【課題】二次イオン質量分析における一次イオンエネルギー補正方法に関し、実効的な一次イオンエネルギーを簡便かつ精確に把握し、装置上の設定値からのずれを補正する。
【解決手段】標準試料を用いて二次イオン質量分析により求めた深さ方向元素分布におけるプロファイルシフト量の一次イオンエネルギー依存性を標準チャートとして予め求め、測定対象試料を用いて深さ方向元素分布を求める際に、標準試料を用いて求めた深さ方向元素分布におけるプロファイルシフト量の一次イオンエネルギー依存性を実測前に求め、前記標準チャートのプロファイルシフト量の一次イオンエネルギー依存性と前記実測前に求めたプロファイルシフト量の一次イオンエネルギー依存性との差分から一次イオンエネルギーのエネルギーずれを求め、前記求めたエネルギーずれを基にして前記測定対象試料を用いて深さ方向元素分布を求める際の一次イオンエネルギーを補正する。 （もっと読む）

【課題】大口径の配管を現地で非破壊検査ができる配管の断層撮影装置およびその制御方法を提供する。
【解決手段】配管検査装置本体１００は、放射線源１と２次元放射線検出器２を対向配置する支持装置３と、軸方向駆動機構１９と、支持装置３を介して、放射線源１と２次元放射線検出器２を、配管横方向に並進移動させる横方向駆動機構１７，１８を備えている。制御コンソール２３において、軸方向駆動機構１９による並進走査の距離を設定するとともに、横方向駆動機構１７，１８の並進移動の横方向最大移動距離を設定する。また、横方向駆動機構１７，１８による配管横方向の並進移動の間隔を、２次元放射線検出器２の配管横方向の幅と、放射線源１と２次元放射線検出器２間の距離と、放射線源１と配管１５の放射線源１側表面までの所定距離とにもとづいて決定する。 （もっと読む）

【課題】リサイクル樹脂の臭素濃度を精度良く測定する。
【解決手段】少なくとも樹脂片を含む分別対象物を重ならずに移動させる搬送装置と、複数の分別対象物に同時にＸ線あるいは電子線を照射する照射線発生装置と、複数の樹脂片中の臭素から同時に放出される蛍光Ｘ線を検出する検出装置と、検出された蛍光Ｘ線のデータを処理するデータ処理部と、該データ処理部からの信号に基づいて臭素濃度を測定する臭素濃度測定装置であって、前記データ処理部は、検出された蛍光Ｘ線のデータを樹脂片の所定単位毎に積算するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェーハ上の欠陥の分析に特に有利であり、自動化による製造プラント内でのウェーハのインライン検査に適するシステムを提供する。
【解決手段】 バックグラウンドに起因するｘ線信号を定量的に考慮する欠陥のＥＤＸ自動分析用システムを用いる。本システムは、バックグラウンドと欠陥のｘ線サンプリングに適切な場所を自動的に同定することができる。本システムは、また、バックグラウンドに起因し欠陥に起因しない信号を効果的に、かつ定性的ではなく定量的に除去することができる。『微量分析』と呼ばれる有利な特徴が本システムのスループットを高くすることを可能にする。 （もっと読む）

【課題】異物を精度良く識別する適切な画像処理フィルタを自動的に設定することができるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】目印６１に対応する所定の画像パターンを目印情報として予め記憶する目印情報記憶手段４３と、濃淡画像と、目印情報記憶手段４３に記憶された目印情報とに基づいて、濃淡画像から目印情報に対応する目印画像領域を抽出する目印画像抽出手段４４と、試験用異物の配列に基づいて、目印情報に対する異物検出確認位置の相対位置を表す相対位置情報を予め記憶する相対位置情報記憶手段４５と、を備え、画像処理フィルタ設定手段４８は、複数の画像処理フィルタの各画像処理フィルタごとの、異物検出確認位置算出手段４６が算出した異物検出確認位置における異物の検出状況に基づいて、異物を検出するための画像処理フィルタを少なくとも１つ設定する。 （もっと読む）

【課題】窒素濃度の高精度な分析を可能にする金属材料の窒素濃度分析方法および窒素濃度分析装置を提供する。
【解決手段】窒素濃度分析装置１０は、収容室１１、一次イオン照射装置１２、中和電子照射装置１３、連通管１４、飛行室１５および二次イオン検出装置１６を有する。収容室１１には、金属試料１７が収容される。金属試料１７の表面には、炭素系物質が付着している。一次イオン照射装置１２から金属試料１７の表面に向けてパルス状の一次イオンが照射される。これにより、金属試料１７からシアン化物イオンが放出される。金属試料１７から放出されたシアン化物イオンは、二次イオン検出装置１６において二次イオンとして検出される。 （もっと読む）

【課題】合成材料をはじめとする材料の異常の非破壊検査及び評価を行う。
【解決手段】材料と参照基準に対してコンピュータ断層スキャン等の三次元撮像スキャンを実施し、スキャニングによって生成された複数の二次元走査画面において材料の試験画像と参照基準の参照画像とを表示するステップが含まれる。参照画像は、走査画面中に配された後、正規化され、参照画像それぞれの画素値データの少なくとも平均値が算出される。試験画像の画素値データは、走査画面ごとに算出される。この試験画像の画素値データと、参照画像の画素データとの比較に基づいて、試験画像内の異常が検出される。次に、走査画面の試験画像の１つ以上において検出された異常と、材料の要求基準との比較が行われる。 （もっと読む）

【課題】検出画像を取得した被検査領域毎に閾値を最適化する手法はあるが、１枚の検出画像については１つ閾値だけを適用する。このため、１つの画像内に有意でない欠陥が含まれる場合でも、有意の欠陥と同じ感度レベルで検出される。
【解決手段】１つの検査領域内に複数の感度領域を設定して、１つの検査領域のうちＤＯＩ（Defect of interesting）が存在する領域の欠陥だけを他と区別して検出できる仕組みを提案する。具体的には、検査領域内の画像の特徴に基づいて、検査領域内に複数の感度領域を設定し、検出画像、差画像又は欠陥判定部の判定用閾値に、各感度領域の設定感度を適用する。 （もっと読む）

【課題】密閉容器においても、非破壊で、被検体の内容物と内容物表示物に記載の内容物との整合性の評価が可能な密閉容器の非破壊検査方法及び非破壊検査装置を提供すること。
【解決手段】検査対象物が密閉容器に収容された被検体に放射線を側面から照射して前記被検体を透過した放射線をイメージセンサにより検出することにより放射線の強度に応じた強度信号を得る第１の信号取得工程と、前記第１の信号取得工程により得られた前記強度信号を処理して前記被検体の検査対象物の画像情報を生成する第１の画像情報生成工程と、前記第１の画像情報生成工程により得られた前記画像情報に基づいて、前記被検体の検査対象物と前記被検体の検査対象表示物に表示された検査対象物との整合性を判断する判断工程と、を有することを特徴とする密閉容器の非破壊検査方法を使用する。 （もっと読む）

【課題】水和初期に高温養生を受けたコンクリート、モルタル等のセメント組成物を用いた硬化物において、供用後生じる恐れがあるエトリンガイトの遅延生成の発生有無を粉末Ｘ線回折によって早期に判定する方法を提供する。
【解決手段】高温養生を受ける前のセメント組成物の水和試料中のエトリンガイトの相対強度と、高温養生を受けた後のセメント組成物の水和試料中のエトリンガイトの相対強度との差が５％以下の場合に、ＤＥＦが発生しないと判断する判定方法である。 （もっと読む）

【課題】放射線源と検出器を平行移動することで検査対象の様々な角度からの透過データを取得し、このデータを再構成することで検査対象の断層像を得る検査装置では、放射線源と検出器の各検出素子とを結ぶ線分の幾何配置をあらかじめ正確に認識しなければ画像再構成ができない。さらに、検査中の装置で振動が生じた場合、画像再構成の情報がデータ取得ごとに異なり、誤差が生じる。
【解決手段】放射線源と検出器を有する検査装置において、前記放射線源と検出器間に校正用ファントムを設置し、被検体の透過データを取得するのと同期して該校正用ファントム内に有する細線の透過像を得る。この細線の透過像を用いて、データ取得時の放射線源の位置と、放射線源と検出器間の距離を導出する。この幾何配置から透過経路の補正データを算出し、これを用いて画像再構成を実施することを特徴とする撮像データ補正方法、および検査装置。 （もっと読む）

【課題】蛋白単分子等の微小標的粒子にＸ線ビームを照射するＸ線分析装置において、コンテナレス法やコンテナ法では解決が難しかった種々の技術的課題を一挙に解決する。
【解決手段】保持基板１に保持されている標的粒子Ｐの位置形状測定を行うプローブ式測定手段２と、前記プローブ式測定手段２のプローブ２ａを、標的粒子Ｐの測定が可能な位置である測定位置と、前記Ｘ線照射機構による標的粒子へのＸ線ビームの照射に干渉しない位置である退避位置との間で移動可能に保持する移動機構３と、前記保持基板１及びＸ線照射機構の相対位置を調整する位置調整機構５とを設け、前記プローブ式測定手段２で位置が特定された標的粒子Ｐに対し、前記保持基板１及びＸ線照射機構の相対位置を調整してＸ線ビームを照射できるように構成した。 （もっと読む）

【課題】撮影倍率を変更しても都度較正を行なうことなく寸法精度のよい断面像を得る。
【解決手段】撮影距離ＦＣＤと検出距離ＦＤＤを設定するシフト機構（撮影距離設定手段、検出距離設定手段）７と、第一の撮影距離ＦＣＤを設定してスキャンして得た既知の大きさの第一の基準体の第一の断面像上の大きさと、第二の撮影距離ＦＣＤを設定してスキャンして得た第一の基準体の断面像上の大きさとから、ＦＣＤ及びＦＤＤの誤差を求め較正する較正計算手段を有する。 （もっと読む）

【課題】複数の近似形状の画像パターン同士から欠陥パターンを抽出するパターン検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のパターン検査方法は、画像中に含まれる複数の画像パターン同士を各々すべて比較し、相関値マトリックスを生成して合計相関値を比較する。これにより、複数の近似形状の画像パターン同士から欠陥パターンを自動的に抽出することが可能となり、欠陥パターンの測定を効率良く、高精度に実施することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】外観からは表裏判別が困難または不可能な元素組成が表裏で異なる積層体の表裏を容易に判別できる方法を提供すること。
【解決手段】シート状非金属基材の片面上に第１の層を、その反対面上に第２の層を有する積層体の表裏を判別する方法であって、第１の層と第２の層は元素組成が相違しており、第１の層側と第２の層側とからそれぞれＸ線を少なくとも１回照射する蛍光Ｘ線分析（ＸＲＦ）を実施するに際し、第１の層と第２の層のいずれか一方にのみ含まれる元素に由来するＸ線スペクトル強度に、第１の層側からＸ線を照射して測定した場合と第２の層側からＸ線を照射して測定した場合とで有意差が生じるようなエネルギーレベルのＸ線を照射することを特徴とする、積層体の表裏を判別する方法。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも２つの元素を含む試料を調査するための分光測定方法に関する。第１のステップにおいて、未知濃度の元素を含む試料がスペクトロメータに入れられ、構成元素について試料の強度が測定され、同時に試料の濃度が決定されるか、或いは−代わりに−、既知濃度の物質を含む試料がスペクトロメータに入れられ、試料の強度が決定され、第２のステップにおいて、構成元素についての理論上の仮想強度値が計算される。第３のステップにおいて、既知濃度の、測定された標準試料から強度又は濃度値が計算される。第４のステップにおいて、計算された値を用いて理論値が調整される。第５のステップにおいて、未知濃度の前記元素を含む試料がスペクトロメータに入れられ、それぞれの元素の強度が読み取られる。 （もっと読む）

【課題】高分解能マイクロフォーカスＸ線検査システムのための、空間分解能とコントラスト分解能を同時に評価できるＸ線分解能評価用ファントムを提供する。
【解決手段】Ｘ線分解能評価用ファントムは、基板４と該基板上に設けた複数のブロック３からなり、ブロック３は、基板４に垂直な方向の高さが一定の感光性樹脂からなり、主ブロック３ａと副ブロック３ｂが基板上の一方向に交互に並列に連続して配置され、Ｘ線入射端面３ＡとＸ線出射端面３Ｂを有し、Ｘ線入射端面３Ａから入射しＸ線出射端面３Ｂから出射するＸ線の線量が全ての主ブロック３ａと副ブロック３ｂで異なるように構成する。 （もっと読む）

【課題】石膏ボード中に含まれるアスベスト含有量を精度良く、安価にまた短時間に測定可能なアスベスト分析方法及び分析試料作製方法を提供する。
【解決手段】分析対象試料である石膏ボードに水及び炭酸塩を加え、石膏ボードの主成分である硫酸カルシウムと炭酸塩とを反応させ、硫酸カルシウムを炭酸カルシウムにした後、この懸濁溶液に強酸を加え、炭酸カルシウムを溶解させ、その後この水溶液をろ過し固形分を分離し、この固形分を乾燥しＸ線回折測定用試料を得る。このＸ線回折測定用試料をＸ線回折装置で分析しアスベスト含有量を測定する。 （もっと読む）

【課題】
Ｘ線回折装置において、Ｘ線調整に要する動作量を減少させ、また、Ｘ線調整に要する調整時間を減少させる。
【解決手段】
水平ゴニオメータを備えθ−θスキャンを行うＸ線回折装置において、Ｘ線源２のＸ線放出方向と直交する方向を回転軸方向としてＸ線源を回転させる回転機構５を備えた構成とし、回転機構５によるＸ線源２の回転によってＸ線調整を行う。回転機構５はＸ線源２を回転させることによってＸ線の照射方向を変更する。Ｘ線の照射方向の変更を回転動作で行うことによって、Ｘ線調整に要する動作量、及びＸ線調整に要する調整時間を減少させる。 （もっと読む）

【課題】検査の高速化および解像性の向上の両方を同時に実現する。
【解決手段】所望の方向のビーム幅のみが小さくなるようにビーム整形を行ない、得られた楕円形状ビームを用いて長径方向にビームを走査することにより、短径方向の分解能を向上させる。 （もっと読む）