【課題】感度の低下を抑えつつ鮮鋭度の高い放射線画像を撮影できる放射線撮影装置を提供する。
【解決手段】放射線が照射されることにより光を発生するシンチレータ８と、光を受光することにより電荷が発生する有機光電変換材料を含んで構成されたセンサ部１３が複数設けられたＴＦＴ基板３０と、が順次積層された放射線検出器２０を、被写体Ｂを透過した放射線がＴＦＴ基板３０側から入射するように配置する。 （もっと読む）

【課題】
複数条件の画像を同時に検出して統合する構成を用いた場合、高レートのデータ転送手段と大容量のメモリや記憶媒体が必要となる。
【解決手段】
複数の撮像条件にて試料の画像データを取得する工程と、前記複数の撮像条件にて取得した複数の画像データを画像記憶部へ格納する工程と、前記複数の画像データのそれぞれより欠陥候補を取得する工程と、前記画像記憶部に格納された、少なくとも２つの撮像条件の前記画像データから、前記複数の画像データのいずれかで検出した前記欠陥候補位置とその周辺を含む部分画像を切り出す工程と、前記欠陥候補に対応する少なくとも２つの撮像条件で取得した前記部分画像を統合処理することで、欠陥候補を分類する工程と、を有することを特徴とする欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】パターン中の信号の小さい欠陥の視認性を向上する一方で、レビュー領域全体の情報を可能な限り失わない欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態の欠陥検査方法は、被検査パターンが形成された試料に荷電粒子線を照射し、前記試料から生成される荷電粒子を検出し、得られる信号の時間に対するプロファイルを生成する工程と、前記被検査パターンの頂面に対応する試料の箇所からの荷電粒子により得られた信号の強度がさらに高まることを抑制しつつ前記被検査パターンの底面に対応する試料の箇所からの荷電粒子により得られた信号の強度を高めることにより、信号強度の高低差が縮められた荷電粒子像の撮像方法を、前記プロファイルを用いて決定する工程と、決定した撮像方法で前記被検査パターンの荷電粒子像を取得する工程と、取得した荷電粒子像から前記被検査パターンの欠陥を検査する工程と、を持つ。 （もっと読む）

【課題】背景技術よりも小型化が可能なＸ線発生装置及びＸ線管の駆動方法を提供する。
【解決手段】レンズ電極とグリッド電極、またはレンズ電極とカソード電極に所定の電圧を供給する各駆動回路でインバータ回路を共用する。レンズ電極にはインバータ回路から出力されたパルス列を全波整流することで得られる直流電圧を供給し、グリッド電極またはカソード電極にはインバータ回路から出力されたパルス列を半波整流することで得られる直流電圧を供給する。そして、Ｘ線の発生期間におけるインバータ回路の最初の動作時及び最後の動作時、トランス回路から全波整流回路及び半波整流回路にそれぞれ負極性の電圧が出力されるようにインバータ回路の動作を制御する。 （もっと読む）

【課題】検査時間を短縮しつつ、被検体の断層像又は立体像の再現性を向上させることができる放射線検査システムを提供する。
【解決手段】画像補正装置１５は、１回目の走査の際で放射線源１が任意の目標位置に移動されたときに放射線検出器２から得られた放射線の強度分布と、２回目の走査の際で放射線源１が同じ目標位置に移動されたときに放射線検出器２から得られた放射線の強度分布とを照合する。そして、それら放射線の強度分布が重なり合うはずの部分のずれ量を演算し、そのずれ量に基づき放射線源１の焦点位置の誤差を演算し、その誤差に基づき複数の透過画像Ｐを補正する。 （もっと読む）

【課題】回折格子と遮蔽格子を有するタルボ干渉法を用いた撮像装置において、回折格子および遮蔽格子の姿勢のずれによるキャリア周波数に対応するスペクトル強度の低下を軽減する。
【解決手段】撮像装置はＸ線源１１０とＸ線源１１０から出射したＸ線を回折する回折格子１３０と回折格子１３０によって回折されたＸ線の一部を遮る遮蔽格子１５０と遮蔽格子１５０を経たＸ線の強度分布を検出する検出器１７０とを有する。更に、撮像装置は、調整部１９０を有する。調整部１９０は、検出器１７０で検出された強度分布を複数の領域に分割し、複数の領域の強度分布に基づいて、回折格子１３０および遮蔽格子１５０のうち少なくともいずれか一方の姿勢を調整する。 （もっと読む）

【課題】 複数の試料について連続測定を行う場合において、試料の位置決めや分析領域の把握が容易であり、より信頼性の高い測定が実施可能であると共に高い利便性の得られる分析システムを提供すること。
【解決手段】 試料に紫外線を照射することにより当該試料から放出される光電子を検出する光電子検出装置を備えた分析システムにおいて、光電子検出装置は、一面に複数の試料載置部が形成された分析領域を有するプレート状の試料ホルダと、当該試料ホルダが水平方向に延びる姿勢で着脱自在に装着される試料ステージと、試料ステージを、試料ホルダにおける順次に指定される一の試料載置部が紫外線照射装置より照射される紫外線の照射スポットに位置されるよう、位置調整する制御手段と、試料から放出される光電子を検出する光電子検出器と、試料ホルダにおける分析領域の画像データを取得する撮像手段とを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、ナノ電子線回折パタンにおける各スポットの座標を適切に定義し、格子面距離を精度良く算出することを目的とする。
【解決手段】 上記課題は、回折スポット及び透過スポットを含む複数のスポットを表す電子線またはＸ線回折パタンを二階調化して二階調化データを生成するステップと、前記二階調化データを用いて、前記スポットの領域に相当する定義円を作成するステップと、前記スポットと前記定義円の各画素における差の二乗和が最小になるように前記定義円のサイズ又は座標の少なくとも１つを変化させて該スポットへフィッティングさせることによって、該スポットの近似円を取得するステップと、前記近似円の中心座標で前記スポットの座標を定義することによって、スポット間の距離を算出し格子面距離を取得するステップとをコンピュータが実行する半導体素子の評価方法により達成される。 （もっと読む）

【課題】地質資源コアの分析用コンピューター断層撮影装置を提供すること。
【解決手段】産業用で便利にコンピューター断層撮影装置を利用することができ、ＣＴビーム送出部とディテクター間の動きを減らして精密な測定が可能であり、同時に故障が少なく、特に、地質資源コア試料と同じく長い長軸をもったシリンダー型（または棒型）の試料を手軽く断層撮影することができる地質資源コアの分析用コンピューター断層撮影装置。 （もっと読む）

【課題】 回転軸方向に複数のX線発生点が配置されたX線管装置の冷却効率を向上させ、X線管内の過熱を防止できる構造のX線管装置を提供すること、及びそのX線管装置を搭載するX線CT装置を提供することである。
【解決手段】 電子線を発生する陰極と、前記電子線が照射された点であるX線発生点からX線を放射する陽極と、前記陰極と前記陽極を真空雰囲気内に保持する外囲器と、を備えたX線管装置であって、前記陰極と前記陽極からなる対を2つ有し、2つの陽極はX線発生点を有する面の裏側が対向するように配置されており、2つの陽極の間に冷却媒体を流すための冷媒流路をさらに備えたことを特徴とするX線管装置である。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ高速にＸ線立体画像表示を可能にして被検査物の欠陥や異物を容易に発見できるようにする。
【解決手段】通過する被検査物Ｍに対して直交する平面内でＸ線光源３１から拡散して被検査物Ｍを横断する帯状のＸ線を照射するＸ線発生器３と、被検査物Ｍを透過したＸ線を入光させて、被検査物Ｍの通過に伴って当該被検査物Ｍの透過二次元画像を得るラインセンサ４およびインターフェース回路５４と、透過二次元画像の各部分につき、当該各部分をその位置情報に基づいて二次元平面上に配置するとともに、上記各部分における透過光量に応じた高さを上記二次元平面に直交する軸方向にとって透過三次元画像を得るパソコン５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】高時間分解能、欠落データ及び長手方向打ち切りによる画像アーティファクトの低減、並びに放射線量を低減する。
【解決手段】撮像データはＸ線源の単一の回転から取得され、単一の回転は第一のハーフ・スキャン及び第二のハーフ・スキャンに分割される。制御器は、第一のハーフ・スキャン及び第二のハーフ・スキャンの一方にわたりＸ線源によって放出されるＸ線ビームの中央部分を遮断するように、第一のハーフ・スキャン及び第二のハーフ・スキャンの一方からの画像データを取得した後に、第一のハーフ・スキャン及び第二のハーフ・スキャンの他方からの画像データの取得の開始と同時に、動的コリメータを配置するように構成されている。ＣＴスキャナはさらに、第一の撮像データ集合及び第二の撮像データ集合を用いてＣＴ画像を再構成するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】試料表面に１０ｎｍ以下の寸法のスポットサイズを有するイオンビームを発生することが可能な電界イオン源を有するシステムを提供する。
【解決手段】電子ビームを提供することが可能な走査電子顕微鏡と、気体と相互作用してイオンビームを発生させることが可能な気体電界イオン源と集束イオンビーム機器とを具えるシステムであって、走査電子顕微鏡と気体電界イオン源が、使用時に電子ビーム及びイオンビームを用いて試料を調査できるように位置していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】櫛形タイプの冷却フィンを備えた熱交換器であっても、パワーモジュールに使用して、Ｘ線検査によりボイドを正確に検出すること。
【解決手段】パワーモジュール２の熱交換器１は、ケース３と、ケース３に収容された櫛形タイプの冷却フィン４と、ケース３の上面に接合剤１０により接合されたヒートスプレッダとを備える。ＩＧＢＴ６は、ヒートスプレッダの上面に接合剤１０により固定される。冷却フィン４は、平板状のベース部４ａの下面から複数のフィン部４ｄが互いに隙間９を置いて平行かつ斜めに突き出している。冷却フィン４は、複数のフィン部４ｄにつき、隣り合う一方のフィン部４ｄ１の先端４ｅと他方のフィン部４ｄ２の基端４ｆとが同じ幅Ｗ２を有すると共に、ベース部４ａの上面及び下面と直交する方向に重なるように配置される。 （もっと読む）

【課題】
電子顕微鏡で画像を撮像するとき，焦点を合わせるために動作させるＺ座標の走査範囲を短くして，焦点を合わせる時間を短縮する。
【解決手段】
走査電子顕微鏡で試料上の複数の箇所のＳＥＭ画像を順次取得することを、最初の所定の数の箇所においては電子ビームの焦点位置を試料の表面の法線方向に所定の範囲走査して電子ビームの焦点を試料の表面に合わせてから試料を撮像し、最初の所定の数の箇所において試料の表面に合わせた電子ビームの焦点位置の情報を用いて試料の表面の曲面形状を推定し、最初の所定の数の箇所で撮像した後は、電子ビームの焦点を試料の表面に合わせるために電子ビームの焦点位置を法線方向へ走査する範囲を推定した曲面情報を用いて最初の所定の数の箇所において走査した所定の範囲よりも狭い範囲で走査して電子ビームの焦点を試料の表面に合わせて前記試料を撮像するようにした。 （もっと読む）

【課題】大きさの異なるボクセルを含む撮影画像から撮影対象の３次元モデルを形成する方法の提供する。
【解決手段】以下の工程を含む方法。(a)撮影画像のスライスデータを、一つの領域内に所定個数のピクセルが含まれるように複数の領域に分割する工程、(b)分割された１つの領域内に含まれるピクセルが、すべて同じ特徴を有する組織又は物質を表すときは、当該ピクセル同士を結合して１つのボクセルデータに置換する工程、(c)分割された１つの領域内に、異なる特徴を有する組織又は物質を表すピクセルが含まれるときは、当該１つの領域内のピクセルデータを混合ボクセルデータとして定義する工程、(d)前記工程(b)及び工程(c)を繰り返して、置換されたボクセルデータ及び混合ボクセルデータを含むスライスデータを取得する工程、並びに(e)前記工程(d)により取得された複数のスライスデータを多段階に積み重ねる工程。 （もっと読む）

【課題】
麻酔薬を使用したり体温を低下させたりすることなく、動物の動きを抑制した状態で診断を可能とするとともに、外部からのアプローチや手術等の処置ができる診断装置用動物固定器具を提供する。
【解決手段】
被検体である動物をＭＲＩ装置等の診断装置を用いて診断する際に用いる診断装置用動物固定器具１００において、剛性材料からなる枠体１０１を備え、その内部に被検体である動物１０８を入れられる構造であり、その内側に、柔軟材料から構成され、被検体である動物を押圧して固定する部材１０９を備え、その頭部に、外部からの光を遮光する部材を備えている。また、ＭＲＩ用受信コイル１２０を、取り外し可能に備えている。 （もっと読む）

【課題】搬送される被検査物の欠陥等をインラインで正確に検出することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】通過する被検査物Ｍに対して直交する平面内でＸ線光源３１から拡散し被検査物Ｍを横断する帯状のＸ線Ｌを照射するＸ線発生器３と、被検査物Ｍを透過したＸ線Ｌを入光させてその受光強度に応じた出力信号を発するＸ線ラインセンサカメラ４とを備える。パソコン５は、上記出力信号より被検査物Ｍの透過画像を生成するとともに、サンプル被検査物のマスタ画像を記憶しておき、透過画像とマスタ画像の位置合せを行なった後、位置合せを行なった透過画像とマスタ画像についてその伸縮を略一致させ、伸縮を略一致させた透過画像とマスタ画像との差分画像を得る。 （もっと読む）

【課題】
性質が異なる画像を取得する複数種類の観察装置を用いた欠陥分類システムにおいて、分類性能及びシステムの操作性を向上させる。
【解決手段】
被検査対象を撮像する複数の画像撮像手段と、上記画像撮像手段から得られた画像を分類する欠陥分類装置と、上記複数の画像撮像手段と、上記欠陥分類との間のデータ伝送を行う為の伝送手段からなる欠陥分類システムにおいて、上記欠陥分類装置に、画像撮像手段から得られた画像データを記憶する画像記憶手段と入力画像データに関する付随情報を記憶する情報記憶手段と、上記、付随情報に応じて画像の処理方式あるいは表示方式を変更する手段を備える。 （もっと読む）

【課題】散乱線対一次線量比（ＳＰＲ）が低下するように二つの次元で散乱を減少させる。
【解決手段】第一の複数のＸ線減弱プレート（５４）の（５８）は第一の方向（５６）に沿って延在し、第一の複数のＸ線減弱プレート（５４）の各プレート（５４）は第二の方向（６２）に沿って互いから隔設されている。第二の複数のＸ線減弱プレート（６０）の長さ（６４）は第二の方向（６２）に沿って延在し、第二の複数のＸ線減弱プレート（６０）の各プレート（６０）は、第一の方向（５６）に沿って互いから隔設され、また第一の複数のＸ線減弱プレート（５４）の各プレート（５４）を通して延在している。第一及び第二の方向（５６、６２）は直交しており、第一の複数のＸ線減弱プレート（５４）の各プレート（５４）の幅（６６）は、第二の複数のＸ線減弱プレート（６０）の各プレート（６０）の幅（６８）よりも広い。 （もっと読む）