【課題】Ｘ線ＣＴデータによる密度分析について、垂直方向空間分解能をできるだけ高く保ちつつ所望の水平方向空間分解能を実現し、なおかつノイズの影響を適切に低減できるようにする。
【解決手段】密度検査領域をＸ線ＣＴデータに設定する処理、各密度検査領域について、平均密度と分散または標準偏差を求める処理、求めた分散または標準偏差に基づいて閾値を設定する処理、密度検査領域のサイズを変更する処理、サイズ変更された密度検査領域のサイズに応じたスライス厚を実現するのに必要な使用断面数を求める処理、求めた使用断面数に基づいて作成された重ね合せ断面画像にサイズ変更後の密度検査領域を設定する処理、サイズ変更後の各密度検査領域について、平均密度と分散または標準偏差を求める処理、求めた分散または標準偏差について代表値を求める処理、および使用断面数の適否を代表値と閾値の比較で判定する処理を行う。 （もっと読む）

【課題】クラックなどの細長い欠陥が断層面と直交している場合でも、その欠陥を容易に抽出でき、しかも短時間で検査を行い得るＸ線検査方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線を被検査物である回路形成体に対して照射しその内部を検査するＸ線検査方法であって、Ｘ線の照射方向と直交する軸心回りで所定角度置きに回転移動させられる回路形成体にＸ線を照射しその透過したＸ線を検出するＸ線照射ステップおよびＸ線検出ステップと、このＸ線検出ステップにて検出された透過Ｘ線データに基づき複数の断層画像を作成する断層画像作成ステップと、この断層画像作成ステップにて作成された複数の断層画像から互いに直交する３方向での投影画像を作成する投影画像作成ステップと、この投影画像作成ステップにて作成された投影画像に基づき回路形成体のクラックなどの欠陥を検出する欠陥検出ステップとが具備されたもの。 （もっと読む）

【課題】複数の試料について，同時にＸ線回折測定と熱分析測定を実施できるようにする。
【解決手段】集中法によるＸ線回折測定の際には，第１アーム２０と第２アーム２２を互いに逆方向に，同じ角速度で連動回転する。Ｚ方向に細長いライン状のＸ線ビーム３０について，入射側のソーラースリット２６でＺ方向の発散を制限してから，このＸ線ビーム３０を粉末試料１４，１６に同時に照射する。試料１４からの回折Ｘ線と，試料１６からの回折Ｘ線を，受光側のソーラースリット３２でＺ方向の発散を制限してから，少なくともＺ方向に位置感応型のＸ線検出器３４で，区別して検出する。また，Ｘ線回折測定と同時に，二つの試料１４，１６について，熱分析測定を実施する。 （もっと読む）

【課題】２次元Ｘ線検出器に対するＸ線露光から像読取りに至る一連の処理を真空雰囲気内で行うことができるＸ線画像記録読取り装置を提供する。
【解決手段】２次元Ｘ線検出器１３ａの第１端辺２６ａが外周面に固定されるドラム２１ａと、ドラム２１ａを回転させるモータ２２ａとを有するＸ線画像記録読取り装置である。モータ２２ａは、検出器１３ａの全面がドラム２１ａに巻き付く第１角度位置と、検出器１３ａの第２端辺２６ｂ側の所定領域をＸ線露光位置Ｅに配置させる第２角度位置との間で、ドラム２１ａを回転させる。ドラム２１ａに巻き付いた検出器１３ａの第２端辺２６ｂは爪２８によって固定される。検出器１３ａ、ドラム２１ａ及び爪２８は気密チャンバ３４によって気密に包囲される。気密チャンバ３４に設けられた石英ガラス窓３７ａに対向して読取り装置４１ａが設けられる。 （もっと読む）

【課題】 放射線画像のコントラストを高めた場合においても、被検体に応じた適切な濃
度の画像が得られるようにする。
【解決手段】 管状被検体16に放射線を照射する放射線源、放射線により複数色に発光す
るカラー発光シート、複数色の発光を受光するカラーＣＣＤカメラとを一体的に組み込ん
だヘッド17と、カラー発光シートとカラーＣＣＤカメラとの感度特性をマッチングして相
対的に撮影感度を高めてカラーＣＣＤカメラで受光された複数の色信号を含む画像情報を
ＲＧＢ信号に分離し各色の単独画像情報としてそれぞれ検出する演算処理装置21とを有す
る非破壊検査装置を用い、ヘッド17を管状被検体16の管に沿う方向または管周りの回転方
向に移動させつつカラーＣＣＤカメラで撮像を行う。 （もっと読む）

【課題】 本発明では、複数の素材からなる部品のいずれの素材に、環境負荷物質など特定物質が含有されているかについての判定をより簡易に行う方法、装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明の特定物質の含有判定方法は、複数素材が層状に形成された判定対象物（１０６）において、特定物質を含有する素材を判定する方法であり、照射工程（ステップＳ２０１）と、検出工程（ステップＳ２０２）と、判定工程（ステップＳ２０４）とを備える。照射工程（ステップＳ２０１）は、判定対象物（１０６）に対して、照射条件を変化させてＸ線を照射する。検出工程（ステップＳ２０２）は、判定対象物（１０６）より放射する蛍光Ｘ線を検出する。判定工程（ステップＳ２０４）は、特定物質とほぼ同期的に検出される素材を、特定物質を含有する素材として判定する。 （もっと読む）

【課題】 結晶アナライザの取付け方法を改良することにより、ダブルスリットアナライザ、平行スリットアナライザ、結晶アナライザという３つの受光素子を容易に交換できるようにする。
【解決手段】 第１スリット１２ａと、そのＸ線通過部Ｂの幅を調整する装置１７と、第２スリット１２ｂと、そのＸ線通過部Ｂの幅を調整する装置１７と、第１スリット１２ａと第２スリット１２ｂとの間に設けられていて平行スリットアナライザ１８及び結晶アナライザ１９を１つずつ交換して固定状態で支持できるアナライザ支持装置１３と、第２スリット１２ｂを平行移動させるスリット位置移動装置９とを有するアナライザ４である。スリット位置移動装置９による第２スリット１２ｂの平行移動方向は、アナライザ支持装置１３が結晶アナライザ１９を支持したときにその結晶アナライザ１９で回折するＸ線が進む方向にスリット１２ｂのＸ線通過部Ｂを変位させる方向である。 （もっと読む）

【課題】複数種類の特性Ｘ線を同時に試料に照射して，複数種類の特性Ｘ線によるＸ線回折測定を同時に実施できるようにする。
【解決手段】Ｘ線管１０は，Ｃｏからなる第１ターゲット領域２４と，Ｃｕからなる第２ターゲット領域２６とを備える対陰極を有している。第１ターゲット領域２４と第２ターゲット領域２６はＸ線の取り出し方向に垂直な方向（Ｚ方向）に区分けされている。入射側のソーラースリット１４と受光側のソーラースリット１８はＺ方向のＸ線の発散を制限する。Ｘ線検出器２０は，Ｃｏの特性Ｘ線が照射された第１試料領域から出てくる回折Ｘ線とＣｕの特性Ｘ線が照射された第２試料領域から出てくる回折Ｘ線とを分離して検出できるような，少なくともＺ方向に位置感応型のＸ線検出器であり，例えば，ＴＤＩ動作が可能な２次元ＣＣＤセンサである。 （もっと読む）

【課題】薄い膜又は極薄の膜に堆積される１つ又は複数の元素の深さ分布情報を抽出する方法及びシステムを提供する。
【解決手段】薄膜内の元素の分布プロフィールを判断する方法。本方法は、第１の薄膜に堆積した元素の電子エネルギを励起する段階、電子エネルギに関連する第１のスペクトルを取得する段階、及び第１のスペクトルから背景スペクトルを除去する段階を含む。背景値を除去すると、処理スペクトルが生成される。本方法は、更に、第１の薄膜に同等の薄膜内の元素に対する既知の模擬分布プロフィールを備えた模擬スペクトルに処理スペクトルを適合させる段階を含む。第１の薄膜内の元素に対する分布プロフィールは、模擬スペクトルの組から選択された模擬スペクトルに処理スペクトルを適合させるこの段階に基づいて取得される。 （もっと読む）

本発明の一態様によれば、検査される対象物のジオメトリについてのいかなる仮定もなしで、エネルギー分解回折方法で測定されるX線強度の補正が多重散乱放射に対して提供されることができる。本発明の例示的な実施の形態によれば、一次スペクトラム中の陽極材料の特性線が評価され、その多重散乱部分の補正を可能にすることができる被検出スペクトラムの成分分析をもたらす。
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【課題】 高速・高精度な蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】 蛍光Ｘ線分析装置１は、測定試料７が配置される試料ステージ２と、測定試料７に向けてＸ線１５を発生するＸ線管球３と、測定試料７からの蛍光Ｘ線１６を検出するための検出器と、試料７と検出器４との間、またはＸ線管球３と試料７との間に配置されたＸ線を集光するためのＸ線光学素子１１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 小型であり、光軸調整のための作業が簡単であり、光軸調整の自動化が容易であるＸ線ビーム処理装置を提供する。
【解決手段】 所定の回折角度でＸ線を回折する第１結晶ブロック２ａ及び第２結晶ブロック２ｂを支持する結晶ホルダ３と、Ｘ線Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３の光軸を含む面に直交する軸線Ｘ１を中心として結晶ホルダ３を回転させることができ且つ結晶ホルダ３をその回転範囲内で固定状態に支持できるモータ４とを有するＸ線ビーム処理装置１Ａである。結晶ホルダ３は、第１結晶ブロック２ａと第２結晶ブロック２ｂの両方でＸ線回折が生じるように互いの角度が調整された状態でそれら２つの結晶ブロック２ａ，２ｂを固定状態で支持する。２つの結晶ブロック２ａ，２ｂの光軸調整は軸線Ｘ１を中心として結晶ホルダ３を１軸回転させるだけで行われる。 （もっと読む）

【課題】 重金属で汚染された土壌の汚染度検出及び検出にあたっての前処理をオンラインで正確に行うとともに、検出結果に正確に対応して汚染土壌を仕分けることができる汚染度樹仕分け装置を提供する。
【解決手段】 間欠して所定の角度ずつ回転するターンテーブル１０上に、複数の容器１１を周方向に配列する。これらの容器にホッパー１２から重金属で汚染された土壌の所定量を順次に投入する。前記土壌の投入位置の下流側で停止する位置には前処理装置１３が設けられ、容器内で堆積する土壌の高さを調整し、その下流側で蛍光Ｘ線分析装置１４により汚染度を検出する。さらに下流側には複数の停止位置に対応して、それぞれにベルトコンベア１６，１７，１８が設けられ、制御装置１５が上記蛍光Ｘ線分析装置の検出結果に基づいて移載するコンベアを選択し、対応するコンベアが設けられた位置で停止したときに容器内の土壌を移載する。 （もっと読む）

【課題】未知サンプルを測定するのに用いられる分光計と同様の分解能及び効率である基準物質からのスペクトルを測定するのに用いられる分光計を提供する。
【解決手段】Ｘ線放射特性を用いた物質同定方法が提供される。監視されるＸ線放射特性を表すＸ線データは、入射エネルギービームに応答して試料から得られる。同様に、複数の物質の組成データを含むデータセットが得られる。試料物質はデータセット内に含まれる。組成データを用いてデータセット内の物質の各々について予測Ｘ線データが計算される。取得Ｘ線データと予測Ｘ線データとが比較され、この比較に基づいて試料物質の可能性のある素性が判定される。 （もっと読む）

【課題】双晶の実空間単位格子，逆格子空間基本格子及び逆格子点群を立体的に表示することにより，双晶成分間の３次元的な相互関係を容易に理解できるようにして，双晶試料のＸ線構造解析の成功率を高める。
【解決手段】単結晶Ｘ線構造解析装置４２を用いて，複数の双晶成分の各結晶方位行列を得る。第１演算手段３４は，結晶方位行列に基づいて，複数の双晶成分の実空間単位格子を求めて，それを回転，拡大・縮小，平行移動の各操作が可能なように立体的に表示するための表示データを作成する。第２演算手段３６は，結晶方位行列に基づいて，複数の双晶成分の逆格子空間基本格子を求めて，それを同様に立体的に表示するための表示データを作成する。第３演算手段３８は，結晶方位行列に基づいて，Ｘ線回折が生じる逆格子点群を，双晶成分ごとに区別して，それを同様に立体的に表示するための表示データを作成する。 （もっと読む）

【課題】 分析精度の高いエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置、蛍光Ｘ線分析方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】 本発明にかかるエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００は、試料にＸ線を照射することにより発生する蛍光Ｘ線に基づいて前記試料を分析するエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置であって、前記試料から発生した蛍光Ｘ線を検出する検出部１４と、前記検出部が検出した前記蛍光Ｘ線のスペクトルを作成するスペクトル作成部２２と、前記スペクトル作成部によって作成された前記スペクトルが、鉛元素に対応する複数のエネルギー位置のすべてにピークを有する場合に、前記試料が鉛を含有すると判断する鉛同定部２４と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 衣類等の検査対象物に混入した針等の異物を検出するにあたって、検査官の見落としによる異物の不検出を防止し、小さな異物をも検出することが可能な異物検出装置を提供する。
【解決手段】 検査対象物を輸送する輸送手段３と、輸送手段３上の検査対象物にＸ線を照射するＸ線照射手段４、５と、Ｘ線照射手段４、５から輸送手段３上の検査対象物にＸ線が照射された際のＸ線透過率を測定する複数の電離箱検出器６と、複数の電離箱検出器６の各々の測定値と、予め記録した基準値から検査対象物中に異物が混入しているか否かを判定する判定手段とを備えた異物検出装置１において、複数の電離箱検出器６を、検査対象物を挟んでＸ線照射手段４、５の反対側に、２段にわたって配置した。判定手段によって検査対象物に異物が混入していると判定された場合には、検査対象物は、輸送手段３の入口側に戻すことができる。 （もっと読む）

【課題】 半導体デバイス用の基板として好ましく用いられ得るように結晶を破壊することなく直接かつ確実に評価された結晶表面層を有する窒化物結晶、窒化物結晶基板、エピ層付窒化物結晶基板、ならびに半導体デバイスおよびその製造方法を提供する
【解決手段】 窒化物結晶の任意の特定結晶格子面のＸ線回折条件を満たしながら結晶の表面からのＸ線侵入深さを変化させるＸ線回折測定から得られる特定結晶格子面の面間隔において、０．３μｍのＸ線侵入深さにおける面間隔ｄ₁と５μｍのＸ線侵入深さにおける面間隔ｄ₂とから得られる｜ｄ₁−ｄ₂｜／ｄ₂の値で表される結晶の表面層の均一歪みが２．１×１０^-3以下であることを特徴とする窒化物結晶。 （もっと読む）

【解決手段】 封入物検査装置１１において、封書投入ステーションＡに封書２が投入されると、外観検査手段２７及びＸ線検査手段３３により、封書の厚さと、封書に封入された封入物が所定の擬似対象物であるか否かが判定される。
所定厚さ以上の封書は第１選別ステーションＤでリジェクトされ、所定厚さ以下で擬似対象物の検出されなかった封書は第２選別ステーションＧまでそのまま搬送され、所定厚さ以下で擬似対象物の検出された封書は位置決めステーションＥにおいて封書内の擬似対象物の位置が位置決めされた後、擬似対象物査ステーションＦではテラヘルツ波を用いて上記擬似対象物が爆薬や麻薬などの所定の対象物であるか否かが判定される。
【効果】 大量の封書であっても、迅速に対象物の有無を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】
MEM構造解析により得られる電子密度を、たんぱく質に代表される高分子に適用して、その高分子の静電ポテンシャルの計算に応用する。
【解決手段】
実験的に得られるX線回折データにMEM構造解析を適用することで詳細な電子密度分布を求め，これをもとに観測されていないX線回折データを予測することで静電ポテンシャルを求める。 （もっと読む）