【課題】回転する管状体の振れをより正確かつ迅速に測定できる測定方法とその装置を提供すること。
【解決手段】回転可能な管端チャックへ管状体の内側面を押圧する状態で当該管状体の一端部を保持させ、管端チャックにより前記管状体を回転させながら、管状体の他端部内の計測位置から管状体の内周までの距離を計測して回転角度毎の計測値を得るとともに、管状体の外周から離れた測定位置から管状体の外周までの距離を測定して回転角度毎の測定値を得、前記計測値に演算処理を施すことにより管状体の他端部の内径中心を算出して当該管状体の仮想中心軸を求め、前記測定位置において管端チャックの回転軸線と直交する面における前記回転軸線に対する前記仮想中心軸の偏倚量により前記測定値を補正する手段を含む。 （もっと読む）

【課題】均一なガスフローパターンにより均一な堆積フィルムを生じる半導体処理システムを提供する。
【解決手段】 半導体基板を処理するために、リモートコントロールされ、基板ホルダのスロット内に挿入されたセンサシステム１００が、リアクター等のバッチリアクター内において、ウェハボート等の基板ホルダのアライメントを測定するために用いられる。センサシステム１００は、コントローラと通信するためのトランシーバと、プロセスチャンバ外部のデータ収集ユニットとを備える。さらに、センサシステム１００は、センサからプロセスチャンバの壁まで距離を測定するための距離センサ１２０を備える。センサは、プロセスチャンバの周囲３６０°に渡る範囲の測定を得るために回転される。プロセスチャンバ内の基板ホルダのアライメントは、回転角と、測定された距離又は距離センサ１２０によって受信された信号との関係に基づいて決定される。 （もっと読む）

【課題】全舵角範囲に亘る回転軸の回転角度を精度良く検出し、車両の舵角を簡素な構成にて精度良く検出可能な舵角検出装置を提供する。
【解決手段】ステアリングホイール３０の操作に応じたステアリング軸３の回転を操舵用の車輪１２，１２に伝え、該車輪１２，１２の向きを変えて舵取りされる車両の操舵角度を、ステアリング軸３の複数回転に亘る回転角度を求めることにより検出する舵角検出装置において、ステアリング軸３に係合され、ステアリング軸３の回転に応じて移動する移動体６の移動位置を位置センサ７により検出し、この検出結果によりステアリング軸３が中立位置から左右の何回転目の領域にあるかを判定する。回転角センサにより判定された領域内でのステアリング軸３の回転角度を求めて全舵角範囲内での操舵角度を算出する。以上により簡素な構成により全舵角範囲に亘って高精度の舵角検出が可能となる。 （もっと読む）

【課題】音源物体の検出成功率を向上させるとともに安定させること。
【解決手段】ロボット装置１００において、画像入力部１１２によって入力された画像と、音源情報の適用視覚情報とに基づいて画像処理手順を実行して音源物体１０２の視覚特徴を検出し、音源物体１０２の少なくとも方位を示す視覚定位情報を出力する視覚特徴検出定位部１１４と、音声入力部１１３によって入力された音声と、音源情報の適用聴覚情報とに基づいて音声処理手順を実行して音源物体１０２の聴覚特徴を検出し、音源物体１０２の少なくとも方位を示す聴覚定位情報を出力する聴覚特徴検出定位部１１５と、検出戦略情報に基づいて、視覚特徴検出定位部１１４または聴覚特徴検出定位部１１５を制御し視覚定位情報または聴覚定位情報から音源物体１０２の存在する位置を検出する音源物体検出部１１６とを備えた。 （もっと読む）

【課題】帯状体表面の欠陥を、蛇行しているときにも検出できること、及び欠陥の大きさ、種類、形状も認識できること。
【解決手段】ガイドロール(4)(5)に巻装されて走行する磁気テープ(3)に対向して配設されるラインＣＣＤカメラ(6ａ、6ｂ、6ｃ、6ｄ、6ｅ)と、磁気テープ(3)を照射する光照射手段(9)と、磁気テープ(3)の走行速度を検出するパルス発生器(11)と、ラインＣＣＤカメラの撮像した画像を処理する画像処理手段(7ａ、7ｂ、7ｃ)とを具備し、画像処理手段(7ａ、7ｂ、7ｃ)は少なくとも磁気テープ(3)の一方の縁部と表面上の欠陥を認識させ、パルス発生器(11)の出力に基づく磁気テープ(3)の走行方向における欠陥の位置と、縁部から欠陥までの距離とを演算するようにした。 （もっと読む）

本発明はＮ個の関節化されたセグメントで構成されるある構造体の運動を捕捉するための装置に関し、以下の特徴的構成を有する。
− 連続的に時間ｔ_ｋにおいて、基準を形成するある基準座標系におけるランク


少なくとも出力する第一の手段（ＭＬ）、ここで、ｋは１か、または１より大きい整数である、そして、
− 様々なセグメントにわたって分布し、ランク１からランクｎの各セグメン


本発明は生体力学の解析、遠隔操作、ある人物のアニメーション等に応用される。 （もっと読む）

【課題】 取扱装置の工具の動きを追跡するための装置及び方法を提供することである。
【解決手段】 取扱装置（２）の工具の動きを追跡するための装置（１）であって、上記工具に位置合わせされ、追跡されることができる少なくとも１つの方向性放射器（５）と、動きを決定するための信号評価装置（４）を有する装置（１）が記載される。上記方向性放射器（５）は固定された空間平面に対して調節可能な角度で方向性ビーム（６）を位置合わせさせるためのアクチュエーター、及び上記信号評価装置（４）に接続され、上記空間平面に対する現在の方向性ビームの角度を決定するための角度センサーを有する。 （もっと読む）

【課題】管路計測や孔内計測において、管路や地盤等の内部状況を的確に把握可能な内部検査装置を提供する。
【解決手段】ピッチ角、方位角、ロール角を検出する角度検出器２と、この角度検出器２の管内又は孔内の壁面に対する踊り量を検出する非接触変位センサ３，４と、を有し、管路内又は地盤に形成された孔内に挿入され、内部を移動可能な内部検査装置１であって、該管路内又は孔内を撮影する撮影手段を先端に備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】高精度な前方認識手段を用いることなく、一般に普及している前方認識装置を用いて前方立体物を高精度に認識できるようにする。
【解決手段】立体物検出処理部９は、ミリ波レーダ装置３、ステレオカメラ装置２、レーザレーダ装置４の各前方認識手段で検出した前方立体物Ｍｉ，Ｉｉ，Ｌｉに基づき、車体幅方向の位置座標、車体前後方向の距離座標、車体前後方向の相対速度からなる特徴量を求め、各前方立体物Ｍｉ，Ｉｉ，Ｌｉの全ての組み合わせから各特徴量の同一確率を各特徴量の誤差に関するガウス分布に基づき求める。そして、求めた同一確率に基づき各前方立体物に同一立体物があるか否かを判定し、同一と判定された各前方立体物どうしは、その各特徴量に基づいてフュージョン立体物を生成し、非同一と判定された前方立体物は、当該前方立体物を特定する特徴量のみでフュージョン立体物を生成する。 （もっと読む）

【課題】 表面形状の計測を高精度化することができ、触針を簡易に支持することによって小型の形状測定装置を提供すること。
【解決手段】 ＸＹステージ装置８２に設けたＸ駆動装置５０がエアスライドによって可動部５２を非接触で支持しリニアモータ５１ａ，５１ｂによって可動部５２を駆動するので、載置台８２ａのＸＹ軸方向に関する運動が滑らかで高精度になる。よって、光学素子ＯＥをＸＹ面内で移動させる際にＺ軸方向の微小変位が生じにくくなり、触針１１の変位量計測を正確にすることができ、光学素子ＯＥの表面形状の計測精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】対象物の所望の位置を容易かつ迅速に観察することができる顕微鏡システム、顕微鏡システムを用いた観察方法および観察プログラムを提供する。
【解決手段】顕微鏡システムにおいて、使用者は、原子間力顕微鏡の試料載置台上に試料を載置し（ステップＳ１）、光学顕微鏡による試料の観察を行う（ステップＳ２）。使用者は、光学顕微鏡による試料の観察時に光学顕微鏡の倍率の調整を行う（ステップＳ２ａ）。また、使用者は、光学顕微鏡による試料の観察時に原子間力顕微鏡による試料の観察対象領域の探索も行う（ステップＳ２ｂ）。続いて、使用者は、ステップＳ２ｂにおいて探索した観察対象領域の中から、さらに原子間力顕微鏡による試料の観察対象領域を指定する（ステップＳ３）。その後、使用者は、ステップＳ３において指定した観察対象領域について原子間力顕微鏡による試料の観察を行う（ステップＳ４）。 （もっと読む）

【課題】試料の振動を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡は、ＡＦＭスキャナおよび試料載置台を備える。試料載置台は、移動プレート、Ｚ方向移動機構およびＸＹ方向移動機構３０ｃを含む。ＸＹ方向移動機構３０ｃは、２つのモータＭａ，Ｍｂ、Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０を有する。Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０には、あり溝ガイド方式が用いられている。 （もっと読む）

【課題】振動の発生を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０は、顕微鏡連結部材４０に取り付けられる。顕微鏡連結部材４０は、弾性部材５４ａ，５４ｂ，５４ｃ，５４ｄを介してベース筐体部５０により保持される。顕微鏡連結部材４０に、おもりＷが取り付けられる。おもりＷの取り付け位置は、顕微鏡装置の各構成要素の重量、設置位置等を考慮して、各構成要素に発生する振動を確実に減衰できるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】広範囲に渡る試料の観察を容易に行うことができるとともに、迅速かつ正確な観察を行うことが可能な顕微鏡システム、観察方法および観察プログラムを提供する。
【解決手段】試料上の走査単位領域および観察対象領域を設定する。ＣＰＵは観察対象領域内の走査単位領域の個数および位置を設定し、各走査単位領域の形状情報を取得する（ステップＳ２１）。ＣＰＵは、取得した形状情報に基づいて全ての走査単位領域の上面視画像を表示装置に表示させる（ステップＳ２２）。複数の走査単位領域の上面視画像を使用者が手動で連結する場合、ＣＰＵは選択された上面視画像に対するオフセット処理を行う（ステップＳ２７）。オフセット処理は、隣接する走査単位領域の上面視画像の重複領域の画像のピクセルの階調がほぼ等しくなるように一方の上面視画像のピクセルの階調をオフセットすることにより行われる。 （もっと読む）

【課題】 光学素子を確実に固定することによって高精度の形状測定を可能にし、好ましくは、光学素子を表裏の両面から計測することができる光学素子測定用治具を提供すること。
【解決手段】 この光学素子測定用治具１０において、３つの球面部３０と、３つの当接部材５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃとは、光学素子ＯＥの外縁部ＰＡに沿って等間隔で互い違いに配置されている。この結果、球面部３０と当接部材５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃとの干渉を防止しつつ両者を効率的に配置でき、基板２０上に光学素子ＯＥを安定した状態で固定することができる。つまり、球面部３０や光学素子ＯＥの光学面の計測を確実に行うことができ、その作業性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】熱電対を利用して高炉炉底の耐火レンガの残厚を推定する方法において、耐火レンガ残存厚を一層高精度に推定できる高炉炉底管理方法を提供する。
【解決手段】宇宙線ミュオンを利用して耐火物と炉内との境界位置を判定する。境界位置の判定は、宇宙線ミュオンを計測する計測部１２により高炉炉底２を透過して飛来する炉底透過の宇宙線ミュオン強度と、該炉底透過の宇宙線ミュオンの飛来方向の判別情報と、高炉を非透過の非透過宇宙線ミュオン強度とを一定時間蓄積し、該蓄積データに基づいて炉底の状態を炉底透過の宇宙線ミュオン強度と非透過宇宙線ミュオン強度との強度比で表し、該強度比に基づいて行う。この判定基準として高炉炉底耐火物内に配置された温度計測手段９ａ、９ｂにより計測した計測温度の変動から耐火物への付着物厚みの増減を推定し、短期的な炉内状況変動も管理する。 （もっと読む）

【課題】塗膜の膜厚やその乾燥／湿潤状態に関わらず、塗膜の厚さを簡便にかつ高精度に計測する。
【解決手段】非接触式膜厚計１０において、本体１１の底面１３に渦流変位計のための中空管状のプローブ１２を取り付ける。プローブ１２の先端にコイル１４を設ける。底面１３において、中空管状のプローブ１２の内側にレーザ変位計のレーザ照射部１５とレーザ受光部１６とを設ける。コイル１４により交流磁界を生成し、金属板Ｓに渦電流を誘導する。誘導された渦電流によるコイル１４のインダクタンス変化を検出し、プローブ１２と金属板Ｓまでの距離Ｌ２を算出する。一方、レーザ照射部１５からレーザ光線を照射し、塗膜Ｆの表面で反射されたレーザ光線をレーザ受光部１６において検出する。三角測距の原理に基づいて、レーザ変位計と塗膜表面との間の距離Ｌ１を算出する。距離Ｌ１、Ｌ２に基づいて塗膜Ｆの厚さδを算出する。 （もっと読む）

【課題】簡便な操作でプローブを高精度に観察できるプローブ観察装置を提供する。
【解決手段】プローブ２１０を撮像するカメラ２３０と、カメラ２３０にて取得した画像データを画像処理する画像処理部と、画像処理部にて画像処理された画像データを表示するモニタ４００と、手動操作にて画像処理内容を入力指令するマウス５００とを備える。画像処理部は、マウスにて入力される指令に応じて画像データを加工処理する画像データ加工処理部を備える。カメラ２３０は、低倍率のレンズ系を有し、プローブ２１０を視野内に入れた状態でプローブ２１０に対する相対位置が固定された状態で設けられている。 （もっと読む）

本発明は、異なる不導体材料から成る複数層を有する多層フィルムの厚さを検出する方法に関するものである。この方法によれば、多層フィルム１３の厚さが、第１センサ１７と、第２センサ１６と、任意の複数追加センサとによって測定される。第１センサ１７は、約１−２分間持続する短い周期で全厚の分布を測定するが、測定誤差の幅が大きい。第２センサ１６は、測定誤差の幅は小さいが、全厚分布の測定周期が長く、約１０−３０分間持続する。これら２つの厚さ分布を比較することで、第１センサ１７に対する修正分布が計算できる。この修正分布は、長い周期を通じて一定のままであれば、より正確な新たな厚さ分布が第２センサによって利用可能にされ、新たな修正分布の計算が可能になるまで、センサ１７のすべての厚さ分布に適用できる。
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【課題】長さが長い水圧鉄管の厚み測定に適しており、その厚み測定を経済的かつ安全に行うことが可能な水圧鉄管の厚み測定装置及びその厚み測定方法を提供する。
【解決手段】水圧鉄管１１の内面１２に吸着する複数の車輪１３及び走行距離計１８を備えた台車１４と、水圧鉄管１１の塗膜厚み及び総厚みの測定に使用する各センサー２２、２３を備える計装部１９とを有し、計装部１９は台車１４と分離可能になって、計装部１９には更に、台車１４の前方、後方、及び各センサー２２、２３を撮像するカメラ２７、２８、３２と、水圧鉄管１１の清掃手段２１と、台車１４の傾きを検知する角度センサーと、計装部１９の送電及び信号通信を行うケーブル３１と、その巻取手段４２が設けられている。その測定方法は、上流側から下流側へかけて下方へ傾斜又は垂直に配置された水圧鉄管１１の上流側に厚み測定装置１０を配置した後、下流側へ向けて走行させる。 （もっと読む）