【課題】 圧着ハガキの角折れに対し、浮き上がり量の小さいものや内側に折れ込んだものでも検出可能とする圧着ハガキ検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 圧着ハガキ検査装置３０は、検査対象である圧着ハガキ１０に記録された識別コード１４を読み取るコード読取器３１、圧着ハガキ１０の角部の所定の検査領域を撮像する画像取込カメラ３２、同装置全体を制御し圧着ハガキ１０の良否を判定する検査制御部３３を持ち、検査制御部３３は、画像取込カメラ３２から取り込まれた検査画像から角部に印された検査用パターンを判読することにより、角折れの有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】塗布全体にわたって異常を検出でき、シール剤に発生した切れ目に限らず、終端部における糸引き等、他の要因による塗布の異常を検出することができ、また、基準ワークを撮影するだけで、自動的に分岐点と端点とをカウントすることができ、容易に部品形状の変更に対応することができる塗布状態検査装置を提供する。
【解決手段】シール剤Ｓが塗布されたワークＷを撮像する撮像装置２と、撮像装置２によって撮像された撮影画像から、シール剤Ｓの塗布軌跡を抽出する軌跡抽出部４−１と、正常品の分岐点の個数と端点の個数とを記憶する記憶部５と、塗布軌跡の分岐点の個数と端点の個数とをカウントし、記憶部５に記憶されている正常品の分岐点の個数と端点の個数と比較し、双方が一致する場合に塗布軌跡が正常であると判定し、双方が一致しない場合に塗布軌跡が異常であると判定する画像判定部４−２とを備える。 （もっと読む）

【課題】砥粒の状態を新たな解析パラメータを用いてより詳しく解析し、これにより砥面の状態をさらに正確に検査できるようにする。
【解決手段】カメラ６により砥石３の砥面を撮像してそのライン画像データを取り込み、各ライン画像データに対し砥粒抽出処理部１２３により複数種のフィルタリング処理を行うことで上記ライン画像データから砥粒切れ刃候補の画像を抽出する。そして、砥粒解析処理部１２４の制御の下で、上記抽出された各砥粒切れ刃候補の画像から、砥面全域における各砥粒切れ刃候補の重心の座標と、凸多角形近似データ及び円形度と、内部欠損及び外部欠損と、面積及び欠損度と、すくい角側の稜線形状をそれぞれ算出または検出する。そして、この得られた解析パラメータをもとに、砥石３の幅方向における砥粒分布ヒストグラムと、砥石３の砥面全域における砥粒の分布状態を表す三次元マップを生成する。 （もっと読む）

【課題】被検出形状に縁部における輝度変化を除去し、欠けや異物の検出を確実に行える孔形状検査方法および孔形状検査プログラムを提供する。
【解決手段】孔形状良否を判定する孔形状検査方法およびプログラムであって、前記孔の孔形状撮像工程と、前記孔形状画像の２値化画像形成工程と、前記孔の面積が既定値であるかを判定する孔面積判定工程と、前記孔の内形状の孔重心を求める孔重心演算工程と、前記孔形状画像に前記孔重心を中心とする同心フィルターをかけ、前記孔重心を中心とする同心形状上の画素の平均輝度と、１画素の画素輝度と、の差によるフィルタリング画像形成工程と、前記フィルタリング画像の２値化フィルタリング画像形成工程とを有し、前記２値化フィルタリング画像の画素数が所定の値以下である場合、前記孔を良品と判定する良否判定工程を有する孔形状検査方法、およびその検査方法をコンピューターに実行させるプログラム。 （もっと読む）

【課題】異物を伴わない単なるフィルム基材の波打ち現象を欠陥と誤認識することのない反射防止フィルム基材の欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】フィルム基材５に照射された照射光のうち斜め方向に反射する光を受光する第一の反射撮像光学系７，１０とフィルム基材５に照射された照射光のうち垂直方向に透過する光を受光する第二の透過撮像光学系６，９とを備え、第一の反射撮像光学系が欠陥を検出した場合、第二の透過撮像光学系もフィルム基材上の同じ位置に欠陥を検出していた場合に限り、当該部位に欠陥があると判定することを特徴とする反射防止フィルム基材５の欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】錠剤の変更にも柔軟かつ円滑に対応することができ、しかも検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置２１は、容器フィルムのポケット部に収容された錠剤に対し光を照射可能な照明装置２２と、照明された範囲内の錠剤を撮像可能なカメラ２３と、カメラ２３から出力される画像信号を処理する画像処理装置２４とを備える。画像処理装置２４は、画像データに基づき錠剤の輪郭を抽出し、輪郭上における第１の所定点及び第２の所定点の接線の向き情報を演算するとともに、第１及び第２の所定点で挟まれた第３の所定点の接線の向き情報を求め、第３の所定点の接線の向き情報が、第１の所定点の接線の向き情報及び第２の所定点の接線の向き情報に基づく許容範囲を逸脱している場合に、当該第３の所定点に関し不良候補として判定する。 （もっと読む）

【課題】 多様な種類のボトルに適用可能であり、ボトル底面に存在する欠陥の有無を高精度に判定することができる、透明体ボトルの外観検査装置を提供する。
【解決手段】 開口部１０３を有する透明体ボトルの底外面１０２に向けて第１の周波数の拡散光を照射可能な第１光源部３と、前記透明体ボトルの底外面１０２に向けて第２の周波数の平行光を照射可能な第２光源部４と、前記透明体ボトルの開口部１０３に隣接し、前記第１光源部３及び第２光源部４から照射された光を判別して、前記開口部１０３を通して前記底内面を撮像するエリアカメラ２と、前記エリアカメラ２により撮像された前記第１光源部３からの光による第１画像及び第２光源部４からの光による第２画像に基づいて、前記透明体ボトルの底面の欠陥の有無を判定する欠陥判定部６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 タイヤ表面の薄広凸欠陥を高精度に検出することができるタイヤの欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 ステップＳ１を開始するまでに、予め連続的にスリット光像を含む２次元画像を取得しておく。ステップＳ１では、撮像された複数の２次元画像データから、スリット光像を抽出する。ステップＳ２では、抽出されたスリット光像から偏心によるぶれである偏心成分を除去する。ステップＳ３では、偏心成分を除去した光像に基づいて特徴量を算出し、ステップＳ４で、算出された特徴量に基づいて薄広凸欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の欠け等の検査に際し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置２１は、容器フィルムのポケット部に収容された錠剤に対し光を照射可能な照明装置２２と、照明された範囲内の錠剤を撮像可能なカメラ２３と、カメラ２３から出力される画像信号を処理する画像処理装置２４とを備える。画像処理装置２４は、目標となる錠剤の輪郭に関し、重心を原点とする各角度毎の複数の各点の接線の向き情報を目標向き情報として記憶しておき、検査に際し、抽出された錠剤の輪郭に基づき重心を特定するとともに、前記各角度毎の対応する各交点の接線の向き情報を求め、当該接線の向き情報と目標向き情報とを比較する。そして、１の交点の接線の向き情報が、対応する目標向き情報に対し許容範囲を逸脱している場合に、不良候補として判定する。 （もっと読む）

【課題】部品形状に変更があった場合や、シール剤の軌跡が曲がったり、歪んだりしている場合であっても、軌跡全体にわたって漏れなく太さが適正であるか否かを判定することができる塗布状態検査装置を提供する。
【解決手段】シール剤Ｓが塗布されたワークＷを撮像する撮像装置２と、撮像装置２によって撮像された撮影画像から、シール剤Ｓの塗布領域と塗布軌跡とを抽出する軌跡抽出部３−１と、抽出されたシール剤Ｓの塗布軌跡から、最小・最大太さ領域を生成する領域生成部３−２と、シール剤Ｓの塗布領域と最小・最大太さ領域とを比較してシール剤Ｓの太さが正常であるか否かを判定する画像判定部３−３とを備える。 （もっと読む）

【課題】パターン形成や色の変化を設けない無地の有効面全面に亘って均質な表面を有するように形成された基板において、局部的に発生する光学的に不均質な欠陥を検出して分類する一般的で容易に実現できる欠陥検査方法を提供すること。
【解決手段】カメラ画像情報の２値化処理により検出した１次欠陥画素情報にその周囲の画素の輝度情報を加えた欠陥像の２次判定を行うことにより、分類することを特徴とする欠陥検査方法であって、前記１次欠陥画素情報の周囲の画素の輝度情報が、１次欠陥画素の輪郭に沿って正の整数ｎ個分拡張した数のカメラ画素で囲った領域における輝度情報であり、前記欠陥像の２次判定のための条件としてｎを設定できる。 （もっと読む）

【課題】被検査面の表面性状の影響を軽減して目的とする疵をより精度良く検出可能とする。
【解決手段】被検査面を撮影したカメラ２の撮像画像に基づき上記被検査面に存在する表面欠陥を検出する。上記撮像画像の少なくとも疵検出領域でハレーションが発生するように、上記撮影する被検査面に対し照射装置１から光を照射することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】反射防止フィルムの低コントラストの欠陥を容易に検出するために、反射防止フィルムに付着した薬液を拭取る薬液拭取り装置を提供する。
【解決手段】反射防止フィルムの欠陥を検査する場合にフィルムに付着させた薬液を検査後に拭取る装置であって、土台に設けられ昇降が可能な支柱と、拭取りヘッドベースと拭取りヘッド中間部材と拭取り部材を順に重ねた構造を有し、前記支柱に支えられた拭取りヘッドと、を備え、前記拭取りヘッドを薬液が付着したフィルム面に接触させて薬液を拭取ることを特徴とする薬液拭取り装置。 （もっと読む）

【課題】マスク基板に形成された光学歪みによる不具合が解消され、欠陥検出の感度を高くできる検査装置を提供する。
【解決手段】光源装置１から出射した照明光をフォトマスク８に向けて透過検査用として投射する第１の照明光学系（４〜７）と、前記フォトマスク支持すると共に第１の方向及び第１の方向と直交する第２の方向に移動可能なステージ９と、フォトマスクを透過した透過光を対物レンズ１１及び偏光分離手段１３を介して受光する光検出手段（１７，１８）と、光検出手段から出力される輝度信号を受け取り、フォトマスクに存在する欠陥を検出する信号処理装置１９とを具える。信号処理装置は、マスクパターンが形成される前のマスク基板の透過光の輝度分布データを記憶したメモリと、前記輝度分布データに基づいて前記光検出手段から出力される輝度信号又は光源装置から放出される照明光の強度を補正する補正手段を有する。 （もっと読む）

【課題】欠陥の捕捉率、及び分類性能を向上させる。
【解決手段】互いに平行な直線群を含む回路パターンが形成された被検査物を載置して走行するステージと、スリット状の光であるスリット状ビームを複数生成し、前記被検査物の表面に第１の照明領域、及び第２の照明領域を形成する照明光学系と、前記第1の照明領域からの第１の光と前記第２の照明領域からの第２の光とを分離し、前記第１の光は第１のイメージセンサで、前記第２の光は第２のイメージセンサで検出する検出光学系と、前記第１のイメージセンサ、及び前記第２のイメージセンサで得られた信号に基づいて欠陥を示す信号を得る処理部と、を成す。 （もっと読む）

【課題】不完全エリアを有効に検査することで歩留り管理の精度向上を図ることができる検査装置を提供する。
【解決手段】基板１に光を照明する照明部１０と、前記基板１からの光を検出し検査画像を得る検出部２０と、処理部１００と、を有し、前記検査画像には、前記基板１の端部より内側の形成すべきパターンの一部が欠けた領域と、前記端部より外側の前記一部が形成されるべきであった領域と、が含まれ、前記処理部１００は、前記検査画像と前記パターンよりも内側の完全なパターンの画像を含む参照画像とを使用して検査を行う。 （もっと読む）

【課題】対象物の表面における光の照射位置に微小な凹凸が形成されている場合でも、この凹凸の影響を排除しつつ、予め規定された高さ以上の異物欠陥が対象物の表面上に存在するか否かを判定する。
【解決手段】表面欠陥検査装置１０は、ウェハ２６の表面に斜方から光を照射するラインレーザ１４と、ウェハ２６の表面におけるラインレーザ光２８の照射位置Ｐ２よりもラインレーザ１４側の位置であってウェハ２６の表面から予め規定された高さ離間した規定高さ位置Ｐ１において反射したラインレーザ光２８の反射光を検出するための第一ラインカメラ１６と、照射位置Ｐ２において反射したラインレーザ光２８の反射光を検出するための第二ラインカメラ１８と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】低コストでノズル穴に生じる不良箇所を精度よく特定可能なノズル外観検査装置、およびノズル外観検査方法を提供すること。
【解決手段】ノズル外観検査装置１００は、暗視野光学系ユニット５と、ノズル穴の撮像画像を取得する画像入力手段（撮像手段）７０と、ノズル穴の中心を推定する中心推定手段７１と、エッジ検出により輪郭を検出する輪郭検出手段７２と、輪郭から仮の近似円の中心を求める仮近似円算出手段７３と、仮の近似円の中心と輪郭上の各点との距離の平均値を求める仮距離平均算出手段７４と、平均値と各距離との差が規定値未満となる輪郭上の点を抽出する近似円候補抽出手段７５と、抽出された点によって形成される輪郭から近似円を特定する近似円特定手段７６と、近似円の中心から抽出された輪郭までの距離が規定値以上となる箇所を不良箇所と特定する不良箇所特定手段７７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】複数のろ過膜板が搭載されるろ過装置において、亀裂や膜形成不具合などの欠陥の有るろ過膜板を自動的に特定することができる画像処理によるろ過膜板検査装置を提供することにある。
【解決手段】水槽内の液体に浸漬して配置された複数のろ過膜板を撮影する上部カメラ１１と、複数のろ過膜板を上部カメラにより撮影した基準画像と、複数のろ過膜板へ気体を圧送しつつ上部カメラにより撮影した入力画像とを比較して、差分画像を作成する差分処理部１３と、差分画像に対して二値化処理を行うことにより二値画像を作成する二値化処理部１４と、二値画像に基づき変化が発生した画素の分布を計算して分布データを出力する変化分布計算部１５と、分布データに基づき、欠陥の有るろ過膜板を特定して結果データを出力する欠陥有無判断部１７とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】複雑な形状の検査対象物を精度よく外観検査可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１００は、検査対象物１０に対し傾斜配置され所定回転角度毎に検査対象物１０を撮像する撮像部４０と、撮像部４０の画像信号を処理し輝度画像データＧ１〜Ｇ２４を生成する輝度画像生成部Ｓ１２と、輝度画像データＧ１〜Ｇ２４において同位置の画素を輝度値の大きさ順に並び変え輝度画像データＧ１〜Ｇ２４を変換画像データｇ１〜ｇ２４に変換する画像変換部Ｓ１４と、変換画像データｇ１又は変換画像データｇ２４の各画素の輝度値から、変換画像データｇ２〜ｇ２３のうちの一つの変換画像データの各画素の輝度値を差し引くことで、判定用画像データｇ’を生成する判定用画像生成部Ｓ１５と、判定用画像データｇ’の各画素の輝度値に基づいて、検査対象物１０の外観異常を判定する異常判定部Ｓ１６と、を備える。 （もっと読む）