【課題】荷電粒子顕微鏡を用いて試料を検査する方法を提供する。
【解決手段】試料を試料ホルダ上に載置する手順、粒子光学鏡筒を用いて、少なくとも1つの粒子放射線ビームを試料へ案内することによって、試料から放出される放射線を発生させる相互作用を生じさせる手順、第1検出器構成C₁を用いて、放出される放射線の第1部分を検出して、第1部分に基づいて第1画像I₁を生成する手順を有する。第1検出器構成C₁とは異なる第2検出器構成C₂を用いて、放出される放射線の第2部分を検出して、第2部分に基づいて第2画像I₂を生成することで、検出器構成の組S_D={C₁,C₂}と、対応する画像の組S_I={I₁,I₂}をまとめる手順、コンピュータ処理装置を用いて、S_Iの各異なる画像を自動的に比較して、S_Dのうちの少なくとも1つに対する視線が閉塞された試料上の少なくとも1つの閉塞領域を数学的に特定する手順を有する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線回折測定において測定対象試料を気密状態で測定装置内に保持するために使用されるホルダーであって、試料のセットが容易で、かつＸ線透過窓等の試料以外の部分からの回折を検出する問題も生じさせないＸ線回折測定用気密試料ホルダーを提供する。
【解決手段】測定対象試料を設置する試料設置板、前記試料設置板を保持する保持部を有する底板とこの底板に対して垂直方向に延設される複数の壁又は柱と前記壁間又は柱間に設けられたＸ線透過部とからなる試料搭載具、及び、柔軟、非透気性かつＸ線透過性の膜からなり、前記試料搭載具を気密状態で封入可能な気密袋からなることを特徴とするＸ線回折測定用気密試料ホルダー。 （もっと読む）

【課題】小型でリップルが少なく、効率的にＸ線を発生できるようにする。
【解決手段】Ｘ線発生器２０の電源部２２は、商用交流電源を、整流・平滑し、その平滑出力をスイッチングして交流化し、これを昇圧トランスで昇圧して、位相が異なる複数相の交流を出力する多相型インバータ２３と、コンデンサとダイオードの多段接続により構成され、多相型インバータ２３から出力される各交流をその段数に応じた高電圧までそれぞれ昇圧・整流する複数のコッククロフト回路３１_１、３１_２と、それらの複数のコッククロフト回路３１_１、３１_２の出力を並列に重畳してＸ線管２１に与える並列重畳回路３５とを有している。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線画像を用いて被検査対象を検査する場合に、被検査対象における検査領域を精度よく設定することが可能なＸ線検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物の検査を実行するＸ線検査装置において、被検査物における検査領域を設定する検査領域設定方法は、被検査物の検査対象を含む第１の領域の可視画像を撮像するステップ（Ｓ１０４）と、被検査物の検査対象を含む第２の領域に対して、Ｘ線画像を撮像するステップ（Ｓ１１２）と、第１の領域についての可視画像と第２の領域についてのＸ線画像を、位置および倍率をそろえて、検査対象の位置を示すマークとともに同時に表示するステップ（Ｓ１１８）と、表示した検査対象のマークの位置およびＸ線画像における検査対象の位置について確認の入力を受け付け、検査領域を確定するステップ（Ｓ１２０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査装置の検査情報とレビュー装置で取得した観察情報とを用い、欠陥の高さ、屈折率、材質の情報を取得して欠陥材質・屈折率分析や、微細なパターン形状の三次元解析を行う方法、並びにこれを搭載した欠陥観察装置を提供する。
【解決手段】試料上の欠陥を観察する方法において、光が照射された試料からの反射・散乱光を受光した検出器からの検出信号を処理して検出した検査結果の情報を用いて観察対象の欠陥が存在する位置を走査電子顕微鏡で撮像して画像を取得し、この取得した観察対象の欠陥の像を用いて欠陥のモデルを作成し、作成された欠陥のモデルに対して光を照射したときに欠陥モデルから発生する反射・散乱光を検出器で受光した場合のこの検出器の検出値を算出し、この算出した検出値と実際に試料からの反射・散乱光を受光した検出器の検出値とを比較して観察対象の欠陥の高さ又は材質又は屈折率に関する情報を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線照射手段側のＸ線照射のＯＮ／ＯＦＦ状態を検出する、あるいはＸ線照射手段側のＸ線照射の異常を検出することができるＸ線制御装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管２１も含めてＸ線発生装置３１の消費電流に基づいて、Ｘ線照射のＯＮ／ＯＦＦ状態を電流検出回路１１ａが検出することで、消費電流をモニタリングすればＸ線発生装置３１側のＸ線照射のＯＮ／ＯＦＦ状態を検出することができる。また、当該消費電流とＸ線照射条件との比較に基づいて、設定されたＸ線照射条件における電流と、実際にモニタリングされている消費電流との間に不一致が生じる場合には、Ｘ線照射の異常を電流検出回路１１ａが検出することで、消費電流をモニタリングすればＸ線発生装置３１側のＸ線照射の異常を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】対象物から過去に撮影された画像を検索することができる、または過去に撮影された画像から対象物あるいは対象物中のどの部分かがわかることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】テーブルに過去に記憶された複数の外観像からなる外観像群Iの中から対象となる外観像Ｉ_１を選択する。選択された外観像Ｉ_１に関連付けられ、かつテーブルに過去に記憶されたＸ線透視像F_１００を読み出してモニタ１０Ｍに表示すると、選択された外観像Ｉ_１の対象物（サンプル）から、それに関連付けられたＸ線透視像F_１００を表示することができ、対象物から過去に撮影された画像を検索することができる。 （もっと読む）

【課題】樹脂用Ｘ線造影剤、当該樹脂用Ｘ線造影剤を用いて樹脂成形体の内部構造の変化を検出する方法、及び当該樹脂用Ｘ線造影剤を用いて樹脂成形体の内部構造を決定する方法を提供する。
【解決手段】特定の炭化水素系化合物を樹脂用Ｘ線造影剤として用いる。樹脂用Ｘ線造影剤とは、樹脂成形体に浸透させて、上記樹脂成形体の内部構造を分析するための樹脂用Ｘ線造影剤であり、上記樹脂成形体を構成する樹脂の質量吸収係数よりも高い質量吸収係数を有する、炭化水素系化合物から構成される。ハロゲン系炭化水素化合物を樹脂用Ｘ線造影剤として使用することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】表示パターンのフレームサンプリングから得られた撮像画像（シグナルイメージ）の収縮、膨張等のフレーム間の幅に不均等な部分が生じた場合であっても、各ラインの座標位置を正確に算出し、液晶パネルのピクセル位置を正確に算出する。
【解決手段】表示パターンを撮像して得られる撮像画像（シグナルイメージ）において、実検出ラインの座標位置を検出した後、次に座標位置を検出する実検出ラインを求める際に、前の実検出ラインの信号強度パターンと比較することによってラインの良・不良の検出、および、不良ラインの収縮又は膨張の判定を行い、次の実検出ラインを求める。ラインの良・不良を検出し、不良ラインの収縮・膨張の判定することによって、ライン幅にばらつきが生じた場合であっても、各ラインの座標位置を正確に算出する。 （もっと読む）

【課題】分析対象の測定面が曲率を有する場合でも、分析対象に含まれる成分の被分析元素の量についての情報を正確に得る。
【解決手段】制御部１１Ｃで、分析対象２０の表面の曲率１／Ｒまたは半径Ｒに基づいて、蛍光Ｘ線強度から算出される量的情報を補正する。 （もっと読む）

【課題】縞走査法を用いて被検体の位相微分画像を生成する放射線撮影装置において、格子の移動精度を向上させる。
【解決手段】Ｘ線源とＸ線画像検出器との間に第１の格子２１と第２の格子２２とが対向配置されている。走査機構は、第１の格子２１に対して第２の格子２２を、格子線に直交する方向（ｘ方向）に対して角θをなす方向に相対的に並進移動させ、第１の格子２１に対する第２の格子２２の相対位置を複数の走査位置に順に設定する。Ｘ線画像検出器は、各走査位置において、第２の格子２２により生成されるＧ２像を検出して画像データを生成する。位相微分画像生成部は、Ｘ線画像検出器により生成される複数の画像データに基づいて位相微分画像を生成する。第１及び第２の格子２１，２２に代えて、線源格子を上記方向に並進移動させてもよい。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線蛍光（ＸＲＦ）分光計により、タンパク質の特徴を測定し、生体認証解析に利用できるセキュリティシステムを含む装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線蛍光（ＸＲＦ）分光計は、タンパク質と小分子の結合現象を検出し、化学物質と受容体の間の結合選択性を測定するために使用される。ＸＲＦは、セキュリティシステムへの利用の他、タンパク質の純度を測定し化学物質の治療指数を推測するために、化学物質対化学物質類縁体の結合選択性を推測し、タンパク質の翻訳後修飾を測定するために、及び薬物の製造のためにも使用することができる。 （もっと読む）

【課題】試料棒と低温ガス吹付方向とが鋭角になる場合があるＸ線分析装置において試料に霜が付着する現象を解消する試料冷却装置を提供する。
【解決手段】試料棒２３によって支持された試料Ｓをω軸線を中心として回転させ、試料ＳにＸ線を照射し、試料Ｓから出るＸ線をＸ線検出器１１によって検出するＸ線分析装置１に用いられる試料冷却装置５である。試料Ｓに冷却ガスを吹付けるノズル２６と、試料Ｓを通過したガスを開口３４を通して吸引するガス吸引装置２８とを有する。試料棒２３はω軸線を中心として回転するときに試料Ｓを頂点とする円錐面を形成するように移動し、ノズル２６は試料棒２３とノズル２６のガス吹付方向とが９０度以下の鋭角になることがあるように設けられている。ガス吸引装置２８は、試料棒２３とノズル２６のガス吹付方向Ｄとが鋭角を成すときに、試料棒２３に当ったガスをその流路を曲げるように吸引する。 （もっと読む）

【課題】抗張体の周囲をも含めて劣化を判断することが可能な乗客コンベアハンドレールの検査装置を提供する。
【解決手段】乗客コンベアのハンドレールを透写することによって生成された透写画像に基づいてハンドレールを検査する乗客コンベアハンドレールの検査装置であって、輝度を示す情報を各画素として生成された透写画像を取得する画像データ入力部２１と、輝度と色とが対応付けられた色変換テーブルに基づき、透写画像を構成する各画素を色の情報に変換して色付け画像を生成する色付け処理部２５と、色付け画像を構成する各画素の色に基づいてハンドレールの劣化を判断する劣化判定部２８とを含む。 （もっと読む）

【課題】回折環の形状を短時間で精度良く検出できる、安価なＸ線回折装置を提供する。
【解決手段】測定対象物ＯＢにＸ線を照射するＸ線出射器１３、測定対象物ＯＢにて回折したＸ線を受光して回折環を記録するイメージングプレート２８を固定するテーブル２７及びレーザ光をイメージングプレート２８に照射して、回折環の形状を読み取るレーザ検出装置ＰＵＨを設ける。テーブル２７の中心に、Ｘ線を通過させる貫通孔を設ける。回折環を撮像した後、スピンドルモータ２４及びフィードモータ１８によって、テーブル２７を回転させるとともにイメージングプレート２８の受光面に平行に移動させた状態で、レーザ検出装置ＰＵＨによって、イメージングプレート２８にレーザ光を照射して、イメージングプレート２８が発する光の強度が極大となるときのレーザ照射位置を取得する。 （もっと読む）

【課題】露光マスクを必要とせず、Ｘ線タルボ干渉計用位相型回折格子を容易かつ高精度で製造することができる方法を提供する。
【解決手段】畝部１０ｂが複数形成され、隣接する畝部の間に樹脂部１２が介装されたＸ線タルボ干渉計用位相型回折格子１０の製造方法であって、モールド母材５０に単結晶ダイヤモンド製の刃具２００で溝部を切削加工し、溝の幅が４μｍ以下であるモールド形成工程と、シード層が成膜された面に未硬化樹脂が塗布された基板の塗布面に、モールドを加熱した状態で加圧浸漬し、その後未硬化樹脂が硬化する温度に冷却してモールドを前記基板から離して、突出部と溝部を有する樹脂部を形成する樹脂形成工程と、樹脂部の溝部に、溝部がＸ線干渉計で画像を得るときに照射するＸ線の位相をπ／２変化させる厚さの金属を電鋳して畝部を形成する回折格子の畝部形成工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 溝のアスペクト比の高い回折格子を容易かつ高精度で製造することができるＸ線タルボ干渉計用回折格子及びその製造方法、並びにＸ線タルボ干渉計を提供する。
【解決手段】基板２２上に金属膜２０ｂｘを切削して形成したＸ線吸収部２０ｂが、一方向に沿って所定間隔で畝状に複数形成されているＸ線タルボ干渉計用回折格子２０である。 （もっと読む）

【課題】断層撮影の精度（分解能）を低下させることなく、１回の断層撮影に要する時間を大幅に短縮（１秒程度以下に）することができ、電子部品の実装状態の検査を高速かつ高精度に行うことができ、しかも安価に構成できるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線発生器１２を、Ｘ線放射面１２ａを試料の載置面と平行に維持したまま、かつＸ線放射面１２ａ上のある２点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、軸Ｌ１を中心に長さｒを径として円形移動させる円形移動機構２５と、Ｘ線検出器１１を、Ｘ線受光面Ｉを載置面と平行に維持したまま、かつＸ線受光面Ｉ上のある２点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、軸Ｌ１を中心にして円形移動させる円形移動機構２４とが、モータＭ１１からの動力を伝達する動力伝達機構２６を介して機械的に連結され、動力伝達機構２６の駆動により、Ｘ線検出器１１とＸ線発生器１２との円形移動を同期させる。 （もっと読む）

【課題】自動欠陥分類機能では、装置毎に適切な処理パラメータが異なるが同一の工程において複数の装置が運用される場合でも、それぞれの分類レシピにおける分類クラスに差が発生しないようにする。
【解決手段】同一の工程で異なる画像撮像装置から得られた画像から同種の欠陥画像を特定する対応欠陥特定部２０９、同一の工程で異なる画像撮像装置から得られた画像を変換し、比較可能な類似した画像に変換する画像変換部２１２、同一の工程の分類レシピについて、同一の分類クラスを定義し、特定された同種の欠陥画像をそれぞれの対応する分類レシピ内の分類クラスに登録するレシピ更新部２１１を備えた。 （もっと読む）

【課題】 露光マスクを必要とせず、溝のアスペクト比の高い回折格子を容易かつ高精度で製造することができるＸ線タルボ干渉計用回折格子及びその製造方法、並びにＸ線タルボ干渉計を提供する。
【解決手段】紫外線透過性の基板２２上に、金属製のＸ線吸収部１０ｂ、２０ｂが一方向に沿って所定間隔で畝状に複数形成され、隣接するＸ線吸収部の間の溝部に紫外線硬化したフォトレジスト壁２６が介装され、Ｘ線吸収部は、基板上の金属膜２ｂｘを切削して形成され、溝部の側壁の表面粗さがＪＩＳ Ｂ０６０１で規定された算術平均高さＲａで０．１μｍ以下である切削金属層２ｂと、該切削金属層上にフォトレジスト壁を鋳型とする電鋳によって積層される１層以上の電鋳層４ｂ、６ｂとを備えているＸ線タルボ干渉計用回折格子１０、２０である。 （もっと読む）