【課題】全面走査の誤差を蓄積することなく、被検体の表面形状を精度よく測定することができるようにする。
【解決手段】被検体１における複数の注目領域２のうち、１つの注目領域２が回転中心上に位置するように被検体１が載置され、１つの注目領域２を中心にして、被検体１を回転させる回転台３と、被検体１における複数の注目領域２のいずれかに光を照射する光照射部及び注目領域２に反射された光を検出する光検出部を有する複数の光センサ５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 回転体の回転軸心の運動の軌跡を計測する方法を提供する。
【解決手段】 主軸に回転体を取り付けることと、前記回転体の前記回転軸心に垂直な垂直面内に、前記回転体の一部を挟んで対向する３組の発光部及び受光部の組を配置することと、回転体を、前記主軸と一体的に回転させつつエッジ光の光量を測定することと、エッジ光の光量に基づいて、回転体の断面形状と異なる仮想断面形状を求めることと、エッジ光の光量及び仮想断面形状に基づいて、回転体の回転軸心の運動の軌跡を求めることとを備える方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】被測定マスク基板に焼き付きを生じさせることなく、非破壊での測定を可能とするとともに、個々の露光条件を考慮して精度良く微細加工処理が施された基板上のパタン幅を露光機における実効的なパタン幅として測定することが可能なパタン幅測定装置を提供する。
【解決手段】空間領域及び／又は時間領域でのコヒーレントな光を、被検パタンを微細加工した被検マスク基板２に照射する照射部１０と、照射部１０により照射された被検マスク基板２上の被検パタンからの回折光を受光する撮像素子１５と、撮像素子１５による受光結果である画像情報を記録する記録部１６ａと、記録部１６ａに記録された受光結果である画像情報を解析して、微細加工処理が施された被検マスク基板２上のパタン幅を測定する測定処理部１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】岩石試料内の単一天然亀裂の開口幅と形状の両方を高い分解能で且つ高精度で同時に測定でき、測定に際して岩石試料が消失することなく、測定に要する時間とコストの負担を軽減できるようにする。
【解決手段】単一亀裂を有する岩石試料を型として、亀裂を境とする２つの透明レプリカ試料１４ａ，１４ｂを、一方は無色の透明樹脂で、他方は染料で着色した透明樹脂で作製し、両者を組み合わせることで亀裂１２を復元し、亀裂内に前記染料とは異なる色の染料溶液を満たして岩石レプリカ試験体１０とする。それに白色光を照射し、透過光を各染料に対応したバンドパスフィルター２０を通して各色毎の２次元平面座標の光強度データをＣＣＤカメラ１８で取得し、各色毎の２次元平面座標の吸光度から２種類の染料で着色された部分の厚さをデータ収録装置２２で算出して亀裂開口幅と亀裂形状を同時に求める。 （もっと読む）

【課題】多様な認識対象に対応することができるとともに、占有スペースを小さくしてコンパクト化の要請に対応することができる部品実装用装置および部品実装用装置における撮像用の照明装置ならびに照明方法を提供する。
【解決手段】基板３を対象として部品実装用の作業を実行する部品実装用装置において、基板認識カメラ１２による撮像時に基板３に対して照明光を照射する際に、光源部１３とカラー液晶パネル１４を積層して構成され、発光状態を個別に可変な複数の発光部を規則配列した発光パネル１５から照明光を照射するに際し、それぞれの発光部から照射される照明光の照射範囲を撮像対象に応じて変化させる。これにより多様な認識対象に対応した適正な照明条件で撮像することができるとともに、照明部２０の装置占有スペースを小さくしてコンパクト化の要請に対応することができる。 （もっと読む）

【課題】近赤外線吸収性能の面均一性を容易に測定できる、近赤外線吸収性能の面分布測定方法と、この測定方法を利用した近赤外線吸収フィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】透明基材シート２上に近赤外線は吸収し且つ可視光は吸収しない近赤外線吸収層３を積層した帯状の近赤外線吸収フィルタ１に対して、搬送させながら、その幅方向ＴＤ及び流れ方向ＭＤに亘る所定領域面Ａ毎に、近赤外線光源５からの透過光の面分布を、近赤外線領域に感度を有する二次元イメージセンサ５による二次元画像として撮影し、画像処理装置７で画像処理して、その輝度分布から近赤外線吸収性能の面分布を測定し、ディスプレイ８に表示する。更に、判定基準に従い面分布の不良品と良品とをマーキング等で識別できる様にすると良い。この方法を用いて、近赤外線吸収フィルタを製造する。 （もっと読む）

【課題】視差ずれを容易に低減可能な画像を撮像できる光学デバイスを提供すること。
【解決手段】光学デバイスは、撮像光に対して第１の光学特性を持つ少なくとも１つの第１レンズを有する第１撮像系と、撮像光に対して第２の光学特性をそれぞれ持ち、互いに異なる光軸を持つ複数の第２レンズを有する第２撮像系とを備え、複数の第２レンズのそれぞれの光軸は、第１レンズの光軸位置の重心を中心として同心円上に位置し、複数の第２レンズの光軸位置の重心が第１レンズの光軸位置の重心に位置する。複数の第２レンズを通じて撮像された複数の画像を重ね合わせた重ね合わせ画像と、第１撮像系で得られた画像とを合成してよい。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成にて、回折光学素子の劣化を検出可能な情報取得装置およびこれを搭載する物体検出装置を提供する。
【解決手段】情報取得装置１は、波長８３０ｎｍ程度のレーザ光を出射するレーザ光源１１１と、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）１１３と、１／４波長板１１４と、ＤＯＥ１１６と、ＰＤ１１７を備えている。ＤＯＥ１１６は、レーザ光を所定のドットパターンにて目標領域に照射する。ＰＤ１１７は、ＤＯＥ１１６によって回折および反射されたレーザ光の一部を受光する。 （もっと読む）

【課題】複数レイヤ試料の２つのレイヤ間のオーバレイ誤差を決定する方法を提供する。
【解決手段】試料の第１レイヤから形成される第１構造および第２レイヤから形成される第２構造をそれぞれ有する複数の周期的ターゲットについて、光学システムを用い、周期的ターゲットのそれぞれについて光学信号が計測される。第１および第２構造の間には既定義されたオフセットが存在する。散乱計測オーバレイ技術を用いて既定義されたオフセットに基づいて周期的ターゲットからの前記計測された光学信号を分析することによって第１および第２構造間のオーバレイ誤差が決定される。本光学システムは、反射計、偏光計、画像化、干渉計、および／または走査角システムのうちの任意の１つ以上を備える。 （もっと読む）

【課題】ウェハを搬送する際に生じる振動に起因して測定データに現れるオフセット成分のバラツキを除去する。
【解決手段】Ｙ方向に光切断線を照射して平行断面形状データＺｆ＿Ｘ０を求める。Ｘ方向に光切断線を照射して直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０，Ｚｇ＿Ｙ１，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎを求める。平行断面形状データＺｆ＿Ｘ０と直交断面形状データとの交差位置の高さデータが等しくなるようにオフセット値ｏ（Ｙ０），ｏ（Ｙ１），・・・，ｏ（Ｙｎ）を求める。直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０，Ｚｇ＿Ｙ１，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎにオフセット値ｏ（Ｙ０），ｏ（Ｙ１），・・・，ｏ（Ｙｎ）を加算し、補正直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０´，Ｚｇ＿Ｙ１´，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎ´を求める。 （もっと読む）

【課題】３次元画像モデルの構築に必要な画像データを効率よく取得する。
【解決手段】着目画像に現れておりかつ他の画像に現れていないオクルージョン領域が求められる。ディジタル・スチル・カメラ１による撮像によって得られる動画Ｓ４中に，上記着目画像のオクルージョン領域と対応する画像領域が現れていると，そのオクルージョン対応領域ＲＯＣ42が動画Ｓ４中に表示される。３次元画像モデルの構築に不足している画像を動画を通して観察（視認）することができる。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置では検出倍率を上げて微細欠陥検出感度を向上させるため、焦点深
度が浅くなり、環境変動によって結像位置がずれ、欠陥検出感度が不安定になる課題があ
る。
【解決手段】被検査基板を搭載して所定方向に走査するＸＹステージと、被検査基板上の
欠陥を斜めから照明し、その欠陥を上方に配した検出光学系で検出する方式で、この結像
状態を最良の状態に保つために、温度及び気圧の変化に対して、結像位置変化を補正する
機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】ステータコアに付着した不要ワニスを容易かつ正確に検知することができる不要ワニス検査装置を提供すること。
【解決手段】ステータコア８０に設けたコイル７に電気的絶縁性を維持するためのワニス９を含浸させてなるステータ８における、ステータコア８０の表面に付着した不要ワニス９９を検知する装置であって、不要ワニス９９を励起発光させることが可能な検査光５０を、ステータコア８０の表面の検査領域に向けて照射する光源５と、ステータコア８０の表面の検査領域を撮影するためのカメラ６と、カメラ６を通して採取した画像データを解析して不要ワニス９９の付着位置を特定する判定手段４５と、検査光５０がステータコア８０の軸方向端面８１から突出したコイルエンド部７０に照射されることを防止するためにコイルエンド部７０の少なくとも一部を覆うマスク部３とを有する。検査光５０は紫外線であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】高精度に膜厚を測定することを可能にした膜厚測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】分光スペクトル情報を信号処理して膜厚を推定する膜厚測定方法において、
検量線作成用分光スペクトル情報を基底分解し、その基底に掛かる第１の係数を分光スペクトル情報の代表値として求め、第１の係数と分光スペクトル情報に対応した膜厚データとから重回帰係数を求める工程と、測定対象物の分光スペクトル情報と基底とに基づいて基底に掛かる第２の係数を求め、第２の係数と重回帰係数とに基づいて測定対象物の膜厚を推定する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】高精度に高さ方向の位置を検出可能な変位検出装置を提供する。
【解決手段】光源１から出射される光を２つの光束に分割する第１の光束分割手段３と、分割された第１の光束を反射する反射部材８と、第１の光束分割手段によって分割された第２の光束を被測定面上に集光する対物レンズ５と、反射された第１の光束と、被測定面によって反射された第２の光束との干渉光を受光する第１の受光手段３０と、受光した干渉光強度に基づいて被測定面の高さ方向の相対位置情報を出力する相対位置情報出力手段６０と、第２の光束の一部を取り出す第２の光束分割手段２０と、取り出された第２の光束に非点収差を発生させる非点収差発生手段１０と、非点収差が発生した第２の光束を受光する第２の受光手段４０と、検出された受光強度に基づいて被測定面の高さ方向の絶対位置情報を出力する絶対位置情報出力手段５０とを含む。 （もっと読む）

【課題】反射材を備えるターゲットが複数設置された車両をステレオカメラにより撮影した画像のみに基づいて、車両の寸法を精度良く計測できる車両寸法計測装置を提供する。
【解決手段】 車両２の車長に合わせて設置され、既知の高さに設定される車長用ターゲット３と、車両２の車幅に合わせて設置され、車長用ターゲット３と同一の高さに設定される車幅用ターゲット４と、車両２の最も高い位置に設置される車高用ターゲット５と、車両２の車軸方向に沿うように設置され、車長用ターゲット３及び車幅用ターゲット４と異なる既知の高さに設定される車軸用ターゲット６と、夫々のターゲット３〜６が設定された車両２を撮影するステレオカメラ７と、該ステレオカメラ７から得た画像に基づいて、車両２の寸法を計測する演算装置とを備える車両寸法計測装置１。 （もっと読む）

【課題】マスク基板に対して洗浄加工を行なった場合の洗浄加工後にマスク基板に残る欠陥が洗浄加工プロセスによるものなのか、マスク基板自体の内部欠陥によるものなかを容易に判定する。
【解決手段】第１及び第２の受光手段に受光された散乱光に基づいて基板の両面（表面及び裏面）に存在する欠陥を検出することができるので、基板の洗浄加工の前後で両面の欠陥の存在位置をそれぞれ比較することによって、洗浄加工によって基板両面に存在していた欠陥が除去されたか否かを容易に判定することができる。すなわち、基板の洗浄加工処理によって基板から所定数の欠陥が除去されなかった場合には、マスク基板の内部に欠陥が存在する可能性が高いので、基板内部の欠陥の検出処理行い。その結果に基づいて洗浄加工によって除去できなかった欠陥が基板内部の欠陥であるのか、洗浄加工プロセスの問題によるものかを容易に判定することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で素材、板厚、端面の状態等を含めたガラス基板等の状態の検査を行うことが可能なガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】画像データを解析する解析手段を有し、前記解析手段は、前記画像データから特定の色の画像データを抽出する色抽出手段と、前記色抽出手段により抽出された前記特定の色の画像データを含む第一の所定領域の画像データの色の変化に基づき前記ガラス基板の端面に対する加工が行われているか否かを検出する端面状態検出手段と、
を有する。 （もっと読む）

【課題】被検物の温度管理を行って高精度の形状測定が行える計測装置を提供すること。
【解決手段】被検物の形状を測定する計測装置であって、
前記被検物の形状情報を採取する検出手段と、
少なくとも前記検出手段の汚染を防止する気体流を形成する汚染防止気体流形成手段と、
前記被検物の温度を計測する温度計測手段と、
前記被検物の温度を調整する気体流を形成する気体流形成手段と、
前記温度計測手段からの情報に基づいて、前記気体流形成手段を制御して、前記被検物の温度を所定温度範囲に保持する温度制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】照明光の連続性を確保し、被測定物の視認性や人の作業効率に影響を与えることなく、高精度かつ確実に被測定物の３次元形状を導出する。
【解決手段】３次元形状測定装置１１０は、被測定物１０２に特定色の光を投射する投光源１５０と、被測定物で反射された反射光のうち特定色の反射光を受光し投影像を形成する受光素子１６０と、２値化された制御信号を生成する信号生成部１７０と、被測定物に照明光を照射する複数の照明装置１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃのうち特定色を含む照明光を照射する照明装置１２０ａを、制御信号が第１状態を示す間消灯する照明制御部１６２と、制御信号が第１状態を示す間に、受光素子に投影像を形成させる投影像形成制御部１７２と、受光素子で形成された投影像に基づいて被測定物の３次元形状を導出する３次元形状導出部１７６とを備える。 （もっと読む）