【課題】 複数のＸ線ビームを出射させるＸ線源を用いたＸ線撮像装置であって、干渉パターンの不均一さを軽減することを目的とする。
【解決手段】 Ｘ線撮像装置は、電子源とターゲットとを有するＸ線源と、Ｘ線源からのＸ線を回折する回折格子と、遮蔽格子からのＸ線を検出する検出器と、を備える。Ｘ線源のターゲットは複数の凸部を有し、複数の凸部の各々は出射面を有する。出射面は、電子源からの電子線が入射することにより、回折格子へ向かうＸ線を出射する。出射面から出射されたＸ線は、回折格子で回折されることにより、干渉パターンを形成する。ターゲットの複数の凸部は、複数の干渉パターンの明部同士及び暗部同士が互いに重なるように配列されていて、複数の出射面の各々と回折格子との距離が互いに等しいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子線を照射した試料からの特性Ｘ線を回折格子により回折させてイメージセンサでスペクトルを採取するシステムにおいて、幅広いエネルギー領域の測定を行う。
【解決手段】試料に対して電子線を照射する電子線照射部と、電子線が照射された前記試料から放出される特性Ｘ線を受けて回折Ｘ線を生じさせる回折格子と、前記回折Ｘ線のエネルギー分散方向と直交方向の複数の位置に前記回折Ｘ線の結像面を振り分けるように前記回折Ｘ線の進行を振り分けるスプリッタと、前記スプリッタにより振り分けられた複数の結像面のそれぞれに配置された異なるエネルギー感度特性の複数のイメージセンサと、を有する。 （もっと読む）

【課題】 特別な構成を設けることなくＸ線曝射の開始及び停止において生じる遅延時間を簡易で安価に測定する技術を提供する。
【解決手段】 Ｘ線を曝射してＸ線画像を取得するＸ線撮影装置は、Ｘ線を出力する出力手段と、出力手段に制御信号を供給してＸ線出力に係る動作を制御する制御手段と、出力されたＸ線を検出して電荷を蓄積する複数の検出素子を備えた検出手段と、複数の検出素子を一定の速度で順に走査して、各検出素子に蓄積された電荷を読み出す読出手段と、各検出素子の電荷を画素値に変換して画像を生成する生成手段と、生成した画像を解析して、制御信号の出力に対する、出力手段のＸ線出力に係る動作の遅延を測定する測定手段とを備える。出力手段は検出手段が備える各検出素子に対して一定強度のＸ線を出力し、測定手段は、画像において画素値の変化が存在する領域と存在しない領域との境界の位置と、走査の速度とに基づいて遅延を測定する。 （もっと読む）

【課題】再構成画像の偽像や像の欠落を大きく低減し、再構成の精度を向上するとともに、複数成分で構成されている観察対象物に対しても、構造物の組成数が未知である試料に対しても適用できる画像処理を提供すること。
【解決手段】観察対象物を傾斜する傾斜装置と撮像装置を有した電子顕微鏡において、該観察対象物をある角度ステップで傾斜し、得られた傾斜画像を格納する手段、該傾斜画像の位置を合わせる手段、該傾斜画像を元に初期再構成画像を生成する手段、該初期再構成画像を任意の角度に投影し複数枚の投影画像を生成する手段、上記傾斜画像と上記投影画像との対応するピクセルの誤差を演算する手段、該誤差から処理の優先度を決定する手段、階調レベル毎に密度を演算する手段、該密度から処理の優先度を決定する手段、更に上記それぞれの優先度で上記初期再構成画像の各ピクセルの濃度値を変化させる手段を備えた画像処理装置。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線の吸収効果を考慮した被検知物の位相変化に関する像を得ることのできるＸ線撮像装置および撮像方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線を空間的に分割する分割素子と、遮蔽素子を複数有する遮蔽手段を有する。また、第１の検出画素と第２の検出画素を含む画素群を複数有する検出手段を有する。第１の検出画素で検出されるＸ線は前記遮蔽素子によりＸ線の一部が遮蔽されるように構成されている。第１の検出画素と隣り合う第２の検出画素で検出されるＸ線は遮蔽素子によりＸ線が遮蔽されないように構成されている。 （もっと読む）

【課題】支持基板上に複数枚の小格子を配列した回折格子を湾曲させた際に、湾曲の際の応力が集中する応力集中線によって支持基板が折れるのを防止する。
【解決手段】第２の回折格子１３を円筒状に湾曲させる際に応力が集中する支持基板２１の応力集中線Ｆに、少なくとも１枚の小格子が重なるように複数枚の小格子２２ａ〜２２ｄを配列する。これにより、応力集中線Ｆにおける支持基板２１の剛性が向上するので、応力集中線Ｆにおいて支持基板２１が折れるのを防止することができる。更に、小格子間の境界、例えば小格子２２ａ及び２２ｂの境界Ｕ１と、小格子２２ｃ及び２２ｄの境界Ｕ２とが応力集中線Ｆ方向において一致しないように、複数枚の小格子２２ａ〜２２ｄを支持基板２１上に配列することで、応力集中線Ｆ以外で支持基板２１が折れるのも防止することができる。 （もっと読む）

【課題】構造が簡易で、大視野化が容易となり、さらにはコスト低減が可能になるＸ線撮像装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１０は、必要量のＸ線を、格子２０に向けて照射する。格子２０は、格子２０に向けて照射されたＸ線を回折することにより、格子２０の自己像を形成する。Ｘ線画像検出器３０は、格子２０により回折されたＸ線を検出する。かつ、Ｘ線画像検出器３０は、自己像が形成される位置又はその近傍に配置されている。Ｘ線源１０と格子２０との間隔R₁と、格子２０とＸ線画像検出器３０との間隔R₂とは、所定の条件を満足している。さらに、画像検出器３０における空間分解能と、自己像の周期とも、所定の条件を満たしている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線回折装置において異なる波長のＸ線に基づいた測定データを１回の測定によって同時に取得できるようにする。異なる波長の回折線のデータを２次元検出器の受光面の全領域を使って取得することを可能とする。
【解決手段】Ｘ線発生源２から発生した特性Ｘ線を試料３に照射し、試料３で回折した特性Ｘ線をＸ線検出部器６のＸ線検出部１３によって検出する波長分別型Ｘ線回折装置１である。Ｘ線発生源２は、原子番号が異なる複数の金属によって構成され、それぞれの金属から互いに波長が異なる複数の特性Ｘ線を発生する。Ｘ線検出部１３は、それぞれがＸ線を受光してＸ線の波長に対応したパルス信号を出力する複数のピクセル１２で構成される。ピクセル１２のそれぞれに付設されておりピクセル１２の出力信号を特性Ｘ線の波長ごとに分別して出力する分別回路が設けられている。個々のピクセル１２において波長別にＸ線強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】既存のＡＳＩＣを用いて安価に広いエネルギー範囲のＸ線検出に対応できる減衰回路を提供する。
【解決手段】Ｘ線分析による検出信号を減衰する減衰回路３０であって、入射Ｘ線を検出する多チャンネル型の半導体検出器１０と入射Ｘ線の検出信号を増幅する増幅用集積回路（ＡＳＩＣ）５０との間に接続され、各チャンネルに１個ずつ設けられた複数の第１コンデンサを備える。これにより、既存のＡＳＩＣ５０を用いて安価に広いエネルギー範囲のＸ線検出に対応できる。その結果、異なる用途に対して、ＡＳＩＣ５０を設計し直して莫大な費用を浪費することがなくなる。また、使い慣れたＡＳＩＣ５０を使うことによって、開発期間を短縮できる。また、半導体検出器１０および第１コンデンサを接続する接続点とグランドとの間に接続された第２コンデンサを備えることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】試料等の機械的な回転を必要とすることなく、広い移行運動量ｑの範囲のＸ線及び中性子線の反射率曲線を短時間で測定すること。
【解決手段】湾曲結晶で構成される反射型ポリクロメータ１の湾曲面でＸ線（中性子線）を反射させて、試料Ｓの上面から見て扇型に集束されるＸ線束であって、水平方向の集束角に応じて鉛直面内でＸ線ビームと試料表面となす角度が連続的に変化するＸ線束を作成する。試料表面で反射されたＸ線強度分布を二次元検出器２で測定し、その二次元強度分布から試料表面に垂直な方向の散乱ベクトルの関数として変化するＸ線反射率曲線を求める。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、Ｘ線検査を安定させることができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】本発明に係るＸ線検査装置１００は、物品Ｂを搬送する検査テーブル７１１と、検査テーブル７１１で搬送される物品ＢにＸ線を照射するＸ線源２００と、Ｘ線源２００から照射されるＸ線を検査テーブル７１１を介して検出する第１の領域ＡＲ１と、Ｘ線源２００から照射されるＸ線を検査テーブル７１１を介さずに検出する第２の領域ＡＲ２とを有するラインセンサ４００と、検査テーブル７１１と同じ透過特性を有し、第２の領域ＡＲ２で検出されるＸ線の減衰を調整するＸ線減衰調整部４１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】層状構造を有する被検体の断面像を短い断層撮影時間で得るＣＴ装置を提供する。
【解決手段】層状構造を有する被検体５の断面像を撮影するＣＴ装置であって、回転・昇降機構７とＸ線検出器３を制御して、第一の角度範囲で回転をさせつつ第一の角度間隔毎に検出された複数の透過像を第一のスキャンデータとして取り込んで記憶する第一のスキャン、および、第二の角度範囲で前記回転をさせつつ第一の角度間隔より小さな第二の角度間隔毎に検出された複数の透過像を第二のスキャンデータとして取り込んで記憶する第二のスキャンを実施するスキャン制御部９ｃと、第一のスキャンデータに基づいて、層面が放射線光軸Ｌと平行となる回転位置から±６０°内にあって平行となる回転位置を包含する第二の角度範囲を設定する角度範囲設定部９ｄと、少なくとも第二のスキャンデータを用いて被検体５の断層撮影面に平行な断面像を再構成する再構成部９ｅとを有するＣＴ装置。 （もっと読む）

【課題】簡単な操作により、所要の領域のパノラマ透視像を確実に得ることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】複数の部分画像を合成してパノラマ透視像を得る機能を備えるとともに、ステージ３上の被検査物Ｗを撮影する光学カメラ５を設け、その光学カメラ５による被検査物Ｗの外観像を表示器１５に表示し、その外観像上に、得るべきパノラマ透視像の領域を枠で指定することにより、ステージ３とＸ線発生装置１およびＸ線検出器２の相対位置を移動させる移動機構４を自動的に駆動し、所定の透視倍率にしたうえで指定された枠内の領域を順次撮影して複数の部分画像を取得し、これらを合成して指定された領域のパノラマ透視像を構築することで、パノラマ透視像の撮影のための設定操作を容易化する。 （もっと読む）

【課題】放射線のイメージングのための装置において、個々のタイルを相互に、そしてマスタの支持平面に対して正確に装着しやすくするための方法を提供する。
【手段】放射線のイメージングのための装置であって、放射線検出器セルのアレイを有しているイメージング・デバイスをそれぞれが含み、組み合わされてイメージングアレイを形成する複数のタイルと、複数の前記タイルをそれぞれ支持している二つまたはそれ以上のモジュールと、前記二つまたはそれ以上のモジュールを支持しているモジュール支持構造とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 検出器の劣化のバラツキを抑制する。
【解決手段】 対象物（１０）に照射され、対象物を透過した放射線を検出器（３０）で検出する撮像動作を行うことにより、対象物に応じた放射線データを得る放射線撮像方法であって、撮像動作を複数回行った後において、検出器内の複数の検出領域（Ａ１１〜Ａ１４）のそれぞれに到達する放射線量（例えば、合計の放射線量又は、放射線量の平均値）が基準値に向かうように、対象物のうち、各検出領域に到達する放射線が透過する領域（Ｒ１〜Ｒ３）の厚さを変えながら、複数回の撮像動作を行う。 （もっと読む）

【課題】層状構造を有する被検体の断面像を短い断層撮影時間で得るＣＴ装置を提供する
【解決手段】層状構造を有する被検体の断面像を撮影するＣＴ装置であって、Ｘ線管１により発生して被検体５を透過した放射線光軸Ｌを中心とするＸ線ビーム２を検出して透過データとして出力するＸ線検出器３と、被検体５とＸ線ビーム２とに放射線光軸Ｌを横切る方向の相対的な平行移動を与える平行移動機構７と、被検体５の撮影する層状構造の層面が放射線光軸Ｌに平行でかつ平行移動の方向に交差する姿勢で、平行移動をする間に所定の移動間隔毎に検出された透過データのみから放射線光軸Ｌと平行移動の方向で規定されるファン面に対する被検体５の断面像を再構成する再構成部１１ｅとを有することを特徴とするＣＴ装置。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線分析装置において湾曲モノクロメータ等といったＸ線光学要素を用いる場合と用いない場合とで、Ｘ線管等といったＸ線光学機器の位置及び角度を簡単な操作だけで適正な状態に正確に設定できるようにする。
【解決手段】試料Ｓに照射されるＸ線を発生するＸ線管２７と、Ｘ線管２７を保持するＸ線源アーム３と、Ｘ線管２７が回転自在に取付けられＸ線源アーム３上を移動可能である可動部材１８と、可動部材１８を移動させるネジ軸２１と、試料Ｓが置かれる位置へ向かって可動部材１８と共に移動するＸ線管２７が当接する第１の位置決め部材２８ａと、試料Ｓが置かれる位置から遠ざかる方向へ可動部材１８と共に移動するＸ線管２７が当接する第２の位置決め部材２８ｂとを有しており、第１及び第２の位置決め部材はＸ線管２７をＸ線源アーム３に対する互いに異なる角度で位置決めする。 （もっと読む）

【課題】測定対象物から放出された光電子のエネルギースペクトルを短時間に正確に取得することができるＸ線光電子分光装置およびＸ線光電子分光方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１０から出力されたＸ線３の照射により測定対象物２で発生した電子４が電子レンズ２０およびエネルギー分析器３０を経て検出器４０に到達したときに検出器４０により得られたエネルギースペクトルを、電子レンズ２０による電子４の減速が調整されて測定対象物２のフェルミ準位よりも低束縛エネルギー側にある禁止帯に相当する帯域のものとして検出器４０により得られたエネルギースペクトルに基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、撮影装置に対する配管の位置の特定が困難な場合であっても、撮影装置に対する配管の中心軸位置の特定し、画像再構成演算時間の増大を抑制することができる配管検査装置および配管検査方法を提供することである。
【解決手段】配管を挟んで放射線源と放射線検出器を対向配置して前記配管の長軸方向に走査し、前記放射線検出器の照射位置から放射線を前記配管に照射し撮影して得られた前記配管の透過データから、前記配管の断層像または立体像を構築する配管検査において、少なくとも1つの前記配管の透過データから配管のエッジ位置を特定し、前記配管のエッジ位置、前記配管の形状情報、及び前記照射位置と前記放射線検出器の検出素子との距離に基づいて、前記照射位置からの前記配管の中心軸位置を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
X線マイクロビーム分析装置において、より簡便な方法でX線マイクロビームの試料上での照射位置を目視観察しながらX線マイクロビーム分析を行えるＸ線分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
Ｘ線源とＸ線が照射される試料台との間にＸ線透過部を有する反射ミラーを有し、前記Ｘ線源と反射ミラーの間に、Ｘ線集光用光学素子を有するＸ線分析装置。 （もっと読む）