【課題】 Ｘ線透過量の減少や部位によるＸ線透過量の変化を抑えながら、構造強度も確保された被検査物品の支持部材を備えるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 物品に対してＸ線を照射し、物品を透過したＸ線を検出することにより物品を検査するＸ線検査装置において、物品にＸ線を上方から照射する照射部と、該照射部の下方に設けられて照射されるＸ線を検出する検出部と、前記照射部と前記検出部の間を通過するように、物品を静止状態で支持する支持部材を移動させる供給部と、を備えてなり、前記支持部材が中空構造の樹脂成型品であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】正確に被検査物をＸ線照射部とＸ線検出部との間のＸ線照射領域に搬送できるように、搬送部の幅方向の位置規制を行うことができるＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、脚部に支持されている装置筐体と、Ｘ線照射部３と、フレーム５と、フレーム５内に配設されているＸ線検出部と、搬送部６と、扉７と、暖簾８と、暖簾支持部９とを備えているものである。扉７内側には接触部１８が設けられており、この接触部１８は、扉７を閉じた際、搬送部６の搬送方向側方に接触し押さえるように（凹部（係合部）１８ａがキャップ部材６ｋに係合するように）配設されている。 （もっと読む）

【課題】サンプルの立体表現を決定するためのコンピュータ断層撮影法を提供する。
【解決手段】Ｘ線システム（１０）によって取られるサンプル（１３）のＸ線投影からのサンプル（１３）の再構成容積データを用いるステップと、前記再構成容積データからの前方投影によって前記サンプル（１３）の一連の人工投影を計算するステップと、本質的に前記再構成容積データおよび／または前記Ｘ線投影を含む前記再構成の処理データから、前記測定Ｘ線投影の各々に対し、この測定Ｘ線投影の検査中のボクセルへの寄与度と対応する人工投影からの検査中のボクセルへの寄与度との差を計算することに基づき、前記容積データの単一のボクセルの個々の信頼度を求めるステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】被検体に含まれる異物に対する感度を向上させ、被検体が移動する場合であっても異物検知が充分に行える蛍光Ｘ線検査装置及び蛍光Ｘ線検査方法を提供する。
【解決手段】移動する被検体１００に含まれる異物１１０を検出し、かつ被検体を構成する１つの元素の原子番号が異物を構成する１つの元素の原子番号より大きい場合に適用され、被検体に１次放射線を照射する放射線源１０と、１次放射線の照射によって異物を構成する１つの元素から放出される蛍光Ｘ線を検出する検出器１２とを備え、被検体を構成する１つの元素のK吸収端のエネルギーをＥ１、異物を構成する１つの元素のK吸収端のエネルギーをＥ２としたとき、１次放射線がエネルギーピークEPを持ち、Ｅ２＜ＥＰ＜Ｅ１
である蛍光Ｘ線検査装置１である。 （もっと読む）

【課題】
レビューＳＥＭにおいて、目標とする欠陥を間違いなく検査する。
【解決手段】
欠陥検査装置が検出した欠陥から目的とする欠陥を選定し、その座標を取得し、レビューＳＥＭの視野を目的とする欠陥の座標に合わせてＳＥＭ像を撮像し、ＳＥＭ像中の欠陥を画面内の座標と共に検出し、欠陥検査装置が検出した欠陥と対応するＳＥＭ像中の欠陥を重ねるための座標調整値を求め、目的とする欠陥の調整した座標に合わせて、拡大ＳＥＭ像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】一定の処理能力を備えるとともに、検査員の安全性を確保し、製造ライン上で合金組成の適否検査を行うことができる鋼管の材質分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析計を鋼管の外周面または端面に押し当てて含有される合金成分を測定する材質分析装置であって、蛍光Ｘ線分析計２と、蛍光Ｘ線分析計２を装着する保持部３と、装着された蛍光Ｘ線分析計２を移動させる機構（移動機構）と、移動機構を動作させる制御手段６とを備えることを特徴とする鋼管の材質分析装置である。移動機構は、蛍光Ｘ線分析計を水平方向に移動させる第１送り機構４と、垂直方向に移動させる第２送り機構５とにより構成し、保持部３は、装着された蛍光Ｘ線分析計２の角度を変更可能にする機構を備えるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 機長の増大を抑えるとともに、被検査物の形状にかかわらず被検査物が転倒することなく安定して搬送できるＸ線遮蔽装置及びそれを用いたＸ線異物検出システムを提供する。
【解決手段】 Ｘ線遮蔽装置２は、搬送コンベア２１とＸ線遮蔽カバー２２とからなるＸ線遮蔽トンネル２０と、搬送コンベア２１の始端から中途にわたって設けられ、被検査物を斜め方向に案内する第１の案内部材２５と、搬送コンベア２１の中途から終端にわたって設けられ、被検査物を斜め方向に案内する第２の案内部材２６と、Ｘ線遮蔽トンネル２０の長手方向の中程に、Ｘ線遮蔽トンネル２０の幅方向の一端側から幅方向の中程まで延びて設けられ、Ｘ線を遮蔽する第１の遮蔽板２３と、Ｘ線遮蔽トンネル２０の長手方向の一端側に、Ｘ線遮蔽トンネル２０の幅方向の他端側から幅方向の中程まで延びて設けられ、Ｘ線を遮蔽する第２の遮蔽板２４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】水分または湿気の多い環境下であっても、表示部の視認性低下を防止することができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線照射装置２００によりＸ線が照射される。また、筐体内にＸ線照射装置２００が収納され、筐体の一部に少なくとも鉛直上斜め方向に向けた第１面７１１が形成される。そして、タッチパネル画面７００が筐体の第１面７１１に設けられ、タッチパネル画面７００により商品９００に関する検査情報が表示および操作される。保護カバー６００は、筐体の第１面７１１に沿って設けられる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の形状異常を容易かつ迅速な方法で判断することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】形状異常判断部は、一の領域における濃淡情報として変化線ＫＨ１と、他の領域における濃淡情報として変化線ＫＨ２とを比較することにより、被検査物の形状異常を判断する。具体的には、同一の検出位置における変化線ＫＨ１の濃淡値と変化線ＫＨ２の濃淡値とが比較される。例えば、検出位置Ａ１における変化線ＫＨ１の濃淡値Ｋ１と変化線ＫＨ２の濃淡値Ｋ２との差Ｓ１が所定範囲内か否かが形状異常判断部により判断される。この場合、差Ｓ１が所定範囲を超えるものであれば、形状異常が存在すると判断される。 （もっと読む）

【課題】試料の内部構造を破壊することなく分析する。
【解決手段】干渉性Ｘ線が発せられるＸ線源と、前記Ｘ線源からのＸ線をコリメートするＸ線コリメータと、Ｘ線を吸収又は反射する材料により形成されており、前記Ｘ線の可干渉となる位置に設けられた参照穴及びＸ線透過窓とを有し、前記コリメートされたＸ線が照射されるＸ線吸収部と、前記Ｘ線透過窓を透過したＸ線が照射される位置に設置される試料と、前記試料により生じる散乱Ｘ線と、前記参照穴を通過したＸ線との干渉により生じたホログラムを検出する検出器と、前記検出器により得られた前記ホログラムに基づき前記試料の内部構造のイメージ画像を得るためフーリエ変換を行う処理部と、を有し、前記試料は、前記Ｘ線吸収部に対し相対的に移動させることができるものであることを特徴とするＸ線分析装置により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】物品の製造日や製造ロット等の違いに起因して良品の画像に関する特徴値が変動する場合であっても、規定量に対する物品の過不足を適切に判定することが可能な物品検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、検査対象である物品１２に対してＸ線を照射するＸ線照射部７と、物品１２を透過したＸ線を検出するＸ線検出部８と、Ｘ線検出部８の検出結果に基づいて物品のＸ線透過画像を作成し、当該画像に関する代表階調値と、上限しきい値ＴＨ２及び下限閾値ＴＨ１とを比較することにより、規定量に対する物品の過不足を判定する処理部９とを備え、処理部９は、直近の複数回の検査によって得られた複数の代表階調値に基づいて、現在設定されている上限しきい値ＴＨ２及び下限閾値ＴＨ１を変更する。 （もっと読む）

【課題】被検査体の観察に好適な断面画像が得られる放射線検査装置を提供する。
【解決手段】撮像部は、基板および電子部品を含む被検査体の複数の箇所に複数方向から放射線を照射し、複数の放射線透過画像を撮像する。断面画像生成部３８は、前記複数の放射線透過画像に基づいて前記被検査体の複数の断面画像を再構成する。検査画像特定部７４は、前記複数の断面画像に基づいて検査画像を取得する。補助画像特定部７６は、前記被検査体の少なくとも一部が映し出されている補助画像を取得する。周波数解析部４２は、前記検査画像と前記補助画像とが共通に含む周波数成分を特定する。周波数成分除去部４４は、前記共通に含む周波数成分の影響を前記検査画像から軽減する。 （もっと読む）

【課題】より多くの元素を同時に効率よく検出することができ、スペクトルのエネルギー分解能を高めることができる分光結晶１３、波長分散型Ｘ線分析装置１０および元素分布測定方法を提供する。
【解決手段】分光結晶１３は、所定の基準直線を含む基準平面に対して垂直に交わる円弧を連ねた形状を成す内側面を有している。内側面は、基準直線に沿って試料１から検出器１４に向かって、円弧の曲率半径が小さくなるとともに、円弧と基準平面とが交わる円弧交点と、基準直線と円弧含有平面とが交わる基準交点とを結ぶ線分と、基準交点から試料１側の基準直線との成す角が小さくなるよう構成されている。分光結晶１３は、基準直線が試料１と検出器１４とを結ぶ軸に一致するよう配置されている。検出器１４が、Ｘ線を検出する線状または面状の検出部１４ａを有し、検出部１４ａが試料１と検出器１４とを結ぶ軸に対して垂直を成すよう配置されている。 （もっと読む）

【課題】管電圧と管電流の設定を容易にしたＣＴ装置を提供する。
【解決手段】複数の回転位置で検出された透過像から被検体５の断面像を再構成する再構成部９ｆを有するＣＴ装置において、Ｘ線管１の管電圧と管電流を設定された値に制御するＸ線制御部８と、Ｘ線管１とＸ線検出器３との距離を変更して設定するシフト機構７と、管電圧，管電流，距離それぞれの基準値の組み合わせを複数組記憶し、複数組の内の一組である管電圧Ｖｊ，管電流Ｉｊ，距離ＦＤＤｊが選択され、かつ距離ＦＤＤが設定された場合に、管電圧Ｖを管電圧Ｖｊに設定し、管電流Ｉを管電流Ｉｊから距離ＦＤＤｊ及び設定された距離ＦＤＤに応じて変更して設定する撮影条件設定部９ｄとを有するＣＴ装置。 （もっと読む）

【課題】受光素子列に対する放射線遮蔽部材の位置決めを、簡易かつ確実に行うことが可能な物品検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検出部８は、基台２１と、基台２１の上面上に配置された基板２６と、基板２６の上面上に配置された受光素子列２７と、受光素子列２７の受光面を覆って配置されたシンチレータ２８と、貫通孔３５Ａ，３５Ｂ及びスリット３４を有するコリメータ３３と、基台２１の上面の所定箇所から起立する円柱部材２２Ａ，２２Ｂとを有し、貫通孔３５Ａ，３５Ｂ内に円柱部材２２Ａ，２２Ｂを挿通するとともに、基板２６の側面を円柱部材２２Ａ，２２Ｂに当接することにより、受光素子列２７がスリット３４の下方においてスリット３４に平行に位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】微小試料を加工する際のユーザの負担を効果的に低減できる微小試料の加工方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様に係る微小試料の加工方法は、微小試料の断面のＳＥＭ画像を取得するステップと、取得したＳＥＭ画像の一部の領域を指定するステップと、指定した領域の濃淡度を指定するステップと、集束イオンビームを照射して、微小試料を加工するステップと、加工した微小試料の断面のＳＥＭ画像を取得するステップと、取得したＳＥＭ画像の指定した領域の濃淡度を算出するステップと、算出した濃淡度が、指定した濃淡度を満たすかどうかを判定するステップとを具備し、算出した濃淡度が指定した濃淡度を満たすまで、微小試料を加工するステップから濃淡度を算出するステップまでを繰り返すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
観察座標を算出するのに不適当な，観察装置で検出するのが困難な欠陥(例えば，膜下欠陥など)が多発する品種・工程のウェーハにおいて，安定かつ高スループットに検査装置と観察装置の座標系のずれを補正する。
【解決手段】
観察装置を，座標変換情報を記憶する記憶手段と、検査装置で検出した複数の欠陥の座標情報を記憶手段に記憶しておいた座標変換情報を用いてそれぞれの欠陥に対応する観察装置上の座標情報に変換する座標情報変換手段と、座標情報変換手段で変換した観察装置上の座標情報に基づいてそれぞれの欠陥を撮像する撮像手段と、撮像手段で取得した画像から抽出した欠陥の座標情報と座標変換手段で変換したそれぞれの欠陥の座標情報とから記憶手段に記憶しておいた座標変換情報を修正する座標情報修正手段とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】ＢＧＡやＣＳＰなど、半田ボール等の複数の特定部位が対象物の表面ないしは内部に平面に沿って存在している回路基板等の対象物の検査において、半田ボール等が並ぶ平面による切断のための設定作業を不要としたＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】ＣＴ撮影により得られた投影データを逆投影処理して求めた対象物Ｗの３次元画像情報から、対象物の表面または内部に平面に沿って存在するあらかじめ設定された複数の特異部位の像を捜し出し、その各特異部位の像の中心が通る平面Ｐを求める特異部位像配列平面算出手段と、その平面Ｐでスライスした断層像を３次元画像情報に基づいて作成して自動的に表示器に表示する表示手段を備えることで、半田ボール等が並ぶ平面でスライスした断層像を、オペレータによるスライス位置の設定作業を必要とすることなく直ちに表示することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】測定値からノイズの影響を除去する。
【解決手段】測定対象物上に複数の測定点Ｐ₁〜Ｐ_Nを設定し、測定点Ｐ₁〜Ｐ_Nの並ぶ方向に沿って振動させながら測定ビームを照射する。測定ビームの振幅Ｗの範囲にＭ個の測定点Ｐ₄〜Ｐ₈が含まれているとすると、Ｍ個の測定点Ｐ₄〜Ｐ₈から得られる２Ｍ個の測定値ｆ₁〜ｆ_2Mから、下記(７ａ）（７ｂ)式、


に従って、フーリエ係数ｂ₁(振幅が測定ビーム径の１／２の場合)、又はｂ₂(振幅が測定ビーム径と等しい場合)を求め各測定点のフーリエ係数ｂ₁又はｂ₂の推移を求め、微小領域の分析を行なう。 （もっと読む）

【課題】ボイドの誤検出を抑制することができる画像を提供すること。
【解決手段】画像処理プログラムは、コンピュータ（画像処理装置）１を、画像作成手段２、除去手段３として機能させる。画像作成手段２は、例えば半田バンプ等の検査対象物を含む複数の部材が重なった状態で撮像されたＸ線透過画像４の、検査対象物以外の部材の構造情報に基づいて、検査対象物以外の部材の形状それぞれにおける（Ｘ線）透過濃度を有する画像を作成する。除去手段３は、画像作成手段２により作成された画像を用いて、Ｘ線透過画像４の複数の部材が重なった部位の検査対象物以外の部材の占める透過濃度の影響を除去する。 （もっと読む）