【課題】管端溶接部における亀裂状欠陥を非破壊検査で検出するための非破壊検査用標準供試体を提供する。
【解決手段】管端溶接部における亀裂状欠陥を非破壊検査で検出するための非破壊検査用標準供試体１０であって、炭素鋼で形成され、貫通孔１５を有する供試体本体１２と、貫通孔１５に挿入され、ＣｒーＭｏ鋼で形成された管体１４とを備え、管体１４の外周面と、供試体本体１２における貫通孔１５の内周面との間に隙間１７が設けられ、管体１４の長手方向における一端側の外周面と、供試体本体１２の貫通孔の長手方向における一端側の内周面との間を全周に亘って溶接した溶接部１８を有し、溶接部１８は、隙間１７に重量比で５０％ＮａＮＯ_３と５０％ＫＮＯ_３とを混合した腐食液を注入し、応力腐食割れにより導入された亀裂状欠陥を有している。 （もっと読む）

【課題】製品基板毎に態様の異なる被爆量を好適に管理すること。
【解決手段】電子部品が実装された基板の撮像要部をＸ線で撮像するＸ線撮像装置に用いられるＸ線被爆量管理システムにおいて、前記基板Ｗを製品毎に特定する基板特定手段と、特定された製品基板に係る累積被爆量Ｈを演算する累積被爆量積算手段とを備えている。Ｘ線撮像を実施する際の累積被爆量Ｈが個々の製品基板毎に演算されるので、例えば、再検査や、抜き打ち検査が生じて、被爆量が製品基板毎に異なるような事態が生じても、各製品基板が上限値を超えて被爆しないように管理することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、１回のＸ線の照射で測定試料ＳＭのより広い面積を分析し得るＸ線分析装置および該方法を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線分析装置は、電子ビームＥＢを生成する電子ビーム生成部１と、電子ビーム生成部１によって生成された電子ビームＥＢの進行方向に沿って配置された複数の４重極レンズ２と、複数の４重極レンズ２を通過して射出された電子ビームＥＢと衝突することによってＸ線を生成するＸ線ターゲット３と、Ｘ線ターゲット３によって生成されたＸ線から所定のエネルギーを持つＸ線を抽出して測定試料ＳＭに照射するＸ線分光結晶４と、Ｘ線分光結晶４によって抽出され測定試料ＳＭを透過した透過Ｘ線を検出するＸ線検出部５とを備え、複数の４重極レンズ２は、電子ビームＥＢを互いに同じ第１方向に発散するとともに互いに同じ第２方向に収束する。 （もっと読む）

【課題】衝撃ノイズによる誤動作を防止しつつ、Ｘ線の照射開始を自己検出する。
【解決手段】画素３７を制御するための走査線４７が行毎に、信号電荷を読み出すための信号線４８が列毎に配設された撮像領域５１を有するＦＰＤ２５と、蓄積動作と読み出し動作とを行わせるゲートドライバ５２と、Ｘ線の照射開始を検出する制御部５４と、制御部５４がＸ線の照射開始を検出したときに、蓄積動作が開始するようにゲートドライバ５２を制御する制御部５４と、画素３７から選択された検出画素６１を有し、制御部５４は、検出画素６１が接続された信号線４８から少なくとも２回連続して第１の電圧信号Ｖｏｕｔ１及び第２の電圧信号Ｖｏｕｔ２を取得し、これらの差に基づいて、照射開始の検出を検出する。 （もっと読む）

【課題】分析チャンバ内の雰囲気をヘリウムガスで置換する際のヘリウムガス消費量を低減可能な蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】
蛍光Ｘ線分析装置において、試料Ｓに一次Ｘ線を照射するＸ線源１２と、前記一次Ｘ線の照射により試料Ｓから放出される蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出器１３と、前記一次Ｘ線と蛍光Ｘ線の光路を内包する分析チャンバ１０と、分析チャンバ１０内にヘリウムガスを導入するヘリウムガス導入手段１７と、分析チャンバ１０内のヘリウムガス濃度を測定するヘリウムガス濃度測定手段１８と、ヘリウムガス濃度測定手段１８によるヘリウムガス濃度の測定結果に基づき、分析チャンバ１０内のヘリウムガス濃度が予め定められた目標値となるようにヘリウムガス導入手段１７を制御する制御手段３１とを設ける。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検出領域を挟んで搬送方向の上流側と下流側に搬送コンベア分割されている場合でも、上流側コンベアと下流側コンベアとの隙間から落下する被検査物からの落下物がＸ線検出領域内に侵入しないＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】被検査物Ｗを所定の搬送方向Ｙに搬送する搬送コンベア８と、搬送コンベア８により搬送される被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生部２１と、被検査物Ｗを透過したＸ線を検出するＸ線検出部２２とを備え、搬送コンベア８がＸ線検出領域Ａを挟んで搬送方向Ｙの上流側（上流側コンベア８ａ）と下流側（下流側コンベア８ｂ）とに分割されたＸ線異物検出装置１において、Ｘ線発生部２１によるＸ線照射中はＸ線検出領域Ａ内に被検査物Ｗからの落下物Ｄが侵入しないように、Ｘ線検出領域Ａに向けて常にエアーを吹き付けるエアー吹付け手段３１を備えた。 （もっと読む）

【課題】非破壊かつオンラインで金属層の結晶粒径及び粒径分布を評価する方法を実現する。
【解決手段】結晶組織を有し特定の面方位においてＸ線に対して回折ピークを持つ金属層にＸ線を照射して得られる回折ピークを入手するステップＡ、回折ピークに基づいて面積平均コラム長及び体積平均コラム長を求めるステップＢ、面積平均コラム長及び体積平均コラム長から結晶粒径の対数正規分布を求めるステップＣを具備する。 （もっと読む）

【課題】Ａ／Ｄ変換後の画像補正を複雑にすることなく、適切な濃度階調が描出された高画質なＸ線画像を得る。
【解決手段】放射線の照射終了後、ＦＰＤの撮像領域における一次元の入射線量の分布である線量プロファイルを測定する。線量プロファイルの最大値と最小値の差Δｄであるコントラストに基づいて、信号電荷を読み出す際のゲインの値を決定する。ゲインは、コントラストが大きい場合には小さい値に、コントラストが小さい場合には大きい値に決定される。コントラストが小さい場合にゲインを大きくすることで、Ａ／Ｄ変換器のダイナミックレンジを有効利用できる。 （もっと読む）

【課題】試料表面に一次イオンビームを照射して試料表面を除去しつつ、試料の深さ方向の分析を行うイオンビーム分析方法において、試料表面の汚染が少ない帯電防止方法を提供する。
【手段】試料１０表面に収束イオンビーム２４ａを照射して、試料１０表面に形成された絶縁層１２を貫通し、底面に試料１０の導電性基板１１を表出する凹部１０ａを形成する工程と、凹部１０ａの内部に金属イオンビーム２３ａを照射しつつ、同時に試料１０表面に一次イオンビーム２２ａを照射することを特徴とするイオンビーム分析方法。 （もっと読む）

【課題】短時間で容易に試料の薄片部を形成することができる加工方法を提供する。
【解決手段】本実施形態の加工方法は、平坦化工程（ステップＳ１）および薄片部形成工程（ステップＳ２）を順に行うことで、試料１Ｂの薄片部１３を形成することができる。薄片部形成工程（ステップＳ２）では、試料の平坦面１１の下部に対して、集束イオンビーム装置から出力された集束イオンビームが平坦面１１に平行な方向に照射される。集束イオンビームの照射により試料がスパッタエッチングされて、平坦面１１に対向する対向面１２が形成される。これにより、平坦面１１と対向面１２とに挟まれた薄片部１３を有する試料１Ｂが作成される。 （もっと読む）

【課題】容易に精度良く鋼種判定を行うことができる断面略円形の鋼材の鋼種判定方法を提供する。
【解決手段】鋼種判定方法は、Ｘ線を照射する照射部２１及び蛍光Ｘ線を検出する検出部２２を具備した測定部２を、予め定めた分析必要時間だけ鋼管４の外周面に沿って鋼管４に対して相対移動させながら照射部２１からＸ線を鋼管４に照射すると共に鋼管４から放射される蛍光Ｘ線を検出部２２によって検出する検出ステップと、検出ステップによって検出された蛍光Ｘ線に基づいて鋼管４の組成を算出する算出ステップと、算出ステップによって算出された組成によって鋼管４の鋼種を判定する判定ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】被検査物に突き刺さることを確実に防いでＸ線が漏洩する危険性を更に低減し、簡素な構成とすることで低コストとなるＸ線遮蔽カーテンを備えること。
【解決手段】筐体３と、筐体３内の搬送路に被検査物を搬送するベルトコンベア８と、ベルトコンベア８により搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線発生部１１と、被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出部１２と、搬送路にベルトコンベア８の搬送方向Ｙと直交して設けられた水平軸２２と、水平軸２２にその基端側が取り付けられることでこの水平軸２２に揺動可能に吊り下げられたカーテン片２３が、水平軸２２に複数の短冊状に設けられたＸ線遮蔽カーテン２０とを備えたＸ線異物検出装置１において、Ｘ線遮蔽カーテン２０を、カーテン片２３が鉛直よりも搬送方向Ｙの下流側に揺動可能に設けるとともに、搬送方向Ｙの上流側への揺動を規制する構成とした。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単であり、グローブを着けての作業も行い易く、電極と外部電位との電気的な接続を安定的にとることができる電池構造体を提供する。
【解決手段】電界物質を含んでいるセパレータ７の両面に配置された正極材８及び負極材９と、正極材８に接触している正極側シール部材３ｂと、負極材９に接触している負極側シール部材３ａと、正極側シール部材３ｂに接触している正極側弾性部材４ｂと、負極側シール部材３ａに接触している負極側弾性部材４ａと、正極側弾性部材４ｂと負極側弾性部材４ａとを互いに近づく方向へ押し付ける弾性部材押圧機構５ａ、５ｂ，１８、２２とを有するＸ線測定用電池構造体１である。シール部材３ｂ，３ａは耐食性を有しており、シール部材３ｂ，３ａ及び弾性部材４ｂ，４ａはＸ線を通過させる部分を有しており、弾性部材押圧機構５ｂ、５ａ、１８、２２はＸ線経路を妨げない。 （もっと読む）

【課題】アッテネータのみを移動させるだけの簡単な構造でコストダウンを図り、試料の測定領域の面積を可変して精度のよい分析ができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、Ｘ線源１と、１次Ｘ線２が照射された試料Ｓから発生する２次Ｘ線４を検出する検出手段９と、試料を回転させる試料回転手段１０とを備え、試料を回転させながら試料から発生する２次Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線分析装置であって、試料と検出手段９との間に配置され、所定の半径の仮想円３０内に２次Ｘ線を通過させる複数の絞り孔３２を有し、仮想円３０を通して検出手段９が見込む試料領域から発生する２次Ｘ線４を複数の絞り孔３２によって通過させるアッテネータ３と、アッテネータ３を移動させるアッテネータ移動手段１１とを備え、アッテネータ３の移動距離Ｘに応じて、２次Ｘ線４が検出される試料の測定領域の面積が可変である。 （もっと読む）

【課題】線質の異なるＸ線が検出段階で干渉することを防止することができるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】被検査物Ｗを搬送路上で搬送する搬送部２と、搬送路上を搬送される被検査物に複数本のＸ線を照射するＸ線発生器９と、Ｘ線発生器９から照射され被検査物Ｗを透過するＸ線に応じた検出データを出力するＸ線検出器１０と、Ｘ線発生器９とＸ線検出器１０との間に配置されて回転軸周りに高速回転し、Ｘ線を遮蔽する遮蔽部７１とＸ線を透過する透過部７２とが回転方向に交互に設けられ、回転軸を中心に高速回転することでＸ線発生器９からの複数本のＸ線を時間分離し、該複数本のＸ線の何れかを順次透過する回転板７０と、Ｘ線検出器１０の出力する検出データに基づいて被検査物Ｗ中の異物の有無を判定する判定部４８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】異なるエネルギー帯の放射線画像を取得することができ、しかも、対象物を透過した放射線に与える影響を低減することができる放射線画像取得装置を提供する。
【解決手段】本発明の放射線画像取得装置１では、表面検出器３および裏面検出器４によって、異なるエネルギー帯の放射線画像を取得するデュアルエナジー撮像が実現される。ここで、対象物Ａと波長変換板６との間には撮像手段が何ら介在していないため、対象物Ａを透過した放射線に与える影響が低減され、低エネルギー帯の放射線が好適に検出される。しかも、表面検出器３および裏面検出器４によって集光されるシンチレーション光はそれぞれ法線Ｂ，Ｃ方向に対して角度θ_１，θ_２をなす方向に出射されるため、放射線画像Ｐａ，Ｐｂには同様のあおりが生じ、入射面６ａ側および裏面６ｂ側の画像間における演算が容易になっている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学条件の調整を容易に行うことを目的とする半導体検査装置等の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、荷電粒子線装置を備えた半導体検査装置、或いは荷電粒子線装置の画像，光学条件選択装置であって、異なる複数の光学条件にて得られた画像データと、設計データに基づいて形成される画像データとの間でマッチングを行い、当該マッチングに基づいて、前記光学条件、或いは画像の選択を行う半導体検査装置、或いは荷電粒子線装置の画像，光学条件選択装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】異なるエネルギー帯の放射線画像を取得することができ、しかも、対象物を透過した放射線に与える影響を低減することができる放射線画像取得装置を提供する。
【解決手段】本発明の放射線画像取得装置１では、表面検出器３および裏面検出器４によって、異なるエネルギー帯の放射線画像を取得するデュアルエナジー撮像が実現される。ここで、対象物Ａと波長変換板６との間には撮像手段が何ら介在していないため、対象物Ａを透過した放射線に与える影響が低減され、低エネルギー帯の放射線が好適に検出される。しかも、表面検出器３および裏面検出器４は、入射面６ａおよび裏面６ｂからそれぞれ法線Ｂ，Ｃ方向に出射されるシンチレーション光を集光するため、いずれもあおりがない放射線画像を取得することができ、入射面６ａ側および裏面６ｂ側の画像間における演算が容易になる。 （もっと読む）

【課題】
検査装置の感度設定にかかる処理時間とユーザ負担を低減すると共に、ＬＳＩテスタによる電気的特性検査にかかるコストの増加、及び、電気特性検査が困難な領域の発生に対処する。
【解決手段】
パターンが形成された試料に光源から発射された光を照射し、この光が照射された試料からの反射光を検出器で検出して画像を取得し、この取得した画像を処理して該画像の特徴量を抽出し、この抽出した画像の特徴量を予め設定した基準値と比較して試料上の欠陥を検出する欠陥検査方法において、予め設定した基準値をパターンが形成された試料を別の検査装置で検査して得た試料の検査結果を用いて作成するようにした。 （もっと読む）

【課題】軽量かつ設置が容易で、さらにＸ線被爆なく、直線状の被検査物をその場で非破壊に多方向からのＸ線透過像を取得し、被検査物の劣化状況等を高精度で検査できるＸ線非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するため、直線状の被検査物をその場で非破壊検査するＸ線検査装置であって、前記被検査物を挟み対峙する１組のＸ線源及び２次元検出器を３組以上搭載し、前記被検査物に沿って手動或いは自動的に移動させながら、前記Ｘ線源からパルス状のＸ線を順次発生させ、前記２次元Ｘ線検出器でＸ線透過像データを検出することにより、前記被検査物の全周を長い距離にわたって検査することを特徴とするＸ線非破壊検査装置の構成とした。 （もっと読む）