【課題】小型車両から大型車両までに適用することができ、Ｘ線の垂直照射と水平照射により検査できない車両部分が小さく、実質的に車両全体をＸ線検査する。
【解決手段】Ｘ線の垂直照射と水平照射によりＸ線検査する被検車両１の前輪を持ち上げて搬送するＸ線検査用車両搬送装置１０。被検車両１の走行面１１より低く被検車両の両側面より外側に位置し搬送方向に水平に延びる１対の台車用通路１３内に設けられた１対の走行レールと、走行面より下方に位置し走行レールに沿ってそれぞれ独立に移動可能な１対の移動台車１４と、移動台車にそれぞれ設けられ台車用通路上部と被検車両の前輪の前後位置との間で水平移動可能でありかつ前輪の前後位置において被検車両の前輪を持ち上げ可能な１対の前輪リフト装置１６と、被検車両より前方に位置し１対の移動台車１４を同期して走行レールに沿って移動させる台車駆動装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】移動台車に多数の機器を搭載することなく、被検車両の前輪を持ち上げて搬送しながら被検車両をＸ線検査することができ、これにより移動台車の構造を簡略化かつ軽量化して製造コストを下げることができるＸ線検査用車両搬送装置を提供する。
【解決手段】被検車両１の幅方向外側又は内側に位置し、被検車両の搬送方向に水平に延びる走行レール１２と、走行レールに沿って移動可能な移動台車１４と、移動台車を走行レールに沿って移動させる台車駆動装置１６と、搬送方向の複数の所定位置Ａ，Ｂ，Ｃで被検車両の前輪を被検車両の走行面１１上と移動台車１４上との間で移載可能な前輪移載装置２０とを備える。前輪移載装置２０は、移動台車に設けられ駆動装置を搭載しない台車搭載機器２２と、走行面近傍に固定して設けられた地上駆動装置２４とからなる。台車搭載機器２２と地上駆動装置２４は、各所定位置において協同して作動する。 （もっと読む）

【課題】厚みが大きく、表面の凹凸の大きい薄膜の堆積量を、β線を用いて真空中で測定可能な装置を提供する。
【解決手段】チャンバーと、前記チャンバーを排気するための真空ポンプと、基板上に堆積した薄膜にβ線を照射するβ線源と、照射したβ線の後方散乱を検出する放射線検出器と、前記チャンバー内に配置され、前記検出器の出力信号を増幅する回路と、前記チャンバー内に配置され、前記回路を収容し、前記回路周囲を大気圧に保持する容器と、前記容器内に前記チャンバーの外から冷却ガスを供給する配管とを備える薄膜堆積量計測装置とする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検知性を有しつつ優れた強度を有するポリウレタン成形品を提供すること。
【解決手段】熱硬化性ポリウレタンとＸ線造影剤とを含有し、前記熱硬化性ポリウレタンと前記Ｘ線造影剤との合計量に占める前記Ｘ線造影剤の割合が２質量％以上６０質量％以下であることを特徴とする熱硬化性ポリウレタン組成物などを提供する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の漏出を防止しつつ、装置構成をコンパクト化して、非接触で電極シートの不純物や欠陥を検出することが可能となる、検査装置、検査方法、及び、電池の製造方法を提供する。
【解決手段】検査装置１０は、検査装置本体１１と、検査装置本体１１が載置された基台部１２と、検査装置本体１１の内部に収納されたＸ線発生器１５及び検出器１７と、検査装置本体１１に形成される開口部１１ａにおける検出器１７の側である上側と、Ｘ線発生器１５の側である下側と、のそれぞれに配設される遮蔽部材である、第一遮蔽板２１及び第二遮蔽板３１と、を備え、連続して搬送され、検査装置本体１１に挿通される電極シートＳに対して、Ｘ線発生器１５がＸ線ｒ１を照射し、電極シートＳを透過したＸ線ｒ１を検出器１７が検出することにより、電極シートＳの品質検査を行う。 （もっと読む）

【課題】層状構造を有する被検体の断面像を短い断層撮影時間で得るＣＴ装置を提供する。
【解決手段】層状構造を有する被検体５の断面像を撮影するＣＴ装置であって、回転・昇降機構７とＸ線検出器３を制御して、第一の角度範囲で回転をさせつつ第一の角度間隔毎に検出された複数の透過像を第一のスキャンデータとして取り込んで記憶する第一のスキャン、および、第二の角度範囲で前記回転をさせつつ第一の角度間隔より小さな第二の角度間隔毎に検出された複数の透過像を第二のスキャンデータとして取り込んで記憶する第二のスキャンを実施するスキャン制御部９ｃと、第一のスキャンデータに基づいて、層面が放射線光軸Ｌと平行となる回転位置から±６０°内にあって平行となる回転位置を包含する第二の角度範囲を設定する角度範囲設定部９ｄと、少なくとも第二のスキャンデータを用いて被検体５の断層撮影面に平行な断面像を再構成する再構成部９ｅとを有するＣＴ装置。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、Ｘ線検査を安定させることができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】本発明に係るＸ線検査装置１００は、物品Ｂを搬送する検査テーブル７１１と、検査テーブル７１１で搬送される物品ＢにＸ線を照射するＸ線源２００と、Ｘ線源２００から照射されるＸ線を検査テーブル７１１を介して検出する第１の領域ＡＲ１と、Ｘ線源２００から照射されるＸ線を検査テーブル７１１を介さずに検出する第２の領域ＡＲ２とを有するラインセンサ４００と、検査テーブル７１１と同じ透過特性を有し、第２の領域ＡＲ２で検出されるＸ線の減衰を調整するＸ線減衰調整部４１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な操作により、所要の領域のパノラマ透視像を確実に得ることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】複数の部分画像を合成してパノラマ透視像を得る機能を備えるとともに、ステージ３上の被検査物Ｗを撮影する光学カメラ５を設け、その光学カメラ５による被検査物Ｗの外観像を表示器１５に表示し、その外観像上に、得るべきパノラマ透視像の領域を枠で指定することにより、ステージ３とＸ線発生装置１およびＸ線検出器２の相対位置を移動させる移動機構４を自動的に駆動し、所定の透視倍率にしたうえで指定された枠内の領域を順次撮影して複数の部分画像を取得し、これらを合成して指定された領域のパノラマ透視像を構築することで、パノラマ透視像の撮影のための設定操作を容易化する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線が筺体の外部に漏洩してしまうのを防止することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、筺体９１０と、被検査物が載置される載置面を有する回転テーブル７１１と、回転テーブル７１１の上方に配置され、回転テーブル７１１で搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線源２１０と、Ｘ線源２１０から照射されるＸ線を検知するラインセンサ４００と、Ｘ線が回転テーブル７１１の載置面とＸ線源２１０との間から筺体９１０の外部に漏洩するのを防止するＸ線漏洩防止部３００とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数の検体容器内の検体の判定を効率的に行うことができる検体判定装置を提供する。
【解決手段】複数の検体容器が一列に立てられた検体ラックを載置する検体ラック載置部と、前記検体ラック載置部を、前記検体ラックに立てられた前記検体容器の列の方向に直交する水平線回りに所定の角度に傾斜させる傾斜部１２と、前記検体ラックに立てられた前記検体容器にＸ線を照射する照射部６と、前記照射部により前記検体容器に照射されたＸ線を検出する検出部７と、前記検出部による検出結果に基づいて前記検体容器内の検体の液面の角度を判定する液面判定部４とを備える。 （もっと読む）

【課題】容器内の液体の正確な液面高さを検出できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線検査装置１００は、Ｘ線源から照射されるＸ線ＸＳを用いて、容器内の物品の検査を行うＸ線検査装置であって、Ｘ線源から照射され容器を透過したＸ線ＸＳに基づいてＸ線画像を生成する画像生成部２４２と、生成されたＸ線画像における、物品の最上端面画像ＳＺＧと最下端面画像ＳＫＧとから、当該最上端面画像ＳＺＧの中心位置Ｐ１および当該最下端面画像ＳＫＧの中心位置Ｐ２を検出する中心検出部２４３と、検出された中心位置Ｐ１と中心位置Ｐ２との距離に基づいて、液面高さＴを検出する高さ検出部２４４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】層状構造を有する被検体の断面像を短い断層撮影時間で得るＣＴ装置を提供する
【解決手段】層状構造を有する被検体の断面像を撮影するＣＴ装置であって、Ｘ線管１により発生して被検体５を透過した放射線光軸Ｌを中心とするＸ線ビーム２を検出して透過データとして出力するＸ線検出器３と、被検体５とＸ線ビーム２とに放射線光軸Ｌを横切る方向の相対的な平行移動を与える平行移動機構７と、被検体５の撮影する層状構造の層面が放射線光軸Ｌに平行でかつ平行移動の方向に交差する姿勢で、平行移動をする間に所定の移動間隔毎に検出された透過データのみから放射線光軸Ｌと平行移動の方向で規定されるファン面に対する被検体５の断面像を再構成する再構成部１１ｅとを有することを特徴とするＣＴ装置。 （もっと読む）

【課題】物品のＸ線検査を安定実施することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、コンベア９００から物品を受け取る受取部と、受取部から受け取った物品Ｂを上面の外周端近傍に載置して搬送するテーブル７１１と、テーブル７１１上の物品Ｂにテーブル７１１の回転軸方向からＸ線を照射するＸ線源２００と、テーブル７１１の外周側に配置され、Ｘ線源２００からのＸ線を検知するラインセンサ４００と、ラインセンサ４００からの検知信号に基づきＸ線透過画像を作成して物品Ｂの検査を行う制御部５００と、を有するＸ線検査装置１００である。このＸ線検査装置１００は、テーブル７１１の外周端近傍かつラインセンサ４００の上流側に設けられた支持部７２０および７３０を有すると共に、テーブル７１１の外周端近傍かつラインセンサ４００の下流側に設けられた支持部７４０及び７５０を有する。 （もっと読む）

【課題】動作確認の必要な異物検査機を使用している検査工程において、動作確認を必ず実行する機能を提供する。
【解決手段】動作確認が必要なときに当該機能を有効にし、機能が一旦有効になってから、最初に通過する被検査体を異物を含有するテストピースであるとみなし、異物検出部より不良信号が出たときは、動作確認が行われたとして通常状態に戻り、異物検出部より不良信号が出ないときは動作確認を忘れたか怠った場合か異物検出部が異常である場合とし、異常警報を出す機能を設ける。 （もっと読む）

【課題】効率的な試料表面検査システムを提供する。
【解決手段】試料の表面を平坦化する表面平坦化機構と、試料上に抵抗膜を形成する抵抗膜コーティング機構と、試料表面の評価を行う表面検査機構を備えている。表面検査機構は、紫外線発生源３０と、電磁波を試料表面に斜め方向から導く光学系と、試料表面から放出された電子を試料表面に直交する方向に導く写像光学系４０と、検出器５０と、画像形成／信号処理回路６０とを備えている。写像光学系は、３つのレンズ系４１〜４３と、アパーチャ４４とを備えている。紫外線源の代わりにＸ線源を用いてもよい。また、電子線源から生成された電子線を試料の表面上に導く装置を設け、電磁波照射装置及び電子線照射装置の一方又は両方を駆動して、電磁波又は電子線の一方又は両方を試料の表面に照射するようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】 被検査物品の内容物の過不足の有無の判定精度を向上することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 順々に搬送されてくる被検査物品ＷにＸ線を照射するＸ線照射器２２と、被検査物品Ｗを透過したＸ線の透過量を検出するＸ線検出器２３と、制御装置２４とを備え、制御装置２４は、Ｘ線検出器２３で検出されるＸ線の透過量に基づいて被検査物品Ｗの内容物の体積値を算出する体積値算出手段と、体積値算出手段により算出される体積値が許容体積範囲内にあるか否かに基づいて被検査物品Ｗがその内容物に過不足のない良品であるか否かを判定する過不足判定手段と、過不足判定手段の判定結果が良品であるものの中から直近に搬送されてきた所定個数の被検査物品の各々に対して体積値算出手段により算出された内容物の体積値に基づいて、許容体積範囲を変更する許容範囲変更手段として機能する。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置用の基板に付着した異物を、その導電性の観点から検査する方法および装置を提供する。
【解決手段】液晶表示装置用の基板に付着した異物に金属元素が含まれているかどうかを検査する方法であって、検査対象の前記基板の所定枚数ごとに一度、異物のない箇所について予め測定する比較用蛍光Ｘ線スペクトルと、前記基板の異物が付着した１或は複数箇所の蛍光Ｘ線スペクトルを測定して、複数のＸ線スペクトルをデータ処理することにより、前記異物が金属元素を含有するか否かを高精度に判定する。 （もっと読む）

【課題】ＣＴ値のレベル変動や不均質が少ない着目部の断面像を得る。
【解決手段】Ｘ線管１と回転軸ＲＡとの距離を変更して撮影倍率を設定し、被検体５について第一の撮影倍率で実施された第一のスキャンで得られた第一のスキャンデータと、被検体５の着目領域について第一の撮影倍率より大きな第二の撮影倍率で実施された第二のスキャンで得られた第二のスキャンデータとを入力し、再構成部９ｆを制御して、第一のスキャンデータからローパス処理を施した所定マトリックス数の着目領域の第一の断面像を作成し、第二のスキャンデータからハイパス処理を施した所定マトリックス数の着目領域の第二の断面像を作成し、第一の断面像と第二の断面像を加算して着目領域の合成断面像を作成する画像合成部９ｇとを有することを特徴とするＣＴ装置。 （もっと読む）

【課題】、マスク上の欠陥とそれがウェハに及ぼす影響、修正による改善の程度まで推定可能な欠陥推定装置と欠陥推定方法を提供する。欠陥判定処理を容易にし、マスク上の欠陥とウェハ像への波及を推定可能な検査装置と検査方法を提供する。
【解決手段】マスク検査結果２０５のうち、欠陥箇所のマスク採取データは、模擬修正回路３００に送られて模擬修正が行われる。模擬修正されたマスク採取データは、マスク検査結果２０５に戻された後、対応する箇所の参照画像とともにウェハ転写シミュレータ４００に送られる。ウェハ転写シミュレータ４００で推定されたウェハ転写像は比較回路３０１に送られ、比較回路３０１で欠陥と判定されると、その座標と、欠陥判定の根拠となったウェハ転写像とが、転写像検査結果２０６として保存される。マスク検査結果２０５と転写像検査結果２０６はレビュー装置５００に送られる。 （もっと読む）

【課題】製造コストの安価な簡単な構造でありながら確実な動作で効果的にＸ線センサを保護して寿命を改善できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、搬送手段４の搬送面５の上方にＸ線源６を有し、搬送面５の下方にセンサ９を有し、照射位置７の手前には、操作部材１１と遮蔽部材１２からなるシャッタ装置１０を備える。ワークＷが操作部材に接触しない状態では遮蔽部材がセンサをＸ線から遮蔽し、ワークが操作部材を押した場合には遮蔽部材が移動してワークを透過したＸ線がセンサ９に到達する。検査中にＸ線を常時照射しても、センサに到達するＸ線は検査に必要な最小限に止まる。センサがＸ線で過剰に損傷し、寿命の劣化が早まる恐れは少ない。 （もっと読む）