【課題】 簡単な構成で、メンテナンスしやすいセクターミラーを提供する。
【解決手段】 回転軸１に挿嵌される軸取付孔３ａを備えた固定部３と、固定部３の周辺の一部から延びる連結部４を介して固定部３と一体構造で連結された調整部５とからなる取付部材２を備え、前記調整部５は回転軸１の先端面より前方で固定部３の前面側に配置され、かつ、調整部５の前面側に反射鏡７が、背面側にチョッパ１０が取り付けられており、前記連結部４を除く固定部３と調整部５の間には、回転軸１の軸芯と直交する方向に延びる調整用の隙間Ｌが形成され、調整部５の前面に調整ネジ１２ａ，１２ｂ，１２ｃが設けられ、この調整ネジを回動することにより、連結部４を支点として調整部５を変位させて反射鏡７の取付角度を調整する。 （もっと読む）

【課題】紫外光源由来のオゾンガスによる部品の浸食を防止することができると共にランニングコストを低減することのできる光度計を用いた試料測定方法を提供する。
【解決手段】紫外光源２１と光検出器５２を有し、光源２１から光検出器５２に至る光路全体を密閉するカバー１１と、カバー１１の内部を窒素ガスで置換する手段とを備えた分光光度計１０において、光源２１を格納する光源室２０と後段の分光器３０の間の隔壁２２に対して容易に着脱することができ、なお且つ、測定光を通過させつつ光源室２０と分光器３０との間の気体の流通を遮断することのできる窓板ユニット８０を設ける。深紫外域以外の波長域で測定を行う場合には、窓板ユニット８０を隔壁２２に取り付けることによって、光源２１付近で発生したオゾンが分光器３０へ流入するのを防止でき、窒素ガスによる置換を行うことなく部品の浸食を防止する。 （もっと読む）

【課題】ラインイメージセンサーと同等の機能を有する比較的安価な受光装置を提供する。
【解決手段】所定の波長域に渡り分光された光の波長を検出する受光装置１０であって、ホトデテクター１４２と、ホトデテクター１４２に入光する光を規制する開孔１４３ａを有するマスク１４３を備えた受光手段１４と、光を波長域に渡り分光した回折光を受光手段１４に向ける回折格子１１と、回折格子１１を作動し波長域に渡り分光した回折光を選択的に該マスク１４３の開孔１４３ａに位置付ける作動手段１２と、回折格子１１の作動位置を検出する位置検出手段１３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】スペクトル形状が未知の試料を測定対象とする場合、測定者の経験と知識に基づいて、試料の真のスペクトルピークを検出可能な波長分解能が選択される。
【解決手段】波長分解能の設定作業を、測定スペクトルに応じて自動的に設定できるようにする。このため、隙間幅が異なる複数のスリットを用意し、個々のスリットを通過する単色光の波長を所定の波長範囲内で走査させることにより、スリットの隙間幅別のスペクトルを測定する。この後、隙間幅が異なるスリットについて測定された複数のスペクトルの比較結果に基づいて、試料の測定に使用する少なくとも１つのスリットの隙間幅と当該スリットの隙間幅を適用する少なくとも１つの波長範囲の関係を規定するスリット条件を決定する。 （もっと読む）

【課題】マルチバンド分光方法を利用し、高い精度の計測結果を安定して得ることができる分光計測装置を提供する。
【解決手段】 分光計測装置は、光源ユニット、マイクロレンズアレイ、開口部材、結像光学系、回折素子、及び受光器などを有している。受光器は、回折素子からの＋１次回折光を受光する位置に配置された第１ラインセンサ１６＿１、及び回折素子からの０次光を受光する位置に配置された第２ラインセンサ１６＿２を有している。処理装置は、第２ラインセンサ１６＿２の出力信号に基づいて、Ｘ軸方向に関する第１ラインセンサ１６＿１の基準位置からの位置ずれ量を求める。さらに、処理装置は、変換行列テーブルを参照し、該位置ずれ量に応じて選択あるいは補間された変換行列を用いて、反射光波長スペクトルを推定演算する。 （もっと読む）

【課題】反射率の低い被計測物であっても輪郭を正確に計測することができる３次元計測装置を提供する。
【解決手段】
所定の波長領域を有する光を照射し被測定物で反射した反射光と基準反射光との干渉光の各波長の光強度を検出して分光干渉波形を求め、分光干渉波形と理論上の波形関数に基づいて波形解析を実行する制御手段を具備する３次元計測装置であって、被計測面が対物レンズの集光点位置と一致するように予め波形解析後の光強度のピーク位置と共焦点位置の対応をとっておき、制御手段はイメージセンサーからの検出信号に基づいて分光干渉波形を求め、分光干渉波形と理論上の波形関数に基づいて波形解析を実行し、対物レンズの集光点位置に対応する光強度を位置付け手段によって特定されたX、Y座標におけるZ座標の光強度としてメモリに保存し、該メモリに保存されたX、Y、Z座標に基づいて３次元画像を形成する。 （もっと読む）

【課題】複数のＯＣＭを有する装置の小型化を図りつつクロストークを防止すること。
【解決手段】光チャンネルモニタは、偏波調整部、波長分離部、偏光分離部、第１強度検出部及び第２強度検出部を備える。偏波調整部は、波長多重光である第１光信号および第２光信号のうち第１光信号の偏波面を第１の方向に、第２光信号の偏波面を第１の方向と直交する第２の方向に調整する。波長分離部は、偏波面の方向が調整された第１光信号および第２光信号に多重化されている光信号それぞれを波長ごとに分離する。偏光分離部は、波長ごとに分離された光信号それぞれを、偏波面の方向に基づいて分離する。第１強度検出部は、分離された光信号のうち偏波面の方向が第１の方向である光信号を受光して第１光信号の強度を波長ごとに検出する。第２強度検出部は、分離された光信号のうち偏波面の方向が第２の方向である光信号を受光して第２光信号の強度を波長ごとに検出する。 （もっと読む）

【課題】応答速度が速く、小型の分光器を提供する。
【解決手段】 本発明に係る分光器は、電気光学効果を有する電気光学結晶、および該電気光学結晶の内部に電界を印加するための電極対を含むビーム偏向器と、前記ビーム偏向器からの出射光を分光する分光手段と、該分光手段で分光された出射光の中から、任意の波長の光を選択する波長選択手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】波長分解能を上げ、測定可能な被検体の範囲を広げた測定装置とプラズマ処理装置の提供。
【解決手段】厚さＤのウエハＷの表面を反射した光とウエハＷの裏面を反射した光とを入射光として分光する回折格子１０４と、回折格子１０４により分光された光を受光し、受光した光のパワーを検出するフォトダイオードをアレイ状に複数設けたフォトダイオードアレイ１０８と、フォトダイオードアレイ１０８に取り付けられ、入力された電圧を力に変換する圧電素子２００と、を備え、フォトダイオードアレイ１０８は、圧電素子２００により変換された力によって前記アレイ方向の各フォトダイオードの幅ｄに対してｄ／ｍ（ｍは２以上の整数）の変位まで移動したとき、前記受光した光のパワーを検出する、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高波長分解能と高速測定とが両立可能な光強度スペクトル測定方法および装置を提供する。
【解決手段】入力光を波長成分ごとに空間分解し波長成分ごとに空間分解された分解光を生成する波長成分分解素子（１００３）と、分解光を複数の分岐光に分岐するハーフミラー（１００４）と、複数の分岐光をそれぞれ別個に受光する複数のスリット付き受光素子アレイ（１００７，１００５；１００８，１００６）と、複数のスリット付き受光素子アレイでそれぞれ検出された波長成分ごとの光強度信号から前記入力光の光強度スペクトル情報を生成する光強度スペクトル構成部（１００９）と、を有し、複数のスリット付き受光素子アレイの各々は、受光する分岐光の波長成分変化方向と受光素子のアレイ方向とが一致し、前記アレイ方向において各受光素子の受光面に対する当該受光面より狭いスリット透光部の位置がスリット付き受光素子アレイごとに異なる。 （もっと読む）

【課題】分析時間が長くなることやデータの精度を低下させることなく、光電子増倍管を用いた非稼動の検出器の保護を行う。また、測定精度を保証するため光電子増倍管を用いた検出器に印加される印加電圧の監視を行う。
【解決手段】ＡＤ変換器を増やすことなく、暗信号の安定待機時間中に、電圧を印加された光電子増倍管によって異常な出力を検知したときに光電子増倍管の電源をオフにする。また、測定信号安定待機時間中に、光電子増倍管を用いた検出器に印加される電圧の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】照明光源が発光した光を受光して光学測定を行うときに、照明光源に熱のダメージを与えることなく正確に光学測定を行うことを目的とする。
【解決手段】本発明の光学測定装置は、ＬＥＤ８に対して電源部７が駆動電流を供給することでＬＥＤ８を発光させる発光部２と、ＬＥＤ８が発光した光Ｌを受光してＬＥＤ８の光学測定を行う測光部５と、発光部２と測光部５との間を接続し、発光部２の発光タイミングと測光部５の測定タイミングとを同期させるためのトリガ信号ｔｒｉｇを伝送するトリガ信号伝送部２０と、を備えている。これにより、光学測定を正確に行うことができ、ＬＥＤ８に対して作用する熱のダメージを軽減することができる。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図りつつ、分光特性の変化を防止し得る分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、パッケージ本体２と、パッケージ蓋７及び支持基板１１と、透過型グレーティング素子１３と、ミラー素子２０と、光検出素子１５と、を備えている。本体２には、空洞３が形成されている。蓋７及び基板１１は、空洞３の底面３ｂと対向するように本体２に取り付けられており、空洞３外から空洞３内に光Ｌを通過させる。グレーティング素子１３は、基板１１によって支持されており、空洞３外から入射した光Ｌを分光すると共に空洞３の底面３ｂ側に透過させる。ミラー素子２０は、空洞３の底面３ｂに配置されており、グレーティング素子１３によって分光された光Ｌを反射する。光検出素子１５は、基板１１によって支持されており、ミラー素子２０によって反射された光Ｌを検出する。 （もっと読む）

【課題】高コストを招くことなく、対象物からの反射光の波長スペクトルを精度良く高速に計測することができる分光計測装置を提供する。
【解決手段】 光源ユニット、マイクロレンズアレイ、開口部材、結像光学系、回折素子、受光器、及び処理装置などを有している。受光器は、ＴＤＩ型の受光素子であり、回折素子からの回折像が、その回折方向がＸＹ面内でＸ軸方向に対して角度θ傾斜した状態で受光される。処理装置は、回折像の傾斜角θに応じて、画素データの時間情報を補正した（ステップＳ４１３）後、画素データの補間処理を行う（ステップＳ４１５）。そして、処理装置は、時間情報の補正及び補間処理がなされたデータセットに基づいて反射光波長スペクトルの推定演算を行う（ステップＳ４１７）。 （もっと読む）

【課題】入射光の直交する偏光毎の強度測定が行え、且つ高分解能、低コスト、小型な光スペクトラムアナライザを提供する。
【解決手段】被測定光Ｐｘを第１レンズ２２で平行光にして偏光分離部２３に入射して直交偏光成分を分離し、その一方の偏光方向を１／２波長板２４で９０度回転させて、他方の偏光方向に合わせて、波長選択部２９の回折格子３０に入射させている。また、偏光保存型光ファイバ４１、４２へ各偏光成分を集光入射するためのレンズと、偏光保存型光ファイバ４１、４２で折り返された各偏光成分を平行ビームにして回折格子３０へ再入射させるためのレンズとを単一の第２レンズ４０によって共通化している。さらに、最終次選択光（この例では第４次選択光）を、第３、第４レンズ４５、４６で集光しスリット４７、４８を通過させて受光器５０、５１で受光している。 （もっと読む）

【課題】対象物からの反射光の波長スペクトルを計測タイミングに応じて適切に計測することができる分光計測装置を提供する。
【解決手段】 第１結像光学系１２は、互いにレンズピッチが異なる３つのマイクロレンズアレイを含み、開口系１３は、互いに開口ピッチが異なる３つの開口部材を含み、分光系１５は、互いに格子ピッチが異なる３つの回折素子を含んでいる。駆動装置１２３によって、任意の１つのマイクロレンズアレイを反射光の光路上に配置させることができ、駆動装置１３３によって、任意の１つの開口部材を反射光の光路上に配置させることができ、駆動装置１５３によって、任意の１つの回折素子を反射光の光路上に配置させることができる。 （もっと読む）

【課題】
周波数コム光を利用して分光機器の較正を高精度で行う技術、較正がなされた分光機器を用いて高精度分光を行なう分光技術を提供することである。
【解決手段】
周波数安定化光源からの光を周波数シフタに入射して、当該周波数シフタから周波数シフト量設定値に応じて“周波数がシフトした複数の光”を順次出射し、周波数コム光発生器からコム周波数間隔が高精度に設定された中心角周波数が異なる周波数コム光を順次生成し、分光機器に異なる周波数シフト量設定値ごとに順次入射して、“近接する２つの特定コム”のそれぞれについて、“周波数がシフトした複数のコム”の光スペクトルを、所定のサンプリング周波数間隔で順次検出し、分光機器から、前記“近接する２つの特定コム”のそれぞれについての“周波数がシフトした複数のコム”の光スペクトルデータを取得して周波数較正演算を行う。 （もっと読む）

【課題】鋭いピークを有する白色光源を照明装置として利用する場合でも、等色関数を用いて算出する三刺激値ＸＹＺ等の測色値の測定精度を高めることを課題とする。
【解決手段】等色関数のＺ値がピークを示す波長近傍（４６０［ｎｍ］付近）に分光輝度分布のピークを有し、かつ、その半値幅が等色関数のＺ値のピークについての半値幅よりも狭い第１白色ＬＥＤ光源（ＬＥＤ１）と、ＬＥＤ１の当該ピークに対し、これよりもピーク値が低く、かつ、等色関数半値幅に対応する波長帯域のうちＬＥＤ１の分光輝度分布半値幅に対応する波長帯域が重複しない波長帯域部分（およそ４２５〜４４５［ｎｍ］）が存在する側に波長がずれたピークを有する第２白色ＬＥＤ光源（ＬＥＤ２）とを用いて、被測定面を照明する。 （もっと読む）

【課題】 温度変化が生じても分散特性の変化が十分に小さい分光装置などを提供すること。
【解決手段】順方向の光線が入射する順に、第１群の分散素子と、第２群の分散素子を有し、第１の温度Ｔ_１における順方向の光線の第１群の分散素子からの出射角をθ_４、第１の温度Ｔ_１とは異なる第２の温度Ｔ_２における順方向の光線の第１群の分散素子からの出射角をθ’_４、出射角の差分θ'_４−θ_４をΔθ_４、第１の温度Ｔ_１における順方向の光線が第２群の分散素子から出射する光路に沿った光線であって、かつ第２の温度Ｔ_２における逆方向の光線の第２群の分散素子からの出射角をθ”_５、第１の温度Ｔ_１における順方向の光線の第２群の分散素子への入射角をθ_５、出射角および入射角の差分θ”_５−θ_５をΔθ_５、とそれぞれするとき、Δθ_４とΔθ_５が略等しいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、分光素子からの出射角の非線形性に由来する検出波長と算出波長の間のずれを補償する技術を提供する。
【解決手段】分光検出装置１００は、光ＩＬを分光するための回折格子１と、回折格子１で分光された光（光Ｒ、光Ｇ、光Ｂ）を検出するための光検出器２と、回折格子１と光検出器２の間に置かれて、回折格子１で分光された光を波長毎に光検出器２に集光させる集光光学系３と、を含んで構成される。集光光学系３は、短波長側の倍率色収差が長波長側の倍率色収差よりも大きいという光学特性を有し、このような特性を有する倍率色収差により、回折格子１で発生した出射角の非線形性に由来する検出波長ずれを補償する。 （もっと読む）