【課題】 ２次元のトールボット・ロー干渉法を用いた撮像装置における照射光度を向上させること。
【解決手段】 被検知物を撮像する撮像装置は、光源部１１０と、光源部からの光を回折する回折格子２１０と、前記回折格子を経た光を検出する検出器と、を備える。
光源部１１０は、回折格子２１０により回折されることで第１の干渉パターンを形成する光を出射する複数の第１の光出射部と、回折格子により回折されることで第２の干渉パターンを形成する光を出射する複数の第２の光出射部と、を有する。複数の第１の光出射部と複数の第２の光出射部は、第１の干渉パターンと第２の干渉パターンの少なくとも一部が重なり、且つ、第１の干渉パターンの明部と第２の干渉パターンの明部が異なる位置に形成されるように配置されているため、第１の干渉パターンと第２の干渉パターンによって、合成パターンが形成される。 （もっと読む）

【課題】ＬＮＧオープンラック式気化器の伝熱管内部欠陥の有無を診断する方法を提供するものである。
【解決手段】ＬＮＧオープンラック式気化器内部欠陥の有無を判断する上で、伝熱管ヘッダー内部に備えられたスパージ管ガス抜き穴のうち、上向きの穴にもっとも近く設置された伝熱管付け根部を撮影開始部位として選択し、マイクロフォーカスＸ線により当該付け根部の傷を撮影し、映像から傷の有無を確認し、内部欠陥状況を確認する診断方法。 （もっと読む）

【課題】面方位測定とノッチ方位測定の両方を１つの測定で同時に行うことができるようにする。
【解決手段】Ｘ線源Ｆからの連続Ｘ線を平行化して単結晶試料位置へ導くコリメータ３３と、試料の格子面（００１）に対応したラウエ像を検出できる第１位置に配置された第１の２次元検出器３１と、試料の格子面（ｈｈｌ）に対応したラウエ像を検出できる第２の位置に配置された第２の２次元検出器３２と、第１の２次元検出器３１の出力に基づいて格子面（００１）の法線ベクトルＶ_００１を演算し、第２の２次元検出器３２の出力に基づいて格子面（ｈｈｌ）の法線ベクトルＶ_ｈｈｌを演算し、ベクトルＶ_００１とベクトルＶ_ｈｈｌとに基づいて方位マークの方向を演算する演算装置とを有するＸ線結晶方位測定装置である。２つの格子面（００１）及び（ｈｈｌ）は方位マークを付けようとしている結晶方位を晶帯軸とするときにその晶帯軸に属する格子面である。 （もっと読む）

【課題】二重エネルギ計算機式断層写真法（ＣＴ）でのエネルギ分離を拡大する。
【解決手段】イメージング・システム（１０）が、Ｘ線のビーム（１６）を撮像対象（２２）へ向けて放出するＸ線源（１４）と、対象（２２）によって減弱されたＸ線（１６）を受光する検出器（１８）と、Ｘ線源（１４）と対象（２２）との間に配置されるスペクトル・ノッチ・フィルタ（１５）と、検出器（１８）に接続されて動作するデータ取得システム（ＤＡＳ）（３２）と、ＤＡＳ（３２）に接続されて動作するコンピュータ（３６）とを含んでおり、コンピュータ（３６）は、第一のｋＶｐ（１０４）において第一の画像データセットを取得し、第一のｋＶｐ（１０４）よりも大きい第二のｋＶｐ（１０８）において第二の画像データセットを取得して、第一の画像データセット及び第二の画像データセットを用いて対象（２２）の画像を形成するようにプログラムされている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査を効率的に実施することができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】開始位置である第1開始ポイントおよびその後の観察ポイントの相対位置が、第２〜第１０開始ポイントおよびその後の観察ポイントの相対位置と同じである場合において、第1開始ポイント、その後の観察ポイント（ここでは縦・横の送り量）および第２〜第１０開始ポイントをそれぞれ設定して登録する。このように、第２〜第１０開始ポイントの後の残りの観察ポイントを登録せずとも、登録された第1開始ポイント、その後の観察ポイントおよび第２〜第１０開始ポイントに基づいて、当該残りの観察ポイントを演算することが可能であり、必要である第1開始ポイント、その後の観察ポイントおよび第２〜第１０開始ポイントのみを登録すれば、Ｘ線検査を効率的に実施することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の電位コントラスト像から配線のコントラストを簡便かつ正確に認識し、抽出することのできる半導体装置のコントラスト画像処理方法、処理装置、処理プログラムを提供する。
【解決手段】解析装置から得られた半導体装置のコントラスト像をコントラスト像に合わせて自動的に減色する減色処理と、減色されたコントラスト像に含まれる画素をあらかじめ設定したコントラスト閾値を基準に分類し、複数のコントラストに分別された配線パターンを抽出する配線コントラスト抽出処理と、配線パターンの輪郭部分に含まれるノイズを輪郭部分のシフトにより除去するシフト処理と、を含み、解析装置から得られた半導体装置のコントラスト像に含まれる配線パターンを所定のコントラストに区分して抽出する。 （もっと読む）

【課題】プレ撮影と本撮影との間での格子位置の変動によるアーチファクトの発生を防止する。
【解決手段】被検体を配置しない状態でのプレ撮影時に生成される第１の位相微分像と、被検体を配置した状態での本撮影時に生成される第２の位相微分像とについて、値がπ／２から−π／２、または−π／２からπ／２に変化する境界線を求め、所定方向に境界線を通過するたびにπまたは−πずつ変化する第１の階段状データと第２の階段状データとそれぞれを作成する。第１の位相微分像に第１の階段状データを加算して第１の加算済位相微分像を生成し、第２の位相微分像に前記第２の階段状データを加算して第２の加算済位相微分像を生成する。第２の加算済位相微分像から第１の加算済位相微分像を減算して補正済位相微分像を生成する。 （もっと読む）

【課題】容器中の二相流状態における液膜厚さの分布情報を求めるために、ＣＴ画像により計測領域を２次元又は３次元の連続的情報として得る。ＣＴ装置での時間平均画像において液膜厚さを評価しようとした場合に、液膜分布を計測するために液膜の真値との相関関係を把握することが必要となる。
【解決手段】被検体を透過するエネルギーを持つＸ線源と、透過Ｘ線を検出する検出器と、被検体の全周方向からの透過データが取得可能な機構とからなるＸ線ＣＴ装置と、該被検体内の容器表面の液膜厚さを計測可能な厚さ計測器を少なくとも１つ有し、Ｘ線ＣＴ装置が取得するＣＴ画像において厚さ計測器の計測位置と対応する箇所の液膜厚さを、厚さ計測器の計測値によりキャリブレーションを実施し、ＣＴ画像から液膜厚さを算出する。 （もっと読む）

【課題】電子線を照射した試料からの特性Ｘ線を回折させてスペクトルを採取するシステムにおいて、採取スペクトルの各ピークが、測定対象であるか、カソードルミネッセンスや高次線の複合ピークであるかの情報を提供する。
【解決手段】試料に対して電子線を照射する電子線照射部１０と、電子線が照射された前記試料から放出される特性Ｘ線を受けて回折Ｘ線を生じさせる回折格子５０と、前記回折格子で生じた回折Ｘ線を検出するイメージセンサ６０と、前記回折Ｘ線のイメージのエネルギー分散方向を測定長手方向として前記イメージセンサに隣接して配置され、エネルギー設定範囲において前記回折Ｘ線を検出するシンチレーションカウンタ７０と、前記イメージセンサで検出された前記回折Ｘ線のスペクトルを分析すると共に、前記シンチレーションカウンタの検出結果を参照し、前記スペクトルのピークの内容を分析する分析部８０とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、簡易な構造で、被検査物の高さに応じて被検査物が検査室の開口部を通過するときに必要となる力を変化させることができ、被検査物が検査室の開口部を通過しやすくすることができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】本発明に係るＸ線検査装置は、商品９００に検査室内でＸ線を照射して検査を行い、検査室の開口部にＸ線の漏洩を防止するＸ線漏洩防止カーテン５００を備える。Ｘ線検査装置は、閉状態のときにＸ線漏洩防止カーテン５００が開口部を閉塞し、開状態のときに商品９００が開口部を通過する。Ｘ線漏洩防止カーテン５００は、商品９００を水平に搬送するベルトコンベアの搬送面８１０に対して垂直方向に設けられた第１の回動軸５３０を中心に回動する第１の回動板５１０と、第１の回動軸５３０の上方に設けられた第２の回動軸５４０を中心に回動する第２の回動板５２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 硬Ｘ線やγ線等の放射線を高感度で検出することができ、位置分解能及び計数率特性に優れた、新規な放射線画像検出器を提供することを目的とする。
【解決手段】 入射した放射線を紫外線に変換するシンチレーターと、紫外線を電子に変換し、かかる電子をガス電子雪崩現象を利用して増幅し、検出するガス増幅型紫外線画像検出器とを組み合わせた放射線画像検出器であって、シンチレーターがＮｄ、Ｅｒ及びＴｍから選ばれる少なくとも１種の元素を含有するＬｉＬｕＦ_４結晶であり、ガス増幅型紫外線画像検出器が、ヨウ化セシウムやテルル化セシウムなどの紫外線を電子に変換する光電変換物質、電子をガス電子雪崩現象を利用して増幅するガス電子増幅器、及び増幅機能と検出機能を有するピクセル型電極より構成されることを特徴とする放射線画像検出器である。 （もっと読む）

【課題】電子線を照射した試料からの特性Ｘ線を回折させてスペクトルを採取するシステムにおいて、採取スペクトル中にカソードルミネッセンスが含まれているかを検出し、除去する。
【解決手段】試料に対して電子線を照射する電子線照射部と、電子線が照射された前記試料から放出される特性Ｘ線を受けて回折Ｘ線を生じさせる回折格子と、前記回折格子で生じた回折Ｘ線を検出するイメージセンサと、前記イメージセンサで検出された前記回折Ｘ線の採取スペクトルを分析してエネルギー分布スペクトルを生成する分析部と、前記エネルギー分布スペクトルのベースラインを抽出するベース抽出部と、前記ベースラインの傾きから前記エネルギー分布スペクトルに含まれるカソードルミネッセンス成分を抽出するカソードルミネッセンス抽出部と、を備え、前記分析部は、抽出された前記カソードルミネッセンス成分を前記エネルギー分布スペクトルから除去する。 （もっと読む）

【課題】被選別物を選別する精度の向上を図ることができる選別装置を得る。
【解決手段】選別装置１において、一体型検出装置９の第１検出部は、あらかじめ設定された第１検出領域７を被選別物２，３が通過することにより、被選別物２，３の状態を検出する。第１ガス噴射装置１０は、除去すべき被選別物３を吹き飛ばすためのガスを、第１検出部による検出結果に応じて、第１噴射ノズル１０ａから選択的に噴射することにより、第１検出領域７を通過した被選別物のうち、一部の被選別物を除去する。第２ガス噴射装置１２は、除去すべき被選別物３を吹き飛ばすためのガスを第２噴射ノズル１２ａから選択的に噴射することにより、第１噴射ノズル１０ａの位置を通った被選別物のうち、一部の被選別物を除去する。 （もっと読む）

【課題】パイプの放射線透視像のうちのパイプを横断する方向の輝度プロファイルを使用してパイプの外径点及び内径点を精度よく推定し、パイプ厚みを正確に計測可能にする。
【解決手段】計測対象のパイプの放射線透視像のうちのパイプを横断する方向の輝度プロファイルを取得し、この輝度プロファイルに基づいてパイプの外径点を推定する（ステップＳ１０〜Ｓ４０）。その後、推定された２つの外径点の内側の領域を設定して輝度プロファイルをセクター分割し、このセクター分割された輝度プロファイルに基づいてパイプの内径点を推定する（ステップＳ５２〜Ｓ６０）。特に、内径点推定時に、パイプの２つの外径点の内側の所定の領域に対応する輝度プロファイル（即ち、内径点の推定に関係しない情報が排除された輝度プロファイル）に基づいて内径点を検出するようにしたため、内径点推定を精度よく行うことができるようにしている。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、ＴＥＭ画像形成の質を改善することである。
【解決手段】
透過型電子顕微鏡の検出器システムにおいて、画像取得期間の間に、画像データがピクセルから読み出され、分析される。画像取得プロセスは、分析結果に基づいて修正される。例えば、分析は、チャージングやバブル形成の画像アーチファクトのデータへの混入を示す。そして、アーチファクトを含むデータは、最終画像から取り除かれる。ＣＭＯＳ検出器は、高速なデータレートで選択的にピクセルを読み出し、リアルタイムの適応画像処理を提供する。 （もっと読む）

【課題】隣接する小グリッドのグリッド部の間隔が、Ｘ線画像検出器の１画素のサイズ以下となるように、複数枚の小グリッドを配列する。
【解決手段】第２のグリッド１４は、小グリッド２１、２２により構成されている。小グリッド２１、２２は、グリッドとして機能するグリッド部２１ａ、２２ａと、グリッド部２１ａ、２２ａの外周に設けられグリッドとして機能しない非グリッド部２１ｂ、２２ｂとを有している。小グリッド２１、２２は、一方のグリッド部及び非グリッド部と他方の非グリッド部及びグリッド部とが互いに重なり合い、ｚ方向から見たときにそれぞれのグリッド部と非グリッド部との境界が一致し、かつ２つのグリッド部２１ａ，２２ａが連続して１枚の大きなグリッド部を構成するように接合されている。 （もっと読む）

【課題】プレ撮影と本撮影との間での格子位置の変動によるアーチファクトの発生を防止する。
【解決手段】被検体を配置しない状態でプレ撮影を行った後、被検体を配置して本撮影を行う。Ｘ線画像検出器で取得された複数の縞画像に基づき、数式（Ａ）及び（Ｂ）を用いて、プレ撮影時に第１の位相微分像ψ_α１（ｘ，ｙ）及びψ_β１（ｘ，ｙ）を算出し、本撮影時に第２の位相微分像ψ_α２（ｘ，ｙ）及びψ_β２（ｘ，ｙ）を算出する。そして、画素ごとに、ψ_α２（ｘ，ｙ）−ψ_α１（ｘ，ｙ）とψ_β２（ｘ，ｙ）−ψ_β１（ｘ，ｙ）とを算出し、両者から絶対値の小さい方を選択することにより、補正済位相微分像を生成する。


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【課題】放射線検査装置の放射線源と放射線検出器とのアライメントについて、その装置の再組立て時に分解前のアライメントに極力合わせて再現する。
【解決手段】放射線源１０１と検出器１０３とが、被検体の配管２１５を挟んで対向した位置に配置され、放射線源１０１からの放射線が配管２１５を透過し、その透過放射線を検出器１０３にて検出する放射線検査装置において、放射線源１０１と検出器１０３間の距離を距離計測器１０７ａ，１０７ｂ，１０７ｃで計測し、この計測量から放射線源１０１と検出器１０３の相対位置を導出して、これを初期値とし、放射線検査装置を検査現場で再組立て時に前記距離の計測と同じ方法にて前記距離を再計測し、再計測による前記相対位置と前記初期値との差分量を導出し、その差分量に基づいて前記放射線源と前記検出器間の相対位置関係を位置調整機構１０５で調整する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の被検知物による吸収情報と位相情報とを、分離して独立した情報として取得するＸ線装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線装置であって、Ｘ線発生手段から発生したＸ線を空間的に分割する分割素子と、分割素子により分割され、被検知物を透過したＸ線の位相変化によるＸ線の位置変化量を、Ｘ線または光の強度変化量に換えて、Ｘ線または光の強度を検出する検出手段と、検出手段から得られたＸ線または光の強度から被検知物の吸収情報であるＸ線透過率像と、位相情報であるＸ線微分位相像またはＸ線位相シフト像を演算する演算手段と、を有し、分割素子は、Ｘ線を分割することにより検出手段において２以上の幅を有するＸ線を照射する構成を備え、演算手段は、検出手段におけるＸ線の位置変化量とＸ線または光の強度変化量との相関関係が２以上の幅を有するＸ線間で異なることに基づいて演算する構成を備えている。 （もっと読む）

【課題】蛍光X線二次元分析のための、空間分解能の高いＸ線用二次元分光素子及び二次元分布測定装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線用二次元分光素子は分光素子を二次元に配置し、１つの面がＸ線入射面、他方の面がＸ線出射面となり、内面にＸ線分光用多層膜をもつ複数のセルがＸ線入射面からＸ線出射面に延びているので、Ｘ線入射面から入射した二次元X線の回折X線が入射Ｘ線の位置分解能を保ったままＸ線出射面から出射し、高い空間分解能の二次元分布画像を得ることが可能となる。 （もっと読む）