【課題】本発明はＸ線光電子分光装置並びに全反射Ｘ線光電子分光装置に関し、試料表面を極めて平坦にすることにより、高精度の試料分析ができるようにしたＸ線光電子分光装置，全反射Ｘ線光電子分光装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料表面上を帯電液滴エッチング法を用いてエッチングするエッチング手段と、エッチングした試料表面に全反射条件を満たす全反射臨界角以下の角度でＸ線を照射するＸ線照射手段と、Ｘ線を照射した試料表面から放出される光電子を解析することにより試料の表面近傍の深さ方向分析を行なう解析手段と、を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】超伝導Ｘ線検出器と、低温初段増幅器と、コリメータとからなる超伝導Ｘ線検出装置の先端部分において、該検出器と該コリメータとの位置の粗調整が容易な構造とし、かつ、ボンディング配線を保護できる超伝導Ｘ線検出装置およびそれを用いた超伝導Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】超伝導Ｘ線検出器の検出部とコリメータの貫通穴との位置を、該検出器と該コリメータの少なくとも外周の一部を位置の基準として製作し、基準とした外周の一部が一致するように該検出器と該コリメータを装着固定する、あるいはセンサーホルダに設けた溝の壁に基準とした外周の一部が接するように装着固定する構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】ＰＧＭの誤同定を生じさせることなく、かつ同定に必要な時間を短縮できるＰＧＭの同定方法を提供する。
【解決手段】それぞれ予め定められたエネルギを有する複数の離間する連続的なエネルギチャンネルを区画し、異なったＰＧＭ種の標準化スペクトルの参照テーブルを作成し、｛せん けんしゅつ き｝PGMに関連して見出される元素のみに関する各エネルギチャンネルのスペクトルカウント値を前記参照テーブルから抽出し、サンプルミネラルのエネルギ分散型スペクトルを作成し、かつ単一チャンネルのスペクトルの振幅を、前記前記参照テーブルから抽出したデータと比較して、ＰＧＭの、又はＰＧＭと関連した既知の成分の特定元素を検出する。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ線分析装置を用いて汚染土壌の重金属濃度を測定する際に、測定窓への土壌の付着及び測定窓の破損を防止することができ、汚染濃度にかかわらず良好な測定が可能な測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】 搬送されてくる汚染土壌１と蛍光Ｘ線分析装置３の測定窓３ａとの間に樹脂フィルム４を供給する手段を備えており、汚染土壌１と樹脂フィルム４を停止させた状態で蛍光Ｘ線分析装置３を下降させ、樹脂フィルム４を挟んで蛍光Ｘ線分析装置３の測定窓３ａと汚染土壌１を近接させて測定した後、蛍光Ｘ線分析装置３を上昇させて汚染土壌１と樹脂フィルム４を搬送する。 （もっと読む）

【課題】重なり合った複数の内容物の数量検査を正確に行う。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、Ｘ線照射器１３と、商品位置調整機構４０と、Ｘ線ラインセンサ１４と、品質検査部２１ｂとを備える。Ｘ線照射器１３は、上下に重なり合った複数のクッキーＣ１〜Ｃ４を含む商品Ｇ１に向けて上方からＸ線を照射する。商品位置調整機構４０は、Ｘ線照射器１３からのＸ線が各クッキーＣ１〜Ｃ４の左端部Ｍ１〜Ｍ４をクッキーＣ１〜Ｃ４の重なり方向に対して斜めに透過するように、商品Ｇ１とＸ線照射器１３との相対位置を調整する。Ｘ線ラインセンサ１４は、Ｘ線照射器１３からのＸ線を受光する。品質検査部２１ｂは、各クッキーＣ１〜Ｃ４の左端部Ｍ１〜Ｍ４をクッキーＣ１〜Ｃ４の重なり方向に対して斜めに透過し、Ｘ線ラインセンサ１４で受光されたＸ線の濃度値に基づいて、商品Ｇ１に含まれるクッキーＣ１〜Ｃ４の数量を検査する。 （もっと読む）

【課題】火災や炭酸化等の影響を受けたＡＬＣパネルの強度性状を明らかにして、ＡＬＣパネルの劣化を正確に判断するとともに、継続使用の可否判断が可能なＡＬＣパネルの劣化診断方法を提供すること。
【解決手段】ＡＬＣパネルの試験体を用いて予め（１）加熱時間又は経過時間と深さ方向におけるトバモライトピークの高さの変化又は深さ方向における貫入力の変化に基づくＡＬＣパネルの変化に係わる深さとの関係（２）加熱時間毎又は経過時間毎の荷重とたわみとの関係とを求め、実際に火災又は炭酸化の影響を受けたＡＬＣパネルの表面から深さ方向に沿ってコア抜きしたサンプルから、深さ方向におけるトバモライトピークの高さの変化又は深さ方向における貫入力の変化に基づくＡＬＣパネルの変化に係わる深さを測定し、得られた測定結果と上記関係（１）、（２）とからＡＬＣパネルの劣化を診断する。 （もっと読む）

【課題】マイクロリトグラフィーのための物体の検査を可能にし、短い全長を有する反射型顕微鏡を提供する。
【解決手段】物体平面内での物体を検査する反射型Ｘ線顕微鏡であって、物体は、波長＜１００ｎｍ、特に、＜３０ｎｍの光線で照明され、像平面に拡大して結像され、第１鏡と第２鏡とを含み、物体平面から像平面までの光路内に配置される第１副系とを備える。反射型Ｘ線顕微鏡が光路内で第１副系に後置されて少なくとも第３鏡を有する第２副系を含むことにより特徴付けられる。 （もっと読む）

【課題】
被検査物の転倒を強制的に防止するＸ線異物検査装置を提供する。
【解決手段】
本発明に係るＸ線異物検出装置１００は、被検査物Ｓ用の搬入口８及び搬出口９を有する検査室１と、検査室１内にＸ線を照射してＸ線照射領域Ｒを形成するＸ線照射器２と、検査室１を挟むようにＸ線照射器２と対向して配置され、Ｘ線を検出するＸ線検出器３と、Ｘ線照射領域Ｒを横切るようにして、搬入口８から搬出口９まで被検査物Ｓを搬送する搬送手段４と、複数の短冊部材１２からなり、Ｘ線照射領域Ｒの搬入口８側及び搬出口９側に設けられたＸ線漏洩防止ノレン５と、被検査物Ｓの搬送路の上方に配設され、短冊部材１２の間を抜けて被検査物Ｓの搬送方向に伸延する案内部材６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線マッピングされた画像から特定元素に関して所定濃度以上の部位等を容易にかつ直接的に認識でき、特定することが可能なＸ線分析装置等を提供すること。
【解決手段】 試料Ｓ上に放射線を照射するＸ線管球２と、特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出しそのエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器３と、信号を分析する分析器５と、予め設定されたマッピング領域Ｍ内で試料Ｓに対して照射ポイントを相対的に移動可能な試料ステージ１と、特定の元素に対応したＸ線強度を判別し、該Ｘ線強度に応じて色又は明度を変えた強度コントラストを決定して照射ポイントに対応した位置に画像表示するＸ線マッピング処理部６と、を備え、該Ｘ線マッピング処理部６が、予め組成元素及びその濃度が既知の標準物質７について判別したＸ線強度を基準にして、照射ポイントにおけるＸ線強度の強度コントラストを決定する。 （もっと読む）

Ｘ線分光器は解析中の試料からエネルギー分散スペクトルを収集し、試料中に存在し得る候補元素のリストを生成する。その後、波長分散スペクトル収集手段は、候補元素のいくつかまたはすべてのエネルギー／波長においてＸ線強度測定値を取得するように調整され、これによりこれらの候補元素が試料中に実際に存在するかどうかを検証する。さらに、候補元素から選択された１つ（好ましくは、試料中にその存在が検証されたもの、または試料中に存在する可能性が高いもの）のエネルギー／波長に波長分散スペクトル収集手段を調節し、次に、波長分散スペクトル収集手段が選択された候補元素の最大強度測定値を戻すまで波長分散スペクトル収集手段と試料との位置合わせを変更することにより、波長分散スペクトル収集手段と試料との位置合わせを最適化することができる。次に、他の候補元素の強度測定値はこの最適化された位置合わせにおいて収集される。
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【課題】ハードウエアの追加を伴わない簡単な構成で、Ｘ線照射の絞りを変更するためのＸ線遮蔽板の位置ずれを検知する。
【解決手段】設定されているものと異なる絞り孔４ａ〜４ｄの選択が指示されると、制御部１０は現在の絞り孔に応じた数のパルス信号をパルスモータに送ってＸ線遮蔽板４をホームポジションＰ２に戻し、その後、センサ１３により原点位置Ｐ１に来たことが検出されるまでパルス信号を計数しつつパルスモータを駆動する。その計数値と規定数との差が許容値以下であるか否かを判定し、許容値を超えている場合、ホームポジションが適切でなく元のＸ線遮蔽板４の位置が異常であると判断して表示部１２にエラー表示を行う。また、絞り孔の変更がない場合でも規定回数毎に同様の異常検知を実行することで、絞り孔の位置がずれた状態で取得された可能性のある信頼性のないデータの棄却を可能とする。 （もっと読む）

【課題】ナノメートルレベルの高強度なＸ線マイクロビームを実現する。
【解決手段】Ｘ線集光レンズは、屈折率がＮ₁のカーボン層３の上下を屈折率がＮ₂のルテニウム層２，４で挟んだ導波路構造を有し、カーボン層３の一部に形成された屈折率がＮ₃のＸ線位相シフター層５と、上部ルテニウム層４の表面上の一部に形成された屈折率がＮ₂以上のＸ線遮蔽層６を有する。位相シフター層５は、Ｘ線の波長をλ、焦点距離をｆ、Ｘ線ビームの中心からＡＹ方向に沿った距離をＹ_n（Ｑ／Ｐ）＝｛ｎλｆ＋２λｆ（Ｑ／Ｐ−１）｝^1/2（ｎは偶数、ＰとＱは１≦Ｑ≦Ｐを満たす整数）としたとき、Ｙ_n（Ｑ／Ｐ）の位置とＹ_n（（Ｑ−１）／Ｐ）の位置との間の領域に配置され、Ｘ線位相シフター層５の長さｔ（Ｑ／Ｐ）は、ｔ（Ｑ／Ｐ）＝（Ｑ−１）×λ／｛Ｐ×（Ｎ₃−Ｎ₁）｝である。 （もっと読む）

【課題】電子分光法及び電子分光を行う装置に関する。特に、試料から表面層を選択的に除去するために用いることのできる電子分光用イオン源に関する。
【解決手段】電子分光装置２は内部に試料台６を設置した超高真空容器４を備える。イオン銃８は超高真空容器４内に伸びており、多環式芳香族炭化水素イオンビーム１０を供給する。イオンビームは使用の際、試料台の上の試料に向けられる。光子源１２は、使用時に試料上に投射する光子ビーム１４を供給するのに適合している。真空容器４の内部には光電子分光器１６が設置され、使用時に試料から放射される電子１８を検出する。 （もっと読む）

【課題】極微量の元素検出を可能とし、被射体内部の特定元素分布をＣＴで得られるのと同様に断層像として、高空間分解能を有する機能画像の作成を行う蛍光エックス線分析装置を提供すること。
【解決手段】単色エックス線をシートビーム状に照射する光源部と、分析試料を支持する試料支持部と、分析試料に含まれる被検元素から発生する蛍光エックス線を検出する検出部と、データ処理用コンピューターを備え、検出部がエックス線照射方向と直交するシートビーム面に配設され、検出素子からエックス線照射方向へおろした垂線上に存在する被検元素から発生する蛍光エックス線を検出し、且つ、試料支持部がシートビーム面を垂直に貫通する線を中心軸としてシートビーム面を光源部及びエックス線検出部に対して相対的に回転し、分析試料を単色エックス線で回転走査して分析試料内部の画像を得ることができる蛍光エックス線検出装置として構成する。 （もっと読む）

【課題】フェライト系ステンレス鋼板とオーステナイト系ステンレス鋼板との異材溶接継手で、優れた耐食性を有する溶接金属および耐食性評価方法を提供する。
【解決手段】ステンレス鋼異材溶接継手の溶接金属であって、Ｃｒ：１８〜２１質量％、Ｍｏ：０．１質量％以下、Ｃｕ：０．５質量％以下、Ｎｂ：０．０３〜０．２５質量％、Ｔｉ：０．０５質量％以下、Ｎ：０．０４質量％以下を含有し、粒界または粒界近傍フェライト相側のＣｒ濃度の最小値とその母相フェライト相のＣｒ濃度差が１０質量％以下、かつ粒界近傍のオーステナイト相側のＣｒ濃度の最小値と、その母相オーステナイト相のＣｒ濃度の差が５質量％以下。粒界または粒界近傍フェライト相側のＣｒ濃度の最小値とその母相フェライト相のＣｒ濃度差、および／または粒界近傍のオーステナイト相側のＣｒ濃度の最小値と、その母相オーステナイト相のＣｒ濃度の差により耐食性を評価する耐食性評価方法。 （もっと読む）

【解決手段】エネルギー分散型放射線分光分析システムにおけるパイルアップを検出する方法であって、システムのフィルタがプリアンプ信号に応答して第１のパルスを発生し、システムが完全な効率のエネルギーを有する１又は複数の高速チャンネルを有し、少なくとも完全な効率のエネルギーを有する受信された実質的に全ての光子が検出される。この方法は、フィルタのスレッショルド超過期間を測定するステップと、第１のパルスがフィルタの最小検出可能スレッショルドエネルギーを超える間に高速チャンネルが何ら検出を行っていないことを判定するステップと、この判定に応答して、スレッショルド超過期間がシステムによって受信されている完全な効率のエネルギーに等しいエネルギーを有している単一の光子に応答してフィルタによって出力されることになる第２のパルスの期間である最長予想パルス間隔を超える場合に、パイルアップを断定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】同一の基板において微小異物の検出と成分分析を行うことができる異物検出方法を提供する。
【解決手段】光学式異物検査装置１３、電子ビーム照射装置１４、水蒸気供給ユニット１５及び圧力制御バルブ１７を備える異物検出装置１０において、ウエハＷの温度及び該ウエハＷの表面を取り巻く雰囲気中の水蒸気圧を制御することによってパーティクルＰの周りに選択的に水分を結露させ、その後、ウエハＷの温度を低下させながら、上記水蒸気圧がウエハの表面にパーティクルが付着していない場合の飽和蒸気圧曲線を越えないように制御して結露した水分から氷の結晶Ｔを発生・成長させ、ウエハＷの表面を光学的に検査し、検査対象のパーティクルＰの位置を特定し、氷の結晶Ｔを蒸発させて除去し、さらに、特定されたパーティクルＰの成分をエレクトロンビームを用いて分析する。 （もっと読む）

【課題】コンクリートを削る必要がなく、鉄筋の腐食電位から腐食量を推定するための専門知識を必要としない鉄筋コンクリート構造物の鉄筋腐食量の測定技術を提供すること。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置１００の１次フィルタ３は、Ｔｉをフィルタ成分として含み、その厚み寸法が５０μｍである薄膜状に形成されており、Ｆｅから発生する固有Ｘ線に対してバックグラウンドとなる、固有Ｘ線よりもエネルギの低い帯域である第一エネルギ帯域を１次Ｘ線Ａから主に吸収する。吸収後の１次Ｘ線Ａには、第一エネルギ帯域よりもエネルギの大きい帯域である第二エネルギ帯域がＦｅを励起する励起成分として含まれ、この第二エネルギ帯域のＸ線は、元素Ｆｅを励起する励起成分の１つとして作用する。１次フィルタ３によってバックグラウンドが低減され、励起成分となる第二エネルギ帯域のＸ線の割合が著しく高くなるため、Ｆｅを精度良く分析可能となる。 （もっと読む）

【課題】放射線撮像装置の２次元放射線検出器において、キャリブレーションデータ作成時に、異物が２次元放射線検出器上に付着していた場合、正確なキャリブレーションデータを作成することができなかった。
【解決手段】
画像処理部にて、前回キャリブレーションを実施した時のキャリブレーション照射データと今回新たに取得したキャリブレーション照射データとを加算平均処理して、閾値で判別することにより、異物が付着した画素を検出し、異物を取り除くようにオペレータに警告する。異物が除去できない場合には、隣接する正常な画素との置き換えなどにて異物が付着した画素を補完する。 （もっと読む）

【課題】半導体基板等の表面または内部において局所的に存在する金属不純物元素を現実的な時間内で検出、定量可能な元素分析方法を提供する。また、インラインで、できる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】プロトンを、０°より大きく９０°より小さいプロトン入射角で分析対象の基板へ入射させる。このとき、プロトンの入射により励起され、分析対象の基板から放射される特性Ｘ線は、エネルギー分散型のＸ線検出器等により計測される。分析対象の基板内部に存在する不純物元素は、計測された特性Ｘ線から特定される。プロトンビームを走査することで基板面内の分布を取得でき、異なるプロトン入射角でプロトンを入射することで深さ方向の分布を取得することができる。また、当該元素分析方法を、半導体装置の製造工程に適用することで、金属汚染の分析や導電型決定不純物量の定量をインラインでかつ高精度に実施できる。 （もっと読む）