【課題】
本発明では装置の高精度な位置決めを可能とし、高分解能な画像再構成を得ることを目的とする。
【解決手段】
本発明は、放射線を照射する放射線源と、該放射線源から照射された放射線を検出する検出器とを備えた検査装置であって、前記放射線源と前記検出器との間に配置され、前記検出器の検出面に対して垂直方向に設けられた垂直細線を内部に備えた校正用ファントムを有したことを特徴とする。
【効果】
本発明によれば、装置の高精度な位置決めを可能とし、高分解能な画像再構成を得ることが出来る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、リアルタイムに材料を識別することを解決し、二重階調融合とカラー化などのアルゴリズムを利用して材料区分及び階調情報可視化することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る物質識別方法は、高エネルギー放射線と低エネルギー放射線とで被検体を透過させて、各画素の値が高エネルギー放射線の被検体の該当部分に対する高エネルギー透明度を示す被検体の高エネルギー透過画像と、各画素の値が低エネルギー放射線が被検体の該当部分に対する低エネルギー透明度を示す被検体の低エネルギー透過画像とを取得するステップと、各画素ごとに、高エネルギー透明度の第１の関数の値と高エネルギー透明度及び低エネルギー透明度の第２の関数の値を算出するステップと、第１の関数の値及び第2の関数の値によって特定される位置を、予め作成した分類曲線で分類し、各画素に対応する被検体の該当部分の物質のタイプを識別するステップとを含む。 （もっと読む）

本発明は、デジタル撮影測量の位置決め原理に基づいて注目対象物を撮影して複数のＸ線面状画像データを取得し、Ｘ線像の撮影時に、既知の三次元位置における複数の標識点を同時にＸ線像に撮影し、容積撮影立体画像再構成直角座標系O-XYZにおける標識点の座標とＸ線像座標系o-xyにおける標識点の座標により前記両座標系の変換関係を構築し、この変換関係によりＸ線撮影ビーム毎の進路と位置を決定し、各Ｘビームが注目対象物の全ボクセルを透過することを得、同Ｘビームの進路上のボクセルｇと画素ＧによりRadon方程式群を立ててボクセルｇの階調値を解き、コンピュータにより全ボクセルｇの階調値を算出し、ボクセルｇの階調値により注目対象物の三次元立体容積画像を再構成する、Ｘ線容積撮影による立体画像再構成方法を開示するものである。
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【課題】放射線源と検出器が取り付けられたＣ型アームの回転角度に応じて生ずる透過像の位置ずれを補正して、分解能の高い検査画像を得る。
【解決手段】 放射線源１０１と検出器１０２との間に位置させて、校正ファントム１０４を支持構造部材１０３に着脱可能に取り付け、支持構造部材の予め設定された基準回転角度において検出器により取得された透過像を基準に、異なる回転角度における透過像の位置変化を求めて回転角度と透過像の位置ずれデータをデータベース１１５ａに格納しておき、被検体の検査実行時に、画像処理手段１１５はデータベースに格納された位置ずれデータに基づいて被検体の透過データを補正して検査画像を再構成する。 （もっと読む）

【課題】廃棄物における特定の材質部分を迅速かつ分かり易く表示することにより、密閉装置内で行わなければならない有害廃棄物の弁別処理を迅速かつ正確に行うことができるようにする。
【解決手段】被検体に放射線を照射し、透視画像データを撮影する工程と、被検体容器の個体ナンバーと撮影方向とを特定する工程と、前記被検体から除去すべき材質部分を透視画像データより自動的に認識する工程と、前記被検体の撮影方向と測定結果とを同時に保存する工程と、前記被検体の個体ナンバーに対応する測定結果を適宜呼び出し、参照しながら前記被検体を分解処理する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】
電子線を用いて欠陥を検出する検査装置において、電子線を用いた場合の、試料内のチップ内の回路パターンの種類や密度の差異によって生じる検査画像のコントラストの差異を原因とした検査性能の低下を防止する。
【解決手段】
試料に荷電粒子線を走査して得られる少なくとも２つの画像を比較して試料の回路パターンの欠陥を抽出する荷電粒子線を用いた検査方法または装置であって、あらかじめ定められた幅で荷電粒子線を走査しながら試料を連続的に移動し、回路パターンの種類または密度が異なる領域では、検査条件を変えて画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線荷物検査装置の画像歪みの発生量を数値化評価して、メーカごとに異なるＸ線荷物検査装置の歪み発生量の違いの比較を可能とする。
【解決手段】寸法形状の明確な金属製歪み評価用テストチャートフレーム２００／３００を、Ｘ線荷物検査装置４００にて撮影する。測定装置１００は、その撮影画像が、実物形状に対してどの程度歪みんで撮影されているかを数値測定する。これによって、画像歪み量を明確化し、その歪み測定結果を評価する。 （もっと読む）

【課題】結晶を破壊することなく簡便に精度良く転位を評価する方法を提供する。
【解決手段】結晶試料の表面にＸ線を照射することにより、逆格子空間における結晶試料の非対称回折面からの水平方向の強度分布曲線を作成し、該強度分布曲線の半値幅により結晶試料の転位を評価する。 （もっと読む）

【課題】対象サンプルに関するX線エネルギースペクトルの放射線量子の背景補正された計数を正確かつ速く決定する方法。
【解決手段】本発明の方法は、対象サンプルから蛍光X線ビームを発生させるステップであって、前記X線ビームは、解析結晶及び検出器に入射されるステップと、前記解析結晶を、前記蛍光X線ビームに対して角度θが得られるように回転させ、前記検出器を、前記蛍光X線ビームに対して角度２θが得られるように回転させるステップと、一定の検出器角度２θで、前記検出器を用いて、パルス高分布エネルギースペクトルを測定するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】ビューポイントがＸ線画像中から逸脱することのないようにする。
【解決手段】透視Ｘ線像をＸ線光軸を中心として撮影するＸ線検出器１２とを有するＸ線測定光学系１３と、少なくともＸＹＺ方向に移動させるステージ駆動機構１６とを備えるＸ線検査装置１であって、ステージ位置データを記憶させる駆動信号発生部３６と、第一基準点画像６１ｂ及び第二基準点画像６２ｂがポインタ６３で指定されることにより、第一基準点画像６１ｂ及び第二基準点画像６２ｂの位置を含む基準点画像位置データを記憶させる基準点画像指定部３７と、異なるステージ１４の位置で記憶された２つの基準点画像位置データとステージ位置データとを用いて、Ｘ線光軸方向とステージ１４のＺ方向とのズレ量を算出する算出部３８と、軸補正を行う補正信号を駆動信号発生部３６に出力する補正信号作成部３９とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

イメージ内のウィルス顆粒の細胞内の集計及び区分をする方法である。イメージは、その中に多数の対象物を有するものを提供する。ウィルス顆粒の半径範囲を特定する。所定の半径範囲内にある半径を有する、イメージ内の円形のアイテムを同定する。所定の半径範囲から形成し得る楕円形のアイテムが同定される。同定された円形及び楕円形のアイテムをグループに振り分ける。円形及び楕円形のアイテムにおけるウィルス顆粒が同定される。例えば、かかる方法は、ＴＥＭイメージ内における、ｓｉＲＮＡ処理を施した人間のサイトメガロウィルス顆粒の細胞内における集計及び区分に使用することができる。
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【課題】ピーク測定条件で測定したネット強度とバックグラウンド測定条件で測定したバックグラウンド強度との強度比を用いて、測定値の統計変動を小さくし、分析を精度よく行うことができる蛍光Ｘ線分析装置およびその方法を提供する。
【解決手段】試料Ｓに１次Ｘ線２を照射するＸ線源１と、試料Ｓから発生する２次Ｘ線４の強度を測定する検出器８Ａ、８Ｂと、測定条件設定手段９１と、ピーク測定条件で測定したネット強度Ｉｎを記憶するネット強度測定手段９２と、バックグラウンド測定条件で測定したバックグラウンド強度Ｉｂｘを記憶するバックグラウンド強度測定手段９３と、ネット強度Ｉｎとバックグラウンド強度Ｉｂｘとの強度比を演算する強度比演算手段９４と、演算された演算値Ｉｎ／Ｉｂｘにより試料Ｓを定量分析する定量分析手段９５とを有する蛍光Ｘ線分析装置１０。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ線分析装置による半導体封止樹脂中の有害元素管理方法において、誤差の少ない測定方法を用いて管理を行なう。
【解決手段】 本発明は、半導体封止樹脂中の有害元素管理方法であって、蛍光Ｘ線分析装置により定性分析を行ない含有判定する工程と、試料の上下面を一致させてＸ線照射面全体に試料を並べる試料準備工程と、試料の一方面およびその対向面を蛍光Ｘ線分析装置により測定し定量分析を行なう工程と、前記定量分析工程から得られた２つのデータのうち共存元素の影響が少ない方の定量結果を用いて閾値判定をする工程、を有することを特徴とする有害元素管理方法である。この方法によれば、半導体製品の封止樹脂中の有害元素を精度よく測定・管理することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】検査対象を破壊することなく、従来に比べてより簡易に被検体の材料を識別することのできる非破壊識別方法及び非破壊識別装置を提供する。
【解決手段】非破壊識別装置は、既知の材質からなる標準試料５及び被検体３にＸ線２を放射する線源１と、これらを透過した放射線を検出するセンサ４と、センサ４の信号を画像に変換する信号処理装置７と、得られた画像における標準試料５部分の輝度値或いは輝度値と標準試料５の厚みの関係が、線源１のエネルギーを第１のエネルギーとした場合の第１の画像と、第２のエネルギーとした場合の第２の画像とにおいて同じになるように当該第２の画像全体に調整を施し、調整を施した第２の画像と第１の画像との差分或いは比を取る演算処理を行う画像演算処理装置８と、画像を表示する表示装置９とを具備している。 （もっと読む）

【課題】光学系21のフォーカスを自動的に調整できるＸ線イメージ管11における撮像装置20のフォーカス調整装置31を提供する。
【解決手段】光学系21のフォーカス状態を測定する指標となる治具32を、Ｘ線イメージ管11および撮像装置20を用いて撮像する。撮像したデータから、測定手段33がフォーカス状態を測定する。測定したフォーカス状態に応じて、制御手段34がフォーカス調整手段23により光学系21のフォーカスを調整する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、蛍光X線分析(XRF)装置に関する。
【解決手段】 XRF装置は、アナライザ結晶(6)とシリコンドリフト検出器(34)の両方を用いる。この組み合わせを利用することにより、バックグラウンド及びピークの重なりに関する問題を緩和することができる。 （もっと読む）

【課題】 面方位測定の大幅な時間短縮を実現し、サブグレイン構造やリネージ構造の試料に対し高速マップ測定が可能なＸ線結晶方位測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】 被測定結晶Ｓの測定面にＸ線を照射し、当該Ｘ線の照射により結晶の格子面に対応して得られる回折スポットをＸ線検出器３０で検出し、当該検出した回折スポットの中心位置を測定して結晶の格子面法線を算出するＸ線結晶方位測定装置及び方法において、当該被測定結晶の測定面の照射点からの回折スポットを、ＴＤＩ読み出しモードで動作するＣＣＤ（TDI-CCD）３４により構成した二次元検出器で検出する。 （もっと読む）

【課題】角閃石系石綿及びカルシウムが配合された建材や保温材、断熱材等の試料におけるアモサイトの含有量を定量できる方法を提供する。
【解決手段】角閃石系鉱物及びカルサイトが配合された試料に含まれるアモサイトを定量する方法であって、前記試料を、酸処理した後、固液分離し、固形分についてｄ＝３．１ＡのＸ線回折ピークでアモサイトを定量することを特徴とするアモサイトの定量方法。 （もっと読む）

【課題】 被検査物を移動させながら行うＸ線検査において、被検査物中の異物を検出するための管電流や管電圧等の強度レベル等を適切に容易に決定することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源１とＸ線検出器３との間で、基準検査物又は被検査物７を搬送する搬送機構５と、第一設定時と、第二設定時と、第三設定時とに、検出信号に基づいて、Ｘ線透過像データを作成して記憶させるＸ線透過像データ記憶制御部３２と、置換表を作成して記憶させる第一設定部３８と、管電流及び／又は管電圧の強度レベルを決定する第二設定部３５と、閾値パラメータを作成して記憶させる第三設定部３７とを備えるＸ線検査装置８０であって、Ｘ線透過像データ記憶制御部３２が、Ｘ線透過像データを作成して記憶させているときには、搬送機構５の駆動を停止する駆動停止信号を出力する搬送機構制御部３６を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】商品の生産を停止することなく、Ｘ線検査装置の状態をチェックし得るＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】物品を搬送しながら物品にＸ線を照射して物品の検査を行うＸ線検査装置に関する。物品を搬送する搬送手段と、前記物品がテストピースか商品かを分別する分別手段１２ｂと、前記商品の合否を判定する判定手段１２ｃと、前記分別手段１２ｂによる分別の結果、前記物品が商品であると判断された場合に当該商品の合否判定を行う通常モードで運転を行い、前記分別手段１２ｂによる分別の結果、前記物品がテストピースであると判断された場合に装置の状態をチェックするテストモードで運転を行う運転制御手段とを備えている。 （もっと読む）