【課題】Ｘ線検査装置における撮像時間を短くする。
【解決手段】Ｘ線検査装置が実行する処理は、検査対象物中の着目点がＸ線検出器の受光中心に常に投影された状態で、Ｘ線検出器および撮像視野を、それぞれの移動のために予め設定された軌道上で連続的に移動させるステップ（Ｓ７１０）と、その移動中に、各目標位置において、連続的にＸ線を照射するようにＸ線発生器を駆動し、またはＸ線検出器が露光状態にある期間、Ｘ線を照射するステップ（Ｓ７２０）と、Ｘ線を露光し、プロジェクション画像（投影画像）を出力するステップ（Ｓ７３０）と、予め設定されたｎ回の露光が行なわれると（ステップＳ７５０にてＹＥＳ）、ｎ枚のプロジェクション画像から３次元画像を再構成するステップ（Ｓ７６０）とを含む。 （もっと読む）

【課題】検査精度および検査速度の低下が防止できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置がアーチファクトを認識するために実行する処理は、撮像条件１の再構成画像から断層画像Ｓ１を取得するステップ（Ｓ５１０）と、撮像条件２の再構成画像から断層画像Ｓ２を取得するステップ（Ｓ５２０）と、断層画像の差分（Ｓ１−Ｓ２）を計算するステップ（Ｓ５３０）と、差分の絶対値が閾値以上であればアーチファクトと判断するステップ（Ｓ５４０）とを含む。 （もっと読む）

【課題】脱脂綿を搬送ベルト上に載置して移送することなく、Ｘ線放射管と検知機との間に、脱脂綿のみを、順次移送して脱脂綿の表面に付着し、あるいは脱脂綿の内部に混入した異物を検査するための脱脂綿における異物混入の検査方法および検査装置を開発・提供することにある。
【解決手段】長尺状に形成した脱脂綿（１）を、そのまま複数のローラ（Ｘ）（Ｙ）（Ｚ）で移送する中途に、無底の筐体（２）を設け、該脱脂綿（１）を、筐体（２）内に迂回して入り込むよう配備し、該筐体（２）内の上部に設けた，軟Ｘ線を用いたＸ線放射管（３）を設け、該筐体（２）内の下部には、脱脂綿（１）を挟んで下方に検知機（４）を設け、Ｘ線漏えい範囲を超えた下方に、前記筐体（２）の下端部が位置するようにしたことを特徴とする脱脂綿における異物混入の検査方法及び検査装置。 （もっと読む）

【課題】高感度検査や高精度計測を行うことが必要な部分領域を、効率的に決定する。
【解決手段】領域決定装置は、試料を検査して得た試料上の欠陥位置あるいは試料上において欠陥が発生する可能性があると予測された欠陥位置を撮像した画像を含む欠陥データの、少なくとも複数種の欠陥属性情報に基づき欠陥の発生度合いを算出する算出部と、発生度合いが所定以上となる欠陥データを抽出し、該抽出された欠陥データから観察または検査を行う試料上の領域を決定する領域決定部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】透過Ｘ線装置で検出した異物の位置の元素分析を蛍光Ｘ線で正確かつ迅速に行えるＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】第１のＸ線源１２と、第１のＸ線源から試料１００を透過した透過Ｘ線１２ｘを検出する透過Ｘ線検出器１４とを有する透過Ｘ線検査部１０と、第２のＸ線源２２と、第２のＸ線源からのＸ線を試料に照射したときに該試料から放出されるＸ線２２ｙを検出する蛍光Ｘ線検出器２４とを有する蛍光Ｘ線検査部２０と、試料を保持する試料ステージ５０と、試料ステージを、第１のＸ線源の照射位置と第２のＸ線源の照射位置との間で相対的に移動させる移動機構３０と、透過Ｘ線検出器にて試料中に検出された異物１０１の位置を演算する異物位置演算手段６０と、異物位置演算手段によって演算された異物の位置が第２のＸ線源の光軸２２ｃに一致するように移動機構を制御する移動機構制御手段６１と、を備えたＸ線分析装置１である。 （もっと読む）

【課題】 試料の任意の微小領域にＸ線を照射することがでる、小型で簡易な構成のＸ線光学システムを提供する。
【解決手段】 Ｘ線導波路と、前記Ｘ線導波路から出射されるＸ線を照射する試料を支持するための試料ホルダーとを有し、Ｘ線導波路が物質の屈折率実部が１以下となる波長帯域のＸ線を導波させるためのコアとクラッドからなり、コアが屈折率実部が異なる複数の物質が周期的に配列された周期構造からなり、周期構造が導波路のＸ線の導波方向に垂直な面内において１次元または２次元の屈折率実部の周期性を有し、周期構造におけるＸ線に対する周期性に起因するブラッグ角が、コアとクラッドの界面における全反射臨界角よりも小さく、周期構造をなす複数の物質に存在する界面での全反射臨界角よりも大きい構成からなるＸ線光学システム。 （もっと読む）

【課題】試料を微細に加工することなく、容易に３次元イメージ画像を得る。
【解決手段】Ｘ線が発せられるＸ線源と、前記Ｘ線を遮蔽する基材に、前記Ｘ線が透過する透過窓と前記透過窓よりも小さく前記Ｘ線の可干渉となる位置に設けられた複数の参照穴を有するマスク部と、前記マスク部を透過したＸ線が照射される試料と、前記試料を支持する試料支持部材と、を有する観察用試料部と、前記Ｘ線が照射された試料により生じる散乱Ｘ線と前記参照穴を通過した参照Ｘ線との干渉により生じたホログラムと、前記複数の参照穴を通過した参照Ｘ線同士の干渉により生じたホログラムを検出する検出器と、前記検出器により得られた前記参照Ｘ線同士の干渉によるホログラムに基づき前記試料の３次元イメージ画像を得るための処理を行う処理部と、を備えることを特徴とするＸ線分析装置により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】
本発明をウエハ、ディスプレイパネル、磁気ディスクなど試料上に発生した欠陥の部位に対して、走査電子顕微鏡で画像を撮像しようと試みたとき、画像に欠陥が写っていないといった失敗が生じる割合を低減する。
【解決手段】
本発明は、欠陥の座標と特徴量を有する欠陥検査データを入力し（２４１）、欠陥毎に走査電子顕微鏡での検出可否を予測し（２４２）、予測結果に基づいて走査電子顕微鏡で撮像する座標をサンプリングし（２４３）、予測結果に基づいて加速電圧を設定した電子光学系、ないしは光学系で欠陥部位の画像を撮像する（２４４）。 （もっと読む）

【課題】鮮明な高倍率断層画像を取得することができるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】本発明によれば、テーブル２の載置位置のファントムを撮影するプレ撮影を行ったあと、テーブル２および検出器３をプレ撮影と同じ様式で移動させて試料を撮影する実撮影を行って断層画像を再構成する構成となっている。再構成部１０は、実撮影Ｘ線画像Ｑの撮影時におけるテーブル２の移動の様式を考慮することができる。しかし、テーブル２がプレ撮影と実撮影で全く同じように移動するとは限らない。そこで、本発明によれば、テーブル２のウラ面のマーカを撮影し、実撮影マーカ画像Ｎとプレマーカ画像Ｍとによってプレ撮影と実撮影との間で生じたテーブル２の位置ズレを認識する。結果として高解像度の断層画像を取得可能なＸ線ＣＴ装置が提供できる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線に基づいた分析の際に対象物にビームをマッチングさせる際の問題点を解決する。
【解決手段】検査方法は、サンプルの表面上においてスポットを画定するべく合焦されるＸ線ビームを使用してサンプルを照射する段階を含んでいる。表面上の特徴部を横断するスキャン経路に沿ってスポットをスキャンするべく、サンプル及びＸ線ビームの中の少なくとも１つをシフトさせる。スポットが異なる個々の程度の特徴部とのオーバーラップを具備しているスキャン経路に沿った複数の場所において、Ｘ線ビームに応答してサンプルから放射される蛍光Ｘ線の個々の強度を計測する。スキャン経路における放射蛍光Ｘ線の調節値を演算するべく、複数の場所において計測された強度を処理する。調節済みの値に基づいて、特徴部の厚さを推定する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出に用いる信号強度を算出するデータ点数をサンプリング点の点数よりも増やす。
【解決手段】ＴＦＴ基板のピクセルに対して所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、ピクセル上に荷電ビームを照射して走査して検出される検出信号に基づいて行うＴＦＴ基板のアレイの検査において、一ピクセルから取得した複数のサンプリング点の信号強度を用いて当該ピクセルを代表する代表信号強度を求め、この代表信号強度に基づいて当該ピクセルに対応するアレイの欠陥検出を行うものであり、各ピクセルのサンプリング点の分布において、分布の偏りと反対方向の解像度が低いサンプリング点側の領域に補間データ点を定め、補間データ点を設定し信号強度を算出することによって、欠陥検出に用いる信号強度を算出するデータ点数をサンプリング点の点数よりも増やし、解像度の低下および欠陥検出の検出精度の低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置に新たに別の装置を設けることなく、真空状態において試料の加工，観察，追加工を行う装置及び方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の真空室内にイオン液体を充填した液体浴と超音波振動手段を配置し、イオン液体と試料の加工対象領域が接触した状態において、イオン液体中に超音波振動を伝搬させて試料を加工する。
【効果】荷電粒子線装置に新たに別の装置を設けることなく、真空状態において試料の加工，観察，追加工ができるため、スループットを向上させるとともに、大気の影響を防止する。 （もっと読む）

【課題】全重量を軽くでき、被検車両の前輪を持ち上げて牽引してもフレームの変形が少なく、フレームの変形を規制するガイドが不要であり、重負荷により破損する可能性がある構成部材がなく、メンテナンスの必要性が低い地上式搬送装置を提供する。
【解決手段】被検車両１の搬送通路２に沿って被検車両の外側に位置し搬送方向３に水平に延びる左右の走行レール１２と、同一の姿勢を保持しかつ互いに同期して各走行レール上を移動可能な左右の移動台車２０と、各移動台車に設けられ、被検車両の前輪を昇降可能であり、かつ被検車両と干渉しない退避位置に退避可能な左右の前輪昇降装置３０と、各移動台車を連結する連結位置と被検車両と干渉しない退避位置との間で移動可能な連結装置４０とを備える。連結装置４０は、前輪昇降装置３０による被検車両１の前輪１ａの昇降時に、左右の移動台車２０を連結して各移動台車に作用する転倒モーメントを支持する。 （もっと読む）

【課題】走査透過型電子顕微鏡を用いて簡易に歪の分布解析を行う結晶材料の格子歪評価方法、評価システムを提供する。
【解決手段】結晶材料の格子歪評価方法は、結晶構造を有する試料に対して晶帯軸方向に電子線を照射し、試料により回折される複数の回折波の内、特定方向に回折される特定の回折波を選択して検出する工程と、上記電子線を照射し特定の回折波を選択して検出する工程を、試料上を走査しつつ繰り返し、試料について各点での回折強度から特定の回折波に対応する方向の歪分布像を得る工程と、を含む。格子歪が生じると励起誤差が変化し回折強度は変化するので歪分布像が得られる。 （もっと読む）

【課題】層状構造を有する被検体の断面像を短い断層撮影時間で得るＣＴ装置。
【解決手段】被検体５を透過したＸ線ビーム２を検出して透過データとして出力するＸ線検出器３と、被検体５とＸ線ビーム２とを平行移動させる平行移動機構７と、被検体５とＸ線ビーム２とを回転軸ＲＡに対し回転させる回転機構６と、回転の１つの位置で１回の平行移動をする間に透過データを収集する１回移動スキャンと、回転の約９０°異なる２つの位置それぞれで平行移動をする間に透過データを収集する２回移動スキャンとを実施するもので、選択入力に応じて１回移動スキャンと２回移動スキャンのどちらかを実施する制御処理部９と、１回移動スキャンの透過データから被検体５の第一の断面像を再構成し、また、２回移動スキャンの透過データから被検体５の第二の断面像を再構成する再構成部９ｅを有するＣＴ装置。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で安定したパルスＸ線を発生させることができるＸ線装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線装置１は、Ｘ線源１０、照射部２０、結像部３０、検出部４０、真空容器５０および制御部６０を備える。Ｘ線源１０は、Ｘ線を連続的に出力する。照射部２０は、入力端２１および出力端２２を有し、Ｘ線が或る特定の方位に沿って入力端２１に到達すると、そのＸ線を出力端２２から試料９０へ出力することができる。結像部３０は、試料９０で発生した二次Ｘ線の像を検出部４０の受光面上に結像する。検出部４０は、照射部２０の出力端２２から出力されたＸ線が試料９０に照射されたときに試料９０で発生した二次Ｘ線（蛍光Ｘ線または散乱Ｘ線）を入力して、この二次Ｘ線の入力に応じて電荷を発生して蓄積し、その蓄積した電荷を読み出す。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査装置において、検査対象領域を広くしつつ、対象物を確実に保持できるようにする。
【解決手段】Ｘ線検査装置において、クランプ５０は上方から基板１０を支持する。クランプ５０の上記端面は傾斜を有する。これにより、クランプ５０に確実に基板１０を支持させつつ、Ｘ線源２から放射されるＸ線（符号ＸＲで示されている）の基板１０による透過光がクランプ５０によって遮蔽されることを極力回避できる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線照射手段側のＸ線照射のＯＮ／ＯＦＦ状態を検出する、あるいはＸ線照射手段側のＸ線照射の異常を検出することができるＸ線制御装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管２１も含めてＸ線発生装置３１の消費電流に基づいて、Ｘ線照射のＯＮ／ＯＦＦ状態を電流検出回路１１ａが検出することで、消費電流をモニタリングすればＸ線発生装置３１側のＸ線照射のＯＮ／ＯＦＦ状態を検出することができる。また、当該消費電流とＸ線照射条件との比較に基づいて、設定されたＸ線照射条件における電流と、実際にモニタリングされている消費電流との間に不一致が生じる場合には、Ｘ線照射の異常を電流検出回路１１ａが検出することで、消費電流をモニタリングすればＸ線発生装置３１側のＸ線照射の異常を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】対象物から過去に撮影された画像を検索することができる、または過去に撮影された画像から対象物あるいは対象物中のどの部分かがわかることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】テーブルに過去に記憶された複数の外観像からなる外観像群Iの中から対象となる外観像Ｉ_１を選択する。選択された外観像Ｉ_１に関連付けられ、かつテーブルに過去に記憶されたＸ線透視像F_１００を読み出してモニタ１０Ｍに表示すると、選択された外観像Ｉ_１の対象物（サンプル）から、それに関連付けられたＸ線透視像F_１００を表示することができ、対象物から過去に撮影された画像を検索することができる。 （もっと読む）

【課題】表示パターンのフレームサンプリングから得られた撮像画像（シグナルイメージ）の収縮、膨張等のフレーム間の幅に不均等な部分が生じた場合であっても、各ラインの座標位置を正確に算出し、液晶パネルのピクセル位置を正確に算出する。
【解決手段】表示パターンを撮像して得られる撮像画像（シグナルイメージ）において、実検出ラインの座標位置を検出した後、次に座標位置を検出する実検出ラインを求める際に、前の実検出ラインの信号強度パターンと比較することによってラインの良・不良の検出、および、不良ラインの収縮又は膨張の判定を行い、次の実検出ラインを求める。ラインの良・不良を検出し、不良ラインの収縮・膨張の判定することによって、ライン幅にばらつきが生じた場合であっても、各ラインの座標位置を正確に算出する。 （もっと読む）