （もっと読む）

【課題】照明光の光量を安定させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、照明部が所定の波長領域の光を透過させるバンドパスフィルターが設けられた波長選択機構７０，７５を有し、当該バンドパスフィルターを透過して得られた所定の波長領域の光を照明光として被検基板の表面に照射する。紫外光を遮断するＵＶカットフィルター６５がランプハウス６１と波長選択機構７０，７５との間の光路上に挿抜可能に設けられ、非検査時にＵＶカットフィルター６５が光路上に挿入されて、ＵＶカットフィルター６５を透過した光が前記バンドパスフィルターに照射されると共に、熱線反射部材が前記バンドパスフィルターの後段の光路上に挿抜可能に設けられ、前記被検基板の非検査時に前記熱線反射部材が前記光路上に挿入されて、前記バンドパスフィルターを透過した熱線が前記熱線反射部材により反射されて前記バンドパスフィルターに照射される。 （もっと読む）

【課題】レンズ駆動装置などの被測定物の測定工程において、変位量の測定と傾角量の測定とを同時に行うことが可能な変位及び傾角測定装置を提供する。
【解決手段】変位測定用光源１１から照射されたＰ波を、偏光ビームスプリッタ１３を透過させて、被測定物５０に照射し、被測定物５０の表面で反射されたＰ波の反射光を変位センサ１５に入射させて被測定物５０の変位量を測定するとともに、偏光ビームスプリッタ１３におけるＰ波の入射方向と直交する方向に配置された傾角測定用光源１６から照射されたＳ波を偏光ビームスプリッタ１３で反射させて、被測定物５０に照射し、被測定物５０の表面で反射されたＳ波の反射光を傾角センサ１９に入射させて被測定物５０の傾角量を測定するようにした。 （もっと読む）

本発明は、レーザビームと偏光フィルタとによる回転シャフトのねじれの測定に関する。測定装置は、レーザビーム発生器（２７）と、シャフト（２５）に固定され互いに離間した２つの偏光フィルタ（２９、３１）と、前記２つのフィルタを通過するレーザビームを受光するレーザ光受光器（３３）とを含む。
（もっと読む）

【課題】偏光分離型干渉計の光構成部品を削減し、低コスト化、調整簡易化を図ること。
【解決手段】光源１０２からの出射光を測定光と基準光に分岐し、測定光を反射ミラーで反射させた光と基準光とを、第１の偏光ビームスプリッタ１０５で偏光分離して干渉させる偏光分離型干渉計において、測定光の透過光と基準光の反射光を偏光分離する第２の偏光ビームスプリッタ１０６を、その反射面が基準位置に対して入射光軸を中心に４５度回転させた方向に向けて配置し、測定光の反射光と基準光の透過光を偏光分離する第３の偏光ビームスプリッタ１０７を、その反射面が基準位置に対して入射光軸を中心に４５度回転させた方向に向けて配置し、測定光と基準光の干渉光である、第２の偏光ビームスプリッタ及び第３の偏光ビームスプリッタの出力を光検出する。 （もっと読む）

【課題】繰り返しパターンの異常の原因を特定することが可能な評価装置を提供する。
【解決手段】評価装置１において、第１撮像素子３１は、検光子２１の透過軸の方位が偏光子１７の透過軸に対して９０度±３度の傾斜角度となるように検光子２１を回転させて、それぞれの条件でフーリエ画像を撮像し、演算処理部４０は、２枚のフーリエ画像における信号強度の差分に基づいて、ドーズ量の変化に起因する繰り返しパターン３の状態変化を検出し、２枚のフーリエ画像における信号強度の平均に基づいて、フォーカスの変化に起因する繰り返しパターン３の状態変化を検出するようになっている。 （もっと読む）

【課題】 迷光を除去して、精度の高い形状測定を行うことが可能な形状測定装置、及び形状測定方法を提供すること。
【解決手段】 格子パターンを有するパターン素子３０と、パターン素子３０とビームスプリッタ４０とを介して前記格子パターンを測定対象物６０に投影する投影部と、測定対象物６０に投影された格子パターンをビームスプリッタ４０を介して撮像する撮像部７０と、撮像部７０によって撮像された画像のコントラスト値に基づき測定対象物６０の形状を測定する測定部８２とを有し、ビームスプリッタ４０と測定対象物６０との間に１／４波長板５０を備え、１／４波長板５０に入射させる投影光が直線偏光であり、前記投影光と偏光方向が直交する直線偏光のみを撮像部７０に入射させるように構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ノッチ部を精度良く検査できる周部検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る周部検査装置は、周部にノッチ部１４が形成されたウェハ１０を保持する保持部と、ウェハ１０の周部を撮像可能な撮像部９０とを備え、撮像部９０により撮像されたウェハ１０の周部の画像を用いてウェハ１０の表面検査を行うように構成され、保持部に保持されたウェハ１０と撮像部９０とを撮像部９０の光軸方向に沿って相対移動させる駆動部と、撮像部９０の光軸上にノッチ部１４を位置させた状態で、駆動部により相対移動させながら撮像部９０により撮像したノッチ部１４を含んだ複数の画像について、それぞれの画像の画素毎に信号強度を求めるとともに複数の画像における同じ画素同士の信号強度を比較して、信号強度が最大となる画素を抽出し、抽出された複数の画素の画像を対応する画素位置に並べて合成しノッチ部１４の検査用画像を生成する画像処理部とを有する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、コンパクトかつ低コストで、結像光学系の倍率、ＮＡに関係なく使用できる干渉計の実現を目的とする。
【解決手段】
ある方向の直線偏光光を透過し、その方向と直交する方向の直線偏光光は反射する特性を持つ偏光光学素子１０２をミロー干渉計型光学配置で参照鏡として用い、半透鏡１０４の前後に１／４波長板１０３，１０５を挿入することで干渉計を構成するようにした。
【効果】
参照鏡が照明・結像光束を遮ることが無いことから、ミロー干渉計型光学配置であっても低倍率・低ＮＡの結像光学系に用いることができる。つまり、結像光学系の倍率、ＮＡに関係なく使用できる干渉計が実現できる。 （もっと読む）

【課題】 限界値（０．２ないし０．５７の範囲にある）の間にあり、比較的一様な水準の条件付けを示しながら、３５０ｎｍないし２０００ｎｍのスペクトル域にわたり測定値をもたらすことができる偏光計を提案すること。
【解決手段】 本発明は波長域にわたり入射光ビームを発するのに適した光源と、偏光状態生成器（ＰＳＧ）と、偏光状態分析器（ＰＳＡ）と、検出器とを備える広スペクトル域の分光偏光計システムに関する。ＰＳＧとＰＳＡは光ビームの偏光を変調するそれぞれの手段を有する。本発明によれば、偏光を変調するＰＳＧの手段は各測定波長においてｍ個（ｍ＞４）の偏光状態の列を生成するのに適し、偏光を変調するＰＳＡの手段は各測定波長においてｎ個（ｎ＞４）の偏光状態の列を決定するのに適し、検出器手段は各波長においてＮ個（ただし、１６＜Ｎ≦ｎｘｍ）の測定値の列を取得してそれからサンプルのミューラー行列の偏光計分光測定値を抽出するのに適している。本発明はまた拡張された分光偏光測定方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 穴の全体形状だけでなく、穴の壁面に形成された微細な凹凸形状をも精度良く測定する。
【解決手段】 管状プローブ８０からレーザ光を測定対象穴の壁面に照射し、レーザ光の焦点位置と壁面における反射位置とのずれ量（焦点ずれ量）に応じたフォーカスエラー信号を生成するフォーカスエラー信号生成回路１１１，１１２を備える。コントローラ１００は、管状プローブ８０を回転させながらＺ方向（管状プローブの中心軸方向）に移動させて、レーザ光を測定対象穴の壁面に螺旋状に照射する。そして、管状プローブ８０のＺ方向位置と、管状プローブ８０の回転角度と、フォーカスエラー信号から得た焦点ずれ量とに基づいて測定対象穴の３次元形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸回りの微小角度変位量の測定が可能な多自由度軸角度センサを提供する。
【解決手段】光検出素子が、１対の非分割型の単素子ＰＤ（フォトダイオード）３ａ，３ｂを有している。一方の単素子ＰＤ３ｂは、その受光面の一部に光スポット３ｂｓが入射するように、光ビーム分割用光学素子により分けられたレーザ光源２からの一方の光ビームにより定義される光軸９ｂから、ＰＤ受光面の長さ以下のオフセット量を与えて配置されている。他方の単素子ＰＤ３ａは、位置の変化による光強度変化量の検出用として光スポット３ａｓの大きさよりも十分に大きな素子サイズを有している。単素子ＰＤ３ａは、光ビーム分割用光学素子により分けられたレーザ光源２からの他方の光ビームにより規定される光軸９ａに沿って配置されている。単素子ＰＤ３ａは、光強度変化の正規化のための光量モニタリング用として設けられている。 （もっと読む）

【課題】
光干渉を用いた変位計測装置において、プローブ光路と参照光路とが空間的に分離して
いるため、空気の揺らぎ等による温度分布や屈折率分布、あるいは機械振動が生じた場合
、両光路間で光路差が変動し、測定誤差となってしまう。
【解決手段】
プローブ光の光軸と参照光の光軸を外乱の影響を受けない距離まで近接させて、プロー
ブ光を対象物に、参照光を参照面に各々照射し、その反射光同士を干渉させ、生じた干渉
光から対象物の変位量を求める （もっと読む）