【課題】 測定対象物の組成物質の測定を行う携行性に優れたエックス線分析装置を、鉛直面以外の面内にある被測定位置についても測定を行えるようにするエックス線分析装置用支持台を提供する。
【解決手段】 エックス線分析装置２の架台プレート27を傾斜台板11の表面に固定する。傾斜台板11はヒンジ部11dにより揺動可能に設け、傾斜台板11の裏面側にウォームギヤ13を設け、ウォームホイール13bに揺動アーム14の基端部を取付、先端部を傾斜台板11の裏面に摺動可能に連繋させる。ベースプレート23と傾斜台板11に取り付けたブラケット11cとに支持バネ33を掛け渡して、ベースプレート23が下降することを防止する。 （もっと読む）

【課題】 走査型電子顕微鏡を有する光分析装置であって、簡便に試料交換が可能な装置および分光分析方法を提供する。
【解決手段】試料照射部、試料交換室および光検出器を具備した光分析装置であって、
前記試料照射部が、走査型電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡から発せられる電子線が照射されるための試料が載置される試料台、ならびに前記試料から発せられる発光を通過させるための小孔を有する採光部を具備した試料照射部を具備し、試料台を試料照射部および試料交換室との間を移動可能とする移動手段を具備した光分析装置。
（もっと読む）

【課題】被検査試料の特質により欠陥部位のコントラストが十分に得られない場合であっても、スループット低下をきたすことなく、高感度な欠陥検出性能を実現する優れた検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】被検査試料に電子線ビームを繰り返し往復ライン走査させ、試料から発生する２次電子または反射電子に基づき生成された画像から欠陥部を求めるＳＥＭ式外観検査装置において、電子線ビームの振り戻しを、画像取得、プリチャージ又はディスチャージに用いる機能を備える。 （もっと読む）

【課題】直接変換方式のＸ線センサの使用を前提として、分極の問題を解消して検出性能の低下を回避し得る、Ｘ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、物品１２がベルトコンベア６上に存在しているか否かを検出するフォトセンサ１５と、Ｘ線ラインセンサ８へ印加するバイアス電圧を制御する制御部３０とを備える。制御部３０は、フォトセンサ１５からの検出信号Ｓ１に基づき、物品１２がベルトコンベア６上に存在していない期間内に、Ｘ線ラインセンサ８への実効的なバイアス電圧の印加を停止する。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線分析により炭素質材料に含まれる元素をより迅速且つ容易に定量分析する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置２０は、蛍光Ｘ線分析方法とは異なる第２の測定方法（例えばＩＣＰ発光分析法）によって炭素質材料に含まれる含有元素の含有量を求めると共に、蛍光Ｘ線測定ユニット３０によってこの含有元素の強度値を求め、得られた含有量と強度値との対応関係情報（検量線）をＨＤＤ２５に記憶し、未知試料を蛍光Ｘ線の強度を検出し、この含有元素の強度値とＨＤＤ２５に記憶された対応関係情報とに基づいてこの未知試料の含有元素の含有量を定量する。蛍光Ｘ線分析方法では、炭素に対する感度がないが、第２の測定方法を利用することにより、定量可能とし、試料に含まれている元素の定量を非破壊で迅速に行う。 （もっと読む）

【課題】直接変換方式のＸ線センサの使用を前提として、分極の問題を解消して検出性能の低下を回避し得る、Ｘ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、Ｘ線照射器７と、直接変換方式のＸ線センサを有するＸ線ラインセンサ８と、物品１２を搬送するベルトコンベア６と、Ｘ線ラインセンサ８へ印加するバイアス電圧を制御する制御部３０と、バイアス電圧を継続して印加している継続印加時間を検出する計時手段３５と、Ｘ線検査装置１の前段の処理装置２５に対してベルトコンベア６への物品１２の供給を停止させる停止制御部６０とを備える。継続印加時間が所定の時間を超えたことを計時手段３５が検出した場合、停止制御部６０は、前段の処理装置２５に対してベルトコンベア６への物品１２の供給を一時的に停止させる。 （もっと読む）

【課題】回路パターンの微細化に対応して検査時の画素サイズを小さくする必要がある場合にもスループットの低下を抑制する手段の提供。
【解決手段】回路パターンを有する被検査試料９に荷電粒子線を照射し、発生した信号から画像を取得し、この画像から回路パターンの欠陥を検出する検査方法及び検査装置において、被検査試料９に対して荷電粒子線を走査する方向の検査画素サイズと、被検査試料を載置して移動するステージ３１，３２，３３の移動方向の検査画素サイズをそれぞれ別個に設定して検査する構成とする。 （もっと読む）

【課題】経年変化等に起因して振り分け装置への物品の到達タイミングに変動が生じた場合であっても、振り分け装置が不良品を確実に振り分けることが可能なＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、検出部（フォトセンサ１５又はＸ線検出部８）が物品１２を検出してから、Ｘ線検査装置１の後段の処理装置が処理動作を開始するまでの、時間間隔の設定値が記憶されたメモリ２２と、実動作時において、検出部が物品１２を検出してから、物品１２が後段の処理装置に到達するまでの、所要時間を測定する測定部３０と、測定部３０による測定の結果に基づいて、メモリ２２に記憶されている設定値を補正する補正部３１とを備える。 （もっと読む）

【課題】
荷電粒子ビームを用いた計測装置ないし検査装置において、検査の高感度と高安定性とを両立する。
【解決手段】
帯電制御電極A４２０の被計測試料ないし検査試料側に帯電制御電極B４２１を設置し，試料の帯電状態に応じて、帯電制御電極Bの帯電制御電極制御部４２３から一定の電圧を与えることにより、検査前に形成した試料表面の帯電状態と電位障壁の変動を抑制する。帯電制御電極制御部６６によりリターディング電位が印加され、試料と同電位に調整される帯電制御電極A４２０の更に下部に帯電制御電極B４２１が設けられることにより、一次電子ビーム19が照射されるウェハ９などの試料から放出された二次電子４０９の試料への戻り量を調整することが可能になり，高感度な検査条件を検査中安定的に維持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】多列の物品の検査における誤検査を防止する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、コンベア１２と、Ｘ線照射器１３と、Ｘ線ラインセンサ１４と、品質検査部２１ｃと、初期設定部２１ｂとを備える。コンベア１２は、左右方向に並ぶ３つの商品Ｇ１〜Ｇ３を所定の搬送方向に搬送する。左右方向とは、コンベア１２の搬送方向を基準とする。Ｘ線照射器１３は、商品Ｇ１〜Ｇ３に向けてＸ線を扇状に照射する。Ｘ線ラインセンサ１４は、商品Ｇ１〜Ｇ３を透過したＸ線を受光する。品質検査部２１ｃは、Ｘ線ラインセンサ１４が受光したＸ線の濃度値に基づいて、各商品Ｇ１〜Ｇ３を検査する。初期設定部２１ｂは、商品Ｇ１〜Ｇ３間の左右方向の適正な間隔を判断する。 （もっと読む）

【課題】迅速性に優れたＸ線透視像を表示する検査装置でありながら、注目点の深さ方向（透視方向）への位置情報を得ることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検出器２と検査対象物Ｗとを相対的に傾動、回転もしくは移動させる前後で、Ｘ線透視像上で注目点Ｖを指示することにより、その注目点Ｖの透視方向への深さを算出する演算手段３０を備えるとともに、テーブル８に保持されている検査対象物Ｗを少なくとも透視方向に直交する方向から撮影する光学カメラ１０を設け、その光学カメラ１０により撮影された検査対象物Ｗの透視方向に直交する方向への外観像上に、演算手段３０で求められた注目点Ｖの透視方向への深さに対応する位置を重畳して表示することにより、Ｘ線透視像上の注目点Ｖの深さ情報をオペレータに知らせる。 （もっと読む）

【課題】 加熱炉内に収容されている電子部品などのワークに最も近接した位置でＸ線照射を行うことで、実際の加熱条件下におけるワークの挙動をリアルタイム且つ詳細に観察することのできる加熱型Ｘ線観察装置を提供することである。
【解決手段】 ハンダ付けの対象物であるワーク２０を収容して加熱処理を施す加熱炉１２と、前記ワーク２０にＸ線を照射してハンダ付けの状態を検査するＸ線検査ユニット１３とを備えた加熱型Ｘ線観察装置において、前記Ｘ線検査ユニット１３は、加熱処理中の加熱炉１２内に突出し、先端部のＸ線ターゲット部４０が前記ワーク２０の検査部位に近接した位置でＸ線を照射するＸ線照射管３０を備えた。 （もっと読む）

【課題】単層又は多層の固体試料の表面又界面を形成する化学種の電子構造および局所構造等の高精度な情報を容易に得ることができる電子分光分析装置及び電子分光分析方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、真空容器１１と、真空容器１１内で試料１２を保持するための試料保持部１３ａと、真空容器１１における、試料１２の測定点１２ｂを臨む位置に配置され、この測定点１２ｂにＸ線を照射するＸ線源３１、紫外線を照射する紫外線源３２及び電子線を照射する複数の電子線源３３と、前記Ｘ線、紫外線又は電子線が照射されることで試料１２から放出される光電子又は試料１２によって散乱される電子を検出する電子エネルギー分析器４０と、を備え、複数の電子線源３３，３３，…は、試料表面１２ａに対する電子線の入射角がそれぞれ異なるように配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明に係る検出装置によれば、検出装置の有効な検出面積を増大させることにより、検出器の列数を有効に減少させて、検出装置のコストを下げることができる。
【解決手段】本発明は、スリップリングと、スリップリングに接続した放射線源と、放射線源に対向しスリップリングに接続した検出装置とを備えるＣＴ装置と、被検体を搬送する搬送装置とを備え、その中で前記検出装置はＮ列の検出器を備え、且つ、隣接する２つの列の前記検出器の間に所定の間隔を有し、その中でＮは１より大きい整数である、検査システムを提供する。本発明によるＣＴ装置では、ＣＴ装置の高速スキャン結像を実現し、ＣＴ装置と２次元画像を取得するためのスキャン結像装置とを同時に使用することが可能になるので、相互の不足を補うことができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な操作によって被検査物に対するＸ線の照射角度を変更して容易にその照射角度を最適化し、さらに、装置サイズをコンパクトに維持する。
【解決手段】搬送面上の被検査物Ｗを所定の搬送方向Ｙに搬送する搬送手段５と、搬送面上を搬送される被検査物Ｗに向けてＸ線を照射するＸ線発生器１８と、搬送面を挟んでＸ線発生器１８と対向配置され、被検査物Ｗを透過してくるＸ線をＸ線検出面に受けるＸ線検出器１９と、を備えるＸ線異物検出装置１において、搬送手段５が、搬送面を形成する搬送コンベア６を備えるとともに搬送面のＸ線検出面に対する角度が変更自在となるように傾斜可能に設けられ、且つ傾斜時に被検査物Ｗの側面を支持しながら被検査物Ｗの搬送をガイドするガイドコンベア１２を備える。 （もっと読む）

【課題】イオン化ポテンシャルの測定精度を向上させる。
【解決手段】試料に紫外光を照射することで得られる電流値からイオン化ポテンシャルを測定するためのイオン化ポテンシャル測定装置において、光源から放出される連続光から所定の波長の紫外光を分光する分光手段と、前記分光手段により分光された前記紫外光からフィルタにより複数の波長範囲における紫外光を取得するフィルタ手段と、前記フィルタ手段により得られる波長範囲が同一でない紫外光を前記試料及び光強度検出器に照射し、前記試料から発生する電流及び前記光強度検出器から得られる光強度を測定する電流・光強度測定手段と、前記電流・光強度測定手段により得られる複数の測定結果に基づいて、前記フィルタ手段により得られるそれぞれの波長範囲の差分の紫外光におけるイオン化ポテンシャルを測定するための制御手段とを有することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】一つの装置により、異なる波長帯域の光に対する分析を行うことができる試料分析装置を提供する。
【解決手段】試料分析装置は、試料が載置され且つ試料を幅方向及び奥行き方向に移動可能な第一の可動ステージと、試料にＸ線、紫外線、可視光、赤外線のいずれかを照射する光源と、光の照射により生じる透過光又は蛍光を検出する検出器と、検出器が取り付けられ、検出器を幅方向及び高さ方向に移動可能とする第二の可動ステージと、第一の可動ステージと光源と検出器と第二の可動ステージとを内部に包含する筐体とを備える。光源は、Ｘ線光源、紫外線光源、可視光光源、赤外線光源のうちの一つであり、いずれか一つの光源が他の光源と交換可能に筐体の内部に取り付けられ、検出器は、光源に応じて、第二の可動ステージ上に設定される透過光検出用取付位置又は蛍光検出用取付位置のいずれか一方に付け替え可能に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】ハーフスキャンやヘリカルスキャンで得られる被検体からの透過データを用いて、短い計算時間で真の回転中心を求めることにある。
【解決手段】放射線源１と、被検体４を通して放射線ビームを検出する放射線検出器３と、この放射線ビームに対して被検体を相対回転させる回転手段５，１３と、１回転に満たない被検体の相対回転の間に得られる被検体の多数の透過データの集まりのサイノグラム上で回転の方向に連なる多数点での透過データの加算値と、仮想回転中心の設定により決まる前記多数点とそれぞれ逆向きの放射線経路をなす多数点での透過データの加算値との相関を仮想回転中心を変えながら求め、当該相関が最良となる仮想回転中心を回転中心とする回転中心求出部２０Ｂと、放射線検出器３で検出される多数の透過データから被検体の断層像を得る再構成部２０Ｃとを備えたコンピュータ断層撮影装置である。 （もっと読む）

【目的】本発明は、パターンを転写するモールド上に作成されたパターンを検査するモールド検査方法およびモールド検査装置に関し、微細寸法のモールド（押し型）上のパターンの検査をする新たな方法を提供し、しかも、極めて短時間に微細寸法のモールド上のパターンを検査することを目的とする。
【構成】モールド上に作成されたパターンに対応する部分とそれ以外の部分との電子放出を異ならせて予め作成した転写板に、励起源を照射して励起させ、転写板上から放出された電子を、電圧により引き出して拡大画像を生成するステップと、生成された拡大画像をもとにモールド上に作成されたパターンを検査するステップとを有するモールド検査方法である。 （もっと読む）

【課題】複数のＸ線照射装置を備えるＸ線検査装置であって、Ｘ線照射に使用される電力量を抑えることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】搬送されてくる検査対象物１をＸ線により検査するＸ線検査装置であって、検査対象物１の搬送方向に沿って順に配置され、搬送されてくる検査対象物にＸ線を照射する複数のＸ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆと、該複数のＸ線照射装置から照射され検査対象物１を透過してきたＸ線をそれぞれ検出する複数のＸ線検出装置７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ，７ｆと、検査対象物１が搬送方向下流側に搬送されて来るに従って、複数のＸ線照射装置を搬送方向上流側から順に作動させて各Ｘ線照射装置にＸ線照射を行わせる制御装置９と、を備える。 （もっと読む）