【課題】コンベヤによって搬送される容器の容器間のピッチが狭い場合にも、検査対象の容器の前方にある容器によって検査対象の容器の進行方向の面に影が生じることがなく、検査対象の容器のラベルの破れを確実に検出する。
【解決手段】容器１を搬送するコンベヤ１０の一側に配置され、搬送される容器１に投光する第１および第２の照明Ａ１，Ａ２と、コンベヤ１０の他側に配置され、搬送される容器１に投光する第３の照明Ａ３と、コンベヤ１０の一側に配置され、コンベヤ１０の一側および他側に配置された照明から投光されて容器１から反射した反射光を撮像するＣＣＤカメラ２Ａとを備え、ＣＣＤカメラ２Ａ側に配置された第１および第２の照明Ａ１，Ａ２は、検査対象の容器１におけるカメラ側の面と容器進行方向面とに投光し、ＣＣＤカメラ２Ａの反対側に配置された第３の照明Ａ３は、容器進行方向面に投光するように設定されている。 （もっと読む）

【課題】検査対象の容器に隣接した容器のラベルからの反射光等の影響が少なく、破れと破れの周辺のラベル部分とのコントラストの低下を抑えることができる容器のラベル検査装置を提供する。
【解決手段】コンベヤ１０の一側に配置されるとともに、コンベヤ１０の搬送方向に沿って配置され、搬送される容器１に投光する照明ユニット３と、コンベヤ１０の搬送方向の前方側と後方側に離間して配置され、照明ユニット３から投光されて容器１を透過した透過光を撮像する２つのＣＣＤカメラ４Ａ，４Ｂと、照明ユニット３においてコンベヤ１０の搬送方向の前端側から所定の範囲までの照明とコンベヤ１０の搬送方向の後方側にあるＣＣＤカメラ４Ａとが対をなし、照明ユニット３においてコンベヤ１０の搬送方向の後端側から所定の範囲までの照明とコンベヤ１０の搬送方向の前方側にあるＣＣＤカメラ４Ｂとが対をなし、照明の照明幅は変更可能である。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の画像からガラス基板に存在する異物の明度に基づき、異物の存在面を判定する。
【解決手段】判定装置２は、算出手段２ｂで対象物の、撮像光が入光される表面に焦点を合わせて撮像された対象物の表面の画像情報から、画像情報に含まれる対象物の表面または対象物の裏面に存在し、撮像部に入光された撮像光を遮る異物の画像の局所的な明度の変化率を算出し、判定手段２ｄで、算出手段２ｂで算出された変化率が、記憶手段（保持手段２ａ）に記憶されている変化率以上の場合に、存在面は対象物の表面であると判定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、長いリング状ワークであっても高い精度で検査することができる検査装置の提供を課題とする。
【解決手段】リング状ワーク１６の内側に、３個のローラ１７、１８、１９を介在させ、ローラ１７、１８、１９でワーク１６を緊張させ、ワーク１６の上エッジ１１１に存在する可能性のある疵を検出するリング状ワークの検査装置１０において、第１ローラ１７と第２ローラ１８は軸間距離Ｌ３を一定に保ち、第３ローラ１９を移動させることで、ワーク１６を緊張させ、第１ローラ１７と第２ローラ１８との間に、撮像手段２３が設けられていることを特徴とする。
【効果】軸間距離Ｌ３が一定であるため、第１ローラ１７と第２ローラ１８との間で、ワーク１６が振動から受ける影響は同じになる。第１ローラ１７と第２ローラ１８との間に撮像手段２３を設けることで、異なるワークであっても高い精度で検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】透明体の検査を行うことのできる検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置は、検査対象物たるランプ１に対し光を照射する照射手段１６と、ランプ１側の入射面３３から入射した光を透過させ、出射面３４にランプ１の光学像を映し出すファイバオプティカルプレート１７と、これに映し出されたランプ１の光学像を撮像するＣＣＤカメラ１５と、撮像された画像データに基づき、ランプ１のバルブ２の良否を判定する画像処理部とを備えている。ファイバオプティカルプレート１７を介すことによって、これの近くに位置するバルブ２表面の製品番号等がより鮮明に映し出され、遠くに位置するリード線３やフィラメント４がぼやけた状態の画像データを取得することができるため、バルブ２に付された識別情報等の検査を適正に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】被検物の上面部又は下面部と側面部からの反射像を導き１台の撮像装置で撮像し、被検物の外周面を高精度で検査できる、光学外観検査装置を提供する。
【解決手段】搬送する被検物を撮像装置で撮像して検査する外観検査用の光学装置において、被検物Ｔを一列に整列して搬送する搬送手段６に、搬送手段６により搬送する被検物Ｔの上面部又は下面部から直交する反射光を撮像装置４０へと導く第１の光導手段２０と、該第１の光導手段とは離れた検査位置にて、該被検物Ｔの一側面部とその反対側の他側面部とからの反射光を、搬送手段６の搬送方向に対して搬送平面の所定角度で入射して撮像装置４０へとそれぞれ導く第２と第３の光導手段３０とが備えられ、これらの反射光を第１の光導手段２０と第２及び第３の光導手段３０とを通して撮像装置４０の走査軸上に導き、被検物Ｔのそれぞれの反射像を同一撮像面に結像する外観検査装置に用いられる光学装置である。 （もっと読む）

【課題】表面が研磨されたウエハ等の基板の表面、特に基板のエッジ部分の欠陥を検査するための効率的な照明を行う検査用照明装置を提供すること。
【解決手段】照射光に対してウエハ等の基板を相対的に移動させることにより、検査対象部を走査しながら検査する検査装置の検査用照明装置において、照明用光源からの照射光のうち、基板の相対移動方向（走査方向）の照射光を基板表面に集光するように反射させるために、断面が放物線（または楕円）等の曲線形状の反射面を有する反射部材を備えており、光源からの光を基板表面の検査領域上に集光するように反射させることにより、照射光を有効に被検査対象部に照射する。これにより、光源からの走査方向の光を検査部に集光して、効率的な照明を行うことにより、検査部からの散乱光を増やしてより正確な検査を可能とする。 （もっと読む）

【課題】低価格で、且つ半導体基板のルミネセンス画像から高い精度でクラックを検出できる半導体検査装置及び半導体検査方法を提供する。
【解決手段】ｐｎ接合を有する半導体基板１００にルミネセンスを生じさせる励起エネルギーＥｒを半導体基板に供給する供給装置１０と、第１の励起エネルギーＥｒ１及び第１の励起エネルギーＥｒ１と大きさの異なる第２の励起エネルギーＥｒ２が供給された半導体基板１００の第１及び第２のルミネセンス画像をそれぞれ取得する画像取得装置３０と、第１のルミネセンス画像と第２のルミネセンス画像とのルミネセンス強度の差分を半導体基板１００の各位置について算出して、強度差分画像データを作成するルミネセンス画像処理装置４１と、強度差分画像データの差分の大きさを用いた判定値に基づき、半導体基板１００のクラックが発生したクラック位置を検出する検出装置４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象物体の形状を観察し、個体差を考慮しつつ欠損を検出する。
【解決手段】検査撮像部１５４は、ワークとなるセルを撮像して検査画像を取得する。抽出部１６０は、検査画像を参照し、ワークの輪郭部分に位置する点である検査エッジ点のを特定する。検査エッジ誤差算出部１６８は、マスタとなるセルの輪郭線を定義する基本関数と検査エッジ点の距離を算出し、欠損点特定部１７４は乖離が大きい検査エッジ点を欠損点として除外する。検査関数特定部１７２は、欠損点以外の検査エッジ点の座標に基づいて、ワークの輪郭線を定義するための検査関数を算出する。検査エッジ誤差算出部１６８は、検査関数と検査エッジ点の距離を算出する。検査関数から乖離する検査エッジ点は欠損候補点として特定される。欠損判定部１７６は、欠損候補点に基づいて、ワークの欠損を判定する。 （もっと読む）

【課題】充填し封緘した容器を検査するために手間がかからずコンパクトな構造で確実に検知する装置を提供する。
【解決手段】検査する容器Ｆをその長手方向軸を中心に回転できるようにして、容器内の充填物を充分に迅速に回転開始させ、場合によって存在する異物を容器底から巻き上がらせ、充填物にある光拡散する異物を検知するための暗視野工程で機能する少なくとも一つの検査装置２０と関連付けて配置しており移送方向で後に続く第二回転台４に宙吊りで容器を移送し、そのとき両方の回転台は円弧部分でお互いに接線配置されており、容器が第一回転台３から直接、第二回転台に移すことができる。 （もっと読む）

【課題】角形基板の４角の割れ欠けを簡単な構成で検査する。
【解決手段】角形基板（Ｐ）の向きが０度の状態において角形基板（Ｐ）の２つの角（ａ，ｂ）に割れ欠けが発生していないかを検出する。次に、角形基板（Ｐ）の向きを所定の角度（ｎ）変えた後の状態において他の２つの角（ｃ，ｄ）に割れ欠けが発生していないかを検出する。
【効果】角形基板（Ｐ）の向きを変えるための機構は必要であるが、検出器を移動する機構は不要であり、構成を簡単化できる。 （もっと読む）

【課題】巻き乱れがあり、かつ反射率の大きく異なる箇所が混在するような、コイル状鋼帯の側面を良好に撮像することができる、コイル状鋼帯の側面撮像方法および側面観察装置を提供することを課題とする。
【解決手段】コイル状に巻かれた鋼帯の側面に照明装置から光を照射し、照射された前記鋼帯の側面を撮像装置により撮像し、撮像した画像を表示装置に表示し、表示された画像に基づいて前記鋼帯の幅端部に発生する欠陥および／または形状不良の検査を行うためのコイル状鋼帯の側面撮像方法であって、前記照明装置および前記撮像装置を、前記鋼帯の側面から下記式で表される距離Ｌだけ離して設置する。
Ｌ≧ｙ×Ｄ／（２ｄ）
ここで、ｙ ：想定されるコイル状鋼帯の巻き乱れによる凹凸深さ、Ｄ ：コイル状鋼帯の半径、ｄ ：鋼帯の厚さ （もっと読む）

【課題】連続製造ライン１０の運転を停止しなくても、検出装置１００の故障を発見できる、金属帯の穴明き検出装置の検査方法、金属帯の穴明き・エッジ・欠陥検出装置の検査方法、金属帯の穴明き検出装置、金属帯の穴明き・エッジ・欠陥検出装置、ならびに、それらを用いた金属帯の製造方法を提供する。
【解決手段】金属帯Ｓの全幅にわたり投光する投光部１から金属帯Ｓの全幅にわたり投光しつつ、金属帯Ｓを挟んで投光部１と反対側に配置された受光部２にて金属帯Ｓを監視するとともに、金属帯Ｓ又は受光部２に向け穴明き部分を模擬したスポット光を照射し、該スポット光を穴明き部分として検出できた場合は、検出装置１００が正常と判定し、該スポット光を穴明き部分として検出できなかった場合は、検出装置１００が異常と判定する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハの端縁に存在する欠陥を検出できると共に検出した欠陥を観察することができる欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】半導体ウェハ１の端縁を異なる複数の角度方向から照明する欠陥検査用の第１の照明光学系１０ａ〜１０ｂと、半導体ウェハの端縁に向けて観察用の照明光を投射する第２の照明光学系１６ａ〜１６ｂと、欠陥検査時において半導体ウェハの端縁から出射した散乱光を集光し、観察時において半導体ウェハの端縁から出射した正反射光を集光する対物レンズ１２とを具える。対物レンズにより集光された散乱光は光検出手段１５により受光され、対物レンズにより集光された正反射光は撮像装置１９により受光する。光検出手段からの出力信号及び撮像装置からの出力信号は信号処理装置５に供給して欠陥検出信号を発生すると共に半導体ウェハの端縁の２次元画像信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物の良否の判定を効率よく、しかも高精度にて行える検査装置を提供する。
【解決手段】 搬送手段にて搬送されてきた検査対象物に検査用光を照射する照射部２と、照射部２の検査用光が照射された検査対象物の画像を取り込むための画像取込部３と、画像取込部３にて取り込んだ画像に基づいて検査対象物の良否を判定する判定処理部４とを備え、照射部２が、青色の光を照射する青色照射手段５と、赤色の光を照射する赤色照射手段６とを備え、画像取込部３が、色の異なる２種類の照射手段にて照射されている検査対象物のカラー画像を取り込むためのカラー画像取込部から構成し、青色照射手段５からの検査用光が検査対象物の外観表面を照射し、かつ、赤色照射手段６からの検査用光が検査対象物の内部に入り込むように、青色照射手段５及び赤色照射手段６を配置した。 （もっと読む）

【課題】 樹脂封止工程後の半導体パッケージの検査を切断前のリードフレーム状で複数同時に行うことで、検査に必要な時間を短縮することが可能となる、半導体パッケージの検査装置を提供することにある。
【解決手段】 半導体パッケージから所定の仰角をもって設置した撮像手段を備え、前記撮像手段による撮影結果に基づいて、前記半導体パッケージ側面に生じるボイドの有無を検査する半導体パッケージの検査装置において本発明は、同一方向を向き間隔を有して整列した状態で前記半導体パッケージが連設されたリードフレームの底面側に、照明手段が設置されており、前記撮像手段を検査対象である前記半導体パッケージの搬送方向に沿って複数並べることで、切断前のリードフレームにおいて複数の半導体パッケージを同時に検査することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基材からの反射光を検出してその結果に基づいて基材の欠陥検査をおこなうにあたり、構成が簡易であると共にコスト的に有利でありながら、欠陥検査の精度を著しく向上することができる基材の欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置は、基材１へ向けて光を照射する光源２、基材１からの反射光を検出する検出手段３、並びに前記検出手段３の視野内で非測定領域５を遮蔽すると共に光源２から照射された光を検出手段３へ向けて反射する反射手段６を備える。非測定領域５について検出手段３で検出される光の輝度が反射手段６による反射光によって大きくなって、欠陥の誤検出が抑制される。非測定領域５以外については反射手段６からの反射光の影響を受けず、正確な欠陥検出をおこなうことができるようになる。 （もっと読む）

【課題】画像データを基に求められたスペクトルデータを利用し、検査対象品のスペクトルの波形形状と良品のスペクトルの波形形状との相違の度合いが表現できるように定義した数値指標を用いて検査対象品の外観の良否判定を行うこと。
【解決手段】検査対象品及び良品を撮影した画像のそれぞれについて各画素位置に対する輝度分布を画像内の行又は列毎にスペクトル化し、前記検査対象品のスペクトルの波形形状と良品のスペクトルの波形形状との相違の度合いが表現できるように定義した数値指標を用いて良否判定を行う。このスペクトル化は、前記画像内の行又は列方向に一又は複数の位置ずつ移動しながら輝度分布をスペクトル化していき、複数の行又は列方向のスペクトル、もしくは、これらの複数の行又は列方向のスペクトルを連結した１つのスペクトルとすることができる。 （もっと読む）

【課題】温度場におけるインテリジェントハイブリッド法の適用を可能とした検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】被検査体１の欠陥検査方法を適用可能な装置１０は、被検査体１の表面を加熱するヒータ４と、加熱された被検査体１の表面から放射された赤外線で形成される赤外線像を撮像する赤外線カメラ３と、コンピュータ８とを備え、このコンピュータ８は、さらに非定常温度場における誤差最小化変分原理を用いたインテリジェントハイブリッド法を適用することにより前記赤外線像を修正する画像処理部８２と、修正された赤外線像に基づいて被検査体１の亀裂部分を判別する特異点判別部８３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】歪み無く、ボトルの全てが画像中で略直立状態に表示される検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、検査されるべきボトルの異なる周方向側面像を映し出すためのミラーキャビネットを備える、ボトルを光学的に検査するための検査装置に関する。側方画像領域と関連付けられるビーム経路における偏向ミラーは、中心射影によって引き起こされる画像歪みが側方画像領域で補償されるように傾けられる。 （もっと読む）