【課題】試料識別標記や特異元素で構成されたマスクや試料ホルダを要せず、試料を試料ホルダに搬送する前に試料ホルダを短時間で自動識別する分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の分析装置は、カセット２１の種類を識別するカセット部２０と、試料Ｓが挿入される挿入口８３、および、試料が載置される輪状の台座８２を有する試料ホルダ８と、カセット２１から試料ホルダ８へ試料Ｓを搬送する搬送手段２３と、試料ホルダの挿入口の径方向端８４または輪状の台座の内径方向端８５を検出して、載置されるべき試料の直径に対応した試料ホルダの種類を識別する試料ホルダ識別信号を発信する試料ホルダ識別手段３５と、カセット識別信号および試料ホルダ識別信号に基づいて、カセット２１に収納されるべき試料の直径と試料ホルダ８の台座に載置されるべき試料の直径とが合致しているか、否かを判定する判定手段４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の漏洩防止を図りつつ、検査室を良好な衛生状態に保つ。
【解決手段】このＸ線検査装置は、被検査物を検査する検査室Ｓ２と、検査室Ｓ２内にＸ線を照射するＸ線源と、Ｘ線源から照射されるＸ線を検出する検出部と、検査室Ｓ２内に被検査物を搬入出させる搬送部と、検査室Ｓ２の前面に設けられた検査室を開放するＸ線遮蔽扉６００と、を備える。Ｘ線遮蔽扉６００は、第１遮蔽部材６１０、第２遮蔽部材６２０、および第３遮蔽部材６３０を含み、第２遮蔽部材６２０は、第１遮蔽部材６１０および第３遮蔽部材６３０よりもＸ線遮蔽性が高く、第１遮蔽部材６１０は、検査室Ｓ２側の最内側に配置されることで検査室Ｓ２の前面を形成し、かつ検査室Ｓ２側の面が連続した平坦面を有し、第２遮蔽部材６２０は、第１遮蔽部材６１０の外側に配置され、第３遮蔽部材６３０は、第２遮蔽部材６２０の外側で、かつ第２遮蔽部材６２０に対して所定間隔を有して設けられる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の漏洩を防止しつつ、被検査物のＸ線検査を適切に実施する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、被検査物を検査する検査室Ｓ２と、検査室Ｓ２内に設けられたＸ線照射口ＵからＸ線を照射するＸ線源と、Ｘ線源から照射されるＸ線を検出する検出部４００と、検査室Ｓ２内に被検査物を搬入出させる搬送部５００と、検査室Ｓ２内へ被検査物を搬入出するための搬入出口２０１，２０２を遮蔽するＸ線遮蔽カーテン６７１〜６７６と、を含む。Ｘ線遮蔽カーテン６７３，６７６は、Ｘ線遮蔽カーテン６７３，６７６の鉛直方向の長さＣ１，Ｃ２が、Ｘ線照射口ＵからＸ線遮蔽カーテン６７３，６７６が配置されている位置までの水平長さＬ５，Ｌ６と比較して、略同一または短い位置に設けられる。 （もっと読む）

【課題】シールドボックス内部の温度上昇を抑制する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、シールドボックス２００と、シールドボックス２００の内部に配置されたＸ線源３００およびＸ線源３００を制御する制御部８００と、を備えたＸ線検査装置である。このＸ線検査装置には、シールドボックス３００の天面部２３０の内面で、かつＸ線源３００の上方に、気体を集める凹部２３１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の漏洩を確実に防止することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線遮蔽構造を有する筐体２００と、被検査物Ｂを検査する検査室と、検査室内にＸ線を照射し筐体内部に固定配置されたＸ線源と、Ｘ線源から照射されるＸ線を検出する検出部と、検査室内に被検査物を搬入出させる搬送部５００と、検査室の側面に設けられるＸ線遮蔽扉６００とを備えている。そして、Ｘ線源から照射されるＸ線の照射面を含む面と交差する交差領域Ｔ１と、他の領域Ｔ２とを有し、交差領域Ｔ１には、他の領域Ｔ２よりもＸ線の遮蔽機能が高い遮蔽手段が設けられる。 （もっと読む）

【課題】排ガス中に含まれるＣｌ^-濃度を測定することができるガス分析装置、水銀除去システム、ガス分析方法及び排ガス中の水銀除去方法を提供する。
【解決手段】本実施形態に係るガス分析装置１０は、ＮＨ₄Ｃｌ、ＳＯ₃の両方を含む排ガス１１が送給される煙道１２から排ガス１１Ａを抜出す排ガス抜出し管１３と、排ガス抜出し管１３に設けられ、抜出した排ガス１１Ａ中に含まれる煤塵を除去する捕集器１４と、排ガス抜出し管１３に設けられ、排ガス１１Ａ中に含まれるＮＨ₄Ｃｌ、ＳＯ₃の両方を析出させるロールフィルタ１５と、ロールフィルタ１５で析出されたＮＨ₄Ｃｌ、ＳＯ₃の両方を含む試料にＸ線を照射させて試料から発生する蛍光Ｘ線を検出して排ガス１１Ａ中に含まれるＮＨ₄Ｃｌ、ＳＯ₃の両方を測定する測定装置１９とを含む。 （もっと読む）

【課題】合金系別にアルミニウム合金を判別する方法と、それを利用したアルミ合金選別設備を提供する。
【解決手段】回収する複数の校正用試料（第１アルミ合金）と排除する対比用試料（第２アルミ合金）のエネルギーの異なるＸ線の単位面積毎の透過Ｘ線強度測定結果を測定平面にプロットし、校正用試料の測定結果の分布を上側曲線と下側曲線で挟んだ判別帯を画定し、判別帯により測定平面を中密度領域と高密度領域と低密度領域に分け、対比用試料の測定結果分布と対比して高密度領域内または低密度領域内の校正用試料の測定結果に関する第１閾値を決め、中密度領域内の校正用試料の測定結果から第２閾値を決めておき、被選別試料に係る単位面積毎の透過Ｘ線強度測定値が高密度領域または低密度領域に含まれる割合が第１閾値より小さく、中密度領域に含まれる割合が第２閾値より大きいときに、回収対象品と判定する判別方法。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査を効率的に実施することができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】開始位置である第1開始ポイントおよびその後の観察ポイントの相対位置が、第２〜第１０開始ポイントおよびその後の観察ポイントの相対位置と同じである場合において、第1開始ポイント、その後の観察ポイント（ここでは縦・横の送り量）および第２〜第１０開始ポイントをそれぞれ設定して登録する。このように、第２〜第１０開始ポイントの後の残りの観察ポイントを登録せずとも、登録された第1開始ポイント、その後の観察ポイントおよび第２〜第１０開始ポイントに基づいて、当該残りの観察ポイントを演算することが可能であり、必要である第1開始ポイント、その後の観察ポイントおよび第２〜第１０開始ポイントのみを登録すれば、Ｘ線検査を効率的に実施することができる。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高感度で微小欠陥を検出する。
【解決手段】実施形態のパターン欠陥検査装置は、検査対象パターンに関する第１のデータに基づいて、前記検査対象パターンに対する電子ビームの照射点の軌道に関するデータを含み前記電子ビームの走査を制御するためのデータである電子ビーム照射点軌道データを生成する電子ビーム照射点軌道データ生成手段と、前記電子ビーム照射点軌道データに従って前記検査対象パターンに電子ビームを照射する電子ビーム照射手段と、前記電子ビームの照射により前記検査対象パターンから発生する二次電子を検出する二次電子検出手段と、前記二次電子検出手段の出力信号から前記二次電子の信号強度に関する第２のデータを取得する信号強度取得手段と、前記第２のデータから異常点を検出して前記検査対象パターンの欠陥として出力する欠陥検出手段と、を持つ。 （もっと読む）

【課題】被検査物の底面付近および被検査物の全体についても異物検査を行うことが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、被検査物Ｂを搬送する検査テーブル７１１と、検査テーブル７１１で搬送される被検査物ＢにＸ線を照射するＸ線源２００と、Ｘ線源２００から照射されるＸ線を検知するラインセンサ４００とを備えている。そして、Ｘ線源２００は、検査テーブル７１１の水平な搬送面と、被検査物Ｂの搬送領域のＸ線源２００から最も離れた位置Ｐとの交点Ｇへ入射するＸ線とのなす角（θ１）が０°より大きく且つ３０°以下を満たすように配置される。 （もっと読む）

【課題】被検査物の重心を正確に算出する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、被検査物Ｂに異物Ｃが混入しているか否かを検出する異物検出部と、異物検出部により検出された異物Ｃの重心Ｇ１を算出する異物重心算出部と、被検査物Ｂの異物Ｃを除いた対象部分Ｄの重心Ｇ２を算出する対象部分重心算出部と、異物重心算出部により算出された異物Ｃの重心Ｇ１と、対象部分重心算出部により算出された対象部分Ｄの重心Ｇ２とに基づいて、被検査物Ｂの重心Ｇを算出する重心算出部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】帯電粒子ビームの角状変位を判断し、高い側壁角度均一性の側壁を含むテストオブジェクトの複数の測定値に基づく帯電粒子ビームシステムを較正する為のシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】帯電粒子ビームの経路は、複数のビーム制御パラメータにより制御される。方法は、角状変位を実質的に減少させるパラメータを判断し、これらを適用して帯電粒子ビームシステムを較正する。 （もっと読む）

【課題】被選別物を選別する精度の向上を図ることができる選別装置を得る。
【解決手段】選別装置１において、一体型検出装置９の第１検出部は、あらかじめ設定された第１検出領域７を被選別物２，３が通過することにより、被選別物２，３の状態を検出する。第１ガス噴射装置１０は、除去すべき被選別物３を吹き飛ばすためのガスを、第１検出部による検出結果に応じて、第１噴射ノズル１０ａから選択的に噴射することにより、第１検出領域７を通過した被選別物のうち、一部の被選別物を除去する。第２ガス噴射装置１２は、除去すべき被選別物３を吹き飛ばすためのガスを第２噴射ノズル１２ａから選択的に噴射することにより、第１噴射ノズル１０ａの位置を通った被選別物のうち、一部の被選別物を除去する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、簡易な構造で、被検査物の高さに応じて被検査物が検査室の開口部を通過するときに必要となる力を変化させることができ、被検査物が検査室の開口部を通過しやすくすることができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】本発明に係るＸ線検査装置は、商品９００に検査室内でＸ線を照射して検査を行い、検査室の開口部にＸ線の漏洩を防止するＸ線漏洩防止カーテン５００を備える。Ｘ線検査装置は、閉状態のときにＸ線漏洩防止カーテン５００が開口部を閉塞し、開状態のときに商品９００が開口部を通過する。Ｘ線漏洩防止カーテン５００は、商品９００を水平に搬送するベルトコンベアの搬送面８１０に対して垂直方向に設けられた第１の回動軸５３０を中心に回動する第１の回動板５１０と、第１の回動軸５３０の上方に設けられた第２の回動軸５４０を中心に回動する第２の回動板５２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】作業効率に優れ、かつ安全に試料測定を行える蛍光Ｘ線分析装置及び蛍光Ｘ線分析方法を提供する。
【解決手段】試料Ｓ上の照射ポイントＰ１に放射線を照射する放射線源２と、Ｘ線検出器３と、試料と放射線源及びＸ線検出器とを相対的に移動可能な移動機構８と、筐体１０と、筐体の内外に試料を出入りさせる開口１０ａを開閉する扉２０と、照射ポイントの高さを測定可能な高さ測定機構７と、測定した照射ポイントの高さに基づいて試料と、放射線源及びＸ線検出器との距離を調整する移動機構制御部９と、照射ポイントに可視光レーザを照射するレーザ部７と、扉が開状態の時、レーザ部を作動させて可視光レーザを照射させると共に、扉が閉状態の時、レーザ部を停止させるレーザ部作動制御部９と、扉が開状態の時、高さ測定機構を作動させて照射ポイントの高さを測定させる高さ測定機構作動制御部９と、を備えた蛍光Ｘ線分析装置１００である。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡法（ＴＥＭ）研究に適した材料試料（ＴＥＭ「薄片」）、特にＨＲＴＥＭ薄片（ＨＲ＝高分解能）、その製造プロセス、及び当該プロセスを実行する装置。
【解決手段】ＴＥＭ薄片を製造するプロセスは、厚さを有する板状基板を支持体に取り付けるステップ（Ｓ１）と、第１ストリップ状凹部を基板の第１面に、支持体に対して第１角度で、粒子ビームを用いて製造するステップ（Ｓ３）と、第２ストリップ状凹部を基板の第２面に、支持体に対して第２角度で、粒子ビームを用いて製造するステップ（Ｓ５）であって、第１ストリップ状凹部第２ストリップ状凹部が、薄肉の重なり領域を形成するようにする。薄片は、厚肉のリム領域及び薄肉の中央領域を有し、第１ストリップ状凹部を薄片の第１の平坦面に、第２ストリップ状凹部を薄片の第２平坦面に有し、第１凹部及び第２凹部は、相互に鋭角又は直角を形成する。 （もっと読む）

【課題】既設ラインに容易に着脱ができ、さらにＸ線の漏洩を確実に防止することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、既設のトップチェーン型コンベア９００に対して着脱可能な連結ユニット１２０，１３０と、連結ユニット１２０，１３０の側方に配置される共通ユニット１１０とを備え、連結ユニット１２０，１３０は、共通ユニット１１０へ物品Ｂを搬入出する搬入口９１１Ａ，搬出口９１２Ａを有する漏洩防止カバー９１１，９１２と、共通ユニット１１０へ物品Ｂを搬入出させる受取部６００および受渡部８００とを含む。 （もっと読む）

【課題】小型車両から大型車両までの被検車両の前輪を持ち上げて搬送することができ、Ｘ線の影になる範囲が狭く実質的に被検車両全体をＸ線検査することができ、移動台車に動力源が不要であり、すべての操作を地上から制御することができるワイヤ操作式車両搬送装置を提供する。
【解決手段】被検車両１の走行面１１より低く両側面より外側に位置する１対の台車用通路１３内に設けられた１対の走行レール１２に沿ってそれぞれ独立に移動可能な１対の移動台車１４にそれぞれ設けられ、被検車両１の前輪１ａを持ち上げ可能で走行面より下方に退避可能な１対の前輪リフト装置１６と、移動台車１４の移動範囲の前方及び後方に設けられ、牽引ワイヤ１９ａ，１９ｂにより移動台車を牽引して走行レール１２に沿って移動させるワイヤ牽引装置１８と、駆動ワイヤ２５ａ〜２５ｄ、２６ａ〜２６ｄにより前輪リフト装置１６を駆動するワイヤ駆動装置２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】アスベスト含有材料の無害化処理時に到達した加熱温度を正確かつ容易に評価することができる加熱温度判定方法を提供する。
【解決手段】アスベスト含有材料を加熱して無害化処理するにあたり、クリソタイルとカルシウムとを含むアスベスト含有検体を加熱して得られるオケルマナイト生成量と加熱温度との関係に基づいて、アスベスト含有材料が無害化処理時に到達する加熱温度を判定する。例えば、オケルマナイト生成量はＸ線回折によって測定される。 （もっと読む）

【課題】小型車両から大型車両までに適用することができ、Ｘ線の垂直照射と水平照射により検査できない車両部分が小さく、実質的に車両全体をＸ線検査する。
【解決手段】Ｘ線の垂直照射と水平照射によりＸ線検査する被検車両１の前輪を持ち上げて搬送するＸ線検査用車両搬送装置１０。被検車両１の走行面１１より低く被検車両の両側面より外側に位置し搬送方向に水平に延びる１対の台車用通路１３内に設けられた１対の走行レールと、走行面より下方に位置し走行レールに沿ってそれぞれ独立に移動可能な１対の移動台車１４と、移動台車にそれぞれ設けられ台車用通路上部と被検車両の前輪の前後位置との間で水平移動可能でありかつ前輪の前後位置において被検車両の前輪を持ち上げ可能な１対の前輪リフト装置１６と、被検車両より前方に位置し１対の移動台車１４を同期して走行レールに沿って移動させる台車駆動装置とを備える。 （もっと読む）