サムピークを自動的に抑制するＸ線蛍光（ＸＲＦ）分析器を作動させる方法を開示する。本方法は、試料を照射して最初のエネルギスペクトルを取得する段階を含む。エネルギスペクトルは、着目元素の特徴的蛍光ピークを妨害するサムピークを識別するように処理される。識別されたサムピークに寄与する放射線を減衰させるフィルタが放出放射線経路に位置決めされ、フィルタリング済みのエネルギスペクトルが得られる。ある一定の実施形態では、フィルタリング済みエネルギスペクトルは、最初のエネルギスペクトルから計算された着目元素の検出限界（ＬＯＤ）がターゲット目標を満たさない時にのみ得られる。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成された元素の量を全反射蛍光Ｘ線で測定するときの位置による誤差を低減すること。
【解決手段】基準元素を含有する非晶質層１５を表面に成膜した測定用ウェハ１０を作製するステップと、測定用ウェハ１０に励起光８が照射されたときに、その基準元素から発せられる基準蛍光Ｘ線の強度と非晶質層１５）の表面に存在する被測定元素１６から発せられる被測定蛍光Ｘ線の強度とに基づいて被測定元素１６の量を算出するステップとを備えている。このような元素量測定方法によれば、励起光８が非晶質層１５で回折して被測定元素１６に照射される程度の位置によるばらつきを低減し、さらに、その被測定蛍光Ｘ線の強度の入射角によるばらつきをその基準蛍光Ｘ線の強度に基づいて補正することができる。このため、このような元素量測定方法は、被測定元素１６の量の測定誤差を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 ＸＡＦＳを用いて、結晶性アルミノシリケート中のＦｅの分散性を評価する新たな方法を提供する。
【解決手段】 Ｆｅを含有する結晶性アルミノシリケートのＦｅのＸＡＦＳスペクトルを測定し、ＦｅのＫ−吸収端よりも３〜７ｅＶ低エネルギー側の吸光度から、Ｆｅを含有する結晶性アルミノシリケート中のＦｅの分散性を評価する方法。 （もっと読む）

【課題】透過性放射線を用いて物体を検査するためのシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】複数の透過性放射線の供給源を用いて、物体を検査するための、検査および方法。上記供給源による、検査される物体の照射は、検出される散乱放射線の供給源が明白であるように、時間的に順序付けられる。こうして、ビームが、実質的に同一平面上にあるような、コンパクトな幾何学においてさえ、検査される物体の複数の視野が得られ得、そして、画像の品質が、向上され得る。本発明の検査システムは、物体の動きの方向に関して実質的に横断方向の第１ビーム方向に方向付けられた、特定の断面の透過性放射線の第１ビームを提供するための、第１の供給源を有する。この検査システムは、第２ビームの方向の透過性放射線の第２ビームを提供するための第２の供給源も有し、そして、この検査システムは、さらなるビームのさらなる供給源もまた有し得る。 （もっと読む）

【課題】データ処理アプリケーション等の他のアプリケーションを用いることなく分析条件を決定すること。
【解決手段】分析対象元素が指定される分析対象元素指定手段１８と、分析対象元素が指定されることにより、予めデータベース１６に記憶されている当該元素のピーク位置とバックグラウンド測定位置を検索する検索手段１５と、スペクトル収集が指示されると、前記検索された当該元素のピーク位置とバックグラウンド測定位置情報に基づいて実際の試料を用いた時の所定の波長範囲のスペクトルを測定してディスプレイに表示する表示手段１５と、表示されたスペクトル上でピーク位置とバックグラウンド測定位置を指定して、指定されたピーク位置とバックグラウンド測定位置におけるＸ線強度を測定するための、ピーク位置とバックグラウンド測定位置を設定するピーク位置とバックグラウンド測定位置設定手段１５と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線カメラの撮像エリア内の劣化を均一にして、Ｘ線カメラの長寿命化やメンテナンス費用の低コスト化を図ることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 保持テーブル２と、Ｘ線源１ａと、Ｘ線源制御部１ｂと、Ｘ線源１ａから撮像エリアに入射したＸ線によって透視画像を撮像するＸ線カメラ３と、透視画像に基づいて被検査物Ｋの状態を判別する異常・欠陥判別部４と、Ｘ線カメラ３を移動させて、Ｘ線カメラ３の撮像エリア内における被検査物Ｋの位置を移動させるカメラ駆動部５ａと、カメラ駆動部５ａによるＸ線カメラ３の移動制御を行うカメラ駆動制御部５ｂとを備え、カメラ駆動制御部５ｂは、保持テーブル２に保持された被検査物Ｋが入れ替わる毎に、カメラ駆動部５ａによってＸ線カメラ３を移動させて、Ｘ線カメラ３の撮像エリア内における今回の被検査物Ｋの位置を前回の被検査物とは異なる位置に移動させる。 （もっと読む）

【課題】筐体の搬入口及び搬出口が開放される面積と時間を極力抑えてＸ線遮蔽性を向上させる。簡素な構成とするとともに、清掃性を良好にする。
【解決手段】遮蔽構造の筐体３と、被検査物Ｗを搬送するベルトコンベアと、被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生部１１と、被検査物Ｗを透過したＸ線を検出するＸ線検出部１２と、筐体３の搬入口４ａ及び搬出口４ｂに設けられているＸ線遮蔽部材２１とを備えるＸ線検査装置１において、Ｘ線遮蔽部材２１として複数の金属板２２ａ〜２２ｃからなるＸ線遮蔽ユニット２１を備え、Ｘ線遮蔽ユニット２１は、複数の金属板２２ａ〜２２ｃが、その上縁部２３ａ〜２３ｃが近接して吊り下げられ、その下縁部２４ａ〜２４ｃと搬送面との間の距離が下流側の金属板２２ｃほど短く形成されており、金属板２２ａ〜２２ｃを被検査物Ｗに押された搬送方向Ｙの上流側の金属板２２ａが次の金属板２２ｂ，２２ｃを押すように配置した。 （もっと読む）

【課題】混合材等の添加物が不要で、長期強度を維持しつつ初期強度を向上させた低熱ポルトランドセメントを製造することを目的とする。
【解決手段】低熱ポルトランドセメント用の原料を調合し、調合した原料を焼成することによって得られる低熱ポルトランドセメントクリンカを用いて、低熱ポルトランドセメントを製造する低熱ポルトランドセメントの製造方法において、上記低熱ポルトランドセメントクリンカ中の少量成分の含有量を調整することにより、この低熱ポルトランドセメントクリンカの粉末Ｘ線回折プロファイルをリートベルト法で解析して判明する鉱物組成を管理する。 （もっと読む）

【課題】被検査物のＸ線遮蔽部材通過時の衝突抵抗を緩和して被検査物が転倒することを防止するとともに、筐体外にＸ線が漏洩することを確実に防止する。
【解決手段】筐体２と、被検査物Ｗを搬送路に沿って筐体２の入口４ａから出口４ｂに搬送するベルトコンベア６と、筐体２内にて被検査物ＷにＸ線を照射して検査するＸ線検査手段と、Ｘ線検査手段にて照射されたＸ線を外部に漏洩させないために搬送路を遮断するように設けられ、被検査物Ｗが当接することによりこれを通過させるＸ線遮蔽部材１０とを備えるＸ線検査装置１において、Ｘ線遮蔽部材１０は、基端側１５が搬送路上に位置し、先端側１６が基端側１５よりも搬送方向Ｙの下流側に位置する遮蔽板１１を備え、遮蔽板１１が搬送路の幅方向Ｚに対向して設けられ、遮蔽板１１の先端側１６同士が搬送路上にて当接していることで閉状態となり、且つ閉状態となるように常時付勢させるようにした。 （もっと読む）

【課題】石膏ボード中に含まれるアスベスト含有量を精度良く、安価にまた短時間に測定可能なアスベスト分析方法及び分析試料作製方法を提供する。
【解決手段】分析対象試料である石膏ボードに水及び炭酸塩を加え、石膏ボードの主成分である硫酸カルシウムと炭酸塩とを反応させ、硫酸カルシウムを炭酸カルシウムにした後、この懸濁溶液に強酸を加え、炭酸カルシウムを溶解させ、その後この水溶液をろ過し固形分を分離し、この固形分を乾燥しＸ線回折測定用試料を得る。このＸ線回折測定用試料をＸ線回折装置で分析しアスベスト含有量を測定する。 （もっと読む）

【課題】対象物中の異物等の検出精度を向上させる放射線画像取得システムを提供する。
【解決手段】Ｘ線画像取得システム１は、対象物ＳにＸ線源からＸ線を照射し、対象物Ｓを透過した複数のエネルギ範囲のＸ線を検出する。Ｘ線画像取得システム１は、対象物Ｓを透過する低エネルギ範囲におけるＸ線を検出して低エネルギ画像データを生成する低エネルギ検出器３２と、不感帯領域８２を挟んで低エネルギ検出器３２と並列に配置され対象物Ｓを透過する高エネルギ範囲におけるＸ線を検出して高エネルギ画像データを生成する高エネルギ検出器４２と、低エネルギ検出器３２で生成される低エネルギ画像データと高エネルギ検出器４２で生成される高エネルギ画像データとが互いに対応するように不感帯領域８２の不感帯幅ＮＷに基づいて高エネルギ検出器４２の検出タイミングを制御するタイミング制御部５０とを備える。 （もっと読む）

検出器装置は、物体から放射線データを、走査して、得て、そこから例えば画像を作り出すために表されている。装置は、走査ゾーンを規定し、走査ゾーンにおける物体との相互作用の後に検出器で入射する放射線に関する情報のデータセットを使用中に収集するためにそこから間隔を置いた放射線検出器システムを含み、走査エリア全域に二次元においてこのように集められた空間的な情報、かつソースのスペクトルにおける複数の周波数バンドにわたる分光学的な情報を分解するために適用される。上記検出器システムは、ソースのスペクトルの少なくとも一部にわたって分光学的に可変の反応を示す検出器を含むという点で、分光学的に収集されたこの種の情報を分解するように構成されており、かつ、走査エリアを各々二次元の複数の画素に分けるように構成されるラスタリング・モジュールと、連続してこの種の画素を走査し、これにより各々の画素に対するデータセットを集めるために、走査エリア全域で検出器を動かす検出器制御手段と、を含むという点で、空間的に収集されたこの種の情報を分解するように構成されている。方法は、装置の使用に基づいて記載されている。 （もっと読む）

【課題】高コントラスト観察とライン分析による粒子内の組成分析を可能とし、コアシェル粒子を容易に同定する。
【解決手段】被検物であるコアシェル粒子を担体に担持する工程を含むことを特徴とするコアシェル粒子の分析法である。このコアシェル粒子の分析法には、更に、コアシェル粒子が担持された担体を電子顕微鏡によりコアシェル構造であることを確認する工程、及びコアシェル粒子が担持された担体を電子顕微鏡により組成分析する工程を付加することができる。 （もっと読む）

【課題】絶縁性試料の分析を正確に行う。
【解決手段】 試料２表面にＸ線３を照射すると同時に、中和用電子銃６からの電子ビームを試料２表面に照射し、試料２をセットしている試料ステージ４にバイアス電圧電源１４からバイアス電圧を印加することにより、試料表面上が一旦一様に帯電される様にしてから中和用電子銃６からの電子ビーム照射により試料表面上を一様に中和する様に成す分光分析装置において、その内部に試料ステージ４が配置される様に直方体状の容器３１を設ける。容器３１は試料２と電気的に絶縁されており、ステージ４の試料セット面に対向する容器３１の上壁中央部にはＸ線，中和用電子銃６からの電子ビーム，試料からの光電子が通過可能な孔３４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】進行中の測定値に応答して検出器回路のパラメータをリアルタイムで設定し、かつ変更する蛍光Ｘ線分析方法及び装置の提供。
【解決手段】サンプルの元素組成及び／又はエネルギ分解能条件に従って、Ｘ線検出器１１４のシェーピング時間及び／又は他のパルス処理パラメータを適合させる方法及び装置。Ｘ線１０４はＸ線源１０２からサンプル１１０に向けられ、これに応答してサンプルから放出される放射線（例えば、元素組成の特徴を有する蛍光発光した放射線）１０８が、入射放射線のエネルギ及び強度を示すパルスを発生するＸ線検出器１１４により検出される。元素組成の最初の分析に基づいて、シェーピング時間及び／又は他のパルス処理パラメータが、対象とするスペクトル領域内のエネルギ分解能の拘束を受けるカウント速度を最適化すべく設定される。 （もっと読む）

【課題】 波長分散型Ｘ線分光器とエネルギー分散型Ｘ線分光器とを同時に搭載したＸ線分析装置において、分析モードも考慮して分析を正しく行なえる状態であるか否かを判断し、判断の結果を操作者に分かりやすく通知する。
【解決手段】
点分析と線分析と面分析のうちのどの分析モードによって分析を行なうかを操作者が任意に指定する。プログラム２６は、予め決めてあるＸ線分析装置の確認項目についての設定状態を収集し、指定されている分析モードに対して、波長分散型Ｘ線分光器とエネルギー分散型Ｘ線分光器とによる分析が適切に行なえるために満たすべき設定条件をデータベース２５から読出し、収集された設定状態が設定条件を満たしているかを判定し、その判定結果を表示装置２４に表示する。 （もっと読む）

【課題】簡易迅速な潤滑油中の異物診断容器及び方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る異物診断容器１０Ａは、所定量の潤滑油１１を充填し、上蓋１４を閉じて、遠心分離装置を用いた遠心分離操作により、容器本体１２内の底部に異物１３を沈降させてなり、この沈着した異物１３を顕微鏡検査や、色調検査や蛍光Ｘ線照射検査を行い、潤滑油中の異物の種類を、現場にて迅速に診断することができる。簡易迅速な潤滑油の診断が可能となり、適正時期に潤滑油の交換を行う目安を設定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】試料表面を短時間で走査し且つ試料表面に付着した粒子を高分解能で検出することができる走査型粒子検出装置を提供する。
【解決手段】導体部を有する探針８にて試料Ｓ表面を走査し、試料Ｓ表面に付着した粒子Ｐが存在する検査対象領域を検出する走査型粒子検出装置において、検査対象領域を検出した場合、試料Ｓ表面から離隔する方向へ探針８を移動させる探針駆動機構６と、探針８を試料Ｓ表面から離隔させた状態で、探針８から電子を放出させる引き出し電極１１及び加速電極１２と、探針８から放出された電子を検査対象領域の面積よりも小さい断面積を有する電子ビームに集束させ、該電子ビームを検査対象領域に照射させるコンデンサレンズコイル１３及び対物レンズコイル１４と、電子ビームの照射によって検査対象領域から放出された二次電子を検出する二次電子検出部１５と、二次電子の検出結果に基づいてＳＥＭ画像を生成する制御部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】エネルギー校正が必要であることを的確に分析者に知らせることで、不要なエネルギー校正作業をなくすとともに、大きなエネルギー位置ずれの下での信頼性の乏しい測定の実行も回避する。
【解決手段】被測定試料２に１次Ｘ線を照射して得られた検出信号に基づいて作成されるＸ線スペクトル上で、レイリー散乱線検出部１４はＸ線管１のターゲット元素に応じたエネルギー位置に出現する筈であるレイリー散乱線を検出する。エネルギー判定部１５は、この散乱線が検出されればエネルギー位置ずれがないと判断するが、散乱線が検出されない場合にエネルギー位置ずれが大きくエネルギー校正が必要であると判断する。その場合、制御部２０は測定を一時中断し、報知部２２はエネルギー校正が必要である旨の表示を行う。これにより、分析者は的確なタイミングでエネルギー校正を実施できる。 （もっと読む）

【課題】微量の元素の分析を効率よく行う。
【解決手段】Ｘ線検出器１１〜１Ｎの出力パルスは、それぞれパルス時刻検出回路（時刻検出部）２１〜２Ｎに入力される。パルス時刻検出回路２１〜２Ｎは共通のクロックで動作し、それぞれＸ線検出器１１〜１Ｎの出力パルスが入力された到着時刻をそれぞれ認識する（出力Ａ_１〜Ａ_Ｎ）。Ｎ個のＸ線検出器１１〜１Ｎからの独立した出力パルスにおいて、ほぼ同時、すなわち、到着（出力）時刻の時間差が予め設定されたある一定の短い間隔（例えば１００ｎｓ）内である２つの出力パルスが出力パルス組として取り出される。この出力パルス組の抽出は、ＯＲ回路、時間差判定回路、抽出回路からなるパルス組抽出部でなされる。 （もっと読む）