【課題】薄膜の結晶粒子の配列状態を簡便に得る方法とこれを用いた薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜面を測定して得たＸ線回折パターンＰａと、前記薄膜面に対して直角な薄膜断面を測定面として測定して得たＸ線回折パターンＰｂとを用い、薄膜を構成する結晶粒子の面方位に該当するピークの実測強度の総和をＩｐｓ１とし、所望面方位に該当するピークの実測強度の和をＩｐｏ１とし、無配向のＸ線回折パターンを用いて、薄膜を構成する結晶粒子の面方位に該当するピークの強度の総和をＩｐｓ２とし、無配向のＸ線回折パターンを用いて、前記所望方位に該当するピークの強度の和をＩｐｏ２とし、下記式に代入して配向度Ｋを求める。
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【課題】 リムとタイヤの組付け状態を、タイヤの一周に渡り短時間で連続的に測定できる、リム組付けタイヤの組付け状態測定方法を提供する。
【解決手段】 タイヤ内部構造測定装置１０に、リム３０にタイヤ５６を組み付けたリム組付けタイヤ１２を回転可能に支持し、リム組付けタイヤ１２を、押圧負荷のない無負荷状態で回転させ、Ｘ線照射装置２０からＸ線をリム３０の接線方向に照射し、Ｘ線検知装置２２により、リム３０とタイヤ５６との組付部のＸ線透過情報を所定のタイミングで取り込み、取り込んだＸ線透過情報に基づいて、画像形成処理部２８で接線方向透過画像を形成し、得られた接線方向透過画像を用いて、リム３０とタイヤ５６の特定部位の位置情報を得る。 （もっと読む）

【課題】導体ウェハ収納容器内の付着物を十分に回収することができ、かつ気泡の影響を受けずに高精度に半導体ウェハ収納パーティクルの測定を行うことのできる半導体ウェハ収納容器の清浄度評価方法の提供。
【解決手段】半導体ウェハ収納容器の清浄度評価方法は、半導体ウェハ収納容器内に液体を注入して前記半導体ウェハ収納容器を撹拌し、容器内付着物を液体中に回収する手順Ｓ３と、付着物が回収された回収液体中に最終洗浄を行った半導体ウェハを浸漬する手順Ｓ４と、浸漬された半導体ウェハの表面を上向きにして一定時間静置し、前記回収液体中の付着物を前記半導体ウェハ表面に転写させる手順Ｓ５と、前記付着物が転写された半導体ウェハを乾燥させる手順Ｓ６と、乾燥した半導体ウェハ表面の前記付着物を、ウェハ用パーティクル測定装置にて測定する手順Ｓ７とを実施する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物内の液体の流れを停止させないで保温材内の水の存在位置を精度良く測定できる水分検出装置を提供する。
【解決手段】配管検査装置１５の中性子発生管１及び中性子検出器を有する。中性子発生管２は単一エネルギーを有するパルス状の高速中性子２０を発生し、保温材１２に照射する。高速中性子２０は保温材１２内に存在する水１４及び配管１１内を流れる液体１０によって減速されて熱中性子２１となる。高速中性子２０の照射方向とは逆方向に進行する熱中性子２１は^３Ｈｅ比例計数管２で検出される。この計数管２からの出力信号は多チャンネル波高分析器８を経てデータ処理装置９に達する。データ処理装置９は高速中性子の発生時刻を基準とする熱中性子検出率の分布情報を算出し、さらに、この分布情報を用いて、保温材１２内に水１４が存在する場合の水１４の位置及び水１４の量を求める。 （もっと読む）

【課題】感光体上に生じている電荷分布又は電位分布をミクロンオーダーで高性能に計測する静電特性計測方法、静電特性計測装置、光走査装置、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】表面電荷分布あるいは表面電位分布を有する試料に対して、荷電粒子ビームを照射し、該照射によって得られる検出信号により、試料の電荷分布あるいは電位分布の状態を測定する方法において、露光条件を変えたときの潜像状態を計測することにより、感光体の静電特性を把握することで、高画質かつ高耐久な感光体を提供することが可能となる。また、露光エネルギー密度を固定して、単位面積当たりの像面光量を変えたときの、１ビームスポット潜像の潜像径を計測することにより、相反則不軌のメカニズムを解析することができ、この結果、画像濃度むらの発生原因と対策を実施することができ、出力画像品質を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】固体酸化物燃料電池（ＳＯＦＣ）表面の分析用のシステム及び方法を提供する。
【解決手段】固体酸化物燃料電池（ＳＯＦＣ）表面分析システムは、セラミック表面を有するＳＯＦＣを分析試料として、セラミック表面に隣接し且つセラミック表面に関連するデータを収集するスキャナ、スキャナに対してＳＯＦＣを保持する構造体、セラミック表面のデータを収集し処理するデバイス、及び、デバイス上に常駐し且つセラミック表面のデータを分析し提示するプロセスから構成される。 （もっと読む）

【課題】 試料を固定しながら、小角Ｘ線散乱装置により実現可能な、薄膜状の試料に対する小角Ｘ線散乱の測定方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線発生装置によりＸ線を発生し、当該Ｘ線発生装置から発生したＸ線を光学系により所定のＸ線入射ビームに形成し、当該形成したＸ線入射ビームを、試料保持部に搭載した測定試料に照射し、当該試料からの小角散乱Ｘ線をＸ線検出器により検出する小角Ｘ線散乱の測定方法において、板状の基板表面に薄膜状に形成された当該試料に対し、前記Ｘ線入射ビームをその側端面から、当該薄膜状試料の表面に対して負の角度を有する入射角度で入射する小角Ｘ線散乱の測定方法。 （もっと読む）

広範囲に及ぶ対象物の材料強度は、第１の距離測定装置が対象物の第１の主表面までの距離を決定し、第２の距離測定装置が第１の主表面に対向する対象物の第２の主表面前の距離を決定する、２つの距離測定手段を使用することによって効率的に決定することができる。Ｘ線によって参照手段に基づいて第１の距離測定手段と第２の距離測定手段の間の参照距離を決定することによって、規模が大きいことによる潜在的な測定誤差が回避されるならば、第１の主表面と第２の主表面の間の対象物の厚みは、高い精度と速度をもって決定することができる。 （もっと読む）

【課題】化学反応により生成した結晶を、容易にかつ効率良く採取することができるキット及び方法の提供。
【解決手段】反応容器に挿脱自在の非磁性有底筒状体と、当該非磁性有底筒状体に挿脱自在な、かつ磁石又は磁性体を備えた挿入体と、反応液中に投入される磁石とから成る結晶採取キット；反応液中に磁石を投入するステップと、当該磁石を取り出すことなく結晶化せしめるステップと、結晶が付着形成された磁石を反応容器から取り出すステップとを有する結晶採取方法。 （もっと読む）

【課題】化学反応により生成した結晶を、容易にかつ効率良く採取することができるキット及び方法の提供。
【解決手段】反応容器に挿脱自在な、かつ上部に磁石を備えた棒状磁性体と、当該棒状磁性体が挿通自在の貫通穴を備えた非磁性板状体と、当該貫通穴の径より大きな径を有し、かつ反応液中に投入される磁石とから成る結晶採取キット；反応液中に磁石を投入するステップと、当該磁石を取り出すことなく結晶化せしめるステップと、結晶が付着形成された磁石を反応容器から取り出すステップとを有する結晶採取方法。 （もっと読む）

本発明は、1つ以上の結晶性平面分子の回折パターンの1組の校正不要な特性から、前記1つ以上の結晶性平面分子の結晶構造及び/又は結晶構造の範囲を決定する方法、コンピュータプログラム、及び装置に関する。
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特にコンクリート内の棒鋼に適する、放射線を使用したトモグラフィ決定を改善する方法および配置。この方法には、物体を透過性放射線で照射し、前記物体を通過した前記放射線を記録手段に記録し、高密度の放射線吸収材料ででき独立して識別され個別化された複数の基準要素を備え、この基準要素を規則的に配置し、前述の測定を識別し、照射時間を決定し、測定に使用した記録手段に記録された情報に基づいて物体内の対象物の位置および寸法を決定することが含まれる。 （もっと読む）

同じエネルギーの線形加速器と比べて、より小型で、より効率的で、より安価な小型電子加速器を備えた、マルチエネルギーを用いた貨物検査システムである。このシステムは、コンテナの元素含有量を認識する性能を強化したものであり、隠された爆発物や核分裂性物質を見つけるために使用することができる。 （もっと読む）

【課題】一定の速度範囲で移動する目標に対し高速検査を行い、検査時間を大きく減らす移動目標の高速結像検査設備及び方法を提供すること。
【解決手段】移動目標が通る通路と、移動目標に対し結像を行って検査を行うために前記通路を通る移動目標に対し放射ビームを発する走査結像装置と、前記移動目標が前記通路に入ったのか否かを判定し且つ前記通路に入る移動目標に対しカウントする第１の検出ユニットと、移動目標の前記通路内での移動速度を測定する第２の検出ユニットと、第１の検出ユニットから受けた、移動目標が前記通路に入ったことに関する検出信号に基づいて、移動目標の移動速度を検出するように第２の検出ユニットを制御し、且つ、第２の検出ユニットの測定結果に基づいて、走査結像装置が移動目標の速度に対応する周波数で放射ビームを発するように走査結像装置を制御して、移動目標を検査する移動目標の高速結像検査設備。 （もっと読む）

被検の移動目標が通路に入ったか否か検出するように構成された第１の検出ユニットと、前記第１の検出ユニットにより被検の移動目標が通路に入ったことを検出した後、移動目標のうち保護すべき部分が通路内の放射線走査領域を通過し且つ通過信号を生成したか否かを検出する第２の検出ユニットと、放射線ビームを照射して被検の移動目標を走査し検査する走査結像手段と、前記第２の検出ユニットより受信した通過信号によって、走査結像手段が放射線ビームを生成するように制御するための制御信号を形成する制御系とを備えていることを特徴とする移動目標の結像検査システム。上述の設備を採用すると、快速の移動目標を安全に、且つ信頼に結像し検査する。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバの外部からの外光を遮断しつつ、走査光学系の光ビームを真空チャンバ内部に導いて試料上を走査することが可能となる真空チャンバ装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバの内部に設けられ、試料を載置し、任意の方向に移動可能とする真空試料ステージ部と、真空チャンバの外部に配置され、試料を走査するための走査ビームを出射、偏向する走査光学系と、真空チャンバと走査光学系とを連結するとともに、真空チャンバ内部へ入射する外光を遮光する外光遮光手段と、真空チャンバと外光遮光手段との連結部分に設けられ、走査ビームが透過可能な内部観察用手段と、走査光学系から出射された走査ビームを、外光遮光手段及び内部観察用手段を介して真空チャンバの内部に導く走査ビーム折り返し手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線回折の測定結果に悪影響を及ぼすことなく、ヒータの小型化が図れながら試料を加熱する均熱領域を広くできるＸ線回折装置を提供し、複数の試料に対して同時にＸ線回折測定が良好に行えるようにする。
【解決手段】試料が配置されるケーシング1と、ケーシング1内に配置された試料にＸ線を照射するＸ線照射器2と、試料を透過した回折Ｘ線を検出するＸ線検出器3と、ケーシング1内に配置され、このケーシング1内に配置された試料を加熱するヒータ4とを備える。ヒータ4は、試料に入射するＸ線（入射Ｘ線）の光軸の周りに、試料を囲むように配置する。ヒータ4は、試料を囲む筒状に形成したときは、筒部の中心軸が入射Ｘ線の光軸と平行となるように配置する。 （もっと読む）

【課題】試料基板交換時に、操作が簡単で、短時間に試料基板の分析面を検出器の受光面に対し常に一定の面間距離に精度よく設定し、正確で精度の良い分析を行うことができ、かつ安価な全反射蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】試料基板１５に１次Ｘ線１４を照射するＸ線源２と、１次Ｘ線が照射される試料基板１５より発生する蛍光Ｘ線１６を検出する検出器１７とを備える全反射蛍光Ｘ線分析装置であって、試料基板１５の分析面１５ａに当接する当接部２７と当接部２７を保持する保持部２６とを有する当接手段２５と、試料基板の分析面１５ａを当接部２７に押圧する押圧手段２０とを備え、試料基板の分析面１５ａと当接手段の保持部２６の試料対向面との間隙を１次Ｘ線１４および試料基板で反射する反射Ｘ線１８のＸ線通路Ｌとする全反射蛍光Ｘ線分析装置。 （もっと読む）

【課題】エックス線分析装置での測定ではエックス線の照射方向と検出方向とを被測定位置で交差させる必要があり、エックス線の集中手段の指向方向を簡便に調整でき、さらに照射エックス線のうち集中手段に導かれないエックス線が周囲に漏洩することを防止したエックス線分析装置を提供する。
【解決手段】キャピラリー12、13を挿入したキャピラリーチャックの先端部にロックナットを締め付けてキャピラリー12、13を保持させ、該キャピラリーチャックをキャピラリーホルダ16に挿入し、該キャピラリーホルダ16を発生装置２と検出装置３にそれぞれカバー14、15を介して取り付ける。キャピラリーホルダ16の周壁に植設した調整ネジの締め付け状態を調整することによりキャピラリーチャックの姿勢を調整してキャピラリー12、13の指向方向を調整する。 （もっと読む）

【課題】鉄筋コンクリートの表層内部に位置する鉄棒のサイズ等の具体的な情報を、ｍｍオーダーの精度で、鉄棒1本当り20秒程度の短時間で測定できる非破壊検査装置等を提供する。
【解決手段】ミュオンμを生成するための粒子加速器２と、該加速器２で生成したミュオンを所定の立体角で捕獲・輸送するための磁場閉じ込め輸送ビーム輸送系３と、輸送されたミュオンを、２種類の異質物からなる複合構造物５の表面に照射し、照射したミュオンμのエネルギの損失に伴って、複合構造物５の表層内部の所定深さ位置６にミュオンを静止させ、静止させたミュオンの死滅に伴って、ミュオンμの照射方向とは逆向きに放出される陽電子ｅ^＋の量を検出する陽電子検出手段４と、陽電子検出手段４により検出した陽電子ｅ^＋の量から、複合構造物５の表層内部に位置する異質物7，8同士の存在状態をラジオグラフィとして取り出す画像処理手段とを具える。 （もっと読む）