【課題】被検査物と混在しやすい特定の異種物とが同等の大きさでも、混在しやすい特定の異種物を確実に検出して異種物混入検査を行う。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、バラ流しで搬送される被検査体にＸ線を照射して得られるＸ線透過画像のＸ線濃度データに基づいて被検査体の検査を行うものであり、Ｘ線濃度データから得られる検出すべき特定の異種物Ｗａの立体形状の特徴を示す立体形状指数に基づいて特定の異種物Ｗａの有無を判別する信号処理部６を備える。 （もっと読む）

【課題】絶縁性液体を充填した外囲器内に放射線発生管を備える構成において、装置の小型化、外囲器と放射線発生管との間の耐圧の向上、放射線の減衰量の低減を実現した放射線発生装置及びそれを用いた放射線撮影装置を提供する。
【解決手段】放射線を透過する第一の窓２７を有する外囲器１２と、外囲器１２内に収納され、第一の窓２７と対向する位置に放射線を透過する第二の窓１９を有する放射線発生管１４と、外囲器１２と放射線発生管１４との間に充填された絶縁性液体１３と、を備える放射線発生装置であって、第一の窓２７及びその周縁部と第二の窓１９及びその周縁部との間に、固体の絶縁部材２８が配置されていることを特徴とする放射線発生装置。 （もっと読む）

【課題】
本発明をウエハ、ディスプレイパネル、磁気ディスクなど試料上に発生した欠陥の部位に対して、走査電子顕微鏡で画像を撮像しようと試みたとき、画像に欠陥が写っていないといった失敗が生じる割合を低減する。
【解決手段】
本発明は、欠陥の座標と特徴量を有する欠陥検査データを入力し（２４１）、欠陥毎に走査電子顕微鏡での検出可否を予測し（２４２）、予測結果に基づいて走査電子顕微鏡で撮像する座標をサンプリングし（２４３）、予測結果に基づいて加速電圧を設定した電子光学系、ないしは光学系で欠陥部位の画像を撮像する（２４４）。 （もっと読む）

【課題】連続的に巻き取られるような連包ワークにおける個装袋毎の質量測定や空袋検査及び欠品検査をリアルタイムに且つ連続的に行うこと。
【解決手段】搬送される連包ワークＷの境界位置を境界検知部５で検知し、この検知した検知信号を所定の信号処理後に境界信号として質量積算部１１に出力する。また、ライン質量算出部１０は、Ｘ線検出器４からのＸ線透過データに基づいて連包ワークＷに吸収されたＸ線吸収量を算出し、ラインセンサ１周期分を合算した後に風袋部分のＸ線吸収量を減算して得られた内容物のみのＸ線吸収量に質量換算係数を乗算したライン質量値を質量積算部１１に出力する。そして、質量積算部１１において、境界信号の入力タイミングに応じてライン質量値の積算を開始し、次に入力した境界信号の入力タイミングでライン質量値の積算を終了して個装袋の内容物質量値を得る。 （もっと読む）

【課題】航空機の製造プロセスで多くの粘着テープが使用されており、使用後は剥がれるが、テープが剥がされずにそのままになり、航空機組み立て後も残ったまま異物となることを防止するためのドープ粘着テープを提供する。
【解決手段】後方散乱Ｘ線技術により容易に検出される元素を含むドーパントを、粘着テープに塗布するか、基材か粘着剤に付加することで、部分組立品に残されたどんな粘着テープも検出することを特徴とする。ドーパントはヨウ素とすることができ、製造中にテープのバッキング層または粘着層に包含することができる。厚みの大きなテープとドーパントの両者を組み合わせて使用することにより、検出が促進される。構成要素が組み立てられた後に後方散乱Ｘ線検出装置を使用してドープ粘着テープが検出されると、ドープ粘着テープは取り除かれる。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線回折測定装置において、誤ったイメージングプレートの使用を避ける。
【解決手段】 コントローラＣＴは、測定対象物にて回折したＸ線による回折環をイメージングプレート２８に記録して、回折環を記録したイメージングプレート２８にレーザ光を照射して回折環を測定する。新たなイメージングプレート２８には、製造日を含む識別データがＸ線により記録されており、新たなイメージングプレート２８への交換後には、識別データが読取られ、その後、識別データがイメージングプレート２８から消去される。これにより、新たなイメージングプレート２８への交換後に識別コードが読取れなかった場合には、コントローラＣＴは、使い古しのイメージングプレート２８がセットされたと判定する。また、コントローラＣＴは、製造日を用いて使用期限の切れたイメージングプレート２８のセットも判定する。 （もっと読む）

【課題】鮮明な高倍率断層画像を取得することができるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】本発明によれば、テーブル２の載置位置のファントムを撮影するプレ撮影を行ったあと、テーブル２および検出器３をプレ撮影と同じ様式で移動させて試料を撮影する実撮影を行って断層画像を再構成する構成となっている。再構成部１０は、実撮影Ｘ線画像Ｑの撮影時におけるテーブル２の移動の様式を考慮することができる。しかし、テーブル２がプレ撮影と実撮影で全く同じように移動するとは限らない。そこで、本発明によれば、テーブル２のウラ面のマーカを撮影し、実撮影マーカ画像Ｎとプレマーカ画像Ｍとによってプレ撮影と実撮影との間で生じたテーブル２の位置ズレを認識する。結果として高解像度の断層画像を取得可能なＸ線ＣＴ装置が提供できる。 （もっと読む）

【課題】全重量を軽くでき、被検車両の前輪を持ち上げて牽引してもフレームの変形が少なく、フレームの変形を規制するガイドが不要であり、重負荷により破損する可能性がある構成部材がなく、メンテナンスの必要性が低い地上式搬送装置を提供する。
【解決手段】被検車両１の搬送通路２に沿って被検車両の外側に位置し搬送方向３に水平に延びる左右の走行レール１２と、同一の姿勢を保持しかつ互いに同期して各走行レール上を移動可能な左右の移動台車２０と、各移動台車に設けられ、被検車両の前輪を昇降可能であり、かつ被検車両と干渉しない退避位置に退避可能な左右の前輪昇降装置３０と、各移動台車を連結する連結位置と被検車両と干渉しない退避位置との間で移動可能な連結装置４０とを備える。連結装置４０は、前輪昇降装置３０による被検車両１の前輪１ａの昇降時に、左右の移動台車２０を連結して各移動台車に作用する転倒モーメントを支持する。 （もっと読む）

【課題】微細化あるいはハイアスペクト化された凹部を有する構造体に対するパターン検査の精度を向上させることができるパターン検査方法およびパターン検査装置を提供することである。
【解決手段】本発明の実施態様によれば、構造体が有する凹部にＸ線または真空紫外線を集光させ、前記集光させた前記Ｘ線または前記真空紫外線を前記凹部の内部において伝播させて前記凹部の底面に到達させ、前記底面で反射または前記底面を透過した前記Ｘ線または前記真空紫外線の強度を検出することにより前記凹部の欠陥の有無を検査することを特徴とするパターン検査方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】多結晶材上に非晶質材が積層されてなる積層膜において、積層膜を構成する非晶質材の内部歪みを精緻に特定することができる非晶質材の内部歪み特定方法を提供する。
【解決手段】多結晶材上に非晶質材が積層されてなる積層膜における非晶質材の内部歪みを特定する方法であって、Ｘ線回折法を使用して、多結晶材１の第１の内部歪みを測定する第１のステップと、多結晶材１'上に非晶質材２を形成して積層膜５を作製する第２のステップと、Ｘ線回折法を使用して、積層膜５を構成する多結晶材１'の第２の内部歪みを測定する第３のステップと、第１の内部歪みと第２の内部歪みの差分から非晶質材２の内部歪みを特定する第４のステップからなる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は隣接するスペクトルの重なりの影響を低減することができ、且つ、波数空間上のスペクトルをフィッティングして位相回復を行うよりも少ない計算量で位相回復を行うことができる計算方法、プログラムと、撮像装置を提供すること。
【解決手段】 撮像装置は、シアリング干渉計と、シアリング干渉計により得られる干渉パターンから被検体の情報を算出する算出手段を備える。
算出手段は、干渉パターンを窓フーリエ変換することにより得られる波数空間上の座標におけるフーリエ成分を表す式を３以上用い、それらのフーリエ成分を表す式を連立方程式として解くことで被検体の情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】走査透過型電子顕微鏡を用いて簡易に歪の分布解析を行う結晶材料の格子歪評価方法、評価システムを提供する。
【解決手段】結晶材料の格子歪評価方法は、結晶構造を有する試料に対して晶帯軸方向に電子線を照射し、試料により回折される複数の回折波の内、特定方向に回折される特定の回折波を選択して検出する工程と、上記電子線を照射し特定の回折波を選択して検出する工程を、試料上を走査しつつ繰り返し、試料について各点での回折強度から特定の回折波に対応する方向の歪分布像を得る工程と、を含む。格子歪が生じると励起誤差が変化し回折強度は変化するので歪分布像が得られる。 （もっと読む）

【課題】鉄鋼材料の粒界偏析や粒界析出物をオージェ分析するための粒界破面露出技術に関して、真空中で高温引張破断する際に、破断後のSの表面偏析を抑制して正確な粒界偏析解析を可能とする技術を提供することを目的とする。
【解決手段】オージェ分析法による鉄鋼材料の粒界偏析、及び、粒界析出物を分析する際の粒界破断試料の作製方法であって、前記鉄鋼材料を真空中で 500〜1000℃ に加熱して引張破断し、破断後の試料を冷却速度１００〜５００℃/sで冷却することを特徴とする粒界破断試料の作製方法。 （もっと読む）

【課題】層状構造を有する被検体の断面像を短い断層撮影時間で得るＣＴ装置。
【解決手段】被検体５を透過したＸ線ビーム２を検出して透過データとして出力するＸ線検出器３と、被検体５とＸ線ビーム２とを平行移動させる平行移動機構７と、被検体５とＸ線ビーム２とを回転軸ＲＡに対し回転させる回転機構６と、回転の１つの位置で１回の平行移動をする間に透過データを収集する１回移動スキャンと、回転の約９０°異なる２つの位置それぞれで平行移動をする間に透過データを収集する２回移動スキャンとを実施するもので、選択入力に応じて１回移動スキャンと２回移動スキャンのどちらかを実施する制御処理部９と、１回移動スキャンの透過データから被検体５の第一の断面像を再構成し、また、２回移動スキャンの透過データから被検体５の第二の断面像を再構成する再構成部９ｅを有するＣＴ装置。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線画像データの保存に失敗するリスクを簡便な方法により低下することが可能なＸ線検査システムを提供する。
【解決手段】
Ｘ線検査装置と、バッファ手段であるＲＡＭと、記憶手段である複数のＨＤＤ装置と、制御手段である制御部とを備えるＸ線検査システム。Ｘ線検査装置は、物品のＸ線画像データを得て、その得られたＸ線画像データによって物品の状態を検査する。ＲＡＭは、Ｘ線画像データを一時的に記憶する。ＨＤＤ装置は、Ｘ線画像データを記憶する。制御部は、複数のＨＤＤ装置の中からＸ線画像データを記憶するＨＤＤ装置を選択する。制御部は、ＲＡＭに記憶されているＸ線画像データの数に基づいてＸ線画像データを記憶するＨＤＤ装置を選択する。 （もっと読む）

【課題】検査装置における伝送プロトコルは画像データの送信側と受信側が使用する伝送プロトコルに応じて最適化されている。このため、使用する伝送プロトコルが変更されると、データの分配を実行する部分の再開発が必要とされる。
【解決手段】画像データに付加情報を付して出力する撮像部と画像データを処理する画像処理部との間に画像分配部を配置する。さらに、画像分配部を、第１の伝送プロトコルにより撮像部から入力される画像データを所定のデータ形式に変換する画像入力部と、所定のデータ形式に変換されたデータの分配を制御する分配制御部と、所定のデータ形式のデータを第２の伝送プロトコルの画像データに変換して画像処理部に出力する画像出力部とで構成する。 （もっと読む）

【課題】省エネ効果を可視化できる新たなＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】搬送中の物品ＡがＸ線照射領域にない場合には、省エネモードに切り替わるＸ線検査装置１であって、該Ｘ線検査装置が省エネモードに切り替わると、運転中の表示画面に省エネモード中であることを表示する表示手段６を備えたことを特徴とする。これにより、物品の搬送状況やＸ線検査装置の稼動状況を監視する作業員にとっては、省エネモードへの切り替え表示を通して、物品の搬送状況やＸ線検査装置の運転状況とを同時に確認することができる。 （もっと読む）

【課題】 回折Ｘ線の強度にかかわらず、回折環を精度よく測定できるようにする。
【解決手段】 コントローラＣＴは、レーザ光の照射位置をイメージングプレート２８の中心周りに回転させるとともに径方向に変化させている状態で、イメージングプレート２８の同一回転角度でレーザ光の強度又は受光信号の増幅率を同一にするとともに、イメージングプレート２８が所定角度ずつ変化するごとにレーザ光の強度又は受光信号の増幅率を変化させる。コントローラＣＴは、イメージングプレート２８の回転角度が基準角度から所定角度ずつ変化するごとに受光信号を順次取得して、受光信号の大きさがピークとなる径方向位置を１周分検出し、検出した１周分の径方向位置における受光信号に基づいて、最適なレーザ光の強度又は受光信号の増幅率を設定する。 （もっと読む）

【課題】小型でリップルが少なく、効率的にＸ線を発生できるようにする。
【解決手段】Ｘ線発生器２０の電源部２２は、商用交流電源を、整流・平滑し、その平滑出力をスイッチングして交流化し、これを昇圧トランスで昇圧して、位相が異なる複数相の交流を出力する多相型インバータ２３と、コンデンサとダイオードの多段接続により構成され、多相型インバータ２３から出力される各交流をその段数に応じた高電圧までそれぞれ昇圧・整流する複数のコッククロフト回路３１_１、３１_２と、それらの複数のコッククロフト回路３１_１、３１_２の出力を並列に重畳してＸ線管２１に与える並列重畳回路３５とを有している。 （もっと読む）

【課題】目視用の作業者を必要とせず、従来に比べて被検査体の内容物の個数を正確に検査する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、内容物が収容体に縦詰めして整列収容された被検査体Ｗを順次搬送させながらＸ線を照射し、このＸ線の照射に伴うＸ線濃度データからなるＸ線透過画像に基づいて被検査体Ｗを検査するものであり、Ｘ線透過画像から内容物に相当する内容物領域を抽出し、さらに抽出した内容物領域から内容物の整列方向と直交する方向の内容物の凸部領域を抽出して計数する画像処理手段１３と、画像処理手段１３による凸部領域の計数値に基づいて内容物の個数を判別する判別手段１４とを備える。 （もっと読む）