【課題】本発明の目的は、短時間に高い精度で用紙の移動状態を非接触で検出できる移動状態検出手段を用紙搬送路に配設し検出された用紙の移動状態を変更して、用紙の片寄り、用紙の変形による画像不良を未然に防止可能にする用紙搬送装置及び画像形成装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、用紙搬送手段と、移動する用紙表面における異なる領域を互いに連続的に撮影して画像を出力する複数の撮像手段ＩＳと、複数の撮像手段ＩＳより出力された画像に基づき複数の領域における用紙の移動速度、用紙の移動量、もしくは用紙の移動方向を検出する移動状態検出手段ＩＰと、移動状態検出手段ＩＰの検出結果に基づき用紙搬送手段を制御する用紙搬送制御手段Ｕ１００と、を備える用紙搬送装置２０を提供して、上記課題の解決を達成可能にする。 （もっと読む）

【課題】パターン付きウェハの表面粗さを高精度で非破壊に測定できる平坦な検査範囲を、目視によらず探索できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】照射される照射光により生じる散乱光の散乱光強度を、パターン付きウェハ２００上の測定座標に対応付けて測定し、ウェハ２００の表面粗さを検査する表面検査装置において、制御部が、下限閾値以上である散乱光強度の測定座標を抽出し、抽出された測定座標の周辺に相当するパターンの全体レイアウト４０１の一部の部分レイアウト４０５ａ内に、表面粗さの検査の検査範囲４０６を設定し、検査範囲４０６における表面粗さを求める。 （もっと読む）

【課題】車輪の径中心を求める必要も、カメラの焦点も変える必要がなく、簡単に光切断法による車輪の形状計測を実行できる車輪形状計測装置等を提供する。
【解決手段】レールに対し所定の高さに設置され、通過センサ１１ａ〜１２ｂによって車輪１０ａが通過したことが検出された場合、車輪１０ａ，１０ｂの計測部位に向け水平方向にレーザ線条光を照射するレーザ線条光照射部１３ａと、車輪１０ａ，１０ｂの通過が検出された場合、レーザ線条光が照射された車輪１０ａ，１０ｂの照射部位を撮影するカメラ１５ａ，１７ａと、それらのカメラ１５ａ，１７ａが撮影した車輪１０ａ，１０ｂの照射部位の画像を画像処理して、水平方向にレーザ線条光を照射したことに基づく歪を補正する画像処理部１８と、歪補正された画像に基づいて車輪１０ａ，１０ｂの形状に関する所定の計測項目を計測する車輪形状計測部１９とを有する。 （もっと読む）

【課題】校正作業のバラツキを最小限にとどめ、車輪の所定の計測項目を計測する際の計測データの信頼性を向上させることができる車輪形状校正冶具、車輪形状校正冶具を用いた校正方法を提供する。
【解決手段】車輪形状校正冶具１０は、光切断法によるレーザ線条光が照射され、所定の計測項目が計測される未使用時の車輪における計測部位と同一寸法であって、かつ、その寸法が既知である計測部位を有する校正冶具本体１１と、レール２に対し平行面上において、校正冶具本体１１を回転させ、レール２に対し任意のアタック角を設定する回転ステージ１２と、レール２に対し平行面上において、校正冶具本体１１を前後左右に移動させるＸ，Ｙ方向移動ステージ１３，１４と、校正冶具本体１１等を搭載し、レール２上に設置される架台１５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ワークの加工精度をより一層向上させることができる工具寸法の測定方法及び測定装置、並びに工作機械を提供する。
【解決手段】工作機械において、撮像装置は、送り方向に移動中の工具を撮像する。撮像に基づき生成された複数の画像データの各々で輪郭線５１が特定される。この輪郭線５１に基づき工具の移動軌跡５２及び中心軸線５３が特定される。移動軌跡５２と中心軸線５３との間にずれがある場合には、そうしたずれは工作機械で工具の位置決めの補正に用いられることが可能である。その結果、ワークの加工精度は向上する。また、例えば傾斜姿勢の工具の寸法が測定されれば、傾斜姿勢における実際の刃先位置や工具径が特定されることが可能である。こうした刃先位置や工具径は工作機械の位置決めの補正に用いられることが可能である。ワークの加工精度はさらに向上する。 （もっと読む）

【課題】撮像手段で撮像された被測定対象の画像の撮像視野範囲外にあるエッジを簡単且つ確実に検出する。
【解決手段】画像測定装置は、ワーク１２を撮像するＣＣＤカメラ１８で撮像された撮像視野範囲２５ａ内のワーク１２の画像を表示する。撮像視野範囲２５ａ内のワーク１２のエッジ１２ａは、所定のサンプリング間隔Δで設定された複数のエッジ検出ツール５０によって検出される。ワーク１２及びＣＣＤカメラ１８は、オペレータにより指示された撮像視野範囲２５ａ外の方向に測定テーブル１３や撮像ユニット１７の相対的な移動により移動し、撮像視野範囲２５ａ外の画像を撮像する。ＣＰＵ３５は、撮像視野範囲２５ａ内の複数のエッジ検出ツール５０のうちの、少なくとも２つにおいてエッジ１２ａが検出された場合に、測定テーブル１３や撮像ユニット１７の移動を停止させる。 （もっと読む）

【課題】円筒状または円柱状のガラス物品Ｗ等の透明物品の欠点を確実かつ高能率に検査することができる透明物品の検査装置と検査方法を提供すること。
【解決手段】ガラス物品Ｗを搬送する搬送手段１の搬送路１１を、回転体１２、１３間を循環走行する一対の平行な無端搬送体１４から構成し、一対の無端搬送体１４の対向側縁部１４１同士の間に搬送隙間１５を形成した。これら左右一対の対向側縁部１４１によってガラス物品Ｗの外周面を左右から支えて安定に搬送しながら、この搬送路１１を挟んで上下左右に配設した複数の照明手段（２Ａ〜２Ｄ）及び撮像手段（３Ａ〜３Ｄ）により、搬送隙間１５を光路としてガラス物品Ｗを撮像するようにした。 （もっと読む）

【課題】バンプの高さを保護膜表面の反射の影響を除去した状態で精度よく測定するとともに、高さ測定の処理を高速化することが出来るウェーハバンプの高さ測定装置及び高さ測定方法を提供する。
【解決手段】保護膜の無い部位でＰＳＤ素子からの出力に基づいて算出した高さとエリア撮像カメラからの撮像画像に基づいて算出した高さとが「０」となるようにリセットした後（ＳＣ１）、保護膜表面の高さをエリア撮像素子からの撮像画像に基づいて測定し、バンプの頂点の高さをＰＳＤ素子からの出力に基づいて測定する（ＳＣ２）。バンプの頂点の高さから保護膜表面の高さを減算してバンプ高さｈを演算し（ＳＣ３）、メインルーチンへ戻る。 （もっと読む）

【課題】 中空部の状態を基体外部から直接確認することができる内燃機関用構造体を提供する。
【解決手段】 中空部を備え、前記中空部で生じる爆発に応じて前記中空部内を運動する運動体が収容される基体と、前記基体に設けられた、前記基体の外側から前記中空部に入射する光、および前記基体の外側から前記中空部に出射する光を透過する窓部材とを備え、前記窓部材が、サファイア単結晶からなることを特徴とする内燃機関用構造体を提供する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ上の欠陥分布を検査する表面検査装置において、欠陥検査と同時進行でウェーハの厚さとフラットネスを測定できるようにする。
【解決手段】本発明は、ウェーハを固定し、回転及び直線移動を行う搬送系と、前記直線移動の経路上に配置されたウェーハ上の欠陥の位置とサイズを特定する散乱光学系と、前記直線移動の経路であって、前記散乱光学系よりも前に配置されたフラットネス測定系と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】各層の膜厚測定を可能にする積層体、その積層体の製造方法、及び非破壊非接触で膜厚測定を行いフィルム異常の検査が可能となる膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】複数の層を積層してなる積層体である。複数の層の少なくとも一層に対し、予め設定した位置に空隙を形成した。 （もっと読む）

【課題】基板の粗さを得る方法、及び基板の粗さを得るための装置において、ウェハ加工途中の微細な凹凸のパターンを有するパターン付きウェハの表面粗さを測定することを可能にすることで、ウェハ間の膜厚や膜質のばらつきによる歩留まりを向上させることを目的とする。
【解決手段】基板に形成されたパターンに関する設計情報を得る第１のステップと、前記設計情報を用いて、前記基板の表面粗さを得ることができる表面粗さ測定領域を得る第２のステップとを有する基板の粗さを得る方法、及び基板の粗さを得るための装置である。 （もっと読む）

【目的】マスク面上のパターン領域と非パターン領域の間に段差があるマスクであっても、効率的に検査可能なマスク欠陥検査装置およびこれを用いたマスク欠陥検査方法を提供する。
【構成】マスク面に対するフォーカス合わせを行うフォーカス合わせ機構と、パターン画像の取り込み時の検査視野走査方向上の検査視野を挟む第１箇所と第２箇所のマスク面におけるフォーカスを、それぞれ検出する第１のフォーカス検出部および第２のフォーカス検出部と、第１および第２の箇所が、パターン領域と非パターン領域とのいずれに位置するかを判定する判定部と、判定部の判定結果に基づき、フォーカス合わせ機構に対しフォーカス合わせ方法を指示するフォーカス合わせ方法指示部と、を有することを特徴とするマスク欠陥検査装置およびこれを用いたマスク欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】位置合わせ測定の精度を向上する。
【解決手段】１つの実施形態によれば、位置合わせ測定方法では、測定光学系の測定領域内が２次元的に分割された複数の部分領域のそれぞれに位置合わせ測定用マークが位置するように前記位置合わせ測定用マークに対する前記測定領域の相対的な位置を順次にシフトさせながら前記位置合わせ測定用マークの位置合わせずれ量を予め測定して、前記測定光学系の特性ずれに関する装置要因誤差を前記複数の部分領域のそれぞれごとに求め、前記複数の部分領域ごとに求められた前記装置要因誤差に基づいて前記複数の部分領域のうち使用すべき部分領域を決定し、前記決定された前記使用すべき部分領域に前記位置合わせ測定用マークが位置するように前記位置合わせ測定用マークに対する前記測定領域の相対的な位置をシフトさせた状態で前記位置合わせ測定用マークの位置合わせずれ量を測定する。 （もっと読む）

【課題】製造した磁気ディスク用基板の全てについて、歩留まりを悪化させることなく高精度で内径測定を行うことができる円板状基板内径測定装置、円板状基板内径測定方法及び円板状基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】レーザ変位計（測定装置）１００は、ラインレーザ１１２を円板状基板２００の主表面に照射するラインレーザ光源１１０と、円板状基板２００を支持する基板ホルダ１３０と、ラインレーザ１１２が円板状基板２００の円孔２１０を通過するように基板ホルダ１３０を昇降させる昇降部１４０と、基板ホルダ１３０の昇降中、円板状基板２００を反射又は通過したラインレーザ１１２を受光し、該光量分布を取得するレーザセンサ１２０と、レーザセンサ１２０が取得した光量分布から円孔２１０の内径を測定する内径測定部１５０とを具備し、基板ホルダ１３０は、測定時の基板姿勢が、地面に対し鉛直から所定の角度の範囲に入るように円板状基板２００を支持する。 （もっと読む）

【課題】タイヤサイド部におけるマークを打点すべき位置に凹凸が存在する場合であっても、マーク不良を起こすことなくマークを打点し、かつ、打点されたマークを迅速に検査することが可能なマーク打点方法及びマーク打点装置を提供する。
【解決手段】タイヤサイド部の表面におけるマーク打点予定領域を撮像手段により撮像し、当該撮像されたマーク打点予定領域における基準面に対する凸部表面の高さが予め規定された閾値を下回るときにマーク打点予定領域にマークを打点する。 （もっと読む）

【課題】自動改札機等のゲートに取り付けられたステレオカメラ等の校正で校正用マーカを簡単に設置でき、校正作業の手間を軽減きるようにしたカメラ校正装置を提供する。
【解決手段】カメラ校正装置は、ゲート通路１１を有しかつカメラ１２Ａ，１２Ｂと物体検知センサ１３を備えるゲート１０でカメラの校正を行うカメラ校正装置であって、ゲート通路を自在に移動する台車２１と、高さ位置が既知であるマーカ２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃが取り付けられたマーカ支柱２２を備える校正用マーカ装置２０と、物体検知センサで校正用マーカ装置の位置を検知したとき、カメラの撮影で得た画像情報からマーカの情報を取り出し、マーカの情報に基づき校正用カメラパラメータを算出するカメラ校正用処理装置１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 反射基材の製造工程においてインラインでも評価可能であり、簡易な方法で確実に輝度ムラの発生原因となる基材表面性状を評価することが可能な反射基材の評価装置および反射基材を提供する。
【解決手段】 レーザ変位計３により反射基材の７の表面形状情報を取得する。次に、得られた凹凸情報をフーリエ変換し、反射基材の表面凹凸形状について、周波数と強度との関係を得る。次に、算出された周波数と強度との関係と、あらかじめ設定された基準データとを比較する。所定範囲の周波数領域において、強度が０．６を超える場合には不合格判定を行い、当該判断領域において０．６を超えるデータがなければ合格判定を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ユーザごとの判定条件を用いる事で歩留まり向上、製造コスト低下、生産性を大幅に改善することにある。
【解決手段】光学表示装置の部材である光学フィルムを少なくとも有するシート状製品を構成する単層体及び／又は積層体であって、シート状製品表面の保護層が設けられていない状態で当該単層体及び／又は積層体を検査することで得られる欠点に関する欠点情報を取得する欠点情報取得手段と、前記欠点情報取得手段で取得された欠点情報を解析し、良品か否かを判定する条件である判定条件に従って、シート状製品原反の切断位置情報を算出する切断位置情報算出手段とを備える検査データ処理装置である。 （もっと読む）

【課題】２つの表面領域を同期測定できるクロマティックポイントセンサ装置（ＣＰＳ装置）の動作方法を提供すること。
【解決手段】２光束アッセンブリが取り付けられた１光束ＣＰＳ光学ペンを用いたセンサ装置の第１測定光束および第２測定光束を、それぞれ第１表面領域および第２表面領域に位置合わせする。２つの反射光が２光束ＣＰＳの共焦点開口部を通過する。第１測定光束および第２測定光束にそれぞれ起因する第１測定および第２測定を含んだ少なくとも１の測定セットを実行する。様々な位置での測定セットの実行のため、少なくとも第１表面領域を移動させる。各測定結果は、極めて良好な分解能（例えば、少なくとも１０ｎｍの分解能）で決定される。本センサ装置と動作方法は、干渉計または他の高額で複雑な構成要素を使わないで、高い分解能と精度を必要とする測定に適用できる。 （もっと読む）