【課題】着磁した永久磁石の磁区構造等を示す観察像が得られる磁性試料の観察方法を提供する。
【解決手段】本発明の磁性試料の観察方法は、磁化された磁性試料に放射光等の入射ビームを照射し、磁性試料から放出された放出電子を検出して、磁性試料の微細状況を示す観察像を形成する磁性試料の観察方法であって、磁性試料の磁化方向の両端が磁性試料の配置される雰囲気の透磁率よりも高い透磁率を有する連結具により磁気的に連結された状態で磁性試料が観察されることを特徴とする。この連結具により、磁性試料の両端には磁気閉回路が形成され、磁性試料からの漏洩磁場が抑制される。その結果、放出電子の軌跡が歪められることが少なくなり、磁性試料の磁区構造等を示す鮮明な観察像を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】自動的に対象物の検査に適した面を抽出できるＸ線検査装置、Ｘ線検査方法およびＸ線検査プログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、検査対象１にＸ線を照射するＸ線源１０と、検査対象１を透過したＸ線を検出するＸ線検出器２３と、Ｘ線検出器２３を移動するＸ線検出器駆動部２２と、検査対象１を移動する検査対象駆動機構１１０と、演算部７０とを備える。演算部７０は、Ｘ線源１０、Ｘ線検出器２３などを制御し、検査対象１を複数の方向から撮像し、撮像結果に基づいて、検査対象１の複数の断層画像を生成する。演算部７０は、断層画像のうち、高輝度領域の割合が高い断層画像を特定し、特定された断層画像から、検査対象１の形状特性に応じた所定の距離だけ離れた断層画像を用いて、検査対象１を検査する。 （もっと読む）

基板のシート上に堆積されたコーティング材料の重量を測定するために、改良された差分コート重量技術は、新規なアルゴリズムを採用する。本発明は、デュアルｘ線または原子力ゲージを採用し、下流のセンサは、コートされていないシート基板にさらされることはないが、下流のセンサに、コートされていないシート基板を測定したときに生じるであろう結果を予測する能力を備えさせ、上流および下流のセンサからの測定値から直接的に確かめていた連量の測定方法から、コート重量較正プロトコルの発展を導く。結果の引き算は必要ではない。さらに、２つのセンサは、コーティングおよび基板の相対的な比率が変化したとしても再較正の必要がない。本技術は、特に、コーティング材料および基板が、原子量の大きく異なる材料から形成されるような用途に好適である。 （もっと読む）

イメージデータを提供する方法および装置が開示される。方法は、放射源から対象物へ入射放射を供給し、少なくとも１つの検出器によって、対象物によって散乱された放射強度を検出するステップを含む。また少なくとも１つの検出器によって、対象物がないときの放射源から供給される放射強度が検出される。イメージデータは、対象物のない場合に検出された放射と対象物によって散乱された放射の検出した強度に応答して、繰り返し過程によって提供される。
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【課題】検査対象物のＸ線透過画像にモアレ縞が発生する場合において、モアレ縞を消滅させる。
【解決手段】画像処理合成装置１４は、X線源１１と輝度倍増管１２とカメラ１３とから成る構成により得られた、被検体１のＸ線画像を取得し、モアレ縞が発生しているか否かをチェックする。モアレ縞発生の場合には、回転機構制御部１５によって輝度倍増管１２とカメラ１３とを回転軸Ｃ２回りで同期回転させる（所定角度分回転）。そして、再び被検体１のＸ線画像を取得し、モアレ縞が発生しているか否かをチェックする。これをモアレ縞が発生していないＸ線画像が得られるまで繰り返す。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料表面の粒子の蛍光Ｘ線スペクトルに基づいて粒子径を測定する粒子径測定装置、粒子径測定方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線源１３からウェハ３表面にＸ線ビームが照射され、ウェハ３表面が走査されてウェハ３表面の各粒子の蛍光Ｘ線スペクトルが測定される。測定された蛍光Ｘ線スペクトル及び標準スペクトルデータベース２８１に格納されている標準スペクトルデータに基づいて粒子に含まれる元素が同定される。測定された蛍光Ｘ線スペクトルから、同定元素の蛍光Ｘ線スペクトルが抽出され、面積分強度が算出される。検量線データベース２８２から同定元素に対応する検量線を読み出して面積分強度と対応する粒子径が特定される。 （もっと読む）

【課題】空間内の脅威物質の存在を迅速かつ正確に決定するために、あらゆる利用可能な検出器デバイスから放射線のサインデータを分析する手法を提供すること。
【解決手段】関心のある１つ以上の物質の存在に関して、実質的に囲まれた空間を調べる検出器によって生成されるスペクトルデータを分析する方法であって、検出器の検出経路内にあると予想される物質を複数の物質群のうちの１つに分類することと、各物質群に対する、代表的なエネルギー対断面積の曲線を記述するデータを選択することと、関心のある物質に対するスペクトルデータを生成するために、物質群のうちの１つ以上と各関心のある物質の相互作用を計算することと、スペクトルデータのライブラリを生成することと、空間内の脅威物質の存在を決定するために、検出器によって生成されたスペクトルデータをスペクトルデータのライブラリと比較して分析することとを包含する、方法。 （もっと読む）

【課題】電子分光法及び電子分光を行う装置に関する。特に、試料から表面層を選択的に除去するために用いることのできる電子分光用イオン源に関する。
【解決手段】電子分光装置２は内部に試料台６を設置した超高真空容器４を備える。イオン銃８は超高真空容器４内に伸びており、多環式芳香族炭化水素イオンビーム１０を供給する。イオンビームは使用の際、試料台の上の試料に向けられる。光子源１２は、使用時に試料上に投射する光子ビーム１４を供給するのに適合している。真空容器４の内部には光電子分光器１６が設置され、使用時に試料から放射される電子１８を検出する。 （もっと読む）

【課題】同一の生体組織試料について、電子像観察だけでなく、蛍光像観察、そして透視像観察等を行うことも可能な、複数の観察用光源を備えた多光源顕微鏡を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡の光源である電子銃とそれ以外の少なくとも１種の光源を有し、試料を同一位置で観察可能な多光源顕微鏡であって、蛍光を観察するための光学顕微鏡２０と走査型電子顕微鏡２とからなり、該走査型電子顕微鏡の電子ビームの光軸と同軸となるように該光学顕微鏡のカセグレン鏡１２が該走査型顕微鏡の鏡筒内に配置されてなり、反射面が非球面型であるカセグレン鏡を用いる。 （もっと読む）

【課題】培養された細胞等からなる試料に散布される薬品の使用量を低減することのできる試料保持体等を提供する。
【解決手段】試料保持体４０は、開放された試料保持面３７ａの少なくとも一部が膜３２と膜３２の周囲のテーパ部３７ｂで構成され、膜３２の試料保持面３２ａにおいて試料３８を培養可能である。テーパ部３７ｂがあるので、使用する試薬の量を少なくすることができる。試料３８には、膜３２を介して、試料観察又は検査のための一次線が照射可能となっている。これにより、細胞等の試料３８を培養させた状態で生きたままでの観察又は検査を良好に行うことができる。特に、一次線として電子線を用いれば、生きた状態での試料のＳＥＭ観察・検査を良好に行うことができる。 （もっと読む）

システムは、観察物体内に励起エネルギーを送信するための送信機と、物体への送信励起エネルギーに応答して受信されるエネルギーをエンコードする投影空間データを生成するための検出装置と、投影空間データを生成するための送信機および受信機を制御するためのコントローラと、投影空間データを受信するための画像再構成装置であって、投影空間データと予測投影データの間の差を特徴づける第１の量を計算し、各インパルス応答が単位強度の参照ボクセルに対応する少なくとも１つのインパルス応答に対応する第２の量を計算し、第１の量および第２の量の反転関数を使ってアップデート値を計算し、アップデート値を使って観察物体を表す物体空間画像を再構成することによって投影空間データを処理するための画像再構成装置とを含む。
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イオン顕微鏡およびシステムを開示する。一般に、本発明システムおよび方法は比較的軽い同位体、少数同位体、またはその両方を用いる。いくつかの実施形態においては、Ｈｅ−３を用いる。 （もっと読む）

本発明はイオンビーム顕微鏡を用いた試料検査に関するものである。幾つかの実施形態では、本発明は、各検出器は試料についての異なる情報を提供する複数の検出器を用いるものである。
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【課題】物体内の高コントラスト像を一度に、且つ容易に得ることのできる、新しい非破壊分析方法および非破壊分析装置を提供する。
【解決手段】 単色平行Ｘ線１を物体２に照射し、物体２からの屈折Ｘ線等３を透過型結晶分析体４ａに入射させ、その屈折Ｘ線等３を透過型結晶分析体４ａの動力学的回折作用によって前方方向回折Ｘ線４１ａと回折方向回折Ｘ線４２ａとに分光する際に、透過型結晶分析体４ａの厚さを、予め、物体がないときに、前方方向回折Ｘ線４１ａおよび回折方向回折Ｘ線４２ａのいずれか一方の強度が略ゼロとなるような厚さに設定する。 （もっと読む）

【課題】結晶端面Ｓｃのカソードルミネッセンス画像から、貫通転位などの欠陥数を自動計数する場合に、その誤差を小さくしてより正確に計数できるようにする。
【解決手段】欠陥像の面積に対する欠陥像数の分布から、孤立欠陥による欠陥像と近接欠陥による欠陥像とを推定的に分離したうえで、孤立欠陥の数と孤立欠陥像の面積を算出し、その後、前記孤立欠陥数と孤立欠陥像面積を用いた補正演算によって、近接欠陥による欠陥像から欠陥数を算出するようにした。 （もっと読む）

試料の画像データを処理する方法が開示されている。当該方法は、前記試料の少なくとも一部が重なっている複数の空間領域の第1画像と第2画像とのレジストレーションを行う手順、及び、前記のレジストレーションされた画像からのデータを処理することで、前記第1画像と第2画像から得られる画像に加えられる前記試料についての情報を有する合成画像データを取得する手順を有する。
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【課題】半導体ウエハのパターンの検査において、非検査領域が混在する試料でも非検査領域への電子ビームの照射を防止し、所望の検査領域を検査することができる検査装置、および検査方法を提供する。
【解決手段】電子ビームは試料の照射領域を画像化するための照射エネルギーを有し、電子ビームの走査中に電子ビームが試料へ照射するのを妨げるように電子ビームをブランキング偏向するブランキング偏向器と、電子ビームの走査中に試料を連続的に移動させるステージと、電子ビームの照射領域の選択に従って、電子ビームの非照射領域では電子ビームをブランキング偏向するブランキング偏向器へ偏向指令を送信する制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】薄膜包材内に物品を内包する商品であっても、薄膜包材内を漏れなく検査領域として設定し、高精度な検査を実施することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、コンベア１２によって搬送される商品Ｇに対して、Ｘ線照射器１３からＸ線を照射し、Ｘ線ラインセンサ１４において検出されたＸ線量に基づいてＸ線画像を作成して異物混入の検査を行う装置であって、Ｘ線ラインセンサ１４において商品Ｇの袋Ｂ内のパンＧ１を検出すると、制御コンピュータ２０が、パンＧ１の上流側および下流側に隣接する領域を、検査領域Ａ１，Ａ２として加える。 （もっと読む）

【課題】液体試料の観察又は検査を良好に行うことのできる検査方法及び検査装置に関し、該試料の光学像と、一次線（電子線、荷電粒子線）を用いた像の同時取得を可能にする検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、第１の面３２ａに液体試料２０が保持される膜３２と、膜３２の第２の面に接する雰囲気を減圧する真空室１１と、真空室１１に接続され、膜３２を介して試料２０に一次線７を照射する一次線照射手段１と、一次線７の照射により試料２０に含まれる検査対象物から発生する二次的信号を検出する信号検出手段４と、該検査対象物の光学像を取得する光学像取得手段を備え、該一次線照射手段と該光学増取得手段とが該膜３２を間に介して対向配置されており、該膜３２が遮光性を有している。 （もっと読む）

【課題】容易に工作機械による表面の加工状態を観察することができる表面観察装置を提供する。
【解決手段】表面観察装置１は、シュラウド１１及びＳＥＭユニット１３を有している。シュラウド１１は、工作機械Ｍ１を用いて加工する試料Ｓ１、及び、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置された試料Ｓ１を固定するための治具Ｊ１を覆うように工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置される。ＳＥＭユニット１３は、シュラウド１１上に配置される。このように、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上において、試料Ｓ１を治具Ｊ１に取り付けた状態で試料Ｓ１及び治具Ｊ１をシュラウド１１の内部に収めることによって、試料Ｓ１を治具Ｊ１から取り外すことなく、試料Ｓ１の表面の加工状態をシュラウド１１の上面に配置されたＳＥＭを用いて観察することが可能となる。 （もっと読む）