【課題】
新規に演算処理能力の高い大容量のメインコントローラを開発することなく、多数の油圧シリンダのストローク位置を高精度に計測出来るようにする。
【解決手段】
制御用コントローラ２０とは独立して計測用コントローラ３０が設けられ、この計測用コントローラ３０に回転センサ１００、リセットセンサ３００の検出信号を入力させてストローク位置の計測処理を行わせ、計測結果を制御用コントローラ２０に送るようにする。計測用コントローラ３０の記憶テーブル３６には、予め回転センサ１００の出力電圧値と回転角度との対応関係が記憶されており、回転センサ１００の検出信号が入力されると、記憶テーブル３６の対応関係を参照して対応する回転角度が求められ、求められた回転角度に基づいて油圧シリンダ２００のストローク位置が計測される。 （もっと読む）

【課題】被験者による入力の煩雑さを軽減することのできる身体組成測定装置を提供すること。
【解決手段】被験者の身体の複数の所定の部位に対応付けて接触させるための複数の電極１１〜１８と、被験者の手で保持可能な保持部２と、保持部２に一端が接続されるケーブル３と、被験者の足を載置可能な載置部１とを備え、引出量検出部により検出された引出量および角度検出部で検出された角度に基づいて、被験者の所定の身体部位の部位長を計算するための部位長計算部１０１と、複数の電極１１〜１８を用いて、所定の身体部位のインピーダンスを計測するためのインピーダンス計測部１０２と、部位長計算部１０１で計算された所定の身体部位の部位長と、インピーダンス計測部１０２で計測されたインピーダンスとに基づいて、所定の身体部位の身体組成を算出するための体組成算出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールの据付精度を簡単且つ短時間に計測することにある。
【解決手段】昇降路内を昇降する昇降体を案内するガイドレール３１の据付精度を測定する装置において、昇降体とガイドレール３１との相対距離を検出する変位検出センサ３４と、前記昇降体に取付けられ該昇降体の絶対変位を検出する振動系３５及びこの振動系に取付けられた変位検出センサ３６と、前記変位検出センサ３４及び変位検出センサ３６により検出された相対距離データ及び絶対変位検出データをもとにガイドレールの据付精度を演算する。 （もっと読む）

【課題】極厚の精密樹脂シートのシート幅方向の厚み分布を成形ロールの外周面から精密に測定できるシート厚み計測装置を提供する。
【解決手段】 本発明のシート厚み計測装置３４は、Ｔダイ５からシート状に押出された溶融樹脂を回転する成形ロール１、２の第１ニップ部３３ａに流し込むことで成形されるシート６の幅方向のシート厚さ分布を、シート６の幅方向に移動しながら成形ロール２の上面側から測定するものであり、シート６の幅方向に移動可能な１つのトラバース台９に、シート６の表面位置を検出する表面検出センサ７と、シート６の裏面位置を検出する裏面検出センサ８とを、シート６の厚み方向に対する相対位置が調整可能なように搭載し、少なくとも表面検出センサ７は投光受光の光軸が一致している光軸一致式センサであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 移動体としてのステージ自体に歪みが生じていてもステージの位置検出精度を向上させることができる面形状計測方法等を提供する。
【解決手段】 レーザ干渉計１３を用いてウェハステージＷＳＴに設けられた移動鏡１２のＺ軸に対する傾きを計測し、この計測結果に基づいてＺ軸に対する移動鏡１２の傾きが零となるようにウェハステージＷＳＴの姿勢を制御し、多点フォーカス位置検出系２１を用いてこのときのウェハステージＷＳＴの姿勢を計測する。以上の処理を計測対象の移動鏡１２の鏡面に沿ってウェハステージＷＳＴを微小移動させながら繰り返す。 （もっと読む）

【課題】ウエハ表面の凹凸やパターン段差が大きかった場合でもステージが十分に追従できるようなステージ制御を実現する。
【解決手段】基板を載置して移動可能なステージを制御するステージ制御装置は、基板の表面の凹凸形状に対応する基板面位置情報に基づいてステージの鉛直方向に関する目標値を生成し、生成された目標値とステージの計測位置との偏差信号に基づいて該ステージの駆動指令信号を生成する。ここで、基板の表面の凹凸形状が有する空間周波数に基づいて目標周波数が決定され、駆動指令信号の生成には、上記偏差信号の目標周波数の成分を増幅して得られた信号が用いられる。 （もっと読む）

本発明は、パイプラインの安全な使用の寿命を判定する方法および装置に関し、以下のステップからなる。
ａ）パイプライン上で表面腐食解析の領域を画定するステップ。
ｂ）パイプライン上で画定された領域を走査するための腐食走査システムを提供するステップ。
ｃ）腐食走査システムによって画定された領域の表面上の腐食の位置を特定し、その腐食を測定するステップ。
ｄ）腐食走査システムによって画定領域でのパイプラインの残存壁厚を判定するステップ。
ｅ）ステップｃ）とｄ）とで得られた画定領域での腐食に関する表面状態データを処理して、パイプラインの安全な使用の寿命を判定するステップ。
別の態様では、本発明は、本発明による方法を実施するための腐食走査システムに関する。別の態様では、本発明は、パイプラインの安全な寿命を予測するための予測システムに関する。
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【課題】 傾斜角度検出手段の出力が飽和することに起因して、その飽和状態からの復帰後も演算手段の演算による傾斜角度が異常値を示すことを回避する。
【解決手段】 移動体Ａの傾斜角度を検出する傾斜角度検出手段４５の出力と、その傾斜方向での移動体Ａの角速度を検出する角速度検出手段４６の出力とに基づいて、移動体Ａの傾斜角度を演算する演算手段４８を備えた傾斜角度計測装置を、予め設定した閾値に基づいて傾斜角度検出手段４５が飽和状態か否かを判別し、傾斜角度検出手段４５が飽和状態でない場合には、演算手段４８が、角速度検出手段４６の出力に対する演算処理を行って、角速度検出手段４６の出力に基づく演算値を更新し、傾斜角度検出手段４５が飽和状態である場合には、演算手段４８が、角速度検出手段４６の出力に対する演算処理を停止して、角速度検出手段４６の出力に基づく演算値を固定するように構成した。 （もっと読む）

【課題】 後進時にも正確な操舵角を検出できる操舵角センサを提供すること。
【解決手段】 車両のヨーレイトを検出するヨーレイト検出手段と、操舵可動領域を複数の領域に分割し、それぞれの領域内で操舵角に応じた第１の値を出力する複数のセグメントと、ヨーレイト検出手段により検出されたヨーレイトと、セグメントの出力する第１の値との関係に基づいて、操舵角の存在するセグメントを特定するセグメント特定手段と、セグメントから出力された第１の値と、セグメント特定手段により特定されたセグメントから操舵角を検出する操舵角演算部と、を備えた操舵角検出装置であって、セグメント特定手段は、車両前進時におけるヨーレイトと第１の値との関係からセグメントを特定する前進エリアと、車両後進時におけるヨーレイトと第１の値の関係からセグメントを特定する後進エリアとを有し、車両の前後進時にセグメントを特定する手段とした。 （もっと読む）

【課題】 原子間力顕微鏡において、カンチレバーの自励振動の停止を防止でき、カンチレバーの探針が測定対象物と接触することを防止できるカンチレバー制御装置の提供。
【解決手段】 原子間力顕微鏡において、探針１２を有するカンチレバー１０と、カンチレバー１０を自励振動させるアクチュエータ２０と、カンチレバー１０の振動速度を検出する振動速度検出器３０と、カンチレバー１０の振動変位を算出する変位算出器３２と、アクチュエータ２０を駆動するための信号を生成する制御器４０とから、カンチレバー制御装置１を構成し、フィードバック制御信号Ｓを（Ｋ−Ｇ・ｘ²）・ｄｘ／ｄｔとする。ただし、ｘはカンチレバー１０の振動変位、ｄｘ／ｄｔはカンチレバー１０の振動速度、Ｋ、Ｇはともに正値のフィードバックゲインである。 （もっと読む）

【課題】容易に姿勢調整が可能であり、迅速に測定できる非球面偏心測定装置等を提供すること。
【解決手段】非球面レンズ１０１を保持するレンズホルダ１１０と、保持する吸着力を制御する吸着力可変機構１１４と、レンズホルダ１００を回転軸１２０の周りに回転させるモータ１１２等と、その回転角を検出するエンコーダ１１３と、非球面１０２、１０３からの反射光によるスポットの軌跡を検出するスポット軌跡検出部１１５と、非球面１０２、１０３の形状を測定する形状測定部１１７、１１８と、スポット軌跡検出部１１５と形状測定部１１７等とエンコーダ１１３との各検出結果に基づいて、非球面偏心を演算する演算部１１９とを有し、吸着力可変機構１１４は、レンズホルダ１１０上で非球面レンズ１０１の姿勢調整が可能な第１の吸着力と、第１の吸着力よりも大きな第２の吸着力とに制御する。 （もっと読む）

【課題】 周回路の内周を基準として一定ピッチで設けられた複数の計測線を利用してコーナー区間でも自走体を円滑に走行させることが可能なゲーム機を提供する。
【解決手段】 周回路３５の内周を基準として周回路３５の長手方向に一定のピッチＰＴｍで並ぶ複数の計測線３６を有するゲーム機本体１０と、周回路３５上を自走可能な自走体３０とを備えたゲーム機２において、自走体３０には、前後方向に一定のピッチＰＴｍｓで並べられ、それぞれが計測線３６を検出可能な複数の検出部６０を有する計測線検出装置５２を設け、その検出結果に基づいて自走体３０の周回路３５における走行を制御する。周回路３５の内周における計測線３６のピッチＰＴｍを検出部６０のピッチＰＴｍｓの整数倍に設定し、かつ検出部６０の個数と検出部６０のピッチＰＴｍｓとの積を周回路３５の外周における計測線３６の最大ピッチＰＴｏｕｔよりも大きく設定する。 （もっと読む）

【課題】 悪環境下でもローラテーブル上を搬送される鋼板の平面形状を自動的且つ高精度に計測可能な、鋼板の平面形状測定方法および装置を提供する。
【解決手段】 ローラテーブル１上を搬送される鋼板２の搬送方向と直交する方向の鋼板２の幅を測定する幅計３と、鋼板２の搬送方向の長さを測定する、レーザドップラー速度計４Ａ、４Ｂを用いた第１測長計４と、鋼板２の搬送方向の長さを測定する、搬送テーブルロール９に取り付けられたＰＬＧを用いた第２測長計５と、第１測長計４および第２測長計５による鋼板２の長さ測定値の何れかを選択する判定器６と、幅計３による鋼板２の幅測定値と判定器６により選択された鋼板２の長さ測定値とに基づいて、鋼板２の平面形状を計測する平面形状計７とを備え、判定器６は、レーザドップラー速度計４Ａ、４Ｂによる鋼板速度が異常値である場合に、第２測長計５による鋼板２の長さ測定値を選択する。 （もっと読む）

【課題】 複数のセンサを用いて簡単かつ正確に６自由度移動体の位置・姿勢を計測する。
【解決手段】 固定子と、固定子に対して６自由度変位する移動子と、複数のセンサとを備えた６自由度移動体の位置・姿勢計測装置において、適当な移動座標系と固定座標系を設定し、一定順番の回転座標変換を含む座標変換を行い、複数のギャップセンサ１、２、３、及び二次元センサ５、６を適切な場所に設置し、複数のセンサの検出情報および与えられた初期位置情報に基づいて可動子が変位した後の位置および姿勢を計算する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ディスクやドラムなど押圧体が押しつけることにより制動力を発生する回転体の摩耗の確認を容易にすることを目的とする。
【解決手段】 ディスクブレーキのディスク３０は、ブレーキパッド３４が押しつけることにより制動力を発生し、ブレーキパッド３４が押しつける対象部位である被押圧部に円周方向に断続的に所定間隔ごとに設けられた凹部３２および凹部以外の被押圧部である非凹部を有する。摩耗判断手段は、摩耗センサ１６の検知結果と、車輪の回転を検知する回転検知手段の検知結果を比較することにより摩耗を判断する。報知手段は、摩耗判断手段の判断結果に応じてディスク３０の摩耗を報知する。 （もっと読む）

【課題】 タンク底板鋼板の板厚の測定をより効率的に行うこと。
【解決手段】 タンク底板の板厚を測定する板厚測定装置Ａであって、板厚測定装置Ａの筐体１には、装置Ａを車輪を用いて走行させる走行機構10と、超音波探触子22及び渦流型センサ23を搭載してタンク底板の情報を取得するための測定台車20と、測定台車20から得た情報を演算処理する演算手段30と、演算手段30により得た情報を表示する表示手段50と、超音波探触子22に対して接触媒質を供給する接触媒質供給手段60と、上記各手段に電源を供給する電源供給手段70と、を一体的に有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】車両停止時において簡易にタイヤ状態を判定できるタイヤ状態判定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】タイヤ１０ａ〜１０ｄが装着された車両Ａのタイヤ状態を判定するタイヤ状態判定装置であって、タイヤ１０ａ〜１０ｄに駆動力を付加するインホイールモータ２と、車両Ａが停止した状態でタイヤに付加される駆動力とその駆動力によるタイヤの回転角との相関関係の変化に基づいてタイヤ状態を判定する判定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 回転体の外周面の傷や汚れにセンサが反応してもマークの位置を正しく特定するマーク位置特定方法及び装置を提供する。
【解決手段】 回転体の外周面に等間隔で配置されているマークの位置を特定するマーク位置特定方法であって、少なくともマークに反応するセンサで回転体の外周面をセンシングし、回転体の一回転中にセンサが反応した反応位置を記憶する（Ｓ１０５〜１１０）。次に、反応位置がマークの位置であると仮定した場合に理論的に特定される他のマークの位置について、それぞれ直近の反応位置との角度差を求め、求めた角度差を合計する。これを各反応位置について行う（Ｓ１１５〜Ｓ１３０）。次に各反応位置のうち、合計値が最も小さい反応位置をマークの位置として特定する（Ｓ１３５）。 （もっと読む）

【課題】ウエハＷの位置合わせを精度良く行う。
【解決手段】ウエハＷ上の複数のショット領域ＳＡ_p各々の設計上の位置座標（ｘ，ｙ）を独立変数とし、ステージ座標系におけるそのショット領域ＳＡ_pの位置に関する情報を従属変数とするモデル式（ウエハＷ上の複数のショット領域ＳＡ_pの配列を規定するモデル式）の各項の係数を求めるために位置座標を計測するサンプルショット領域ＳＡ_gとして、同心円Ｃ１、Ｃ２上に均等に配置されたショット領域ＳＡ_pを選択する。このようにすれば、ウエハＷの略中心を通る任意の直線方向に沿って、サンプルショット領域ＳＡ_gを均等に点在させることができるため、それらの計測結果から、統計的手法を用いて、上記モデル式の各項の係数を求める際に、そのモデル式により表現されるモデルと、真のモデル式との推定誤差を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】試料に対するより幅広い解析を行うことを可能とすること。
【解決手段】試料５上のＸＹ座標に対応させてＬＳＭ像とＳＰＭ像とをＣＰＵ１８により画像情報メモリ２２ａに記憶し、ＳＰＭ像のＺ座標位置情報ＤｚをＣＰＵ１８により高さ情報メモリ２２ｂに記憶し、ＣＰＵ１８によって高さ情報メモリ２２ｂからＳＰＭ像のＺ座標位置情報Ｄｚを読み出すと共に、画像情報メモリ２２ａに記憶されたＬＳＭ像に含まれる輝度情報Ｄｐを抽出し、これらＺ座標位置情報Ｄｚと輝度情報Ｄｐとを合わせて試料５の三次元画像情報を作成して表示部２３に表示する。 （もっと読む）