【課題】ウェハに打ち込んだイオンの影響や、パターン接続の有無、パターンエッジの形状などの影響による検出画像誤差を生じることなく画像を検出する。
【解決手段】パターン検査方は、対象物基板を撮像してディジタル画像を得、このディジタル画像を用いて予め座標データで登録した領域、又は予め登録したパターンと一致するパターンをマスクして欠陥を検出し、この検出した欠陥を表示するようにした。又本発明によるパターン検査方法においては、対象物基板を撮像してディジタル画像を得、このディジタル画像を用いて欠陥を検出し、この検出した欠陥のうち登録した特徴に一致する欠陥の表示非表示を切替えるか他と識別可能なように表示するようにした。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッドのリード素子の素子形状を評価する素子評価方法及び装置に関し、同一の評価試料によってリード幅、コア幅及び素子高さを評価しうる素子評価方法及び装置を提供する。
【解決手段】第１の材料よりなる第１の部分と第２の材料よりなる第２の部分とが積層された第１の領域に電子線を入射し、第１及び第２の材料の構成元素の原子質量に依存したコントラストを示す第１の電子線強度を測定し、第１の材料よりなる第２の領域に電子線を入射し、第１の材料の構成元素の原子質量に依存したコントラストを示す第２の電子線強度を測定し、第２の材料よりなる第３の領域に電子線を入射し、第２の材料の構成元素の原子質量に依存したコントラストを示す第３の電子線強度を測定し、第１の電子線強度と第１の部分の厚さとの関係を、第２の電子線強度と評価試料の厚さとの関係及び第３の電子線強度と評価試料の厚さとの関係から算出することにより、第１の領域の第１の部分の厚さを算出する。 （もっと読む）

【課題】 検出精度の高い異物検査システムを提供する。
【解決手段】 コンベヤにより搬送される商品ＭにＸ線照射手段からのＸ線を照射し、前記商品Ｍを透過したＸ線をＸ線検出器に入射させて、前記商品に付着ないし混入している異物Ｄを検出することで合否の判定を行う異物検査システムに関する。前記Ｘ線照射手段２１，３１およびＸ線検出器２２，３２を２組設けると共に、これら２組のＸ線照射手段２１，３１およびＸ線検出器２２，３２を前記コンベヤの搬送方向Ｙに対して交差する平面上に設け、前記２組の光学系２０，３０の光軸Ｓ１，Ｓ１が、搬送方向Ｙの上流から見て互いに交差するように前記２組のＸ線照射手段２１，３１およびＸ線検出器２２，３２を配設する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査技術を利用してタービンブレード内の残留セラミックコアの検出を可能にしたＸ線検査方法を提供する。
【解決手段】本発明は、Ｘ線検査装置１を用いて被検査対象物ＷにＸ線を照射し、１６ビット以上のコントラストレンジを持つＸ線ディテクタ２に被検査対象物のＸ線透過像３を結像させ、Ｘ線ディテクタが結像した被検査対象物のＸ線透過像をデジタル現像装置４にて現像してＸ線影像５を得、そのＸ線影像から被検査対象物内に残留するセラミック質の異物の有無を検査するＸ線検査方法を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】放射線源と検出器が取り付けられたＣ型アームの回転角度に応じて生ずる透過像の位置ずれを補正して、分解能の高い検査画像を得る。
【解決手段】 放射線源１０１と検出器１０２との間に位置させて、校正ファントム１０４を支持構造部材１０３に着脱可能に取り付け、支持構造部材の予め設定された基準回転角度において検出器により取得された透過像を基準に、異なる回転角度における透過像の位置変化を求めて回転角度と透過像の位置ずれデータをデータベース１１５ａに格納しておき、被検体の検査実行時に、画像処理手段１１５はデータベースに格納された位置ずれデータに基づいて被検体の透過データを補正して検査画像を再構成する。 （もっと読む）

【課題】３次元的にスキャン領域を広げて被検体の３次元画像を再構成する。
【解決手段】 放射線源１と、被検体２を透過してくる放射線ビームを検出する放射線検出器４と、放射線ビームと端部付近で交差する回転軸に対し、被検体を、前記放射線ビームに対して相対的に回転させ、かつ、回転軸の方向に相対移動させるヘリカルスキャン手段５，７と、このヘリカルスキャンの間に検出された多数の透過画像から、回転軸を中心として片側が放射線ビームに包含される半径の円柱領域をスキャン領域とし、当該スキャン領域内の被検体の３次元画像を再構成処理する再構成処理手段８ｅとを設けたコンピュータ断層撮影装置である。 （もっと読む）

【課題】回転振れの測定を確実にするとともに、測定した回転振れによって断層像撮影時に生じる回転振れを正確に補正することのできる断層撮影装置を提供する。
【解決手段】被検体、放射線源又は放射線検出器の少なくともいずれかを回転する回転手段１５と、放射線源及び放射線検出器を結ぶ光軸と、回転軸とで成すラミノ角を変更する可変手段１６と、ラミノ角が０°に設定されるとともに回転の振れ量の測定に用いる基準被検体がテーブルに載置された状態で、回転手段が一回転にわたる制御をするとき、所定の回転角度ごとに放射線検出器で検出された透過データから、回転の振れ量を求める算出手段１９と、ラミノ角が０°以外に設定されて放射線検出器で被検体の透過データを検出する際、回転手段が回転の制御をすると、この回転の回転角度に応じてテーブルあるいは光軸に回転の振れ量を打ち消す移動を与えて回転の振れを補正する補正手段２０とを有する。 （もっと読む）

【解決手段】プリアンプ信号のエッジを検出する方法は、プリアンプ信号の第１部分を特定する工程であって、第１部分の各部が第１極性を有する瞬間の傾きを有する工程と、第１部分の直後に続く第２部分を特定する工程であって、第２部分の各部が逆の第２極性を有する瞬間の傾きを有する工程と、、第２部分の直後に続く第３部分を特定する工程であって、第３部分の各部が第１極性を有する瞬間の傾きを有する工程とを含む。その方法は、更に、第２部分の終点と始点の強度の間の第１差を特定する工程と、第３部分の終点の強度と第１部分の始点の強度の間の第２差を特定する工程と、（i）第１差が閾値を超え（ii）第２差が閾値のある割合を超えるとき、エッジを検出する。 （もっと読む）

【解決手段】各々が個々のフォトンに対応している複数のステップエッジを有するプリアンプ信号の傾きに基づいて、ＦＩＲフィルタのような、パルスプロセッサのエネルギー測定フィルタの応答を調整する方法が提供され、当該方法は、各々がデジタル値を有する連続的な複数のデジタルサンプルを含むプリアンプ信号のデジタルバージョンを受信する工程を含んでおり、プリアンプ信号は、複数のステップエッジの中の第１ステップエッジと、複数のステップエッジの第１ステップエッジの直後に続く、複数のステップエッジの中の第２ステップエッジとで規定される部分を有している。当該方法は、当該部分に関するデジタルサンプルの各々のデジタル値を用いて、当該部分の長さで規格化された当該部分の傾きの平均値を決定する工程と、エネルギー測定フィルタの応答を補正するために当該部分の長さで規格化された当該部分の傾きの平均値を用いる工程とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】試料１０からの蛍光Ｘ線を測定する測定装置２と、試料１０全体及び試料１０の測定箇所の画像データをそれぞれ取得する撮像装置３と、試料１０全体及び測定箇所の画像データをそれぞれ測定結果と対応付けて管理する管理部１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＳＥＭ画質のよしあしをリアルタイムで判断することができる検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置により撮像された複数枚のスキャン画像を積算して、１枚のＳＥＭ画像を構成し、電子線を用いて、線幅や欠陥を検査する方法及び装置において、スキャン画像毎に設計データとのマッチングを行い、マッチングの結果として、Ｓｈｉｆｔ_ｘ，Ｓｈｉｆｔ_ｙを算出し、スキャン画像毎のＳｈｉｆｔ_ｘの差分δｘ，Ｓｈｉｆｔ_ｙの差分δｘを算出し、上記差分δｘ又はδｙが閾値を超える場合に、ＳＥＭ画像の取得のリトライ処理を演算手段によって実行する。 （もっと読む）

【課題】 被写体の関心領域の断層像を得るためにＣＴ撮像するべき位置を、三次元的に把握することができるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線測定光学系１３と、テーブル１４と、テーブル駆動機構１６と、入力装置２２と、表示装置２３と、ＣＴ撮影を実行するＣＴ撮影実行部３４と、ＣＴ撮影された透視Ｘ線画像データを用いて、被写体の断層画像を再構成する再構成演算部３５とを備えるＸ線ＣＴ装置１であって、被写体の第一の透視Ｘ線画像２４ａと第一の透視Ｘ線画像２４ａと異なる方向の第二の透視Ｘ線画像２４ｂとを含む少なくとも二面の透視Ｘ線画像である試し撮り透視Ｘ線画像２４の一部の領域が、目的撮像領域２７として入力装置２２で指定されることにより、目的撮像領域２７を示す目的撮像領域データを記憶部２５に記憶させるデータ記憶制御部３０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多層配線基板の接合状態に関する検査を高精度にかつ迅速に行うことができる放射線検査方法、放射線検査装置と放射線検査プログラムを提供する。
【解決手段】本方法は、多層配線基板の各配線パターンの層間を接続する導通部に放射線を照射して異なる位置に配設した検出器によって複数の放射線画像を撮像する放射線画像取得工程と、撮像した上記複数の放射線画像から３次元再構成画像を生成する再構成画像生成工程と、生成した上記３次元再構成画像から上記多層配線基板の基板面に水平な各層の水平スライス画像を抽出するスライス画像抽出工程と、抽出された上記水平スライス画像より上記導通部の状態を得るための処理を行う画像処理工程と、上記画像処理工程によって得られた処理結果と基準値とを比較して上記多層配線基板の良否を判定する良否判定工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
電子線を用いて欠陥を検出する検査装置において、電子線を用いた場合の、試料内のチップ内の回路パターンの種類や密度の差異によって生じる検査画像のコントラストの差異を原因とした検査性能の低下を防止する。
【解決手段】
試料に荷電粒子線を走査して得られる少なくとも２つの画像を比較して試料の回路パターンの欠陥を抽出する荷電粒子線を用いた検査方法または装置であって、あらかじめ定められた幅で荷電粒子線を走査しながら試料を連続的に移動し、回路パターンの種類または密度が異なる領域では、検査条件を変えて画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体物品のパッケージを開けないままその液体物品に麻薬が隠れているかを判断することができる、液体物品に隠れている麻薬を検査する方法及び装置を開示している。
【解決手段】前記方法は、放射線ビームを発生して前記液体物品を透過させるステップと、前記液体物品を透過した放射線ビームを受け取って多角度投影データを形成するステップと、前記液体物品の均一性に基づき、前記多角度投影データに対して逆演算を行うことにより、被検液体物品の属性値を計算して取得するステップと、前記液体物品の識別情報を索引として、予め作成したデータベースから参照属性値を検索し、計算した属性値と参照属性値との差分値を算出するステップと、前記差分値が所定の閾値より大きいかを判断するステップと、を含み、前記差分値が所定の閾値より大きい場合には、前記液体物品に麻薬が隠れていると認める。 （もっと読む）

【課題】検出された欠陥からシステマティック欠陥を分別する。
【解決手段】欠陥分類定義部２２１は、被検査デバイスにそのとき形成されているレイヤおよびその上層または下層に形成されたレイヤに対応するレイアウト設計データを用いて、被検査デバイスの表面に欠陥を分類する領域を定義する。欠陥分類処理部２２２は、欠陥レビュー装置１０で取得された欠陥からサンプリングしたサンプリング欠陥データ１３３（２３３）について、その欠陥の位置が前記定義された領域のどの領域に含まれるかによって、欠陥を分類する。欠陥集計部２２３は、その分類された欠陥を集計し、各領域の欠陥密度を求め、ある領域の欠陥密度が他の領域の欠陥密度の平均値よりも有意差以上に大きい場合には、システマティック欠陥判定部２２４は、その領域の欠陥をシステマティック欠陥と判定する。 （もっと読む）

【課題】ＣＴ装置などの非破壊検査装置で取得した濃淡画像を詳細部分に渡って容易に比較できるようにする。
【解決手段】まず、断層撮影装置１でタイヤの断面画像を取得し（Ｓ１０１）、表示装置にそのタイヤの断面画像を表示する（Ｓ１０２）。次に、そのタイヤの断面画像内の対象領域を抽出し（Ｓ１０３）、その対象領域に着色し（Ｓ１０４）、対象領域を着色したタイヤの断面画像と、補助記憶装置６に記憶されている比較画像とを重ね合わせる（Ｓ１０５）。必要に応じて、着色したタイヤの断面画像と比較画像との混合比を変更したり（Ｓ１０６）、重ね合わせ位置の調節をしたり（Ｓ１０７）、着色したタイヤの断面画像と比較画像とのタイヤの形状の差異部分の長さを算出したりする（Ｓ１０８）。 （もっと読む）

【課題】ベルト端部蛇行の有無を正確に判定することができ、しかも検査に要する時間の短縮を図ることのできるタイヤの検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】撮像装置２０によって撮像された画像中の各ベルトコードＢＣが撮像されたベルトコード領域を確定するとともに、ベルトコード領域における画像幅方向の端部を確定する一対の端部確定線ＯＬ１が存在している範囲の画像幅方向の寸法Ｌ１がそれぞれ基準寸法Ｌ０（例えば２５ｍｍ）以上になると、その透過Ｘ線像を撮像したタイヤＴにベルト端部蛇行が生じていると判定されることから、例えば各端部確定線ＯＬ１のうち少なくとも一方の端部確定線ＯＬが存在している範囲の画像幅方向の寸法Ｌ１が３０ｍｍ以上になるようにベルト端部蛇行が生じている場合は、端部確定線ＯＬ１が存在している範囲の画像幅方向の寸法Ｌ１が基準寸法Ｌ０以上となり、ベルト端部蛇行が生じていると判定される。 （もっと読む）

【課題】ベルトエッジオーバーラップの有無を正確に判定することができ、しかも検査に要する時間の短縮を図ることのできるタイヤの検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】撮像された画像から各ベルトコードＢＣが撮像されたベルトコード領域のうちベルト部材幅方向の両端部側の領域を抽出するとともに、その抽出画像中において第２ベルト部材ＢＥ２の各ベルトコードＢＣ延設方向と等しい方向に延在する成分が集合している特定成分領域を確定することから、特定成分領域は第２ベルト部材ＢＥ２のみが存在する領域となる。また、特定成分領域がタイヤ周方向に不連続である場合に、その透過Ｘ線像を撮像したタイヤＴにベルトエッジオーバーラップが生じていると判定される。 （もっと読む）

【課題】オープンコードの有無を正確に判定することができ、しかも検査に要する時間を短縮できるタイヤの検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】画像からカーカスコードＣＣが撮像された領域を抽出するとともに、抽出画像を二値化処理し、二値化処理された画像中にカーカスコードＣＣと略直交する方向に延びる複数の検査用線ＳＬを追加し、カーカスコードＣＣと交差する範囲が差分された各検査用線ＳＬの画像を得るとともに、カーカスコードＣＣと交差する範囲が差分されることにより各検査用線ＳＬが分割されて成る複数の分割検査用線ＳＬ１の長さの平均値を算出し、その平均値に対して所定倍率以上の長さの分割検査用線ＳＬ１の有無を判定する。即ち、撮像された画像中に前記平均値よりも間隔が広くなるオープンコードがある場合は、平均値に対して所定倍率以上の長さの分割検査用線ＳＬ１が有ると判定される。 （もっと読む）