【課題】上半部ケーシングを取外した状態でもケーシング内部構造物の位置調整を高精度に簡単且つ容易にできるようにすることにある。
【解決手段】上半部ケーシング２と下半部ケーシング１にてケーシングが構成される蒸気タービンの内部構成部品を位置合せするための方法であって、ケーシング外部を支持点としてダミーロータ４をケーシング内に貫通させ、上半部ケーシング２が取外された下半部ケーシング１の状態から上半部ケーシング２を組立てた状態にしたときのダミーロータ４に対する内部構成部品との上下、左右方向の変位量を計測し、その計測値に基づいて上半部ケーシング２が取外された状態で内部構成部品の支持点高さをオフセット調整することにより、上半部ケーシング２を組立状態にて内部構成部品を所定の位置に合せることを可能にする。 （もっと読む）

【目的】試料の表面平面と凹凸部の側壁及び底面の走査を容易且つ正確に行うことができることを目的とする。更に、試料の平面の凹凸部の底角部を死角となることなく正確に操作できるナノチューブプローブを提供する。
【構成】カンチレバー部２に長軸状の突出部３が設けられ、この突出部３の先端部の側部に平坦面３ａが形成され、この側部平坦面３ａに突出部３の軸線方向に対して先端が斜め傾斜方向に突出するようにナノチューブ４ａ、４ｂが配置され、このナノチューブ４ａ、４ｂの基端部が側部平坦面３ａにコーティングあるいは融着により固定され、ナノチューブ４ａ、４ｂの先端を探針として用いる。 （もっと読む）

【課題】鋳造金型内に溶融材料が充填されて高温となり、金型が最も大きく変形している熱間条件下において、最も大きく熱変形している部分の金型の熱変形量を、直接測定できるシステム及び方法を提案する。
【解決手段】検出体２１と検出体治具２２とで成る検出体ユニット２０と、検出体２１の被検出部３２１を一側端に設けた被検出体３１と、被検出体治具３４とで成る被検出体ユニット３０と、検出体２１の検出値に基づいて被検出体３１の変位量を計測する変位計４１とで金型変形量測定システムを構成した。検出体治具２２には、検出体２１を冷却する冷却機構を備えた。前記被検出体３１は、一側端部に被検出部３２１を支持した棒状部材３２と、該棒状部材３２を摺動可能に内挿する筒状部材３３とで構成し、被検出部３２１が前記検出体２１に対峙するとともに他側端部が金型の変位測定部位に当接する位置に被検出体治具３４にて保持した。 （もっと読む）

【課題】 小型であり、２自由度運動量を検出可能な、出力誤差の小さい２自由度センサを提供する。
【解決手段】 Ａ、Ｂ２方向の運動量を検出する２自由度センサであって、可動部あるいは固定部に設置され、Ａ方向から見て一定幅t_Ａで配置される凹凸と、かつＢ方向から見て一定幅t_Ｂで配置される凹凸を持つ検出対象４００と、前記検出対象の凹凸面に対向して設置され、Ｂ方向から見た検出面の幅がt_Ｂと等しく、かつＡ方向から見た幅がt_Ａの２×ｍ倍の対向面を持つ素子を有する第１の検出部４０２と、検出対象の凹凸面に対向して設置され、Ａ方向から見た検出面の幅がt_Ａと等しく、かつＢ方向から見た幅がt_Ｂの２×ｎ倍の対向面を持つ素子を有する第２の検出部４０４と、前記第１、第２の検出部の出力変化からＡ方向運動量およびＢ方向運動量をそれぞれ算出する演算処理部とを有する。 （もっと読む）

【課題】 低コストな装置でシート状部材の幅方向両端のワイヤの位置をそれぞれ検出することができ、シート状部材の幅方向両端のワイヤ間の長さを正確に求めることのできるワイヤ位置検出方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 電磁ピックアップセンサ130がシート状部材300の幅方向に移動することにより、シート状部材300の表面におけるワイヤ301による前記磁気の変化を検出し、電磁ピックアップセンサ130から出力される電圧信号を整流して平滑化し、平滑化した電圧信号を検出したときの電磁ピックアップセンサ130の位置と、平滑化した電圧信号を検出しなくなったときの電磁ピックアップセンサ130の位置に基づいてシート状部材300の幅方向両端のワイヤ301の位置をそれぞれ検出する。
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【課題】 シート状部材を切断しながらシート状部材の幅方向両端のワイヤの位置をそれぞれ検出することにより、切断面における両端のワイヤ間の長さを正確に求めることができるワイヤ位置検出方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 磁性体のカッター130とそのカッター130からワイヤ301の長手方向に所定距離だけ離れた位置との間の磁気抵抗をカッター130とともに移動する磁気抵抗検出器140によって検出し、ワイヤ301と接触していないカッター130がワイヤ301と接触することにより磁気抵抗が変化したときのカッター130の位置と、ワイヤ301と接触しているカッター130がワイヤ301と接触しなくなることにより磁気抵抗が変化したときのカッター130の位置に基づいてシート状部材300の幅方向両端のワイヤ301の位置をそれぞれ検出する。
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【課題】 試料の断面観察形状に基づいて試料の立体画像を高い精度で生成可能な立体試料観察システムを提供する。
【解決手段】 研磨用探針で試料の断面を研磨する研磨装置50、研磨された断面の形状を計測し、試料の断面画像を取得する計測装置10、断面画像を蓄積する断面画像記憶装置332、及び蓄積された断面画像に基づいて、試料の立体画像を生成する立体画像生成部350を備える。 （もっと読む）

【課題】 構造物や構造部材のたわみを簡便に測定する測定方法および装置を提供する。
【解決手段】 複数の支柱２、３を被測定物１上に立設し、これら支柱間に基準となる測定用線材６を水平もしくは垂直または被測定物と平行に張設し、支柱間の測定位置に測定器具１０を立設し、この測定器具に設けられたマイクロメータ１２により光センサ部１３を上下させ、このセンサ部が測定用線材を検出したときの測定用線材の高さをマイクロメータにて計測し、マイクロメータによる計測高さと予め求められている前記測定用線材の基準高さとの差を求めることにより被測定物のたわみを測定する。 （もっと読む）

【課題】被測定面をトレースするプローブによる三次元形状の測定を高精度で行う。
【解決手段】プローブ先端球１０９を有するプローブ軸１０６の上端にターゲットミラー１１４を固定し、レーザ測長によって本体架台１０１に固定された第一の基準ミラー１０２とターゲットミラー１１４の離間距離を検出してワークＷの表面形状データを得る。ワークＷに対するプローブ先端球１０９の押圧力を一定に保つために、プローブ軸１０６を保持するＺ軸アーム１０３上の第二の基準ミラー１１１とターゲットミラー１１４の離間距離を検出するレーザ測長系によって、Ｚ軸ステージ１０４を制御し、板バネ１０７、１０８の歪を調整する。 （もっと読む）

【課題】
ＦＭレーザレーダ装置等使用して計測対象物の周囲を移動している間でも電源ライン及び信号ラインを遮断することなく常に接続される形状計測装置用搬送設備。
【解決手段】
第一台車コネクタユニットと第二台車コネクタユニットとを設置した搬送台車と、計測対象物の一方の側に敷設した第一レールと、第一レールの走行方向に対して交わる方向に走行するように敷設した第二レールと、第二レールの端部で第一レール側に設置した第一コネクタユニット架台と、第二レールを走行すると共に第二台車コネクタユニットと接続される補助台車コネクタユニットを設置した補助台車と、電源ラインと信号ラインが接続された固定側の第一中継コネクタと、第一中継コネクタに接続された第一ケーブルと、第一ケーブルに接続された第一ケーブルコネクタと、第一中継コネクタと補助台車コネクタユニットとに接続された第二ケーブルとを備える。 （もっと読む）

【課題】 測定子を低接触力で接触させながら被測定物の表面形状を高精度に測定できる機上形状測定器を提供する。
【解決手段】 機上形状測定器３０は、測定開始前にサーボモータのロック状態等における機械振動成分を測定し（Ｓ１４）、振動成分を除去するノッチフィルタ６６を設定する（Ｓ１８）。測定開始後、リニアスケール４４の出力から、設定したノッチフィルタ６６によりサーボモータのロック状態等における機械振動成分を除去する（Ｓ２０）。このため、測定プローブ３２を低接触力で接触させることで、機械振動の影響を受け易い状態となっても、機械振動分を除去し、影響を打ち消すことで、高精度な形状測定を実現できる。 （もっと読む）

【課題】レバーの破損による角度計の故障の有無を判定する。
【解決手段】第１の部材４に回動可能に支持された第２の部材５の回動動作に連動して回動するレバー部材２２と、レバー部材２２の回動角に応じた検出信号を出力する角度センサ２１とを有し、第１の部材４に対する第２の部材５の回動角を検出する角度計の故障判定装置であって、第１の部材４に対する第２の部材５の回動動作を検出する回動検出手段３７，３８と、回動検出手段３７，３８により第２の部材５の回動動作が検出されたときに角度センサ２１の検出信号が変化しないと、角度計２０の故障と判定する故障判定手段４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 測定プローブを傾斜させて支持しながら被測定物の表面形状を高精度に測定できる形状測定器を提供する。
【解決手段】 形状測定器３０により既知形状の被測定物（真球）の形状を測定する（Ｓ１２）。次に、測定プローブの設計傾斜角度の値から±０．５度間を５等分し、それぞれの形状誤差を算出し、誤差が最小となる角度値を決定する（Ｓ１６）。更に同様な計算を繰り返すことで、誤差が最小となる傾斜角度に収束させる（Ｓ１８、Ｓ２０）。被加工部材を測定する際には、測定した形状を傾斜角度による誤差分で補正することで、測定精度を高める。 （もっと読む）

【課題】線材を切断する際、端面に擦り傷を生じることがなく、高い寸法精度で短寸材及び長寸材の双方を検出することのできる線材移送切断機を提供する。
【解決手段】本発明の線材移送切断機１は、基部に配設され線材を一定長ずつ移送する移送手段と、該線材の移送長を測定する測長手段と、移送された該線材を切断するカッターと、該移送手段及び該測長手段及び該カッターの動作を制御する制御手段と、を備える線材移送切断機であって、移送される該線材に押圧されることにより該基部９に対して変位するストッパ部材４を備え、該測長手段（リニアエンコーダ５）は該ストッパ部材４の変位量を測定することを特徴とする。また、前記ストッパ部材４を前記線材の移送方向と反対向きに付勢する付勢手段（コイルばね７）を備えることが好ましい。前記ストッパ部材４は複数あって前記線材に押圧される被押圧面４３の形状が異なり、かつ取り替え可能であってもよい。 （もっと読む）

【課題】 基板が大型化した場合においても基板を正確に測定することができる基板測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 測長機は、基部１０と、この基部１０から応力を受けることなく、その表面が鉛直方向に対して微小角度傾斜した状態で、基部１０に支持されるステージ部１４と、測定を行うべき基板１００の下端部を支持するためのガイドローラ４２および昇降ローラ４３と、ステージ部の上部と下部とに設けられたガイドレール４５に案内されることにより、ステージ部１４の表面に沿って左右方向に移動可能な架台１５と、この架台１５に設けられたガイドレール５３に案内されることにより、架台１５に沿って上下方向に移動可能な撮像部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】高スループットで試料にダメージを与えずに、試料の正確な立体形状情報を計測でき、垂直な側壁やオーバーハングを含む試料の正確な立体形状情報を計測できる走査プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】探針を測定点のみで接触させて次の測定点に向かうときには探針をいったん引き上げて退避させてから次の測定点に移動してから、探針を接近させることによって試料にダメージを与えずに正確な立体形状を用いる方法において、高周波・微小振幅カンチレバー励振と振動検出を行い、さらに、急傾斜部での接触力検知感度を上げるために、横方向励振あるいは、縦横２方向励振をおこなう。探針を測定対象の傾斜に合わせて傾斜させる手段と、探針と試料の接触状態を検知する光のカンチレバーでの反射後の向きが、探針の傾きによって大きく変わることを吸収または調整できる構造をもつ。 （もっと読む）

【課題】 移動観覧席を直線的に進退させるための移動観覧席の移動制御システムにおいて、移動観覧席の位置ずれを検知する感度を向上させ、位置ずれを修正する際の修正量を小さくできるようにする。
【解決手段】 移動観覧席１においては、光学式測量器ＳＬ，ＳＣ，ＳＲと、制御装置４０と、壁面７１または退避側対向面１ａのうち、中央の光学式測量器ＳＣによる投光が照射される領域に配置され、投光が照射される左右方向の位置に応じて、中央の光学式測量器ＳＣによる測量距離が単調に増加または減少するよう構成された被照射面を有する被照射部材６１と、を備えている。制御装置４０は、左右の光学式測量器ＳＬ，ＳＲによる測量値に基づいて、中央の光学式測量器ＳＣにて測量されるべき基準距離を演算し、中央の光学式測量器ＳＣによる実際の測量距離と基準距離とに基づいて、床台２０の左右方向の位置ずれを検知する。 （もっと読む）

【課題】 作業効率が高く、構成が簡単な位置決め装置を提供する。
【解決手段】 この位置決め装置では、２つの可動テーブル４，５の移動範囲ＸＡ，ＸＢはオーバラップ部ＸＯを有し、２つの可動テーブル４，５のうちのいずれか１つの可動テーブル４または５がオーバラップ部ＸＯに進入したことに応じて、他の可動テーブル５または４がオーバラップ部ＸＯに進入することを禁止する。したがって、可動テーブル４，５がオーバラップ部ＸＯで衝突することを防止することができ、簡単な構成で作業効率の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】測定時におけるセンサ移動に伴う振動を低減して測定精度の向上を図った耳ゴム付着量測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】スチールコーティング材料300による遮光量が非遮光時における全光量の約1/2となった位置で計測ユニット120A,120B及びレーザ光射出ユニット131A,131Bを停止し、受光器132A,132Bの受光量によってスチールコーティング材料300の側端位置を検出した後、磁気センサ164A,164Bを移動させてスチールコーティング材料300の最外側のスチールワイヤー部材301の位置を検知し、スチールコーティング材料300の側端位置とスチールコーティング材料の最外側のスチールワイヤー部材301の位置との間の距離を耳ゴム付着量として算出して表示する。 （もっと読む）

【課題】非接触計測プローブユニットの重力補償機構を改善することで、３次元形状計測装置の計測精度を向上させる。
【解決手段】ベースＢ上に立設された筐体１０にボイスコイルモータ１と空気バネ２を支持させ、ＸＹステージ７上の被測定物Ｗの高さを計測する非接触計測プローブユニット４を、ボイスコイルモータ１によって重力方向であるＺ軸方向に駆動する。非接触計測プローブユニット４を搭載するＺステージ３の重力補償を空気バネ２によって行い、ボイスコイルモータ１とエアースライダ６と空気バネ２とを組み合わせることで、小型でしかも信頼性と安全性の高い重力補償機構を実現する。 （もっと読む）