【課題】従来の吸収及び位相コントラストＸ線撮像装置では測定が難しかった骨や肺等のような大きな密度変化から生体軟部組織等のような小さな密度変化までを含むような試料を高感度に撮像・観察する。
【解決手段】Ｘ線干渉計を用いた位相コントラスト型Ｘ線撮像装置において、試料が設置された干渉計内の光路とは異なる光路に、形状及び内部密度分布が試料と類似し、且つ既知の参照体を設置する。 （もっと読む）

【課題】 一定周期で繰り返し配置される配線パターン上の特定の配線に電気的欠陥が周期的に発生しても、ボルテージコントラスト法のアレイ検査を用いて電気的欠陥を効率的に検出すること。
【解決手段】 半導体基板上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に配置された複数の配線とからなる配線不良検出用の試験構造体において、
前記絶縁膜上に一定方向に配置された複数の配線不良検知用配線からなる配線不良検知用配線群を、所定の方向に一定の周期で繰り返し配置してなると配線不良検知領域と、
前記配線不良検知用配線を延長して形成された検査用配線からなり、前記配線不良検知用配線群に含まれる前記配線不良検知用配線の本数の整数倍（０を除く）に一致しない数の前記検査用配線を含む対比区間を、所定の方向に一定の周期で繰り返し配置してなるアレイ検査領域とからなることを特徴とする配線不良検出用の試験構造体による。 （もっと読む）

原子力発電所の伝熱面の表面から物質の試料を摘出し、試料の高解像度走査電子顕微鏡/エネルギー分散型X線分光法と、試料の走査透過電子顕微鏡/制限視野電子線回折/スポット分析および元素マッピング分析との少なくとも1つを行うことをも含む、原子力発電所の伝熱面の表面上の堆積物中の結晶を分析する方法。
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【課題】基底基準吸収回折法に基づいたＸ線回折定量装置において、基底板を改良することにより安定した再現性の高い測定データを得ることができるようにする。
【解決手段】物質Ｓが無いときに基底板３１で回折した回折線の強度と、物質Ｓを透過した後に基底板３１で回折した回折線の強度とによって物質ＳのＸ線吸収量を求め、Ｘ線を用いて測定した物質Ｓの重量をその求められたＸ線吸収量に基づいて補正する基底基準吸収回折法を用いたＸ線回折定量装置である。この装置は、物質Ｓを保持するフィルタ３３と、物質Ｓに照射するＸ線を発生するＸ線源Ｆと、物質Ｓで回折した回折Ｘ線を検出するＸ線検出器２０と、フィルタ３３におけるＸ線照射面の反対側に設けられた基底板３１とを有し、基底板３１のＸ線が照射される表面は結晶の配向性が低くなる処理、例えばサンドブラスト処理、ショットピーニング処理を受けている。 （もっと読む）

【課題】メッキ中の鉛含有量を容易に検出することができる分析技術を提供する。
【解決手段】金属基材、該金属基材上にメッキされた第１の金属成分と５重量％以下の鉛を含有するメッキ層と有するメッキ標準物質を用いて蛍光Ｘ線分析を行い、検量線を作成する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビームが走査する範囲とステージ移動で定まるパスの範囲を一致させて、荷電粒子ビームの照射位置の位置ずれを防ぎ、ＴＦＴ素子（ピクセル）内の荷電粒子ビームの位置精度を高める。
【解決手段】荷電粒子ビームの照射対象をマトリックス状に配置してなる試料上で荷電粒子ビームを二次元的に走査する走査ビーム装置において、照射対象のピッチサイズに応じて、荷電粒子ビームを走査する走査領域のピッチサイズを可変とする。走査状態では、走査領域のピッチサイズの可変状態と同期してステージの送りピッチおよび送り速度を可変とする。これによって、荷電粒子ビームの照射位置の位置ずれが解消され、ＴＦＴ素子（ピクセル）内の荷電粒子ビームの位置精度を高める。 （もっと読む）

【課題】回転中心軸投影位置較正用治具の位置決めが良好でなく、そのワイヤのＸ線投影データが３６０°にわたって得られなかっても、オペレータが較正用治具を移動させる必要がなく、また、較正用治具としてワイヤの位置を特に高精度に仕上げたものを用いることなく各軸に回転中心軸投影位置の較正を行うことのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】回転テーブル３を回転させて得た回転中心軸投影位置較正用治具ＪｃのワイヤＪｗの投影データが３６０°にわたって得られなかった場合、得られているデータを三角関数で近似し、その振幅中心と位相を算出して回転中心軸Ｒの位置を近似計算し、その計算結果に基づいてステージ５を移動させてワイヤＪｗを回転中心軸Ｒに接近させ、その後に再度回転テーブル３を回転させてワイヤＪｗの投影データを採取することで、オペレータによる位置決めを必要とすることなく、自動的に３６０°分の投影データが得られる位置にワイヤＪｗを位置決めすることを可能とする。 （もっと読む）

Ｘ線撮像機器（１００）を校正するための校正装置（１４０）が開示される。校正装置（１４０）は、Ｘ線撮像機器（１００）の検出ユニット（１０８）によって基準条件下で捕捉された画像を受信する受信ユニット（２００）と、捕捉された画像を分析して利得補正情報を取得する分析ユニット（２０１）と、ヒール効果の利得補正に関しない利得補正情報に基づいて、Ｘ線撮像機器（１００）を校正するための校正情報を提供する校正ユニット（２０２）とを有する。
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【課題】電子ビームを用いて１つ又はそれよりも多くの処理条件下で多層構造からＸ線を励起する提案構造解析処理の自動最適化の方法を提供する。
【解決手段】提案構造解析処理の実行可能性を判断する方法。この処理は、多層構造からのＸ線の電子ビーム励起を伴っている。本方法は、１つ又はそれよりも多くの組の処理条件に従って多層構造のＸ線励起応答を表す予測Ｘ線データを発生させる段階を含む。Ｘ線データは、層の構造及び組成を定める構造データを用いて発生される。多層構造に対して提案構造解析処理を行う実行可能性を判断するために、構造データの変更がＸ線データに与える影響が、次に、１つ又はそれよりも多くの所定の実行可能性基準に従って解析される。 （もっと読む）

本発明は、第１ステップにおいて、分光器に既知の濃度の既知の元素の試料を配置し、試料に含まれる異なる元素の強度Ｉ１、Ｉ２．．．Ｉｎを測定し、第２ステップにおいて、試料に含まれる元素の既知の濃度Ｃ１、Ｃ２．．．Ｃｎを測定強度Ｉ１、Ｉ２．．．Ｉｎに対して関係付けるて、含まれるそれぞれの元素について１００％純粋な元素に対する仮想強度を計算する段階と、第３ステップにおいて、測定強度Ｉ１、Ｉ２．．．Ｉｎと、対応する１００％純粋な元素の計算強度との間の関係として、それぞれの元素の較正定数Ｋ１、Ｋ２．．．Ｋｎを計算する段階と、第４ステップにおいて、未知の濃度の前記元素の試料を分光器に配置し、異なる元素の強度を読み取る段階と、第５ステップにおいて、測定強度に、試料中に存在する元素の各較正定数を乗じて、直前に述べた試料中の各元素の濃度を計算する段階とによって特徴付けられる。
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【課題】表面から散乱したＸ線の検出に基づいて、試料の表面上における周期構造の寸法を測定するための、改善された方法および装置を提供する。
【解決手段】試料をＸ線解析する方法は、試料の表面上の周期構造の領域に衝突するようにＸ線ビームを方向付け、方位角の関数として散乱Ｘ線の回折スペクトルを検出するように反射モードで表面から散乱したＸ線を受け取ることを含む。回折スペクトルは、構造の寸法を決定するために解析される。
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【課題】走査型、透過型などの電子顕微鏡で使用する被観察試料の新規な調製方法を得ることを目的とする。
【解決手段】金属元素をイオンとして含む金属イオン含有液を所定濃度で溶解してなる処理水を被観察試料に噴霧または塗布し、ついでこの被観察試料の表面水を放散させることにより調整する。この調製方法によれば、前処理時における真空引きを省略できるので短時間で調製することができ、生物試料（生もの）などもくずれたりすることがなく、経時的にしかもリアルタイムで観察を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、良品から不良品への経時変化を同一試料、同一視野で追跡し、不良発生のメカニズムを観察することのできる内部構造観察用又は電子顕微鏡用の試料ホルダーを提供することにある。
【解決手段】本発明は、内部構造観察用の試料ホルダーであって、試料ホルダー本体と、複数本の探針と、試料を保持する試料保持台を有し、前記探針及び試料の少なくとも一方を移動可能とする圧電素子と、前記探針に接続され、前記試料に電圧を印加する配線を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】原子炉の停止を不要とし、経済性も高く、検査回数を増やすことやリアルタイム連続監視が可能で、より安全な原子炉運転を実現する。
【解決手段】基本的な構成は、フォトンカウンティング・イメージャーを用いて、配管外部からＸ線による放射線画像を計測、濃淡によって示される放射線強度情報から金属配管の厚みを検出、異常箇所の発見をするものである。
また、フォトンカウンティング動作のエネルギー弁別機能により、低エネルギーであることを利用して、背景雑音となる散乱線を除去する。 （もっと読む）

【課題】試料の種類及び濃度を検出しながら、外観では判断できない装置自体の性能上の
異常を、自動的かつ即座に検出することにより、より正確な試料の検査を行うことができ
る検査装置、該検査装置を用いた検査方法を提供する。
【解決手段】試料３を構成する第１の元素の種類及び濃度を検出するＸＲＦ装置１００に
おいて、試料３と、第１の元素とは異なる、種類及び濃度が既知な第２の元素から構成さ
れた基準部材４とに、１次Ｘ線２０を照射するＸ線管１と、１次Ｘ線２０の照射により、
試料３から発生する第１の元素特有の第１の２次Ｘ線２１を検出するとともに、基準部材
４から発生する第２の元素特有の第２の２次Ｘ線２２を検出する検出器５とを具備し、基
準部材４は、１次Ｘ線２０の光路上に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ネットワーク上の他のハードウェア資源を有効活用することで高処理能力の演算ＣＰＵを不要にしてコスト低減と小型化・長寿命化を図るとともに、所要の選別精度を確保し得る信頼性に優れた物品選別装置を提供する。
【解決手段】搬送路５上に検出領域１１を有しその領域を通過する物品Ｗの品質状態を表す検出信号を出力する検出手段１０と、検出信号に対し第１の演算を実行する演算手段２１ｅと、その演算結果に基づき物品Ｗに対する第１の判定結果を出力する判定手段２１ａと、検出信号をＬＡＮ上の外部のデータ処理装置５０に出力しそこで検出信号を第２の演算により処理した第２の判定結果を入力するデータ通信手段２３、２４と、第１及び第２の判定結果に基づき両判定結果の優先順位を決定する優先順決定手段２１ｃと、優先順位に従って優先されるいずれか一方の判定結果に応じて選別制御信号を生成する選別制御手段２１ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】各種材料、製品、部品よりなる被検体に、ＲｏＨＳ指令で規制対象となっている六価クロムが検出される可能性があるクロメート膜が存在する可能性の有無を、非破壊で迅速に検査・判定することが可能となる有害材料判定方法および装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線で励起した特性Ｘ線を用いてクロムの有無を検査し、クロムを検出した場合に、クロムがある特性値以下であり、アルミニウムがある特性値以上、銅がある特性値以上、亜鉛がある特性値以上、およびニッケルがある特性値以上の少なくともいずれか一つの条件が充足された場合に、クロメート膜が存在する可能性があると判定する。 （もっと読む）

【課題】基材上のメッキ膜中の検査対象元素の有無の判定や定量を可能にする標準メッキ膜試料およびこの試料を用いた新規なメッキ膜の検査技術を提供する。
【解決手段】プラスチック基材上にメッキ膜を形成した後、このメッキ膜に対し化学的および物理的損傷を実質的に与えない方法でプラスチック基材を除去して標準メッキ膜試料を得る。この標準メッキ膜試料から求めた検査対象元素の濃度と、標準メッキ膜試料から蛍光Ｘ線分析法により求めた検査対象元素の特性Ｘ線強度とから、標準メッキ膜試料中の検査対象元素の濃度と特性Ｘ線強度との関係を求め、基体上メッキ膜中の検査対象元素についての特性Ｘ線強度から、この関係を用いて、基体上メッキ膜中の検査対象元素の濃度を求める。 （もっと読む）

【課題】検量線作成治具の構造上の性能に依存せず、より高精度の水量測定が可能な、また正確な検量線の作成も可能な水量測定装置を提供する。
【解決手段】燃料電池セル等の試料に放射線を照射したときの放射線透過量を計測し、放射線透過量と水量との検量線に基づいて試料内の水量を演算する演算・制御装置を備え、反応に伴い、生成する水の測定試料内での水量を測定する水量測定装置において、演算・制御装置は、試料につき、反応開始後の放射線透過量を反応開始前の放射線透過量で除算し（ステップＳ３）、その除算結果値に基づいて試料内の水量を演算して放射線検出系の感度ムラを低減し、検量線作成治具の構造上の性能に依存せずに高精度の水量測定を可能とした。放射線透過量は複数回の計測の平均値とし（ステップＳ１）、また、計測を試料内の水量や放射線強度の安定化後に実行して更に高精度の水量測定を可能とした。試料の計測時に計測されたデータに基づいて検量線を作成し（ステップＳ４）、高精度の水量測定を可能とした。 （もっと読む）

【課題】 生産ラインにおける生産性を低下させることなく、蛍光Ｘ線分析によって高精度にはんだ成分分析を行うことができる厚さ寸法のはんだのサンプルを得る。
【解決手段】 溶解したはんだを蓄えたはんだ漕内を通過させてはんだ表層のはんだ成分を評価するためのはんだ成分評価用基板であって、基板１と、基板１のはんだ成分評価時にはんだ漕のはんだ表層側に配設される面に設けられた熱伝導体面である金属箔２とを有し、基板１の金属箔２に設けられ、はんだ表層のはんだを基板１の厚さ方向にガイドして、当該はんだを金属箔２に付着させるガイド部材３を備えている。 （もっと読む）