本発明は、少なくとも一つのスライド方向に沿って移動可能な物体の位置を計測するための装置に関し、各スライド方向に対応して、当該の空間方向に沿った物体の位置を測定するための測長器が配備されており、当該の測長器（２，３）の第一の構成部品として、測定すべき物体（１０）のスライド方向（ｘ，ｙ）に沿って延びる少なくとも一つの基準尺（２０，３０）が配備され、当該の測長器（２，３）の第二の構成要素として、基準尺（２０，３０）を走査するための走査ヘッド（２５，３５）が配備されており、その結果測定すべき物体（１０）の当該のスライド方向（ｘ，ｙ）に沿った走査ヘッド（２５，３５）に対する基準尺（２０，３０）の位置の変化を検出することが可能であり、当該の測長器（２，３）の二つの構成要素（２０，２５；３０，３５）の中の一方が、測定すべき物体（１０）が動いた場合に、その物体と一緒に当該のスライド方向（ｘ，ｙ）に沿って動かされ、当該の測長器（２，３）の測定方向（ｘ，ｙ）に沿った測定すべき物体（１０）と一緒に移動可能な当該の測長器（２，３）の構成部品（２０，３０）と測定すべき物体（１０）との距離を計測するための機器（１２，２３；１３，３３）が配備されている。本発明では、測定すべき物体（１０）と一緒に移動可能な当該の測長器（２，３）の構成部品（２０，３０）と測定すべき物体（１０）との距離を計測するための機器（１２，２３；１３，３３）が、第一の構造グループとしての測定目盛（１２，１３）と、それに対応する第二の構造グループとしての測定ヘッド（２３，３３）とを備えており、二つの構造グループ（１２，２３；１３，３３）の中の一方が、測定すべき物体（１０）に配備されており、二つの構造グループ（１２，２３；１３，３３）の中の他方が、測定すべき物体（１０）と一緒に移動可能な測長器（２，３）の構成部品（２０，３０）に配備されている。
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【課題】バー塗布装置等に使用される円柱状部材の真直度を精度よく測定するのに好適な真直度測定装置、方法、及び該真直度測定装置で測定した円柱状部材を使用した塗布方法を提供する。
【解決手段】バーＢの上端部を把持しながら糸状部材１４により吊り下げ、バーの上端部近傍をバーの外径と略等しい内径の支持孔を備える第１の支持部材２４により支持するとともに、バーの下端部近傍をバーの外径と略等しい内径の支持孔を備える第２の支持部材２６により支持し、バーを回転駆動させるとともに、変位センサ２０をバーに沿って移動させながらバーの振れを非接触で検出する。 （もっと読む）

【課題】２つのハウジング貫通ボアのボア壁の磨耗状態を検知するための測定装置を提供する。
【解決手段】少なくとも２軸のスクリュー押出機の、互いに平行なボア軸線を有する２つのハウジング貫通ボアのボア壁の磨耗状態を検知するための測定装置は、後部駆動輪（８）と、前部案内輪（１２）と、各々がボア軸線を中心として旋回式に駆動可能であるとともにそれぞれのボア壁から所定の距離を置いて位置決め可能である非接触式に動作する距離センサ（２１、２１’）とを備えた架台を有する。 （もっと読む）

【課題】作業者の手を煩わすことなく簡単且つ短時間でプローブの交換を行うことができ、小型の走査型プローブ顕微鏡にも適用可能であること。
【解決手段】試料Ｓに対向配置され、レバー部２ａの先端に探針２ｂを有すると共に該レバー部の基端側が本体部２ｃに片持ち状態に支持されたプローブ２を複数固定するものであって、試料表面Ｓ１に対向する対向面１０ａを有し、該対向面に複数のプローブを、本体部を介してそれぞれ着脱自在に固定する固定板１０と、該固定板を移動可能に支持するホルダ本体１１と、固定板を移動させると共に複数のプローブのうち選択したいずれかのプローブを観察ポジションＰに位置させる可動手段１２とを備えているプローブホルダ３を提供する。 （もっと読む）

【課題】均一なガスフローパターンにより均一な堆積フィルムを生じる半導体処理システムを提供する。
【解決手段】 半導体基板を処理するために、リモートコントロールされ、基板ホルダのスロット内に挿入されたセンサシステム１００が、リアクター等のバッチリアクター内において、ウェハボート等の基板ホルダのアライメントを測定するために用いられる。センサシステム１００は、コントローラと通信するためのトランシーバと、プロセスチャンバ外部のデータ収集ユニットとを備える。さらに、センサシステム１００は、センサからプロセスチャンバの壁まで距離を測定するための距離センサ１２０を備える。センサは、プロセスチャンバの周囲３６０°に渡る範囲の測定を得るために回転される。プロセスチャンバ内の基板ホルダのアライメントは、回転角と、測定された距離又は距離センサ１２０によって受信された信号との関係に基づいて決定される。 （もっと読む）

【課題】車両への設置を容易にする。
【解決手段】車輪側発信部１０は、車両５０においてバネ下となる車輪５１の側に配置され、所定の発信タイミングで定期的に波動信号を発信する。車体側受信部１１は、車両においてバネ上となる車体５２の側に配置され、車輪側発信部１０から発信された波動信号を受信する。車体側受信部１１では、波動信号が車輪側発信部１０から発信されてから車体側受信部１１にて受信されるまでの発受信時間や、車体側受信部１１における波動信号の受信強度に基づき、車両５０における車高を検知する処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】全舵角範囲に亘る回転軸の回転角度を精度良く検出し、車両の舵角を簡素な構成にて精度良く検出可能な舵角検出装置を提供する。
【解決手段】ステアリングホイール３０の操作に応じたステアリング軸３の回転を操舵用の車輪１２，１２に伝え、該車輪１２，１２の向きを変えて舵取りされる車両の操舵角度を、ステアリング軸３の複数回転に亘る回転角度を求めることにより検出する舵角検出装置において、ステアリング軸３に係合され、ステアリング軸３の回転に応じて移動する移動体６の移動位置を位置センサ７により検出し、この検出結果によりステアリング軸３が中立位置から左右の何回転目の領域にあるかを判定する。回転角センサにより判定された領域内でのステアリング軸３の回転角度を求めて全舵角範囲内での操舵角度を算出する。以上により簡素な構成により全舵角範囲に亘って高精度の舵角検出が可能となる。 （もっと読む）

本発明によれば、測定目盛（１５）を備えているスケール（１）は、静電クランプにより担持体（２）に確実かつ取外し可能に保持される。
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【課題】回転する管状体の振れをより正確かつ迅速に測定できる測定方法とその装置を提供すること。
【解決手段】回転可能な管端チャックへ管状体の内側面を押圧する状態で当該管状体の一端部を保持させ、管端チャックにより前記管状体を回転させながら、管状体の他端部内の計測位置から管状体の内周までの距離を計測して回転角度毎の計測値を得るとともに、管状体の外周から離れた測定位置から管状体の外周までの距離を測定して回転角度毎の測定値を得、前記計測値に演算処理を施すことにより管状体の他端部の内径中心を算出して当該管状体の仮想中心軸を求め、前記測定位置において管端チャックの回転軸線と直交する面における前記回転軸線に対する前記仮想中心軸の偏倚量により前記測定値を補正する手段を含む。 （もっと読む）

【課題】高分解能にして組立が容易な絶対角度検出装置を提供する。
【解決手段】ステータ部材１と、ステータ部材１に回転可能に支承されているロータ部材２と、ロータ部材２に一体的に取り付けられたコード板３と、コード板３に形成された信号検出用のコードパターン列３ａと、ステータ部材１内に備えられたプリント基板５と、プリント基板５に実装された複数個の検出素子６とを有し、当該検出素子６がコードパターン列３ａの配列方向に沿って所定の間隔で配置された絶対角度検出装置において、リード貫通孔５ａが開設されたプリント基板５と当該プリント基板５上に実装される複数個の検出素子６の本体部６ａとの間に、位置決め孔１１が開設されたシート状の位置規制部材１０を介設する。 （もっと読む）

【課題】位置検出手段による検出部がレールの外部にあると、誤検出を生じる場合がある。
【解決手段】上部が開口する略コ字形状に屈曲形成され車両のフロアに固定されたロアレール１の前記開口部に、下部が開口する略コ字形状に屈曲形成されシートに固定されたアッパレール２がスライド自在に嵌挿され、ロアレール１のロックプレート１０に対してアッパレール２を固定するロック機構６が設けられ、アッパレール２の位置を検出する近接センサ３０がアッパレール２に設けられる一方、ロックプレート１０には近接センサ３０により検出される被検出面１０ｄが設けられている。そして、近接センサ３０の反検出面側を当接させることにより検出面３０ｂと被検出面１０ｄとの検出距離ａを必然的に設定させる距離設定部１０ｃがロックプレート１０に一体成形されている。
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【課題】簡単かつ小型な構成で測定対象物の３次元形状を測定することが可能な３次元形状測定システムを提供する。
【解決手段】３次元形状測定システムは、引き出されるワイヤ２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの引出し量Ｌおよび同ワイヤ２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの引き出される方向を表す回転角θｘ，θｚをそれぞれ検出可能なワイヤ装置２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを備える。各ワイヤ２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの各先端部２１ａＡ，２１ａＢ，２１ａＣは、３次元形状測定装置１０の背面に接続されている。３次元画像データ処理装置４３は、３次元形状測定装置１０による測定時におけるワイヤ２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの引出し量Ｌおよび回転角θｘ，θｚを用いて座標変換関数Ｆ_ＰＳを計算する。そして、各測定位置ごとに生成される３次元形状データを予め記憶している座標変換関数Ｆ_ＣＰと計算した座標変換関数Ｆ_ＰＳとを用いて座標変換する。 （もっと読む）

【課題】 探針と試料を測定領域に位置決めする際の探針破損を低減させ、探針先端形状に起因する分解能の変化を抑えて、適切でしかも安定な測定ができるプローブ顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 先端に粗動用探針２１を有した粗動用カンチレバー２３と、先端に測定用探針２２を有した測定用カンチレバー２４を構成したプローブ顕微鏡において、粗動用探針２２で試料測定領域に位置決めされた後に、粗動用探針２１と測定用探針２２の試料表面との距離を変更するカンチレバー変換手段で、一旦、粗動用探針２１を試料表面測定領域から離し、測定用探針２２に切り替えた後に、測定用探針２２を試料測定領域に位置決めして測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】熱の影響、及び検出器やその取付部分と被検出部との線膨張係数の違いに起因する検出器と被検出部との間隔の変化を抑制すること。
【解決手段】この回転軸の回転角度検出装置１００は、センサプレート５と、ポジションセンサ１０と、第１及び第２潤滑油噴射ノズル９ａ、９ｂとを含む。センサプレート５はクランク軸４に取り付けられており、外周部に複数の歯５Ｇが設けられている。ポジションセンサ１０は、磁気センサであり、センサプレート５の外周部に形成される歯５Ｇの数を非接触で計数する。第１潤滑油噴射ノズル９ａからは、ポジションセンサ１０やその取付部分に向かって潤滑油Ｌが噴射され、また、第２潤滑油噴射ノズル９ｂからは、センサプレート５に向かって潤滑油Ｌが噴射される。 （もっと読む）

【課題】計測光を反射するプローブに光学系の焦点を追従させることで測定精度を向上させる。
【解決手段】プローブ２２の反射面で計測光を反射させ、プローブ２２と被測定物１の間に作用する原子間力を利用して被測定物１の表面形状を測定する。プローブ２２を駆動する第１のスキャナ１０とは別に、光学系の焦点位置を移動させる第２のスキャナ２６を設けて、第１、第２のスキャナ１０、２６の制御量の相関を表わす位置変換データをあらかじめ求めておく。第１、第２のスキャナ１０、２６を同期的に制御することで、プローブ２２に光学系の焦点を追従させる。 （もっと読む）

【課題】操向軸の回転方向を感知する方向センサ及びモータ軸の回転角を感知するモータ位置センサを用いて絶対操向角を感知することが可能な電動式操向装置を提供して，操向装置の製作費用を縮小すること。
【解決手段】本発明は，自動車の操向ホイールに連結される操向軸１０２と，操向軸と連動して回転する減速軸６０１と，発信部６０３及び受信部６０５を含む方向センサ６０７と，減速軸６０１に設けられ，発信部６０３と受信部６０５との間に配設される回転部材６０９と，モータ軸６１１を介して操向軸１０２に操向補助動力を供給するモータ１３０と，モータ１３０のモータ軸６１１の回転角を感知するモータ位置センサ６１３と，方向センサ６０７及びモータ位置センサ６１３から各々発信される電気的信号を受信し，操向角を算出する電子制御装置１２３と，を含むことを特徴とする電動式操向装置を提供する。 （もっと読む）

本発明は、座標測定機械を操作するための方法及び座標測定機械に関し、この場合、少なくとも１つの電気モータＭによって駆動される座標測定機械の座標測定装置、特に測定ヘッドは、少なくとも１つの方向に動くことが可能である。電気モータＭの運動、このようにして、座標測定装置の運動を行うために、電気モータＭを通して(ラインＣ１１、Ｃ２１の電流回路を介して）流れる駆動電流が測定される。電気モータＭの運動又は座標測定装置５の運動が進行すべき目標速度に基づいて及び／又は目標加速度に基づいて、駆動電流について限界値が検出される(コンピュータＰＣ及び／又はマイクロコントローラＭＣで)。駆動電流が検出された限界値Ｉ_Τに達した場合及び／又は駆動電流が検出された限界値Ｉ_Τを超えた場合、例えば、コンピュータＰＣ又はマイクロコントローラＭＣが、電流回路に配置されたスイッチＳＷ１、ＳＷ２の一方をオフにすることによって、座標測定装置５は所定の状態に設定される。
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【課題】
ユーザの姿勢をモニタ及び追跡し、ユーザの姿勢における欠陥を矯正するためにフィードバックを行う装置を提供する。
【解決手段】
本発明の装置はユーザによる着用が可能な装置であって、各々がユーザの身体の少なくとも一部分の位置に関する指標を提供するための複数のセンサ素子と、合成位置信号を提供するために、その複数のセンサ素子の各々によって提供される位置に関する各指標を受信するための受信機とを含む。個々のセンサの読取り結果が、すべて、更なる分析のために外部エンティティに送られる。センサは、ユーザの身体の少なくとも一部分の曲りを測定するために種々のロケーション又は位置に設置される。 （もっと読む）

【課題】振動の発生を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０は、顕微鏡連結部材４０に取り付けられる。顕微鏡連結部材４０は、弾性部材５４ａ，５４ｂ，５４ｃ，５４ｄを介してベース筐体部５０により保持される。顕微鏡連結部材４０に、おもりＷが取り付けられる。おもりＷの取り付け位置は、顕微鏡装置の各構成要素の重量、設置位置等を考慮して、各構成要素に発生する振動を確実に減衰できるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】測定位置にかかわりなく一定圧の安定した微小接触圧を創成でき、それにより、傾斜部分でも誤差の少ない正確な精密測定を実現することができ、しかも構造が簡単で安価に実施できる極低測定圧接触式測長装置を提供する。
【解決手段】被測定物に測定端子を接触させて測長する形式の測定装置において、測定端子を並進させるための駆動シリンダを有し、かつ、前記駆動シリンダが、微小圧力創成用のために内部に吹き込まれる駆動用気体の一部を流出させる気体流出機構を備えている。 （もっと読む）