【課題】化学反応性の高いアルカリ金属、アルカリ土類金属等からなる薄膜であっても、簡便かつ高い精度で膜厚を測定できる膜厚測定方法、膜厚測定システムおよび膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る膜厚測定方法は、成膜室２内のステージ２２に設置された測定用基板１０上に複数配置された振動子１１に、アルカリ金属またはアルカリ土類金属からなる薄膜を形成することを含む。上記測定用基板１０は、外部より低湿度に調節された測定室３の内部へ搬送される。測定室３内で、振動子１１を検出ユニット３２に接続し発振させることで、薄膜の膜厚が測定される。 （もっと読む）

【課題】温度の急上昇や他の原因によって共振周波数の測定値が急変したときにも正常な膜厚値を求める。
【構成】成膜開始時に、符号Ｌ₁で示すように、共振周波数の測定値が急変したとき、所定の回復時間まで測定値を異常値とし、回復時間後、最小個数の正常な測定値から、時間と共振周波数との間に成立する一次式の“傾きａ”と“ｙ切片ｂ”とを算出し、算出した一次式から、回復時間間に成長した薄膜の膜厚を求め、回復時間後の測定値から求めた膜厚に加算する。異常値が出力されている間の膜厚値が加算されるので、実際より小さい値の膜厚値を出力することが無くなる。正常状態から異常値が得られた場合も、異常値が出力されている間の膜厚は、一次式から求め、正常な測定値から求めた膜厚に加算する。 （もっと読む）

【課題】モデル基礎の共振条件式からずれた実基礎であっても、埋設部の寸法を精度よく測定する方法を実現する。
【解決手段】共振条件式には、基礎の各部の寸法が、ａ／ｂ、Ｂ／ｂ等の比の形で入っており、これらの比を２つの次数ｉ、ｊの共振振動数の比（ｆｉ／ｆｊ）で表せる。そこで、複数のサンプル基礎について実測したデータに基づいて、（ａ／ｂ）又は（Ｂ／ｂ）等の比と（ｆｉ／ｆｊ）との近似多項式で表すことにより、測定対象の実基礎について測定した２つの共振振動数（ｆｉ／ｆｊ）と、ａ、ｂ等の寸法をその近似多項式に代入して、未知寸法Ｂ，ｔを求めるようにした。つまり、軸対称の基礎について理論的に求めた捻れ振動の共振条件式を直接用いる代わりに、複数のサンプル実基礎について実測したデータに基づいて得られる埋設部の未知寸法を含む複数の近似多項式を用いて、その未知寸法を求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】超音波伝搬媒体の非線形音響特性、さらには超音波トランスデューサの伝達特性や超音波伝搬特性をも考慮した超音波伝搬時間計測を行うことによって高精度に計測方法および装置を提供する。
【解決手段】送信部１１０により送信パルス信号Ｖ_{ｔｒａｎｓ}（ｔ）を発生し、送信用超音波トランスデューサ１３０により超音波パルス信号Ｓ_ｘ（ｔ）に変換して測定対象の超音波伝搬媒体１０に入力し、前記超音波伝搬媒体１０を介して伝搬される前記超音波パルス信号Ｓ_ｘ（ｔ）を受信用超音波トランスデューサ１４０により受信し増幅して受信パルス信号Ｖ_ｒｅｃ（ｔ−τ）を得て、信号処理部１７０において、前記超音波伝搬媒体１０が有する非線形性を考慮した参照信号と被参照信号との間で相互相関処理をすることによって、前記超音波伝搬媒体１０を介して伝搬される超音波パルス信号Ｓ_ｘ（ｔ）の送受信間の時間間隔を超音波伝搬時間として検出する。 （もっと読む）

【課題】探知対象物の位置を正確に把握することができる探知方法およびその探知方法を行うことができる非接触音響探知システムの提供。
【解決手段】探知対象物を内部に含む被照射体の表面に音波を照射し、その表面の複数の測定個所において振動速度を測定し、得られた情報から前記探知対象物の位置を特定する音波を用いた探知方法。 （もっと読む）

【課題】簡便な信号処理により高速で高精度に距離および工作物の外径を計測可能とする超音波計測方法及び超音波工作物径測定装置を提供する。
【解決手段】超音波のバースト波の出力を反射波がセンサ３に到達する前に終了する。測定した反射波の離散データに所定値を乗算した離散データとの差が最小となるように参照波の波形を時間軸方向に移動して求めた合成反射波と、バースト波の出力である参照波との位相差と超音波の波長から距離を算出する。さらに、超音波の波長を測定距離の上限と下限の差である距離幅の２倍より大きくし、参照波を所定の波数延長し反射波と重なるようにした基準参照波と反射波の１波長内での位相差から算出する距離と基準距離を加算して距離Ｌを計測する。 （もっと読む）

【課題】溶接中に、被溶接対象が高温状態でも安定した送受信感度で溶接検査を行なう。
【解決手段】溶接システムは、溶接機構１と、送信用レーザ光源４と、溶接機構１とともに被溶接対象２に対して移動しながら、送信用レーザ光源４で発生した送信用レーザ光を溶接後の被溶接対象２の表面に照射させて送信用超音波を発生させる送信用光学機構９と、受信用レーザ光を発生して被溶接対象に照射し、送信用超音波の反射によって得られる反射超音波を検出するための受信用レーザ光源５と、溶接機構１とともに被溶接対象２に対して移動しながら受信用レーザ光を、溶接後の被溶接対象の表面に照射し、被溶接対象２表面で散乱・反射したレーザ光を集光させる受信用光学機構１０と、散乱・反射したレーザ光を干渉計測するための干渉計６と、を有する。 （もっと読む）

本発明は、ノイズフットプリントの複数の基本周波数成分を含むノイズフットプリントを放出する１組の少なくとも１つの摩耗警報ブザー（１８）を有するタイヤ（１０）の摩耗を検出する方法に関し、ノイズフットプリントの音を含みがちな音響信号を収集し（１００）、音響信号は、周波数領域に収集された複数の基本周波数成分を含み；基本周波数成分の複数のシリーズを列挙し（２０６）、各列挙シリーズは、ノイズフットプリントの基本周波数成分の一部分を形成しがちであり；組に属するノイズフットプリントの一シリーズを列挙シリーズの中から選択し（３０２）；ノイズフットプリントシリーズのローカル信頼性指標を求め（３０６）；ローカル信頼性指標に基づいて求められた信頼性指標所定のしきい値よりも高い場合、タイヤ（１０）の摩耗に関する警報を出す。
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【課題】冷媒配管長を正確に測定するための準備が容易となる配管長測定システムを提供する。
【解決手段】周波数測定装置１０は、空調機における室外機５０と室内機６０とを接続する冷媒配管７０の室外機５０側の末端近傍に配置され、冷媒配管７０の周波数特性を測定する。フィルタ３０は、周波数特性測定装置１０の端子１１の接続箇所よりも室外機５０側に、冷媒配管７０を包むようにして取り付けられている。配管長算出装置２０は、周波数測定装置１０とインタフェースケーブル４０を介して接続し、周波数測定装置１０が測定した周波数特性をインタフェースケーブル４０を介して取得する。配管長算出装置２０は、取得した周波数特性から最小の反共振周波数を抽出し、該抽出した最小の反共振周波数に基づいて冷媒配管７０の長さを算出する。 （もっと読む）

【課題】構造物内部状態計測において、超音波を用いてさらに精度よく、測定対象である構造物の内部状態を計測することである。
【解決手段】構造物内部状態計測システム２０は、構造物１０に超音波を印加供給する超音波供給部３０と、構造物１０の内部を伝播する超音波振動１８を検出して超音波検出信号を出力する超音波検出部４０と、構造物１０を移動可能に支持する試料保持部４４と、試料保持部４４を移動させる走査機構部４６と、超音波検出部４０からの超音波検出信号を受け取り、これに周波数解析を行い、得られるスペクトル分布に基いて計測を行う内部計測部５０を含んで構成される。 （もっと読む）

対象物（１４）の変形可能なタッチ面（１８）上で局地的に変形する接触位置を特定する本位置特定装置（１０）は、少なくとも１つの発信トランスデューサ（Ｅ１、Ｅ２）および受信トランスデューサ（Ｒ１、Ｒ２）を有し、それぞれを対象物の変形可能なタッチ面上で伝搬する機械的弾性波を発信し、捕捉するように設計する。本装置はさらに、発信トランスデューサおよび受信トランスデューサ（Ｅ１、Ｅ２、Ｒ１、Ｒ２）に接続する中央電子装置（１２）を有し、この中央電子装置（１２）を、局地的に変形する接触があることにより、タッチ面に発信される波の伝搬によって生じるタッチ面（１８）の共振振動の少なくとも１つの固有モードの周波数シフトを検出し、周波数シフトを解析することによって局地的に変形する接触位置を特定するようにプログラムする（２６、２８）。 （もっと読む）

【課題】アンカボルトの長手方向側面に腐食があっても、中心周波数ｆ_Ｋを徐々に小さくし、アンカボルトの腐食進行の度合や形状（湾曲、先端先鋭）による超音波伝達経緯中の減衰の影響を受けにくい相対的に低い周波数に基づいて時系列波を求め、反射波の起生を確保することができ、アンカボルトの形状探査に寄与するアンカボルトの形状探査方法およびその装置を提供する。
【解決手段】アンカボルト端面より広帯域超音波を発信Ｓ１し、同一端面で広帯域超音波を受信Ｓ２し、受信した広帯域受信波からフーリエ変換にて広帯域受信波スペクトルＳ３を求める第１演算機能と、広帯域受信波スペクトルＳ３より中心周波数をｆ_Ｋとする狭帯域スペクトルを抽出して、フーリエ逆変換にて狭帯域スペクトルの時系列波Ｓ５を、中心周波数ｆ_Ｋを徐々に小さくしていく経緯の中で順次求める第２演算機能と、を備えた演算手段を設け、時系列波よりアンカボルト先端からの反射波の起生を求めるＳ６ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】下地上に形成された被膜の厚さを測定する膜厚測定方法及び測定装置において、特に袋内構造における内面被膜の厚さを該袋内構造の外側から非破壊的に測定する。
【解決手段】下地部材２０の外面または内面に形成された被膜２１，２２の膜厚を測定する膜厚測定方法であって、前記下地部材の外面側から所定の周波数帯域を有する超音波を入射し、該入射した超音波の測定対象である被膜に対する共鳴する共鳴周波数ｆ_R（Ｈｚ）を求め、前記測定対象の被膜における膜内音速をＣ（ｍ／ｓ）とすると、該被膜の膜厚ｄ（ｍ）は、ｄ＝Ｃ／４ｆ_Rにより求められる。 （もっと読む）

【課題】被検出対象面を人間がなでたときの手触りを示す触覚情報を簡易的な手法で精度よく検出することができる触覚情報検出装置を提供する。
【解決手段】被検出対象面と接触する接触子１１と、接触子１１が被検出対象面と接触した状態で移動したときに発生する摩擦音を検出する摩擦音検出用マイクロホン１２と、少なくとも１種類の被接触面に対して、接触子１１を接触させた状態で移動させたときに発生される摩擦音情報と、この被接触面の触覚情報とが対応付けて記憶されている情報記憶部１７と、摩擦音検出用マイクロホン１２により検出した摩擦音情報と、情報記憶部１７に記憶されている摩擦音情報との相関値を算出して、当該相関値が所定値よりも高い摩擦音情報に対応付けられた触覚情報を、情報記憶部１７から読み出して被検出対象面の触覚情報として出力する解析部２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】信号強度のピーク値を適切に特定し、配管の肉厚を好適に測定し得る超音波肉厚算出方法及びその装置を提供する。
【解決手段】計測対象物１からの多重底面反射エコーに対し、Ｎ回目及び（Ｎ＋１）回目の底面反射エコーを時間ゲート（ｔ０−ｔ１）の間に位置させるように第１設定値（ｔ０）と第２設定値（ｔ１）を配置し、更に分割設定値（ｔｘ）を配置し、多重底面反射エコーの信号を、第１設定値（ｔ０）から分割設定値（ｔｘ）までの第１信号と、分割設定値（ｔｘ）から第２設定値（ｔ１）までの第２信号とに分離し、第１信号と第２信号の一方に補正値を追加し、データ長を一致させた第１データ長（ΔＮ）及び第２データ長（ΔＮ）を相互相関演算で処理してピーク値（Ｎｋ）の位置を求め、ピーク値（Ｎｋ）と既知の計測対象物１の音速（ｖ）とを用いて計測対象物１の肉厚を算出する。 （もっと読む）

本発明は、低周波の音響応力を受け、超音波パルスまたは超音波波連によって調査される媒質における弾性的および散逸的非線形性および動的非線形粘弾性の局所的な非接触測定のための、音響の方法およびデバイスに関する。この目的のために、本発明は、サンプル（２）の弾性的および散逸的非線形性および粘弾性を測定するための局所的な非接触音響デバイスに関し、同デバイスは、低周波音波（２４ａ）を伝送するための手段（１０、２０、２２、２４）および前記低周波
音波を受信するための手段（２６、３４、３０）であって、サンプル（２）の中に静水圧の低周波の周期的変動を生成することができる手段と、高周波超音波パルス（１４ａ）を生成するための手段（１０、１２、１４）および前記パルスを受信するための手段（１６、２８、３０）と、サンプル（２）の弾性的および散逸的非線形性および非線形粘弾性を定量化するように、サンプル（２）を通過する低周波音波（２４ａ）によって誘起される超音波パルス（１４ａ）の伝搬時間の変化および振幅の変化を計算するためのモジュールを含む解析ユニット（３２）とを備えることを特徴とする。
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【要 約】
【課 題】エコーフィツティング処理によってエコーの時間間隔を決定する従来方式に代わり、エコーの時間間隔Δｔを確実に決定することができ、管長手方向全長にほぼ連続して肉厚を測定できる薄肉鋼管の肉厚測定方法を提供する。
【解決手段】
光学干渉計（２ａ）で検出したエコーの周波数解析を行い、波数解析によって得られるスペクトル分布から、高周波のノイズ成分を除去したのち、最もエコーの振幅強度が大きいピーク周波数を抽出し、該ピーク周波数からエコーの時間間隔を決定し、下記式に基づき肉厚を計算することを特徴とする薄肉鋼管の肉厚測定方法。
記
肉厚＝（1/2）×ｖ×Δｔ×ａ
ただし、ｖ：鋼中超音波伝播速度、Δｔ：エコーの時間間隔＝ｔ_ｎ−ｔ_ｎ-１（ｔ_ｎ：第ｎエコーの検出時刻、ｔ_ｎ-１：第（ｎ−1）エコーの検出時刻）、ａ：超音波伝播経路の幾何学補正値。 （もっと読む）

【課題】
雑音に強く遠方まで音波を届かせることが可能であり、波形の減衰を防いで正確に管長を測定する。
【解決手段】
測定部１１と測定管１２を有する測定機構１を配管３に接続した状態で、測定管内にハウリングが発生するように配置した、マイクロホン１０３から発せられた受音信号をスピーカ１０２より受信する。スピーカ１０２とマイクロホン１０３による大きな振幅の音波が配管３内に発生し、定在波のペクトルが検出されるまで信号発生部１０４で発生する信号の周波数を変更制御する。この時の、管内の温度データと定在波のピーク周波数を用いて、測定装置２の制御部２１で所定の式に基いて管長を計算する。 （もっと読む）

【課題】１個以上のセンサーを使用して、表面上の少なくとも２個のインパクトの位置を決定するための方法。
【解決手段】インパクトF₁とF₂は１個以上のセンサーによって検知される信号を発生し、各センサーは検知信号s_i(t)、i=1〜n（ｎはセンサーの数）を供給する。振幅の異なる同時のインパクトを決定できるために、上記方法は、１個のインパクトの位置xを特定するステップと、各々の検知信号s_i(t)と位置jにおける基準インパクトR_jに対応する所定の基準信号r_ij(t)の比較、特に相関に基づく、上記特定されたインパクトによる寄与分が減少される各センサーの修正検知信号s_i^’(t)を決定するステップとを有する。また、検知信号のカップルに基づいた方法と装置に関係する。 （もっと読む）

【課題】メタル層を除去することなく、簡単に且つ正確に炉底耐火物の侵食量を測定することができ、適性な運転計画を立てることができる溶融炉の炉底耐火物浸食検知方法を提供する。
【解決手段】炉内に投入された被処理物を溶融処理することにより、炉底にスラグ層２２と、その下方にメタル層２３とが堆積された溶融炉１０にて、炉底耐火物１８の侵食量を測定する溶融炉の炉底耐火物浸食検知方法において、予めスラグ温度−炉底耐火物温度の相関関係と、前記炉底耐火物の侵食速度式を求めておき、溶融炉の運転中に、前記スラグ層のスラグ温度を計測し、該計測されたスラグ温度から前記スラグ温度−炉底耐火物温度の相関関係に基づいて耐火物温度を推定し、該推定した耐火物温度から前記侵食速度式を用いて炉底耐火物の侵食量を算出し、この侵食量に基づいて溶融炉の運転計画を修正する。 （もっと読む）