本発明は、中性子ビーム（１０）を放出する手段（１）と、試料（３）を支えるため適合したサポート手段（２）と、中性子放射線による活性化に適合した光電子放出手段（５）と、冷却低光レベル電荷結合検出装置（７）とを備える中性子放射線の２次元検出システムに関する。放出手段（１）はモノクロ中性子ビーム（１０）を放出する。システムは、サポート手段（２）と光電子放出手段（５）との間に位置し、試料（３）によって透過されたモノクロ中性子ビーム（１２）の少なくとも実質的な部分を捕捉するため適合したフィルタ手段（４）と、電荷結合検出装置（７）の上流に位置し、電荷結合検出装置（７）と連結されている増幅手段（６）とをさらに備える。
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【課題】金属帯上に塗布されるワックスの付着量を短時間で正確に測定することを可能としたワックス付着量測定方法を提供する。
【解決手段】本発明のワックス付着量測定方法は、ワックスが付着された金属帯を、500〜950℃の温度で熱処理し、該熱処理前後の金属帯上の炭素量の差からワックスの付着量を求めることを特徴とする。さらに、蛍光Ｘ線分析法を用いて、熱処理前後の金属帯上の炭素量の差を求めることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】位置合わせ治具の観察面のピンホールから光を出すことにより，ピンホールの観察を容易にする。
【解決手段】位置合わせ治具１０は，複数の回転軸（ω軸５２とφ軸５４）を有する試料回転装置に着脱可能に取り付けることができる。この位置合わせ治具１０は，ω軸５２とφ軸５４の交点と観察装置の視野の基準点とを位置合わせするのに用いる。位置合わせ治具１０は本体１２と装着部１８と観察面１１を備えている。観察面１１にはピンホール２４が形成されている。本体１２に取り付けた光源３６からの光は，反射ミラー４０で反射してから，ピンホール２４を通って観察面１１の外部に出て行く。 （もっと読む）

【課題】 蓄積した検査データを識別子情報の判読の難易に関わらず確実に抽出することができるＸ線検査方法、システムおよび装置を提供する。
【解決手段】 被検査物Ｗの各部Ｘ線透過量に基づいてその被検査物の状態を判定するとともにＸ線画像を作成するＸ線検査方法であって、外観識別可能でＸ線画像上に識別可能に写し出される識別子情報を各被検査物Ｗに付加する識別情報付加工程と、識別子情報が付加された各被検査物ＷにＸ線を照射し、被検査物の各部Ｘ線透過量を検出する検出工程と、被検査物Ｗの各部Ｘ線透過量に基づいて被検査物Ｗ中における異物の有無を判定する状態判定工程と、被検査物Ｗの各部Ｘ線透過量に基づいて識別子情報の表示内容を含むＸ線画像を生成するＸ線画像生成工程とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】基板面の近似平面を決定することで、断層画像の画像再構成処理において、被検体の状態に関係なく、最小限の画像再構成領域を設定するＸ線ＣＴ検査装置を提供する。
【解決手段】電子基板に搭載される被検体を透過した透過Ｘ線像を用いて被検体の断層画像を生成するＸ線ＣＴ検査装置であって、被検体にＸ線を照射する手段１２６と、前記被検体を透過したＸ線を計測する手段１２５と、Ｘ線計測手段１２５により計測したＸ線データを用いて被検体の断層画像の画像再構成を行う手段１５２と、電子基板上の被検体の表面形状データ（高さ位置）を計測する手段１２１と、電子基板内の異なる２領域以上の表面形状データから、断層画像の基準面となる基板近似平面を決定する手段１５３と、を備え、決定した基板近似平面を基準に、画像再構成手段１５２により画像化する領域を決定する。 （もっと読む）

【課題】
非破壊検査による検査・試験パスの短縮を図り例えば薬剤開発期間の短縮、しいては製造・品質の安定化を図った分子構造複合同定装置を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、被検試料載置板１６に載置された同じ被検試料１７に対して０．５ｍｍ以下の直径に制限したＸ線ビームと赤外線・可視光・紫外線の何れか一つあるいは複数の波長ビームを照射する照射光学系（１，１２；２，２２，１１）と、前記被検試料から得られるＸ線回折パターン及び前記被検試料から放出される反射光又は散乱光を検出する検出光学系（９；１１，３，５）とを備え、前記被検試料から同時または連続して少なくともＸ線回折スペクトル及び可視光による反射光像を検査できるように構成した分子構造複合同定装置である。 （もっと読む）

【課題】半導体基板を処理する方法及び装置、特に、半導体基板の処理に用いるための計測ツールを提供する。
【解決手段】本発明の１つの態様により、半導体基板を処理するための半導体基板処理装置及び方法が提供される。本方法は、表面と各形態が第１の座標系の第１のそれぞれの点でこの表面上に位置決めされたこの表面上の複数の形態とを有する半導体基板を準備する段階と、第２の座標系の第２のそれぞれの点で各形態の位置をプロットする段階と、第１及び第２の座標系の間の変換を発生させる段階とを含むことができる。変換を発生させる段階は、第１及び第２の座標系の間のオフセットを計算する段階する段階を含むことができる。オフセットを計算する段階は、第１の座標系の基準点と第２の座標系の基準点の間のオフセット距離を計算する段階、及び第１の座標系の軸線と第２の座標系の軸線の間のオフセット角度を計算する段階を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、Ｘ線装置の高い処理性能を損なうことなく爆薬に対する低い誤法率の実現を可能とする爆発物探知装置を提供することにある。
【解決手段】
上記目的を達成するために、本発明では、荷物内の爆発物検査においてまずＸ線を照射して得たＸ線像から得られる密度および実効原子番号の一方または両方から爆発物の存在可能性を判定し、次にＸ線像から得られた情報をもとに最適となるように爆発物の存在範囲に０.１から６ＭＨｚの周波数範囲の電波を照射し、Ｎ−１４核の核四重極共鳴により発生した電波を受信して予め登録された爆発物に対応する共鳴電波周波数位置の信号値があらかじめ定められた一定値以上であることを条件に爆発物の存在を判定する。 （もっと読む）

本発明は、式（Ｉ）で示される３−（Ｎ−メチル−Ｎ−ペンチル）アミノ−１−ヒドロキシプロパン−１，１−ジホスホン酸一ナトリウム塩一水和物（イバンドロネート）の新規な結晶多形に関するものである。
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【課題】白色光・レーザ光、あるいは電子線を照射して形成された画像を用いて微細な回路パターンを検査する技術において、検査に必要な各種条件を設定する際にその操作性効率を向上するめの技術を提供する。
【解決手段】回路パターンが形成された基板表面に光、あるいは光および荷電粒子線を照射する手段と、該基板から発生する信号を検出する手段と、検出手段により検出された信号を画像化して一時的に記憶する手段と、上記記憶された当該領域の画像を他の同一の回路パターンが形成された領域と比較する手段と、比較結果から回路パターン上の欠陥を判別する手段からなる回路パターンの検査装置であって、検査用および検査条件設定用の操作画面に操作内容あるいは入力内容を表示する画面領域とその画面を表す項目名を表示する手段を備えており、且つ該項目名は該操作画面領域で一体化して表示する。 （もっと読む）

【課題】 試料台に対する水晶板の姿勢に関わらず、正確に水晶板のカット面の評価を行うことが可能なカット面検査装置、及びカット面検査方法を提供する。
【解決手段】結晶格子面に対して所定の角度でカットされた試料を支持する試料台と、試料台を回転させる回転手段と、試料で回折したＸ線の回折Ｘ線を検出するＸ線検出手段と、検出する反射レーザビーム検出手段と、検出された反射レーザビームに基づいて、基準水平面に対するカット面のカット面実角度を検出するカット面実角度検出手段と、カット面実角度を用いて、基準水平面に対する試料台の回転角を補正する補正手段と、補正された回転角、及び検出された回折Ｘ線に基づいて、カット面の評価を行う評価手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】レシピ作成及び欠陥確認の使い勝手がよく、かつ迅速に行うことのできるパターンの検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥確認画面は、ウェハマップを表示する「マップ表示部」６１、欠陥画像を一覧表示する「画像表示部」６２、欠陥の詳細情報を表示及び設定する「リスト表示部」６３、選択された欠陥項目についてグラフ表示する「グラフ表示部」６４を有する。それぞれの表示部は連動して動作し、選択されたマップ情報に対応して欠陥画像、欠陥情報リスト、欠陥グラフが変化する。これら情報を利用して入力された分類コード及びクラスタリング条件及び表示フィルタはレシピに登録される。 （もっと読む）

【課題】 成膜製品の製造工程に組み込み、製品を製造ラインから抜き取ることなく、薄膜検査を実施可能とする。
【解決手段】 検査対象を配置する試料台１０と、試料台１０を移動する位置決め機構２０と、第１，第２の旋回アーム３２，３３を備えたゴニオメータ３０と、第１の旋回アーム３１に搭載され、かつシールドチューブ内にＸ線管およびＸ線光学素子を内蔵したＸ線照射ユニット４０と、第２の旋回アーム３３に搭載されたＸ線検出器５０と、試料台１０に配置された検査対象を画像認識するための光学カメラ７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検体中の塩素量を迅速にかつ非破壊で導出することができる方法を提供することを目的とする。
【解決手段】被検体に電磁波を照射する工程と、前記被検体を透過した電磁波により第１のシンチレータを発光させる工程と、前記第１のシンチレータで発光した光を電気信号に変換すると共に電子増幅させ、電子増幅された電気信号により、電気信号の強度に応じて複数色に発光する第２のシンチレータを発光させる工程と、前記第２のシンチレータで発光した複数色の光の輝度の強度を色別にそれぞれ検出する工程と、前記輝度の強度から前記被検体中の塩素量を導出する工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

試験体上の欠陥を分類するための各種の、コンピュータに実装された方法が、提供されている。一つの方法は、試験体上で検出された個々の欠陥を、個々の欠陥の一つまたはそれ以上の特性に基づいて、欠陥グループに割り付ける割付工程を含んでいる。該方法はまた、欠陥グループについての情報をユーザに表示する表示工程も含んでいる。また、該方法は、ユーザの操作によって、欠陥グループのそれぞれに分類を割り付けることを可能にする割付可能化工程を含んでいる。試験体上の欠陥を分類するよう構成されたシステムも提供されている。一つのシステムは、試験体上で検出された個々の欠陥を、個々の欠陥の一つまたはそれ以上の特性に基づいて、欠陥グループに割り付けるために、プロセッサ上で実行可能なプログラム命令を含んでいる。該システムはまた、欠陥グループについての情報をユーザに表示し、かつ、ユーザの操作によって、欠陥グループのそれぞれに分類を割り付けさせることを可能にする割付可能化構成を有するユーザインタフェースも含んでいる。
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この発明は、簡便な構造でＸ線撮像が可能な装置を提供するものである。 この装置においては、まず、Ｘ線源１と第１の回折格子２との間に被検体１０を配置する。ついで、Ｘ線源１から第１の回折格子２に向けてＸ線を照射する。照射されたＸ線は、第１の回折格子２を通過する。このとき、第１の回折格子２では、タルボ効果を生じる。ここで、被検体１０によるＸ線の位相のずれがあるので、第１の回折格子２の自己像は、それに依存して変形している。続いて、Ｘ線は、第２の回折格子３を通過する。その結果、上記の変形した第１の回折格子２の自己像と第２の回折格子３との重ね合わせにより、Ｘ線に、一般的にはモアレ縞となる画像コントラストを生成することができる。生成したモアレ縞をＸ線画像検出器４により検出することができる。生成されたモアレ縞は、被検体１０により変調を受けている。したがって、検出されたモアレ縞を解析することにより、被検体１０およびその内部の構造を検出することができる。
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【課題】 ＣＤ、ＤＶＤ等の情報記録媒体の欠陥の有無だけではなく形状まで検査でき、大容量にも対応できる検査装置を提供する。
【解決手段】 電子銃１２は、電子線を該情報記録媒体の所望の位置に照射する。ステージ１８は、情報記録媒体を回転方向及び径方向に移動可能に保持する。検出器２２は、情報記録媒体への電子線の照射により情報記録媒体の表面の情報を取得した電子を検出する。画像生成器２４は、検出器２２により検出された電子から情報記録媒体の表面の画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】 ウェーハ表面を全体的に欠陥検査する。
【解決手段】 欠陥レビューＳＥＭを用いた欠陥検出に際し、製品ウェーハ２０の全面（Ｒ端面を除く。）にＸＹ座標系を設定し、製品ウェーハ２０表面を全体的に検査できるようにする。これにより、有効チップ領域外の領域についても欠陥検出が行える。また、その検査結果をそれが得られた位置の座標と関連付けて記憶することにより、検査結果を解析等に効率的に利用することができ、より高精度に不良原因を究明し、チップ２１ａの品質向上、歩留まり向上を図れる。 （もっと読む）

【課題】 画像を動的に最適化するためのイメージング・システムを提供する。
【解決手段】 本イメージング・システム（１０）は、放射線源（１２）と、シンチレータ組立体（２４）への放射線入射に基づいて画像信号を発生するように構成された検出器組立体（１４）とを含む。発生した画像信号の少なくとも１つ又はそれ以上の特性は、検出器組立体への放射線入射により決定される。画像信号の１つ又はそれ以上の特性はまた、１つ又はそれ以上の検出器動作パラメータ（４０）により決定することができる。イメージング・システム（１０）はまた、生成した画像信号（５０）に基づいて１つ又はそれ以上の検出器動作パラメータ（４０）を調整するように構成された検出器調整回路（３４）を含む。 （もっと読む）

本明細書の開示は、原油の分析方法である。本方法は、各技術はそれぞれの特性を予測する少なくとも２種の異なる技術を用いる１種以上の研究室独立型装置（laboratory−independent device）で、原油の少なくとも２種の選択された特性を計測すること、計測した特性から原油の同定分析を再構築することができるプロセッサに計測した特性を伝達すること、及び計測した特性から原油の同定分析を再構築することを含む。開示された方法は、たとえば生成物の販売を交渉する業者が、生成物を販売又は購入するか否かを決定するための正確な分析情報を有するように、精油所供給原料のリアルタイム情報を提供する。 （もっと読む）