【課題】効率的な試料表面検査システムを提供する。
【解決手段】試料の表面を平坦化する表面平坦化機構と、試料上に抵抗膜を形成する抵抗膜コーティング機構と、試料表面の評価を行う表面検査機構を備えている。表面検査機構は、紫外線発生源３０と、電磁波を試料表面に斜め方向から導く光学系と、試料表面から放出された電子を試料表面に直交する方向に導く写像光学系４０と、検出器５０と、画像形成／信号処理回路６０とを備えている。写像光学系は、３つのレンズ系４１〜４３と、アパーチャ４４とを備えている。紫外線源の代わりにＸ線源を用いてもよい。また、電子線源から生成された電子線を試料の表面上に導く装置を設け、電磁波照射装置及び電子線照射装置の一方又は両方を駆動して、電磁波又は電子線の一方又は両方を試料の表面に照射するようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、上記課題に鑑み、タルボ干渉によるモアレの周期を波数空間を用いて解析するに当たり、より分解能の高い解析が可能となる撮像装置および撮像方法を提供する。
【解決手段】
撮像装置は、光源からの光を回折することで２次元の干渉パターンを形成する第１の格子と、前記光を遮蔽する遮蔽部と前記光を透過する透過部とが２次元に配列されており、
前記干渉パターンの一部を遮蔽する第２の格子と、前記第２の格子を経た前記光を検出する検出器と、前記検出器で検出した前記光の強度分布の周期的パターンに基づいて被検体の位相像又は微分位相像を算出する演算部と、を備え、
第１の方向における前記強度分布の周期が前記検出器の検出面上の全ての領域で等しくなるように前記第１の格子と前記第２の格子とが構成されている。 （もっと読む）

【課題】層状構造を有する被検体の断面像を短い断層撮影時間で得るＣＴ装置を提供する。
【解決手段】撮影する被検体５の層状構造の層面が、断層撮影面に交差するようにテーブル４上に載置し、撮影する被検体５に向けて断層撮影面に沿った放射線光軸を中心に放射線を放射する放射線源１と、被検体５を透過した放射線２を検出して透過像として出力する放射線検出器３と、テーブル４と放射線２とを相対的に回転させる回転手段７と、回転手段７と放射線検出手段３を制御して被検体５の層面が放射線２の光軸と平行に近くなる回転角度を優先的に複数の透過像をスキャンデータとして取り込んで記憶し、スキャンを実施するスキャン制御手段９ｃと、このスキャンデータから被検体５の断層撮影面に平行な少なくとも１枚の断面像を再構成する再構成手段９ｄとを有する。 （もっと読む）

【課題】対象物のＣＴ撮影により得られた投影データを用いて、順投影処理を含む断層像再構成演算を行うことにより、対象物の断層像を構築する方法において、ＣＴ再構成領域の外側に対象物の一部が存在している場合でも、それが原因でアーチファクトが生じることを防止することのできる断層像再構成方法を提供する。
【解決手段】何らかの方法で構築した対象物の断層像を順投影処理する工程を含む断層像再構成演算方法において、順投影処理に供する領域を、ＣＴ再構成領域の外側で、かつ、投影データが放射線検出器の受光面に映り込む領域にまで拡張することにより、ＣＴ再構成領域Ａ外に物体が存在した場合にもその影響が計算に組み入れられるので、それに起因するアーチファクトの発生が防止できる。 （もっと読む）

【課題】複数枚の回折格子を使用して位相コントラスト画像を撮影する放射線撮影システムにおいて、高精度な測定器を使用せずに各回折格子の位置や傾きを調整する。
【解決手段】１枚目の格子である第３の吸収型格子２５は、ＦＰＤ２０の検出面に直交するｚ軸上に配置され、第３の吸収型格子２５を通過するＸ線量に基づいて、ｚ軸に直交するｘ軸、ｙ軸上の回転位置θｘ、θｙが調整される。２枚目の格子である第１の吸収型格子２１は、モアレパターンが生じるようにｚ軸上に配置され、ＦＰＤ２０により検出したモアレパターンの周波数が面内において一律になるように、θｘ、θｙが調整される。３枚目の格子である第２の吸収型格子２２は、２枚目の格子である第１の吸収型格子２１と同様にモアレパターンに基づいてθｘ、θｙが調整され、その後にモアレパターンがＦＰＤ２０により検出されなくなるように、ｚ軸位置またはｚ軸周りのθｚが調整される。 （もっと読む）

【課題】 コンクリート構造物の強度を損なわず、鉄筋の状況を広範囲に簡易かつ安価に測定できる鉄筋状況測定方法を提供する。
【解決手段】 コンクリートの柱１等に鉄筋１１、帯筋１２が配筋されているコンクリート構造物において、当該構造物の表側に対して鉄筋１１が配筋されている裏側で、Ｘ線の撮影可能な範囲内で、構造物の側面と側面を斜め方向に貫通させる貫通孔２０を形成し、当該貫通孔２０に短冊状の感光フィルム３０を挿入し、構造物の表側からＸ線を照射して鉄筋状況を測定し、感光フィルム３０を抜いて下側の貫通孔２０ｂから樹脂を充填する鉄筋状況測定方法である。 （もっと読む）

【課題】ＣＴ値のレベル変動や不均質が少ない着目部の断面像を得る。
【解決手段】Ｘ線管１と回転軸ＲＡとの距離を変更して撮影倍率を設定し、被検体５について第一の撮影倍率で実施された第一のスキャンで得られた第一のスキャンデータと、被検体５の着目領域について第一の撮影倍率より大きな第二の撮影倍率で実施された第二のスキャンで得られた第二のスキャンデータとを入力し、再構成部９ｆを制御して、第一のスキャンデータからローパス処理を施した所定マトリックス数の着目領域の第一の断面像を作成し、第二のスキャンデータからハイパス処理を施した所定マトリックス数の着目領域の第二の断面像を作成し、第一の断面像と第二の断面像を加算して着目領域の合成断面像を作成する画像合成部９ｇとを有することを特徴とするＣＴ装置。 （もっと読む）

【課題】取り付け作業が容易で、且つ放射線の漏洩防止をも良好に行うことが可能な乗客コンベアの移動手摺り劣化診断装置を提供すること
【解決手段】乗客コンベアの移動手摺り劣化診断装置であって、移動手摺り１０に対して放射線を照射する光源を内部に含み、移動手摺り１０のうち照射される部分及び光源を覆う筐体によって構成される放射線発生部２と、移動手摺り１０を透過した透過光を受光することにより移動手摺り１０を撮影するカメラを内部に含み、移動手摺り１０のうちカメラによって撮像される部分及びカメラを覆う筐体によって構成され且つ放射線発生部２の筐体と組み合わせられることにより箱体となる受光部１と、箱体を移動手摺り１０が貫通するための貫通穴において光源から照射される放射線が箱体の外部に漏れることを抑えるための遮蔽板とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】、マスク上の欠陥とそれがウェハに及ぼす影響、修正による改善の程度まで推定可能な欠陥推定装置と欠陥推定方法を提供する。欠陥判定処理を容易にし、マスク上の欠陥とウェハ像への波及を推定可能な検査装置と検査方法を提供する。
【解決手段】マスク検査結果２０５のうち、欠陥箇所のマスク採取データは、模擬修正回路３００に送られて模擬修正が行われる。模擬修正されたマスク採取データは、マスク検査結果２０５に戻された後、対応する箇所の参照画像とともにウェハ転写シミュレータ４００に送られる。ウェハ転写シミュレータ４００で推定されたウェハ転写像は比較回路３０１に送られ、比較回路３０１で欠陥と判定されると、その座標と、欠陥判定の根拠となったウェハ転写像とが、転写像検査結果２０６として保存される。マスク検査結果２０５と転写像検査結果２０６はレビュー装置５００に送られる。 （もっと読む）

【課題】より高分解能で、かつ、正確に、原子の内部構造の観測ができるようにする。
【解決手段】標的としての物質Ｍにパルスレーザを照射することにより発生する光電子が電子検出器３３で検出され、演算装置２７に供給される。また、発生した光電子の運動量の大きさｐと直線偏光方位角θが演算装置２７に供給される。演算装置２７は、光電子が発生する直前（再散乱直前）の光電子の運動量（ｐ_ｒ，θ_ｒ）を動径方向成分と円周方向成分で離散化した離散化運動量（ｐ_ｉ，θ_ｊ）のうちの所定の離散化運動量の円周方向成分θ_０で規格化した弾性散乱断面積の比Ｅ_ｉｊと、所定の離散化運動量の円周方向成分θ_０で規格化した理論値の弾性散乱断面積の比Ｔ_ｉｊの誤差が最小となるパラメータΞを探索して検出する。本発明は、例えば、原子を観測する超高精度・実時間顕微鏡に適用できる。 （もっと読む）

【課題】検被検査体の立体的な情報を用いて検査する放射線検査装置を提供する。
【解決手段】輪郭抽出部４２は、基板および電子部品を含む被検査体の断面画像を画像解析し、当該断面画像の中から基板と電子部品とを接合するはんだ領域の輪郭を抽出する。法線ベクトル取得部４８は、はんだ表面の３次元形状における法線ベクトルを求める。はんだ重心取得部４４は、はんだ表面の３次元領域における重心の位置を取得する。接合状態検査部５０は、前記法線ベクトル取得部が取得した法線ベクトルのうち、前記はんだ重心取得部が取得した重心位置を向く法線ベクトルの割合を取得し、当該割合が基板と電子部品とを接合するはんだの接合状態を判定するために定められた所定の割合を超える場合はんだの接合状態が良好と判定し、そうでない場合は不良と判定する。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線顕微鏡及びＸ線を用いた顕微方法に関し、Ｘ線画像の分解能を向上させることができるＸ線顕微鏡及びＸ線を用いた顕微方法を提供することを目的としている。
【解決手段】電子ビームＥＢを集束して照射する電子ビーム照射手段と、該電子ビーム照射手段からの集束電子ビームの照射に応じてＸ線発生源となる薄膜１１と、該薄膜１１の第１の面に照射された集束電子ビームによって該薄膜１１から発生するＸ線１３を検出するＸ線検出手段８とを有し、前記薄膜１１の第２の面に接して配置された試料７を透過したＸ線１３を前記Ｘ線検出手段８により検出するように構成する。 （もっと読む）

【課題】複層膜厚の測定のために2つの線源を用いなくても、1つの線源と異なるシンチレータの組み合わせにより高精度にエネルギー弁別が行える安価でコンパクトな装置を用いて複層膜厚の同時独立算出を可能にした放射線測定方法を提供する。
【解決手段】同一線源から照射された放射線を複数の材質からなる被測定物に照射して透過させ、透過した透過線量から被測定物の物理量を測定する放射線測定方法において、透過した放射線を少なくとも２種類の検出器により検出し、それぞれの検出器からの出力を検量線を用いて弁別演算を行う工程と、弁別演算した値を用いて各層の坪量を演算する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】冷却フィンなどの異物による影響を受けずに、実装状態（はんだ付けの状態）を確実に検査することができる透視検査装置を提供する。
【解決手段】放射線Ｘを被検体１０１に向けて放出する放射線源１と、検体を透過した放射線Ｘを検出する放射線検出器４と、被検体１０１への放射線Ｘの入射角度を変化させる入射角度変更手段９と、放射線検出器４により検出された放射線量の二次元分布を画像化する信号処理手段６と、入射角度変更手段９及び信号処理手段６を制御する制御手段１０とを備え、制御手段１０は、被検体１０１に放射線Ｘが第１の角度で入射したときの透過放射線量に基づく画像と、被検体１０１に放射線Ｘが第２の角度で入射したときの透過放射線量に基づく画像とを合成して、被検体１０１に重なっている異物１０２によるノイズ画像を除去する。 （もっと読む）

【課題】イメージインテンシファイアおよび／またはＣＣＤカメラの幾何学的歪に起因する輝度ムラを確実に取り除くことができ、ひいては被検査物のＸ線画像の画質を向上させることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】イメージインテンシファイア２ａおよび／またはＣＣＤカメラ２ｂの幾何学的歪に基づいてＸ線検出器２からのＸ線透過情報を補正する画像歪補正手段１３に加えて、同じくイメージインテンシファイア２ａおよび／またはＣＣＤカメラ２ｂの幾何学的歪に基づいてＸ線透過情報の輝度ムラを補正する輝度ムラ補正手段１４を設けることにより、検査対象物のＸ線画像の画質を向上させることができ、ひいては検査精度や測定精度の向上を達成することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】精度よく基板に塗布されたはんだと部品とのはんだ付け検査を行なうＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、予め基板に塗布されたはんだの厚みとして、クリームはんだ印刷におけるマスク厚を取得し、記憶しておく。検査対象の基板のマスク厚から、基板面に平行な断層のうち検査対象とする高さ方向の範囲を設定し、その断層数Ｎを特定する（Ｓ８０１）。Ｘ線検査装置は、各断層について検査ウィンドウ中のはんだの面積Ｓおよび真円度Ｔを計測し（Ｓ８０７〜Ｓ８１９）、その最小値がいずれも基準値以上である場合にはその検査ウィンドウのはんだ付けが良好と判定し（Ｓ８２１、Ｓ８２３）、一方でも基準値を下回ったら不良と判定する（Ｓ８２１、Ｓ８２３）。 （もっと読む）

【課題】屈折コントラスト法に替わるＸ線撮像装置およびＸ線撮像方法を提供する。
【解決手段】被検知物によるＸ線の位相変化を用いて撮像するＸ線撮像装置であって、Ｘ線発生手段１０１から発生したＸ線を空間的に分割する分割素子１０３と、分割素子により分割されたＸ線の入射により第１の蛍光を生じる第１の蛍光体が複数配列された第１の蛍光体アレイ１０５と、第１の蛍光体アレイを透過したＸ線の入射により前記第１の蛍光とは異なるスペクトルを有する第２の蛍光を生じる第２の蛍光体が複数配列された第２の蛍光体アレイ１０６と、前記第１の蛍光と前記第２の蛍光を検出する検出手段１０７と、を有し、第２の蛍光体は、前記Ｘ線の入射位置の変化に応じて蛍光の発光量が変化する発光量勾配を有する。 （もっと読む）

【課題】海上や河川上に設けられたコンクリート構造物の内部状態を容易に非破壊検査する。
【解決手段】船体本体１と、検査線発生部５と、該検査線発生部５から入射した中性子線を検査対象物Ｒに対して走査状に照射する照射手段６と、中性子線が検査対象物Ｒによって回折されて得られる回折中性子線を照射手段６の走査位置に応じて検出する検出手段８と、該検出手段８から入力される回折中性子線の検出信号に基づいて検査対象物Ｒの走査位置における物質の格子定数ｄを算出する格子定数算出手段９と、各走査位置における検査対象物Ｒの格子定数に基づいて検査対象物Ｒの内部状態を可視化する可視化手段９とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 ２次元平面におけるナノサイズの粒子の大きさを測定するとともに、その粒子の２次元平面での平面的分布を測定するＸ線小角散乱測定装置を提供する。
【解決手段】本発明によれば，Ｘ線を放射するＸ線源と、Ｘ線源から放射されるＸ線を、単色化された平行光にして出射させるモノクロメーターと、出射されるＸ線が線状領域を照射するように、モノクロメーターのＸ線の出射領域を規定するスリットと、試料を搭載可能な平面ステージを前記試料がＸ線に照射される位置に搬送する搬送部と、Ｘ線の照射をうけた前記試料の線状領域から散乱されて形成されるＸ線散乱像を検出する２次元型検出器と、
を備え、前記搬送部が前記線状領域の長手方向と交差する方向に前記平面ステージを搬送するＸ線小角散乱測定装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線を照射することによるＩＣ等の被検査物の破損を確実に防止することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物ＷへのＸ線の累積照射量を測定もしくは推定して記録するＸ線累積照射量記録手段を備えた構成とすることにより、例えば累積照射量があらかじめ設定している限界量に到達した時点で自動的にＸ線の照射を停止する等によって、検査自体による不良品の発生を防止し、良品に混入することを防止する。 （もっと読む）