【課題】トロリ線測定用投光装置を小型でありながら十分な光量を投光できるようにする。
【解決手段】レール２１の横断方向に沿って少なくとも２列分配列された複数個の発光ダイオード群２ａ〜２ｎによって構成される単色光源を用い、２列分の各発光ダイオード群からの出射光をトロリ線２０の偏位範囲に亙ってトロリ線摺動面２０ａに集光照射する。レールの横断方向に沿って少なくとも１列分配列された複数個の発光ダイオード群２ａ〜２ｎから出射する光をコリメートレンズ６５ａ〜６５ｎで所定の拡がりを持った光に変換し、変換後の光をリニアフレネルレンズ６０でトロリ線摺動面２０ａ付近に集光ウエストを持つ光に変換してトロリ線摺動面２０ａに集光照射する。これによって、太陽光の強度との差を十分に大きくすることができ、強いレーザ光を発生する光源を用いなくても昼間の太陽光の光強度より強い反射光をトロリ線摺動面から発生させるようにした。 （もっと読む）

【課題】インコヒーレント光源から放射された光束の平行度を少ない測定回数で測定できる光束平行度測定装置を提供すること。
【解決手段】光束９に含まれる光線成分のそれぞれを光軸Ｋに対する入射角度θに応じた距離Ｌだけ前記光軸Ｋから離れた位置に結像するレンズ部２０と、前記光束９の結像位置Ｐを検出する二次元検出器２２と、を有し、前記光軸Ｋから前記結像位置Ｐまでの距離Ｌを前記入射角度θに変換し、前記光束９に含まれる光線成分の入射角度分布を出力する解析装置１２を備える光束平行度測定装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】複数台の撮像装置を使用して、カラーの合成画像と距離情報を得ることができる撮像装置において、解像度の低下を招くことなく感度を向上し、さらには多くの色情報の取得が可能な撮像装置を提供する。
【解決手段】カラー画像を取得するとともに、被写体までの距離情報を取得するために、入射した光を光電変換して画像信号を出力する２系統の撮像素子と、２系統の画像信号に基づき被写体までの距離情報を求める距離情報取得部と、２系統の画像信号を合成してカラー画像を得る合成部とを備える撮像装置であって、撮像素子のうち第１の撮像素子は透明画素と光の３原色のうち第１の原色画素と第２の原色画素とを一組とした画素構成を有し、第２の撮像素子は透明画素と光の３原色のうち、第３の原色画素と、第１または第２のいずれかの原色画素とを一組とした画素構成を有している。 （もっと読む）

【課題】ウェハ表面の膜を容易に高感度で検査することが可能な検査方法を提供する。
【解決手段】表面に膜が設けられたウェハを支持するステージと、ステージに支持されたウェハの表面に照明光を照射する照明系と、照明光が照射されたウェハの表面からの反射光を検出する検出部と、検出部により検出された反射光の情報から膜の検査を行う検査部とを備えた検査装置による検査方法であって、目標膜厚および屈折率を設定する設定ステップＳ１０１と、目標膜厚および屈折率から、目標膜厚近傍における膜厚変化に対する反射率変化の特性を複数の波長毎に算出する演算ステップＳ１０２と、膜厚変化に対する反射率変化の特性に基づいて、反射率変化（すなわち感度）が最も大きくなる波長を照明光の波長として決定する決定ステップＳ１０３とを有している。 （もっと読む）

【課題】小型で広い範囲の曲率を精度よく測定できる曲率測定装置を提供する。
【解決手段】被検査体３を載置台５に載置し、レーザ発光器１０により発光されたビーム光をポリゴンミラー２２で等角速度走査し、ｆθレンズ５０を介して、被検査体３表面を走査する。被検査体３表面から反射されたレーザ光をシリンドリカルレンズ６０で集光し、載置台５の一点から等距離で、互いの距離が一定である位置に配置され、被検査体３から反射されるビーム光を検出する２つのビーム光検出センサ（第１及び第２レーザ光検出センサ３０，３２）でレーザ光を検出した時間差及び２つのビーム光検出センサ３０，３２の間の距離ｄ２、被検査体３表面からの距離Ｌに基づいて、被検査体３の表面の曲率を算出する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成にて目標領域の情報を精度よく取得できる情報取得装置およびこれを搭載する物体検出装置を提供する。
【解決手段】情報取得装置１は、波長８３０ｎｍ程度のレーザ光を出射するレーザ光源１１１と、レーザ光を前記目標領域に向けて投射する投射光学系１０と、前記目標領域からの反射光を受光して信号を出力するＣＭＯＳイメージセンサ１２５とを有する。レーザ光が出射されたときにＣＭＯＳイメージセンサ１２５から出力される第１の撮像データから、レーザ光が出射されていないときにＣＭＯＳイメージセンサ１２５から出力される第２の撮像データが減算され、減算結果が、メモリ２５に記憶される。３次元距離演算部２１ｃは、メモリ２５に記憶された減算結果に基づいて、３次元距離情報を演算し取得する。 （もっと読む）

【課題】撮像面と撮像対象との位置関係を測定または判定する。
【解決手段】データ表示／センサ装置１００は、入力表示画面およびバックライトを有する表示／光センサ部と、入力表示画面に照明光を照射する外部照明部とを備えている。表示／光センサ部は、バックライトからの照明光が撮像対象に反射することによって生じる反射像を含む反射光画像と、外部照明部からの照明光によって生じる撮像対象の影の像を含む影画像とを撮像する。また、データ表示／センサ装置１００は、撮像対象から入力表示画面に下ろした垂線の足の位置である反射像位置を反射光画像から算出する反射像位置算出部７０５と、入力表示画面における上記影の位置を影画像から算出する影像位置算出部７０６と、反射像位置と影の位置とのずれに基づいて撮像対象の入力表示画面からの距離を算出する距離算出部８０２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
ハードディスク用のパターンドメディアの光学的な検査において、下地膜の膜厚変動，膜質変動の影響を受けることなくパターンの検査を行えるようにする。
【解決手段】
パターン検査装置を、試料を載置して回転可能な回転テーブル手段と、試料に照明光を照射する照明手段と、照明手段で光を照射された領域からの反射光を分光して検出する分光検出手段と、分光検出手段で分光して検出した基板のパターンが形成されていない領域からの反射光検出信号を処理して多層膜の光学特性を検出するとともに多層膜を含むパターンからの反射光検出信号を処理して多層膜を含むパターンからの反射光の光学特性を検出する光学特性検出手段と、光学特性検出手段で検出した多層膜からの反射光の光学特性の情報を用いて多層膜を含むパターンからの反射光の光学特性の情報を処理することにより多層膜上に形成されたパターンを検査するパターン検査手段とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】使用環境が制限されず、測定原理が簡単で、且つ、より高い感度及び精度でひずみを測定できる、光学ひずみゲージ、光学的ひずみ測定装置及び光学的ひずみ測定方法を提供すること。
【解決手段】測定対象物１に取り付けられ、光を反射可能であり且つ測定対象物１のひずみ変形に伴って角度が変化する複数の反射面５を備えるように、光学ひずみゲージ１０を構成した。また、光学的ひずみ測定装置１００に当該光学ひずみゲージ１０を備えた。 （もっと読む）

【課題】部品の表面上におけるアルミナ層の存在を確認する方法を提供する。
【解決手段】部品の表面を適切な波長における放射線で照明し、該部品の該表面上にある任意のアルミナにおける電子を通常エネルギー状態から高エネルギー状態に励起する工程と、該部品の該表面上にある任意のアルミナにおける該高エネルギー状態から該通常エネルギー状態に戻る電子により特定の波長で放射される放射線を検出、分析し、該部品の該表面上にある少なくとも一点における該アルミナの厚さを測定する工程と、該部品の該表面上にある該少なくとも一点で測定した該アルミナの厚さを、該部品の該表面上にある該点で予め決められたアルミナの厚さと比較し、該部品の該表面上における該少なくとも一点における該アルミナの厚さが十分であるか否かを決定する工程を含んでなる、方法。 （もっと読む）

【課題】外乱光が存在する測定環境においても、測定対象物におけるレーザ反射光の抽出を高速且つ高精度に実行可能な距離測定装置を提供する。
【解決手段】照射方向を変化させながら、測定対象物Ｗにスリット状のレーザ光を照射する照射装置２と、撮影方向を変化させながら、測定対象物Ｗで反射したレーザ光の反射光を撮影画像として取り込む撮像装置３と、照射装置２及び撮像装置３の動きを制御する制御装置４と、撮影画像に２値化処理及びラベリング処理を施した処理画像を作成する画像処理部５と、処理画像に含まれる反射光と外乱光とを区別するために用いられる所定の物理量を、ラベリングされた領域ごとに演算する物理量演算部６と、少なくとも２枚の処理画像を比較して、対応する領域の物理量の変化量を算出し、変化量が予め設定した閾値を超過している領域のデータを消去する外乱光消去部７と、を備えた距離測定装置１。 （もっと読む）

【課題】 参照光と被検光との相対位置及び光路長差を独立して調整することにより、被検物の面位置を高精度に計測する。
【解決手段】 白色光源からの光を用いて被検物の表面の位置を計測する計測装置は、白色光源からの光を参照光と被検光とに分割し、被検光と参照光とを合成する光学系と、被検光と参照光との干渉光を検出する検出器と、参照光又は被検光の光路内に配置された光学部材であって、参照光と被検光との光路長差及び相対位置とを変更するための光学部材と、光学部材の位置を可変とする位置可変機構とを有する。位置可変機構を用いて光学部材の位置を変更することにより参照光と被検光との光路長差及び相対位置を独立して調整する。 （もっと読む）

【課題】近接場光エッチングを実行しつつ、リアルタイムで表面粗さを計測する。
【解決手段】原料ガス雰囲気中に光学素子２を配置し、原料ガスのガス分子の吸収端波長よりも長波長からなる光を光学素子２に照射することにより、当該光学素子２表面に形成された凹凸における少なくとも角部に発生させた近接場光に基づいて上記原料ガスを解離させて上記角部をエッチングし、更にエッチング中に光学素子２表面に対して表面粗さ計測用のレーザ光を照射し、そのレーザ光が光学素子２表面で散乱された散乱光の強度を測定し、測定した散乱光強度に基づいて角部へのエッチングによる表面粗さを計測する。 （もっと読む）

【課題】基板上の膜厚を測定可能な検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、表面に薄膜が設けられたウェハＷを支持するステージ１０と、ステージ１０に支持されたウェハＷの表面に照明光を照射する照明系２０と、照明光が照射されたウェハＷの表面からの光を検出する撮像装置３５と、撮像装置３５により検出された光の情報から薄膜の膜厚を測定する膜厚算出部５０と、照明光の実際の波長を測定する画像処理部４５とを備え、膜厚算出部５０は、画像処理部４５により測定された照明光の実際の波長を用いて、撮像装置３５により検出された光の情報から膜厚を求める。 （もっと読む）

【課題】２次元の光切断法において隙間の間隔および段差を、エッジの形状に関係なく、高精度に算出することが可能な２次元光切断法による隙間および段差の測定装置を実現する。
【解決手段】ユーザが間隔寸法、段差寸法を求めたい対向面中のレーザ輝線をモニタ１７の画面２０に指定する。間隔寸法、段差寸法共に、ＣＰＵ１４は、指定された範囲内でレーザ輝線の位置をサブピクセル精度で抽出し、間隔寸法を測定する場合は、対向する面上のそれぞれのレーザ輝線の直線方程式を計算し、両直線の互いの間隔を算出する。また、ＣＰＵ１４は段差寸法を測定する場合は、段差を形成する２つの面上のそれぞれのレーザ輝線の直線方程式を計算し、両直線の互いの間隔を算出する。そして、算出された間隔寸法、段差寸法を、モニタ１７に表示させる。 （もっと読む）

【課題】植生の内外で同時測定する必要がなく、年間を通して連続して安定した測定を行うことができ、安価で小型、軽量で出力が大きい光学的植生指数センサを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の光学的植生指数センサは、葉又は葉群を透過した透過放射を受光すると、４００ｎｍ〜７００ｎｍの放射に対して分光特性の補正を行い、光電変換して光合成有効放射度または光合成光量子束密度の何れかを示すＰＡＲ出力として出力するＰＡＲセンサ２と、受光した放射に対して７００ｎｍ〜１０００ｎｍの放射を取出し、光電変換してＰＡＲ出力と共通する単位の放射度または光量子束密度の何れかを示すＩＲ出力を出力できるＩＲセンサ３と、ＩＲ出力の積算値をＰＡＲ出力の積算値で割って比を算出し、該比に対応した葉面積指数を求める演算部５を備えたことを主な特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱間プレスされた加熱状態にある被加工物を撮像し、これにより得た画像から被加工物の寸法を測定する場合に、当該寸法を精度よく測定できる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】熱間プレスされた加熱状態にある被加工物１の寸法を測定する寸法測定装置１０。被加工物１にパルスレーザを照射するレーザ照射装置３と、パルスレーザが被加工物１に照射された時に、被加工物１を撮像するように作動する撮像装置５とを備える。撮像装置５は、パルスレーザの照射方向と異なる方向から被加工物１を撮像するように配置される。 （もっと読む）

【課題】 正確かつ簡単にディストーションを求めることができ、正確な面形状を測定することができる面形状計測装置を提供すること。
【解決手段】 光源からの光を測定光と参照光とに分割し、被測定面で反射した測定光と参照光とが干渉することで形成される干渉縞に基づいて、被測定面の形状を測定する面形状測定装置は、干渉縞を撮像する第１の撮像素子と、測定光および参照光を第１の撮像素子に導く光学系と、光学系を経由していない光源からの光の光量分布を測定する第２の撮像素子と、第１の撮像素子で撮像した干渉縞に基づいて被測定面の形状を算出する算出手段とを備える。まず、光学系を経由した光源からの光の光量分布を、第１の撮像素子で測定する。そして、第１の撮像素子で測定した光量分布と第２の撮像素子で測定した光量分布とに基づいて、算出手段で算出される被測定面の形状を補正する。 （もっと読む）

【課題】一つの撮像装置で距離情報と色情報の導出を実現できて立体カラー撮像画像を得る。
【解決手段】３次元撮像装置１は、光源手段２からの投射光Ｌ１として近赤外光が被計測物Ａに照射され、この投射光Ｌ１の被計測物Ａからの反射光Ｌ２を受光手段３で受光し、受光手段３の受光情報に基づいて被計測物Ａまでの距離情報を信号処理部４により導出する距離情報導出手段５２と、自然光または照明光による被計測物Ａからの反射光Ｌ２を受光手段３で受光して、この受光手段３の受光情報に基づいて被計測物ＡのＲ（赤），Ｇ（緑）およびＢ（青）の色情報を信号処理手段４により導出する色情報導出手段５３とを有して３次元画像を撮像する。 （もっと読む）