【課題】
半導体デバイスの検査装置で、欠陥検出のための画像処理のようなある領域データに対する繰り返し演算を実行する場合、繰り返し演算数分の命令・データロード、演算、データストアを繰り返す必要があり、高速化にも限界がある。また、微細画像を扱う大容量画像処理で並列コンピューティング処理を行う場合、非常に多くのプロセッサが必要となり、装置コスト引き上げる要因となっている。
【解決手段】
前記課題を解決するために、本発明は次のような構成をとる。
まず、同時にリード・ライト可能なアクセス手段を持つデータメモリと、複数の数値演算手段と、該データメモリと数値演算手段とを接続する手段と、前記複数の数値演算手段の処理内容を一括制御する制御手段と、該数値演算手段と前記一括制御手段とを接続する手段と、数値演算手段同士のデータ移動制御手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 液状物の性格を簡便に分析、評価できる方法や性格分析電波分光器は存在しなかった。
【解決手段】 液状物中の電波送信針から液状物中に、周波数１ｋＨｚ〜１０ＭＨｚのパルスを任意時間内に任意周波数間隔ごとに入力し、液状物中で透過、反射、減衰、共振等により変動したパルスを液状物中の電波受信針で受信し、送信パルスと受信パルスのレベル差を演算処理して周波数と電圧との関係の波形図を作成し、その波形図を比較用溶液波形図と対比して、液状物の性格を分析評価する。可変パルス発生器と、それからの発振周波数を６０〜１８０秒の間に１ｋＨｚごとに掃引する掃引器と、それらパルスを被検体の液状物内に送信する電波送信針と、液状物からパルスを受信する電波受信針と、送信パルスと受信された所定周波数ごとの受信パルスを検出する検出部と、検出部で検出されたレベル差を演算処理してレベルと周波数波との関係を示す波形図を作成する演算処理部を備えた性格分析電波分光器である。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線画像中における異物をノイズ成分と確実に分別し得る高異物検出感度のＸ線異物検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線画像内の任意の注目画素に対してその近傍画素を含む単位処理範囲を設定し、複数の注目画素について各単位処理範囲ごとに注目画素及び近傍画素の画像濃度レベルを平均化する平滑化処理段階と、平滑化処理がなされた画像データの濃度レベルを所定の異物候補抽出用の閾値と比較してそれを超える異物候補の画像領域を抽出する抽出処理段階と、異物候補の画像領域についてその周縁部の有効画素を減じるようにその画像領域を縮小した後に縮小画像領域内の有効画素数を増加させるように縮小画像領域を拡大する収縮・膨張処理段階と、を含み、収縮・膨張処理された画像データによって生成される画像領域中に有効画素が所定数以上集まった孤立領域が形成されるか否かで検出すべき異物の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】異物検査と気泡検査とを同時に行い、手間と時間をかけずに全ての被検査物の検査を行う。
【解決手段】制御手段１３は、被検査物２にＸ線を曝射したときのＸ線透過量と予め設定された異物混入用のしきい値とを比較して異物の混入を判別して被検査物２の良否を判定する。制御手段１３は、被検査物２にＸ線を曝射したときにＸ線透過量が予め設定された気泡判別用のしきい値以上の部分を気泡と判別する気泡有無判別手段１３ａと、気泡有無判別手段１３ａによって気泡と判別された部分の面積を算出する面積算出手段１３ｂと、面積算出手段１３ｂで算出された面積の合計値が予め設定された基準面積以上のときに被検査物２の良否を判定する良否判定手段１３ｃとを有し、被検査物２の異物有無の良否判定と気泡量の良否判定とを同時に行う。 （もっと読む）

【課題】
簡単な構成でありながら、エネルギ線の照射位置と集光ミラー部の焦点との位置調節を容易にすること及び振動などによる集光ミラー部の位置ずれを防ぐことである。
【解決手段】
エネルギ線ＥＢを試料Ｗに照射することにより生じる光を測定する試料測定装置１であって、エネルギ線ＥＢを収束させる鏡筒部２３と、前記鏡筒部２３及び前記試料Ｗの間に設けられ、前記鏡筒部２３で収束されたエネルギ線ＥＢを通過させ、そのエネルギ線ＥＢを試料Ｗに照射するためのエネルギ線通路３１２と、その通路３１２の軸線上に焦点Ｆが設定されたミラー面３１１と、を有し、試料Ｗから生じる光Ｌを前記ミラー面３１１により集光する集光ミラー部３１と、を備え、前記エネルギ線ＥＢの軸と前記焦点Ｆとを一致させるように、前記鏡筒部２３に前記集光ミラー部３１を支持させている。 （もっと読む）

【解決手段】 封入物検査装置１１において、封書投入ステーションＡに封書２が投入されると、外観検査手段２７及びＸ線検査手段３３により、封書の厚さと、封書に封入された封入物が所定の擬似対象物であるか否かが判定される。
所定厚さ以上の封書は第１選別ステーションＤでリジェクトされ、所定厚さ以下で擬似対象物の検出されなかった封書は第２選別ステーションＧまでそのまま搬送され、所定厚さ以下で擬似対象物の検出された封書は位置決めステーションＥにおいて封書内の擬似対象物の位置が位置決めされた後、擬似対象物査ステーションＦではテラヘルツ波を用いて上記擬似対象物が爆薬や麻薬などの所定の対象物であるか否かが判定される。
【効果】 大量の封書であっても、迅速に対象物の有無を検出することができる。 （もっと読む）

被検査物検査システムは、透過経路に沿って光子を出力するための光子源と透過経路を完全に通り抜けるように被検査物を平行移動させるためのコンベアを含む。通過する被検査物との相互作用に応じて透過経路から散乱する光子を検出するために、放射線検出器は透過経路に対してオフセットして配置される。コントローラは、被検査物内に存在する第一の物質を検出された散乱光子から決定する。 （もっと読む）

【課題】 試料から微小サンプルを切り出す作業を迅速に且つ正確に行うことができ、また、微小サンプルを試料台に配置させる作業を迅速に且つ正確に行うことができる装置及び方法を提供する。
【解決手段】 プローブに負の電圧を印加し、試料の輝度を計測する。プローブによって試料から微小サンプルを切り出す場合には、輝度が減少したときに、プローブが試料に接近したと判定し、輝度が更に減少した後に急激に増加したとき、プローブが試料に接触したと判定する。プローブに接続された微小サンプルを試料台に配置する場合には、輝度が減少したときに、プローブに接続された微小サンプルが試料台に接近したと判定し、輝度が更に減少した後に急激に増加したとき、プローブに接続された微小サンプルが試料台に接触したと判定する。 （もっと読む）

【課題】 硬組織についてより精密な評価を行なうことを可能とする配向性の分析方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明の硬組織の配向性の分析方法は、Bragg角度がa軸、ｃ軸の配向性を判断できるようにX線の入射方向と硬組織の試料表面との角度を設定し、かつ、前記ｃ軸の配向性の場合に、前記角度を2θ＝26°前後に設定するとともに、試料揺動を行う条件下で、X線で硬組織における結晶の配向性の評価を、前記a軸、c軸、及びそれ以外の方向に対する回折強度を比較することにより行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 化合物の結晶粒を確実に識別して、その構造解析を容易に行うことができる化合物の観察方法及び該方法に用いる着色溶液を提供すること。
【解決手段】 Ｘ線回折実験において、試料である化合物の結晶画像を撮影し、撮影した画像により結晶を観察しながら試料のＸ線照射位置決め作業を行うに際し、結晶を着色溶液６に入れた後、結晶を着色溶液６とともにすくい上げて固化し、結晶に透過光を照射して結晶画像を撮影するようにした。 （もっと読む）

【課題】非破壊分析を用いたテストピースの自動欠陥認証において、誤った検出を少なくし信頼性を高める。
【解決手段】Ｘ線管と、検出器と、Ｘ線検査ユニットのビーム経路にテストピースを位置決めするための機械マニピュレータとを備えたＸ線検査ユニットにおいて、テストピースの位置決め画像を理想的な参照画像と正確に一致するようにすべく、回転軸、回転角及び変位ベクトルを計算し、回転軸、回転角及び変位ベクトルの値を機械マニピュレータに中継すると共に、テストピースをこれらの値に対応する位置に移動させ、この位置において、Ｘ線参照画像と比較するために提供されるテストピースの比較画像を、Ｘ線検査ユニットにおけるＸ線によって作成する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ単位でインラインで効率的に欠陥を分析するための装置および技術を提供する。
【解決手段】本発明の実施形態は、単一のセットアッププロシージャにおいて検査および欠陥分析プロセスの全体をセットアップする簡単なインタフェース（１５８、５００）を提供する。ある実施形態において、試料（１００）上の欠陥を分析する装置が開示される。この装置は、潜在的な欠陥（１０２）を探して試料を検査する検査ステーション、およびそのような潜在的な欠陥（１０４）の分類を決定するために、前記潜在的な欠陥の試料を分析するレビューステーションを含む。
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本発明の１つの実施形態によれば、計器からのデータを分析するための方法が開示される。計器によって生成された生データは、ユーザによって生成された構成データと共に、コーリング・モデル内にパッケージングされる。生データは、たとえば、光電子分光法データを分析した場合の特定の運動エネルギーを有するカウントを含むことができる。構成データは、測定されている構造体の組成及び構成に基づいてユーザによって選択される幾つかのパラメータを含むことができる。コーリング・モデルは、計器と、所望の結果をユーザに戻すためのアルゴリズムを生成するためのエンジンとの間のインターフェースとして役立つことができる。エンジンは、次に、アルゴリズム、並びにユーザによって指定された結果を生成し、コーリング・モデルはその結果をユーザに戻す。これは、既知のアルゴリズム及び関数を用いて、特定の被測定試料及び構造体に対して特定のアルゴリズム及び結果を生成することを可能にする。 （もっと読む）

本発明の一実施形態に従えば、基板上の単層もしくは多層構造体における１以上の層の厚さを決定するために、光電子分光法が使用される。この厚さは、光子が衝突したときに当該構造体により放出される二つの光電子種、または他の原子特異的な特徴的電子種の強度を測定することによって決定されてよい。層の厚さに依存する予測強度関数が、各光電子種について決定される。二つの予測強度関数の比が定式化され、構造体の層の厚さを決定するために、この比が反復される。一実施形態に従えば、当該層の厚さを決定するために、一つの層からの二つの光電子種が測定されてよい。もう一つの実施形態に従えば、層の厚さを決定するために、異なる層または基板からの二つの光電子種が測定されてよい。 （もっと読む）

【課題】
小欠陥から大欠陥までの広範囲の欠陥サイズにおいて、高精度且つ高スループットな欠陥検出性能を実現する優れた検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】
試料に電子線ビームを繰り返し走査させ、試料から発生する２次電子または反射電子に基づき検査画像および参照画像を生成し、それらの差分画像から欠陥部を求めるＳＥＭ式検査装置において、生成画像における電子線ビームの繰り返し走査方向の画素数を可変にする機能を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、微小試料片およびまたはその周辺領域を汚染することなく、確実で安定的な微小試料片の分離、摘出、格納を行う装置および方法を提供することにある。
【解決手段】試料基板から観察すべき領域を含む試料片をイオンビームスパッタ法により分離し、試料を押し込んで保持し、引き抜いて分離するための、根元に比較して先端が細く、該先端部が割れている形状で、該形状により得られる試料片を保持する部位の弾性変形による力で試料片を保持する棒状部材からなるはり部材を用いて、前記試料片を試料基板から摘出し、試料片を載置するための載置台上へ移動させた後、前記はり部材と前記試料片を分離することで該試料片の格納を行う。 （もっと読む）

【課題】 結晶構造に関するより多くの情報を効率的に取得することのできる結晶評価装置および結晶評価方法を提供する。
【解決手段】 本発明にかかる結晶評価装置１００は、試料を載置するための試料台１０と、前記試料台１０に載置された試料３２にＸ線を照射するためのＸ線源１２と、前記試料３２に照射されることにより生じた回折Ｘ線を検出するＸ線検出部１４と、前記試料３２にレーザ光を照射するためのレーザ光源１６と、前記試料３２に照射されることにより散乱したラマン散乱光を分光する分光器１８と、前記分光器１８が分光したスペクトルの強度を検出する光検出部２０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 試料からの微弱な散乱光を、超小角領域まで精度よく検出できる光散乱測定装置を提供する。
【解決手段】 レーザー光源１１と、レーザー光源１１からの光を集光する第１のレンズ１２と、ピンホールｄを有するピンホール板１３と、第１のレンズ１２からピンホールｄを介して入射した光を平行光にする第２のレンズ１４と、第２のレンズ１４から入射した平行光を検出器１７の検出面に備えられたビームストッパー１６で焦点を結ぶように集光する第３のレンズ１５とを設ける。また、ピンホールｄとビームストッパー１６とを光学的に共役な位置に配置する。 （もっと読む）

【課題】適正な量子検出効率と高ＳＮ比を維持し、患者へのＸ線照射線量を抑制したデジタル放射線像形成組立体を得る。
【解決手段】高適合性画像形成組立体は、入射放射線を受けかつ対応する光信号を放出するように構成された単体蛍光体フィルム１０、単体蛍光体フィルム１０に結合される電子装置１２、着脱可能な電子強化層１４で構成する。電子装置１２は、単体蛍光体フィルム１０から光信号を受信しかつ画像形成信号を生成する。単体蛍光体フィルム１０は、シリコーン結合剤内に分散されたＸ線蛍光体粒子を含む。単体蛍光体フィルム１０の厚さは、１ｍｍより薄く、要件に応じて変える。 （もっと読む）

【課題】液体試料だけでなくスラリー試料であっても、さらに液体中に浸漬した状態の固体粉末試料であっても、電磁波吸収測定により適切なデータが得られる試料測定用セル、及び電磁波吸収測定方法を提供すること。
【解決手段】電磁波透過性の材料で形成された２つの窓を相対する位置に有し、２つの窓の間に試料を存在させることが可能な電磁波通過部位と、電磁波通過部位の下方に設けられた、内部の液体を撹拌可能な攪拌手段を有する撹拌手段設置部位と、を有するセル構造を為しており、（１）セル構造内の電磁波通過部位の上方に、少なくとも１つの空孔を有する仕切り板を有する、又は（２）セル構造内の電磁波通過部位に、固体粉末試料を所定の電磁波通過長となるように配置可能でかつ固体粉末試料中に液体が浸透可能な試料容器を有する、試料測定用セル。 （もっと読む）