【課題】製造コストの安価な簡単な構造でありながら確実な動作で効果的にＸ線センサを保護して寿命を改善できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、搬送手段４の搬送面５の上方にＸ線源６を有し、搬送面５の下方にセンサ９を有し、照射位置７の手前には、操作部材１１と遮蔽部材１２からなるシャッタ装置１０を備える。ワークＷが操作部材に接触しない状態では遮蔽部材がセンサをＸ線から遮蔽し、ワークが操作部材を押した場合には遮蔽部材が移動してワークを透過したＸ線がセンサ９に到達する。検査中にＸ線を常時照射しても、センサに到達するＸ線は検査に必要な最小限に止まる。センサがＸ線で過剰に損傷し、寿命の劣化が早まる恐れは少ない。 （もっと読む）

【課題】環境変化や物品の成分変動によるＸ線吸収率の変化等があっても、物品重量を正しく測定できるようにする。
【解決手段】Ｘ線照射手段２３により測定対象の物品ＷにＸ線を照射し、その透過したＸ線をＸ線センサ２４で受け、その画像情報を画像メモリ２５に記憶する。Ｘ線吸収量算出手段２６は、記憶されたＸ線画像から物品ＷによるＸ線吸収量を求め、重量換算手段２８は、算出されたＸ線吸収量を、換算係数記憶手段２７に記憶されている換算係数によって重量値に換算する。一方、荷重検出型測定部４０は、物品Ｗの荷重を荷重センサ４１で受けて、その物品Ｗの重量を検出する。換算係数更新手段２９は、同一物品について重量換算手段２８で得られた重量値と荷重検出型測定部４０で得られた重量値とから、換算係数記憶手段２７に記憶されている換算係数を更新する。 （もっと読む）

【課題】計量手段を備えていても計量精度の低下等の不具合を防止することのできるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】搬送空間Ｓ内のＸ線照射領域である検査位置Ｐ１に被検査物Ｗを搬送するためのＸ線検査用のＸ線コンベア３２と、Ｘ線コンベア３２に隣接し、被検査物Ｗを計量する計量手段１１を有する被検査物Ｗを搬送空間Ｓ内で搬送するための搬送面が水平な計量コンベア３３と、を備え、検査位置Ｐ１が搬入口３０および搬出口３５から見通せないように、搬入口３０から搬出口３５までの搬送空間Ｓが屈曲して形成されている。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現することができ、検体の内部に生じた異常の位置だけでなく異常の程度も容易に把握することができるＸ線検査装置の提供。
【解決手段】Ｘ線をハンドレール２に照射するＸ線発生器１と、Ｘ線発生器１に対向して配置され、ハンドレール２を透過したＸ線を受光するＸ線受光器６と、Ｘ線受光器６に受光されたＸ線の量を画像として検出するＣＣＤカメラ５及びビデオキャプチャー８と、ＣＣＤカメラ５及びビデオキャプチャー８で得られた画像を分析してハンドレール２の異常の有無を検出するパソコン９と、Ｘ線発生器１とハンドレール２との間に配置され、Ｘ線発生器１から発生したＸ線の一部を遮蔽する遮蔽体とを備え、遮蔽体は、円筒状に形成され、ハンドレール２に当接して回動するローラ７ａ，７ｂから成り、ローラ７ａ，７ｂはＸ線発生器１から発生したＸ線を透過させるスリット１０ａ，１０ｂを有している。 （もっと読む）

【課題】冷却フィンなどの異物による影響を受けずに、実装状態（はんだ付けの状態）を確実に検査することができる透視検査装置を提供する。
【解決手段】放射線Ｘを被検体１０１に向けて放出する放射線源１と、検体を透過した放射線Ｘを検出する放射線検出器４と、被検体１０１への放射線Ｘの入射角度を変化させる入射角度変更手段９と、放射線検出器４により検出された放射線量の二次元分布を画像化する信号処理手段６と、入射角度変更手段９及び信号処理手段６を制御する制御手段１０とを備え、制御手段１０は、被検体１０１に放射線Ｘが第１の角度で入射したときの透過放射線量に基づく画像と、被検体１０１に放射線Ｘが第２の角度で入射したときの透過放射線量に基づく画像とを合成して、被検体１０１に重なっている異物１０２によるノイズ画像を除去する。 （もっと読む）

【課題】容易に短時間で被検査物の検査条件を設定および調整することができる物品検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査物Ｗを検査する検査部３と、被検査物Ｗの属性を特定する属性情報と、被検査物Ｗの検査に用いる検査部３の検査条件を、属性情報と検査条件とを対応付けて記憶する記憶部７と、記憶部７が記憶する属性情報の中から検査部３に検査させる被検査物Ｗの属性情報を選択する選択操作を行う表示操作部４と、記憶部７に記憶された検査条件の中から、表示操作部４で選択された属性情報に一致または類似する属性情報に対応付けられた検査条件を仮検査条件として抽出し、抽出された仮検査条件を用いて検査部３に被検査物Ｗを検査させ、その検査結果に基づいて仮検査条件を更新し、更新された仮検査条件を本検査条件として用いて検査部３に被検査物Ｗを検査させる制御部８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】イメージインテンシファイアおよび／またはＣＣＤカメラの幾何学的歪に起因する輝度ムラを確実に取り除くことができ、ひいては被検査物のＸ線画像の画質を向上させることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】イメージインテンシファイア２ａおよび／またはＣＣＤカメラ２ｂの幾何学的歪に基づいてＸ線検出器２からのＸ線透過情報を補正する画像歪補正手段１３に加えて、同じくイメージインテンシファイア２ａおよび／またはＣＣＤカメラ２ｂの幾何学的歪に基づいてＸ線透過情報の輝度ムラを補正する輝度ムラ補正手段１４を設けることにより、検査対象物のＸ線画像の画質を向上させることができ、ひいては検査精度や測定精度の向上を達成することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】包材の外形を精度良く推定できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】取得部は、基準画像として、輝度毎データから例えばジッパー等の開閉部９０２の画像を取得する。基準画像とは、Ｘ線透過画像において映り易い画像（一の領域の厚さよりも厚い他の領域の画像を含む）である。推定部は、取得部により取得された開閉部９０２の画像に係る基準データに基づいて、包材９０３の外形およびシール部９０４を推定する。判定部は、推定部により推定された包材９０３の外形に係る外形データに基づいて内容物９０１の噛み込みを判定する。 （もっと読む）

【課題】複層膜厚の測定のために2つの線源を用いなくても、1つの線源と異なるシンチレータの組み合わせにより高精度にエネルギー弁別が行える安価でコンパクトな装置を用いて複層膜厚の同時独立算出を可能にした放射線測定方法を提供する。
【解決手段】同一線源から照射された放射線を複数の材質からなる被測定物に照射して透過させ、透過した透過線量から被測定物の物理量を測定する放射線測定方法において、透過した放射線を少なくとも２種類の検出器により検出し、それぞれの検出器からの出力を検量線を用いて弁別演算を行う工程と、弁別演算した値を用いて各層の坪量を演算する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で、Ｘ線漏洩を防止することができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００においては、ベルトコンベア８００により商品９００が搬送され、Ｘ線照射装置２００から照射されるＸ線２１０によって、商品９００が検査される。商品９００を搬送するベルトコンベア８００に一対の案内ガイド７００が設けられ、商品９００がベルトコンベア８００上で誘導される。また、ベルトコンベア８００の搬送上流側および搬送下流側の一対の案内ガイド７００間にＸ線漏洩防止カーテン５００が配設される。Ｘ線漏洩防止カーテン５００は、水平軸５０６，５０７，６０６，６０７を中心に矢印Ｒ１の方向に回動するとともに、屈曲部ＡＲ１２が部材５０５ａに接触することにより、矢印−Ｒ１の方向への過度の回動が規制される。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路の線幅管理用に、ＣＤ−ＳＥＭが用いられているが、ＣＤ−ＳＥＭの自動測定機能は１次元対応で、２次元形状は、ＣＤ−ＳＥＭや他の顕微鏡から取得された画像を使って操作者が手動で検査しているので、この検査工程を自動化する技術を提供する。
【解決手段】「検査対象パターン画像」と検査対象パターンを製造するために使用する「設計データ」を用いるパターン検査装置であって、データから線分もしくは曲線で表現された基準パターン生成部１１と、検査対象パターン画像を生成する画像生成装置７と、検査対象パターン画像のエッジを検出し、検査対象パターン画像のエッジと線分もしくは曲線で表現された基準パターンとを比較することにより、検査対象パターンの測定値を得る検査部１２と、測定値の分布から、パターンの製造に関するフィードバック情報を取得する出力部１３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】製造工程における位置誤差を解消して、位置精度を高め、検査精度を高め、基板上の検査対象領域の正確な位置を取得する。
【解決手段】基板検査装置１は、荷電粒子ビームを基板上で二次元的に走査させて得られる走査画像に基づいて基板検査を行う基板検査装置において、走査画像から基板上の検査対象領域の特定部位の座標データを取得する座標データ取得手段７を備える。基板検査において、座標データ取得手段で取得した座標データに基づいて走査画像上の検査位置を特定することで、誤差によるずれに影響されることなく基板検査を行う。 （もっと読む）

【課題】低コストおよび省スペースで、既に構築された搬送ラインに対してＸ線検査を追加するＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００においては、受取部６００によりベルトコンベア９００から物品Ｂが受け取られる。次いで、Ｘ線検査部７００により受取部６００から受け取った物品Ｂの異物検査が行われる。そして、受渡部８００によりＸ線検査部７００において検査された物品Ｂがベルトコンベア９００に受け渡される。また、Ｘ線漏洩防止カバー９１０は、Ｘ線検査部７００から照射されるＸ線の漏洩を防止する。受取部６００および受渡部８００は、物品Ｂの載置部が平面のみからなり、かつ物品Ｂを載置しつつ搬送する受取テーブル６１１，受渡テーブル８１１と、物品Ｂの移動を補助する案内ガイド板６２１、補助案内部６２２，６２３、案内ガイド板８２１、補助案内部８２２，８２３とを含む。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線漏洩を更に抑えて安全性を向上させ、第二のスリットを形成する散乱規制板の清掃が容易に行えて清掃性を向上させたＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線発生部２と、Ｘ線検出部４とを有し、Ｘ線発生部２とＸ線検出部４の間の検査空間７内を搬送方向Ｙに搬送される被検査物ＷにＸ線を照射し、その透過量から被検査物Ｗを検査するＸ線検査装置１であり、Ｘ線発生部２からのＸ線を検査空間７内の所定領域に照射するためにこの空間７の上面に形成された開口面２１ａを有した第一のスリット２１と、検査空間７の上面からこの空間７内に突出し、第一のスリット２１の開口面２１ａを挟んで対面して設けられた一対の散乱規制板２２ａ，２２ｂにより形成された第二のスリット２８とを備え、一対の散乱規制板２２ａ，２２ｂをその間が清掃可能となるように検査空間７の上面から取り外し可能に設けた。 （もっと読む）

【課題】放射線の経路に存在する隙間に依存しない内部欠陥の評価指標を得る。
【解決手段】放射線検査処理装置であって、金属製品における着目位置に対して複数の異なる経路によって放射線を透過させる照射手段と、前記着目位置を透過する前記放射線の透過量を前記経路のそれぞれについて検出する検出手段と、前記透過量を平均した平均透過量を算出する平均透過量算出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】試料３の幅方向位置の測定精度を向上させ、試料測定範囲（厚さの範囲や材質など）の広範囲化を図った放射線測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物（試料）を搬送させながら放射線を用いて前記試料の物理量の測定を行う放射線測定装置において、前記試料の搬送方向に略直角に配置されたラインセンサと、前記試料の上方に配置され前記試料を介して前記放射線を前記ラインセンサに照射する複数の放射線源からなり、前記複数の放射線源からの放射線は前記試料の搬送方向に略直角方向に扇状に出射されると共に前記ラインセンサの同一線上を照射するように構成した。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の利用効率、計測感度が向上され、装置の小型、軽量化、コストダウンを実現できるＸ線装置を実現する。
【解決手段】Ｘ線を照射するＸ線源と、このＸ線源の下方に設けられ前記Ｘ線の照射方向に直交して流れる測定試料を透過した光を受光検出するＸ線検出器とを具備するＸ線装置において、前記測定試料の流れ方向に略直交して前記Ｘ線源と前記測定試料との間に設けられ前記Ｘ線の反射線束を前記測定試料に照射する反射鏡を具備したことを特徴とするＸ線装置である。 （もっと読む）

【課題】電子ビームを放出中であっても高真空を維持可能な小型荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の電子光学系の差動排気の上流に非蒸発ゲッター
ポンプを配し，下流に必要最小限のイオンポンプ配して，両者を併用することにより達成
される。さらに，取り外し可能なコイルを電子銃部に実装することにより，別の課題を解
決する。
【効果】カラム内の真空度を１０^−８Ｐａ台の高真空で維持できる小型荷電粒子線装置，例えば，小型の走査型電子顕微鏡，複数のカラムを有する荷電粒子ビーム装置を得ることができる。さらに，半導体の電気特性を直接計測するプローバ装置の探針の位置をモニタする小型ＳＥＭカラムを容易に内蔵できる。その他にも，半導体素子検査用のミラープロジェクション方式の電子線検査装置の電子線照射カラムの小型化が可能となる。 （もっと読む）