【課題】溶接部表面の溶接欠陥を短時間かつ定量的に検査可能である溶接表面の欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物であるワーク１の溶接部６表面に発生した溶接欠陥２を検査するための溶接表面の欠陥検査方法であって、画像撮像手段であるカメラ３により前記ワーク１の溶接部６表面の画像を撮像し、当該撮像された画像の濃淡判別を行って、前記溶接部６表面における溶接欠陥２の位置を検出する溶接欠陥検出工程と、前記溶接部６表面の同一位置にある溶接欠陥２に対して複数のレーザ変位計４ａ、４ｂを用いて変位量を測定する変位量測定工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】液中の測定ワークの表面形状も測定することができる液浸非接触形状測定装置を提供する。
【解決手段】レーザープローブ３の下側を容器形状のコレット２４で覆い、コレット２４をレーザープローブ３ごと上下動させることができるため、測定ワーク６が設けられた液中にコレット２４を浸して、液中の測定ワーク６の表面をレーザー光Ｌにより計測することができる。電極プローブ２６により液中における測定ワーク６の表面のイオン分布を計測することもできる。 （もっと読む）

【課題】複数の方向から計測対象物体を撮像して三次元形状を計測する三次元形状計測装置のキャリブレーションを、簡便な作業で短時間に行う。
【解決手段】三次元形状計測装置１は、キャリブレーション用ブロックと、撮像部１２−１，１２−２がそれぞれ撮像した撮像画像領域から、キャリブレーション用ブロックの上面に照射されたスリット光による光切断線をそれぞれ検出する光切断線検出部２３と、光切断線検出部２３がそれぞれ検出した光切断線から特徴点をそれぞれ検出して二次元座標値を取得する特徴点検出部２４と、二つの撮像画像領域それぞれにおける特徴点の二次元座標値を単一の二次元座標系の二次元座標値に変換するための座標変換パラメーターを計算する座標変換パラメーター計算部２５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】レンズの偏心を測定できる形状測定装置を簡易的に、かつ高精度に校正できる校正用冶具、校正方法、及び該校正用冶具が搭載可能な形状測定装置を提供する。
【解決手段】校正用冶具１００は、中心が円周上を３等分し、計測用基準球を接するように設置できる３個の基準球２を備える。形状測定装置は、該校正用冶具を配置可能であり、被測定物の形状に関する情報を取得するための第１プローブと、校正用冶具に対して第１プローブと反対側に設けられ被測定物の形状に関する情報を取得するための第２プローブと、第１プローブ及び第２プローブにより、配置された計測用基準球を測定して第１測定結果及び第２測定結果を求める測定部と、第１測定結果及び第２測定結果を比較してシフトを算出するシフト量算出部と、を備える。校正方法は、上記形状測定装置を用いた測定ステップとシフト量等を算出するシフト量算出ステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】 ピントが合わせやすく、しかも、ワークやラインカメラの移動に伴う振動があってもうねりをはっきり撮像できる撮像装置を提供する。
【解決手段】撮像装置１は、ワークαに対して８０°の入射角度で線状光がワークαに当たるように光源装置２０を配置し、その反射光をエリアカメラ３１で撮像できるようにカメラユニット３０を配置している。撮像装置１は、ラインカメラのように線ではなく、エリアカメラ３１の撮像面で面により反射光を捉えているので、ピントが合わせやすく、しかも、エリアカメラ３１の場合、一定の幅で画像を取り込むことで、ハイライト部分が若干移動しても確実にハイライト部分を受光できるので、明るさが一定した均質な画像が得られる。従って、撮像装置１を用いると、ラインカメラを用いた撮像装置に比べて、ピントが合わせやすく、光量むらを発生させずにワークαの外部表面をうねりが分かるように二次元的に撮像できる。 （もっと読む）

【課題】光切断線の湾曲成分を除去し、太陽電池ウエハの断面形状データを精度良く算出する。
【解決手段】ウエハ形状データ取得部２２１は、ウエハ画像から光切断線の形状を示すウエハ形状データを取得する。標準平面形状データ取得部２２２は、所定の標準平面の高さを数段階変化させ、標準平面画像から各高さにおける光切断線の形状を示す標準平面形状データを取得する。形状補正部３４１は、ウエハ形状データと形状が最も近い標準平面形状データを、標準平面形状データ記憶部８０から特定し、特定した標準平面形状データ及びウエハ形状データの差分を補正ウエハ形状データとして算出する。断面形状算出部３４２は、形状補正部３４１で算出された補正ウエハ形状データからウエハ断面形状データを算出する。 （もっと読む）

【課題】被検物の温度管理を行って高精度の形状測定が行える計測装置を提供すること。
【解決手段】被検物の形状を測定する計測装置であって、前記被検物の形状情報を採取する検出手段と、前記被検物の温度を計測する温度計測手段と、前記被検物の温度を調整する気体流を形成する気体流形成手段と、前記温度計測手段からの情報に基づいて、前記気体流形成手段を制御して、前記被検物の温度を所定温度範囲に保持する温度制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来の検査装置の設備をできるだけ利用しつつ、従来に比べて、撮像手段の配置の制約を緩和させ、より自由度の高い設定を可能とし、より汎用性が高く、取り扱いが容易な物品検査装置を低コストで提供する。
【解決手段】物品１１を搬送する搬送手段２と、物品１１を上方側から撮像する第１撮像手段３ｄと、側方側から撮像する第２撮像手段３ａ、３ｂと、制御手段６と、を備え、上面画像１２及び側面画像１３、１４を取得し、実際の物品の長さが略同一となる対応関係を有する部位を基準部位とし、第１の長さＬ１として上面画像における基準部位の長さを測定し、第２の長さＬ２として側面画像における基準部位の長さを測定し、第３の長さＬ３として側面画像における測定部位の長さを測定し、第１の長さＬ１と第２の長さＬ２との対応関係に基づいて、第３の長さＬ３を補正して測定部位の長さＸを算出する。 （もっと読む）

【課題】三次元形状計測における高さ方向のキャリブレーションを効率的に且つ高精度に行う。
【解決手段】階段形状のキャリブレーション用ブロックと、これが載置される載置台４０を移動させる載置台駆動部３０と、撮像画像から光切断線を検出する光切断線検出部２２と、光切断線から特徴点を検出して特徴点座標値を計算し、この特徴点座標値と載置台４０の移動ピッチとキャリブレーション用ブロックの所定の属性データとを関連付けた特徴点情報を生成する反射位置計算部２３と、特徴点座標値と移動ピッチとから世界座標系における特徴点の三次元座標値に変換する変換行列を計算する変換行列計算部２４と、特徴点情報と変換行列とに基づいて、撮像画像の画像平面の二次元座標値とこれに対応する世界座標系の三次元座標値との組み合わせを求めて校正用データを生成する三次元座標変換部２５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】
画像処理による等階級の選別は、選別対象の外観を選別規準としているので選別対象の全面を検査する必要があるところ、選別対象は搬送部の一部をなすコンベアの上に乗せられた状態であるので、搬送部と選別対象の接触部の撮像が行えないことが問題となっていた。また、選別対象が山積み状態となっておれば、適切に画像処理を行うことができないので分離されていなければならない。従来は人手で行っていた選別作業を自動化して、省力化の要請があった。
【解決手段】
独立駆動される複数台のＶ型ベルトコンベアと保持機構を組み合わせることにより、多様な形状寸法を有する選別対象において、複数種類の選別対象に対応することができ、山積み状態の選別対象の分離を促して、撮像部までに選別対象を１個に分離して、識別部でのニューロネットワーク等を利用した全面画像処理により、選別作業の自動化を図った。 （もっと読む）

【課題】ズームレンズの変倍動作により移動する入射瞳の位置に対物レンズの射出瞳の位置を略一致させるように構成された結像光学系、及び、この結像光学系を有する形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置１００に用いられる結像光学系３０は、測定物体の像を結像する対物レンズ２５と、この像を変倍するズームレンズ３２と、変倍動作により光軸に沿って移動するズームレンズ３２の入射瞳の位置に、対物レンズ２５の射出瞳の位置を略一致させる瞳移動光学系としてのリレーレンズ３１と、を有する。 （もっと読む）

【課題】圧延材等の帯状体に空間定在波が発生した場合にも正確な形状測定を可能とする。
【解決手段】長手方向に搬送される圧延材１０１の表面に光源１０６から長手方向のスリット光１０６ａを照射し、そのスリット光１０６ａを２次元カメラ１０７により撮像する。形状測定装置は、２次元カメラ１０７で得られた画像データから光切断法により圧延材１０１の長手方向の板高さ分布を計算する板高さ分布計算部２と、板高さ分布計算部２で計算した板高さ分布に基づいて圧延材１０１に空間定在波１０４が発生しているか否かを判定する判定部３と、判定部３で空間定在波１０４が発生していると判定した場合、板高さ分布計算部２で計算した板高さ分布を用いて圧延材１０１の走行軌道Ｓを計算する走行軌道計算部４と、走行軌道計算部４で計算した走行軌道Ｓに沿って圧延材１０１の形状（平坦度）を指す指標である板伸び率を計算する形状測定部５とを備える。 （もっと読む）

【課題】帯状材料に発生する周期性欠陥の有害度を適正に判定することができる帯状材料の周期性欠陥検査方法および装置を提供する。
【解決手段】搬送中の帯状材料の表面欠陥を検出し、検出した表面欠陥のうち、搬送方向に周期性を有する一群の欠陥を周期性欠陥として抽出し、抽出したそれぞれの周期性欠陥について少なくとも欠陥の発生する幅方向位置と欠陥サイズと搬送方向の欠陥発生ピッチとを含む特徴量を算出し、前記帯状材料のコイル毎にそれぞれの周期性欠陥が発生する搬送方向の起点位置と消滅する終点位置との差である発生長さを算出し、連続する複数のコイル内で抽出された前記周期性欠陥のうち、少なくとも前記幅方向発生位置及び欠陥発生ピッチが略同じものを一つの周期性欠陥と判定し、各コイル内の欠陥発生長さの総和である欠陥発生累積長さを求め、前記特徴量と前記欠陥発生累積長さとに基づいて前記周期性欠陥の有害度を判定する帯状材料の周期性欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】拡散性を抑制する光学系を用いて低水分から高水分にわたって高精度の測定が可能な水分計を提供する。
【解決手段】光源から出射した光を斜め方向から被測定物に照射し、該被測定物を透過した透過光をなだらかな曲率を有するミラーで反射させて集束し、再度前記被測定物を透過させて赤外線に感度のある検出器に入射させるように構成した。 （もっと読む）

【課題】温度変化等によって生じる基板の走査中の真直度ずれやヨーイングによるずれを補正し、基板の所定の位置に常に正確にインクを塗布することのできるインクジェット装置を提供すること。
【解決手段】基板の両側に付与されたスケールパターンを２個の第１センサで読み取り、位置演算部が位相差をゼロにするようθ軸搬送部を補正することにより、ヨーイングによるズレを抑制する。同様に、基板の両側に付与された直線パターンを２個の第２センサで読み取り、位置演算部が走査中の平均値の変動がゼロになるようＹ軸搬送部を補正する。更に、第１センサからの信号でインクジェット制御部のインク吐出タイミングの補正を行い、温度変化でヘッドユニットと基板の相対位置がずれた場合でも、正確にインクを基板の所定の位置に着弾させることができ、混色や輝度ばらつきなどの少ないデバイスを製作できる。 （もっと読む）

【課題】使い勝手の良い長寸法測定装置を提供すること。
【解決手段】長寸法測定装置１は、試料２が載置し、配置位置が固定されている試料台１０と、試料２に形成されたパターンに照明光を照射する照明ユニット２０と、照明光から得られたパターンの像を撮像する撮像ユニット３０と、試料台１０の平面度を調整し試料台１０を支持する平面度調整機構１２と、エアを試料台１０に送気し、試料台１０からエアを吸引する送気吸引部１６と、試料台１０にて浮上している試料２に吸着する吸着機構４０と、撮像ユニット３０をＺ方向に移動させるＺステージ５１と、撮像ユニット３０をＸ方向に移動させるＸステージ５２と、吸着機構４０を介して試料２をＹ方向に移動させるＹステージ５３と、試料２に形成されたパターン上の２点間の距離を測定する干渉測定ユニット６０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】品種によって変わる塗工パターンに影響されずに（すなわち品種による段替えが発生せずに）、エッジまたは注目部位の位置ずれを正確に測定する位置測定システムを実現する。
【解決手段】搬送されるシート状物体の予め定められた注目部位の位置をカメラを用いて測定する位置測定システムにおいて、前記シート状物体の一方のエッジの略上方に設置され、前記シート状物体の像を結像する撮像素子を具備し、前記シート状物体の前記注目部位を撮像する第１のカメラ手段と、前記シート状物体の他方のエッジの略上方に設置され、前記シート状物体の像を結像する撮像素子を具備し、前記シート状物体の前記注目部位を撮像する第２のカメラ手段と、前記各撮像素子に結像された前記シート状物体の像における、前記注目部位の位置の予め定められた基準位置からの変動に基づき、パスライン変動の有無を判定してエッジの位置ずれを測定する測定手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】三次元計測を行うにあたり、より高精度な計測をより短時間で実現することのできる三次元計測装置及び基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置は、プリント基板に対し光を照射する照明装置と、プリント基板上の前記照射された部分を撮像するＣＣＤカメラと、各種制御を行う制御装置とを備えている。そして、検査対象領域が輝度飽和しない第１露光時間で第１撮像処理を行い、計測基準領域の計測に適した所定の露光時間のうち、前記第１露光時間で不足した分に相当する第２露光時間で第２撮像処理を行う。続いて、検査対象領域に関しては、第１撮像処理により得た画像データの値を用い、計測基準領域に関しては、第１撮像処理により得た画像データの値と、第２撮像処理により得た画像データの値とを合算した値を用いた三次元計測用の画像データを作成し、当該三次元計測用の画像データに基づき、三次元計測を行う。 （もっと読む）

【課題】表面の干渉分析の方法とシステムを提供する。
【解決手段】物体の空間的特性を決定するための方法には、２つ以上の界面を含む測定物体からの走査低コヒーレンス干渉信号を得ることが含まれる。走査低コヒーレンス干渉信号には、２つ以上の重なり合う低コヒーレンス干渉信号（それぞれ個々の界面に起因する）が含まれる。低コヒーレンス干渉信号に基づいて、少なくとも１つの界面の空間的特性が決定される。場合によって、決定は、低コヒーレンス干渉信号のサブセットに基づき、信号の全体に基づくのではない。あるいはまたは加えて、決定は、低コヒーレンス干渉信号を得るために用いられる干渉計の機器応答を示す場合があるテンプレートに基づくことができる。 （もっと読む）

【課題】三次元形状計測におけるキャリブレーションを効率的に且つ高精度に行う。
【解決手段】ガラス材で構成され、上面、内層面、底面に、光源部１１からスリット光が
照射されたときに輝線を映すパターンが形成されたキャリブレーション用ブロックと、複
数の特徴点を有する二次元パターンの撮像画像に基づいて、カメラパラメーターを計算す
るカメラパラメーター計算部２２と、上面、内層面、底面に形成されたパターン上の輝線
の画像から特徴点を検出して二次元座標値を計算し、この二次元座標値とキャリブレーシ
ョン用ブロックの寸法データとに基づいて特徴点の三次元座標値を計算し、スリット光の
広がりを示す平面を表す式の係数を計算するスリット光平面計算部２４と、カメラパラメ
ーターと平面を表す式の係数とに基づいて、二次元座標値から三次元座標値に変換するた
めの座標系変換係数を計算する三次元座標計算部２５とを備えた。 （もっと読む）