【課題】被検査物に不均一な分布の吸収がある場合においても、該被検査物におけるＸ線の透過率分布の影響を低減し、画質の良い位相像の撮像が可能となるＸ線撮像装置を提供する。
【解決手段】透過するＸ線によってタルボ効果により周期的な明暗パターンを形成する第１の格子と、
明暗パターンが形成される位置に配置され、明暗パターンの一部を遮光する第２の格子と、
Ｘ線強度分布を検出するＸ線強度検出器と、
Ｘ線強度検出器により検出されたＸ線の強度からＸ線の位相情報を取得する演算装置と、を備え、
第２の格子は明暗パターンの周期方向に対してそれぞれ逆方向の第１の遮光パターンによる第１の領域と第２の遮光パターンによる第２の領域を有し、
第１の領域と第２の領域を透過しＸ線の強度情報を用いて、前記被検査物におけるＸ線の透過率分布の影響を低減する演算を行なう。 （もっと読む）

【課題】放射線の経路に存在する隙間に依存しない内部欠陥の評価指標を得る。
【解決手段】放射線検査処理装置であって、金属製品における着目位置に対して複数の異なる経路によって放射線を透過させる照射手段と、前記着目位置を透過する前記放射線の透過量を前記経路のそれぞれについて検出する検出手段と、前記透過量を平均した平均透過量を算出する平均透過量算出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】画像処理時間を短縮して短時間で溶接部を検出することができる溶接部検出装置及び溶接部検出方法を提供する。
【解決手段】溶接部を有する測定対象に対して放射線を照射する放射線源と、該放射線源から前記測定対象を透過した放射線を所定範囲で撮影し、撮影画像信号を出力する放射線撮影手段と、該放射線撮影手段から出力される撮影画像信号を処理して溶接部を検出する溶接部検出手段とを備えた溶接部検出装置であって、前記溶接部検出手段は、前記放射線撮影手段から出力される撮影画像信号から溶接線方向に所定距離離れた少なくとも２個所の当該溶接線方向と交差する線画像情報を切り出す画像情報切り出し手段と、該画像情報切り出し手段で切り出した各線画像情報を２値化処理する２値化処理手段と、該２値化処理手段で処理された２値化処理画像に基づいて溶接部を特定する溶接部特定手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】撮影時間を短縮化して、動きを止めにくい動物などのＣＴ画像を短時間で得る。
【解決手段】本発明のＣＴ装置１は、回転中心を基点に所定の半径を保ちつつ回転すると共に、回転中心に配置された患部に対して透過線２を照射する照射部３と、回転中心を挟んで照射部３の反対側に設けられると共に照射部３から患部を透過してきた透過線２を面状に撮影する撮影部４と、照射部３と撮影部４とが回転中心を基準として同じ位置関係を保つように照射部３と撮影部４とを回転中心回りに回転させる回転機構５と、撮影部４で撮影された撮影データを取り込む検査用コンピュータ７と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】窓フーリエ変換法を用いた解析において、解像度の更なる向上を図ることが可能となる位相情報の解析方法等を提供する。
【解決手段】光あるいはＸ線を含む波長の波の干渉によるモアレ像の周期的パターンを解析し、位相波面を含む位相情報を取得する位相情報の解析方法であって、
前記モアレ像の周期的なパターンの少なくとも一部を、窓関数によって窓フーリエ変換する工程と、
前記窓フーリエ変換されたモアレ像における、位相情報を担うスペクトルの情報と、前記位相情報を担うスペクトルの情報に重畳している位相情報を担っていないスペクトルの情報とを解析的に計算する工程と、
前記位相情報を担っていないスペクトルの情報を、前記位相情報を担うスペクトルの情報から分離し、前記位相波面を含む位相情報を取得する工程と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】観察位置を表示するために用いる被検査物の全体像を得るためにオペレータが撮影開始等の操作を行う必要がなく、使用の利便性を向上させたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物Ｗが観察ステージ３上に搭載されたことを検知する検知手段５ｂを備え、その搭載の検知により、ＣＣＤカメラ６により被検査物Ｗの外観の全景像を撮影して、実際の検査時における刻々の観察位置の表示のためのマップとして用いることで、検査に先立って被検査物Ｗの全景像を撮影するための操作をオペレータが行うことを不要とし、同時に、撮影を忘れることを防止する。 （もっと読む）

【課題】 高アスペクト比な金属微細構造体を高精度で容易に得ることができる微細構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】 微細構造体の製造方法は、Ｓｉ基板に第１の絶縁膜を形成する第１工程と、第１の絶縁膜の一部を除去してＳｉ表面を露出する第２工程と、露出されたＳｉ表面からＳｉ基板をエッチングして凹部を形成する第３工程と、凹部の側壁及び底部に第２の絶縁膜を形成する第４工程と、凹部の底部に形成された第２の絶縁膜の少なくとも一部を除去してＳｉの露出面を形成する第５工程と、Ｓｉの露出面より凹部に金属を電解めっきにより充填する第６工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】保護部材を剥離する際の剥離帯電に起因する薄膜トランジスタの劣化を抑制でき、シンチレータの発光特性の劣化を抑制でき、研磨後の基板厚のムラを抑制できる放射線画像検出器の製造方法を提供する。
【解決手段】基板の一方の面に薄膜トランジスタを有する薄膜トランジスタ基板１６Ａを準備する工程と、薄膜トランジスタ基板１６Ａの薄膜トランジスタが設けられた側の面Ｐに、支持体１１０上に導電性粒子１０２を含む粘着層１２０を有する保護部材１００を、該粘着層１２０が接するようにして貼付する保護部材貼付工程と、前記保護部材貼付工程後の薄膜トランジスタ基板１６Ａの他方の面を研磨する研磨工程と、前記研磨後の薄膜トランジスタ基板１６から前記保護部材１００を除去する保護部材除去工程と、薄膜トランジスタ基板１６の保護部材が除去された面にシンチレータ層１８を設けるシンチレータ層形成工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】検被検査体を簡便に検査することができる放射線検査装置を提供する。
【解決手段】基板表面検出部３８は、基板および電子部品を含む被検査体の断面画像を画像解析し、前記断面画像の中から基板表面を映し出す表面画像を特定する。疑似断面画像生成部４０は、前記表面画像を基準として前記断面画像に映し出されている前記基板と前記電子部品とを接合するはんだの領域を特定し、前記はんだを映し出す前記断面画像を積み上げることにより擬似的に撮像範囲に厚みを持たせた疑似断面画像を生成する。検査部４２は、前記表面画像に映し出された前記はんだの領域および前記疑似断面画像に映し出された前記はんだの領域を画像解析することにより、前記はんだの接合状態の良否を推定する。 （もっと読む）

【課題】放射線を用いた検査装置の撮像系を簡便に補正する手段を提供する。
【解決手段】保持部は、治具と一体に構成されている、被検査体を固定する。検出部は、前記被検査体または前記治具を透過した放射線を検出して透過画像を生成する。ずれ量特定部３６は、前記治具の透過画像を取得してその透過画像に映し出された治具の特徴点を特定し、当該透過画像に映し出された治具の特徴点と前記透過画像全体の中心とのずれ量を算出する。撮像制御部４０は、前記ずれ量に基づいて前記被検査体と透過画像を取得する放射線検出器との位置関係を補正する。 （もっと読む）

【課題】試料が搭載される基板（基材）の元素と、試料に含まれる元素が同一でも、安定して、微小部分の成分計測が可能な微小部Ｘ線計測装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置と、放出されるＸ線を５０μｍ径以下の断面積に収束照射するＸ線光学素子と、蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出器と、光学像を撮像可能な光学顕微鏡と画像認識機能を備え、試料を二次元で移動して位置決めが可能で、かつ、高さ方向にその位置調整が可能な試料相対移動機構とを備え、試料の特定位置における蛍光Ｘ線計測が可能であり、かつ、基材の上に置かれた測定試料からの蛍光Ｘ線も計測可能な微小部Ｘ線計測装置では、Ｘ線の照射位置と前記Ｘ線検出器との間の蛍光Ｘ線の光路を蛍光Ｘ線の減衰を抑制する構造（真空又はヘリウム置換）とし、かつ、基材上の測定試料が基材と同一の金属元素を含んでも、測定試料の同一の金属元素の含有が判定可能なデータ処理機能を備えたデータ処理部を備えている。 （もっと読む）

【課題】幾何条件を変更した後に最初に断層撮影をする場合に、スキャン開始から断面像の完成までの時間を短くできるＣＴ装置を提供する。
【解決手段】透過像の回転中心位置を求め記憶する回転中心求出部９ｅと、スキャン制御部９ｄと回転中心求出部９ｅと再構成部９ｆとを制御して、被検体５に対し第一のスキャンを実施して、第一のスキャンデータから回転中心位置の求出と記憶を行い、引き続き、被検体５に対し第二のスキャンを実施して第二のスキャンデータを記憶しつつ、第二のスキャンデータから順次、回転中心位置を用いて再構成処理を前記第二のスキャンと並行して行い、被検体５の断面像を再構成する撮影制御部９ｃを有するＣＴ装置。 （もっと読む）

【解決課題】散乱法や遮光法における気泡による計測誤差、異種元素によるカウントロス、乳化による計測不能などの問題を解決し、低コストで簡易に、流体中の微粒子の数量及び粒子径などを正確に測定できる方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】流体を流すフローセル１０と、フローセル１０の側面からＸ線を照射するＸ線源２０と、Ｘ線源２０から照射されたＸ線が流体中の微粒子によって減弱された透過Ｘ線量を検出するＸ線検出器３０と、Ｘ線源から照射されたＸ線により流体中の微粒子によって放出される蛍光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線検出器４０と、透過Ｘ線量及び蛍光Ｘ線量の各基準量からの変動量に基づいて流体中の微粒子及び気泡を識別して微粒子の量及び粒径を算出する演算処理装置と、を具備する流体中微粒子の検出装置。 （もっと読む）

【課題】試料の径が大きくなっても、試料に対応した大面積の面状のＸ線検出器を、Ｘ線トポグラフの分解能を低下させること無く、使用できるようにする。また、試料の径が大きくなったことに対応して大面積の面状のＸ線検出器を使用することになった場合でも、Ｘ線検出部の全体形状を大きくしなくて済むようにする。
【解決手段】試料１１を線状のＸ線で走査したときに試料１１で回折したＸ線をＸ線検出器２８によって検出して平面的な回折像を得るＸ線トポグラフィ装置である。Ｘ線検出器２８は試料１１よりも大きい面積を有する円筒形状のイメージングプレート２８であり、線状のＸ線の走査移動Ｆに関連させてイメージングプレート２８を円筒形状の中心軸Ｘ０を中心としてα回転させる。円筒形状の中心軸Ｘ０は線状のＸ線の走査移動方向Ｆと直角方向に延在する。 （もっと読む）

【課題】サンプリングレートを低減した多重エネルギー撮像を提供すること。
【解決手段】本開示は、単一エネルギー撮像で利用されるレートに匹敵するデータサンプリングレートを用いた２重エネルギーＸ線データ（６２、６４）の生成に関する。本技法によれば、従来の２重エネルギー撮像と比較して利用するｋＶｐ切替速度が低速となる。作成した画像において全角度分解能が達成される。 （もっと読む）

【課題】取得画像に対する散乱Ｘ線の影響を軽減することが可能となるＸ線撮像装置およびＸ線撮像方法の提供を目的とする。
【解決手段】X線を空間的に分割する分割素子１０３と、分割後被検知物１０４を透過したX線の強度を検出する検出手段１０５と、分割素子・被検知物・検出手段のいずれかを移動させる移動手段１０６〜１０８と、Ｘ線の走査速度と検出手段の画像取得速度とを同期させる露光制御手段１０９とを用いて、被検知物の微分位相像または位相像を演算するＸ線撮像装置。 （もっと読む）

【課題】基本的にはインクリメンタル型エンコーダを基本とする簡単で扱い易い構成を有し、アブソリュート型エンコーダのような複雑で高価な構成を用いることなく回転体の基準となる角度位置を認識できる測角器を提供する。
【解決手段】ウオームホイール２２，２３の回転角度を測定するための測角器２において、ウオームホイール２２，２３に設けられた測角用の第１識別用マーク３３と、第１識別用マーク３３を読取る第１検出部３６と、ウオームホイール２２，２３に設けられた第２識別用マーク３４と、第２識別用マーク３４を読取る第２検出部３７とを有しており、第１識別用マーク３３及び第２識別用マーク３４はウオームホイール２２の表面上に直接に形成されており、第２識別用マーク３４はウオームホイール２２，２３の回転中心線Ｘ１を中心とした一部の角度範囲に設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は３次元画像取得方法及び装置に関し、分解能を向上させることができるトモグラフィー法を用いた試料の３次元画像取得方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】走査透過型電子顕微鏡において、試料の３次元画像を得る３次元画像取得手段を設け、該３次元画像取得手段を用いて試料の第１の３次元画像を得、次に、試料を裏返して該３次元画像取得手段を用いて試料の第２の３次元画像を得、得られた試料の第１の３次元画像と第２の３次元画像とから試料の３次元画像を得る、ように構成する。 （もっと読む）

【課題】運動する被検査物の内部を簡単に透視できる放射線透視装置を提供することを目的とする。
【解決手段】放射線透視装置が、放射線照射部から離間した被検査物に放射線を照射して被検査物の内部を透視する放射線透視装置であって、被検査物の位置を検出する位置検出手段と、該位置検出手段が、検出した被検査物の位置に向けて放射線を照射するように放射線照射部を制御する制御手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも空間分解能の高い透視画像を生成することを目的とする。
【解決手段】逆コンプトン散乱Ｘ線を透視対象物に走査して照射するＸ線照射手段と、前記透視対象物で発生する後方散乱Ｘ線光子を検出するＸ線検出部と、該Ｘ線検出部のＸ線光子のうち、所定の評価範囲内のエネルギーに属するＸ線光子を抽出する抽出手段と、該抽出手段の抽出結果に基づいて透視対象物の透視画像を作成する透視画像作成手段とを具備する。 （もっと読む）